CN103492088A - 基板涂布方法、基板涂布装置以及使用了该方法的有机电致发光器件的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的基板涂布方法和装置是使用狭缝式喷嘴在基板上涂布涂布液的基板涂布方法和装置，其中，对待机时间中的狭缝式喷嘴内的涂布液的干燥和氧化等液体劣化进行抑制。本发明的基板涂布方法包括下述工序：第一工序，其是由狭缝式喷嘴（31）涂布涂布液（20）来形成涂布膜；第二工序，其是在接下来的基板上不涂布涂布液（20）而进行待机；和第三工序，其是向在狭缝式喷嘴（31）的下方位置与喷出口（30）隔开间隔地配置的辊部（50）喷出涂布液（20），其中，在第二工序中，由狭缝式喷嘴（31）向辊部（50）喷出涂布液（20）。这样，将涂布液（20）适当地循环，因此能够抑制狭缝式喷嘴（31）内的涂布液（20）的干燥和氧化等液体劣化。

Description

基板涂布方法、基板涂布装置以及使用了该方法的有机电致发光器件的制造方法

技术领域

本发明涉及在基板上涂布涂布液的基板涂布方法、基板涂布装置以及使用了该方法的有机电致发光器件的制造方法。 

背景技术

电致发光（EL）器件是通过在透明基板上形成用阳极和阴极夹持的发光层而得到的，当对电极间施加电压时，发光层中作为载流子注入的电子及空穴发生再结合，由此生成激子，利用该激子进行发光。电致发光器件大致可分为发光层的荧光物质使用了有机物的有机电致发光器件和发光层的荧光物质使用了无机物的无机电致发光器件。特别是，有机电致发光器件能在低电压下进行高亮度的发光，并且根据荧光物质的种类可获得各种发光颜色，另外容易制成平面状的发光面板，因此被用作各种显示装置和背光源。此外，近年来还实现了满足高亮度的有机电致发光元件，其在照明器材中的应用备受关注。 

图12表示了常规的有机电致发光器件的剖面构成。有机电致发光器件101在具有透光性的基板70上设置具有透光性的阳极层111，在该阳极层111之上设置由空穴注入层121、空穴输送层122和发光层123形成的有机层120。另外，在有机层120上设置具有光反射性的阴极层112。并且，通过对阳极层111与阴极层112之间施加电压，有机层120的发光层123发出的光透过阳极层111和基板70而被取出。另外，在阳极层111与有机层120之间，有时形成包含用于提高光取出效率的具有光扩散性的微粒子的层（未图示）。 

在这样的有机电致发光器件101中，有机层120在阳极层111上如果不以遮掩上述微粒子的方式成膜，则阳极层111和阴极层112接近而有时会在电极间发生短路，存在使设备的可靠性降低等危险。因此，已知有通过 涂布来在阳极层111上形成有机层120的方法。通过涂布，在对构成有机层120的有机材料进行涂布和干燥的工序中，上述微粒子被有机材料所覆盖或者以有机材料渗入微粒子与基板70的间隙中的状态固化，从而作为绝缘层起作用，因此能够抑制短路的发生。 

作为这样的通过涂布形成有机溶剂的方法，已知有利用狭缝式涂布法、旋涂法、喷墨法、丝网印刷法等形成有机层的有机电致发光器件的制造方法（例如参照专利文献1）。狭缝式涂布法为如下的方法：首先，在喷嘴的喷出口的对面配置基板，使喷嘴与基板接近，所述喷嘴形成有在平行面上设置了数十微米的间隙的狭缝状的开口部。然后，保持使从喷嘴喷出的涂布液与基板接触的状态，水平移动基板，从而在基板上涂布涂布液。该狭缝式涂布法与被称为蒸镀的用于形成有机层的其他方法相比，能够在短时间内以高材料使用效率形成有机层。 

另外，对于利用狭缝式涂布法进行的涂布而言，在不空开时间而连续地实施涂布时，喷嘴内的涂布液依次被替换成新的涂布液，并且来自喷嘴的喷出量被保持为固定值，从而能够形成均匀膜厚的有机层。但是，在实际的有机电致发光器件的制造中，除了利用狭缝式涂布法进行的涂布以外，例如还包括利用蒸镀形成其他层的工序等，这些其他工序的处理时间通常比利用了狭缝式涂布法的涂布工序更长。因此，在利用狭缝式涂布法进行的涂布工序中，每形成规定数目的有机层，就需要适当设定待机时间。 

但是，在该待机时间中，或者涂布液会干燥从而粘度变化，或者涂布液会在喷嘴口与外部气体接触而发生氧化从而粘度、浓度、成分变化，有时会产生液体劣化。这样的话，当经过待机时间后再次开始涂布时，喷出量容易变得不稳定，存在所形成的有机层的膜厚变得不均匀的危险。另外，在待机时间中涂布液会发生氧化而成分发生变性，从而电荷迁移率等电气特性会发生变化，存在有机电致发光器件的发光特性产生偏差的危险。因此，在上述专利文献1所述的制造方法中，在该待机时间中，设为使喷嘴与基板在涂布液的液面接合的状态，由此防止喷嘴中的涂布液干燥。 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1：国际公开WO10/146998号小册子 

发明内容

发明所要解决的问题 

然而，如果这样在液面接合的状态下长时间待机，则液面本身被气氛气所污染，结果会存在喷嘴内部的涂布液被污染的危险。另外，当以静止状态放置涂布液中的有机材料时，与喷嘴内壁接触的涂布液就会析出在喷嘴周缘上，结果会存在喷出量不均、得不到膜厚的均匀性的危险。然而，在不使喷嘴与基板在涂布液的液面接合的情况下，喷嘴中的涂布液干燥，喷嘴的喷出口堵塞，不能进行稳定的涂布。 

本发明是用于解决上述问题的发明，其目的在于，提供能够对因狭缝式喷嘴内的涂布液的干燥和氧化等造成的液体劣化进行抑制的基板涂布方法、基板涂布装置以及使用了该方法的有机电致发光器件的制造方法。 

用于解决问题的手段 

为了解决上述问题，本发明的基板涂布方法的特征在于，其是使用狭缝式喷嘴在基板上涂布涂布液的基板涂布方法，其包括下述工序：第一工序，其是在间歇性地搬送的基板上，由上述狭缝式喷嘴涂布涂布液来形成涂布膜；第二工序，其是在上述第一工序之后，在接下来的基板上不涂布上述涂布液而进行待机；和第三工序，其是在上述第一工序之前，向在上述狭缝式喷嘴的下方位置与上述狭缝式喷嘴的喷出口隔开间隔地配置的辊部喷出上述涂布液，其中，在上述第二工序中，由上述狭缝式喷嘴向上述辊部喷出上述涂布液。 

在上述基板涂布方法中，在上述第二工序中喷出的上述涂布液的量优选少于在上述第三工序中由上述狭缝式喷嘴喷出的上述涂布液的量。 

在上述基板涂布方法中，上述涂布液优选储存于具有内侧收容部和外侧收容部的双重结构的涂布液储存部中的内侧收容部，通过向上述外侧收容部与上述内侧收容部之间注入流体来对上述内侧收容部加压，从而向上述涂布液储存部的外侧送液，在直至由上述狭缝式喷嘴喷出为止的送液的过程中不与外部气体接触。 

在上述基板涂布方法中，优选包括第四工序，上述第四工序是在上述第二工序与上述第三工序之间，对附着在上述狭缝式喷嘴的外表面上的上 述涂布液进行擦拭。 

另外，本发明的有机电致发光器件的制造方法的特征在于，利用上述基板涂布方法来形成构成有机电致发光器件的膜。 

此外，本发明的有机电致发光器件的制造方法的特征在于，在利用上述基板涂布方法形成的涂布膜上，进一步形成构成有机电致发光器件的膜。 

另外，本发明的基板涂布装置的特征在于，其具备：储存涂布液的涂布液储存部；使用狭缝式喷嘴来涂布上述涂布液的涂布部；在上述涂布液不与外部气体接触的情况下从上述涂布液储存部向上述狭缝式喷嘴送液的涂布液送液部；在上述狭缝式喷嘴的下方以滑动自如的方式配置辊部的辊受液部；和在上述狭缝式喷嘴的下方间歇性地搬送基板的基板搬送部，其中，上述涂布部在不向上述基板涂布上述涂布液的待机时间中，向上述辊部喷出上述涂布液。 

在上述基板涂布装置中，上述涂布液储存部优选形成具有内侧收容部和外侧收容部的双重结构，并且上述涂布液储存于内侧收容部，通过向上述外侧收容部与上述内侧收容部之间注入流体来对上述内侧收容部加压，从而向上述涂布液储存部的外侧送液。 

在上述基板涂布装置中，优选具备对附着在上述狭缝式喷嘴的外表面上的涂布液进行擦拭的擦拭部。 

发明效果 

根据本发明，由于在待机时间中，使狭缝式喷嘴内的涂布液适当地循环，所以能够对狭缝式喷嘴内的涂布液的干燥和氧化等液体劣化进行抑制。 

附图说明

图1（a）是实施本发明的第一实施方式的基板涂布方法的基板涂布装置的立体图；图1（b）是上述装置的狭缝式喷嘴和辊部的局部剖视图。 

图2是表示上述装置中的涂布液储存部和狭缝式喷嘴的构成的侧视图。 

图3是表示上述装置中的涂布液的送液路径的图。 

图4（a）是用于说明使用了上述基板涂布方法的基板涂布装置中的第一工序的立体图；图4（b）是上述装置的狭缝式喷嘴和辊部的局部剖视图。 

图5是表示第一实施方式中的基板涂布方法的各工序的图。 

图6（a）是用于说明使用了上述基板涂布方法的基板涂布装置中的第一工序的立体图；图6（b）、（c）是上述装置的狭缝式喷嘴和辊部的局部剖视图。 

图7（a）是用于说明实施上述基板涂布方法的基板涂布装置中的第二工序的立体图；图7（b）是上述装置的狭缝式喷嘴和辊部的局部剖视图。 

图8（a）是用于说明使用了上述基板涂布方法的基板涂布装置中的第二及第三工序的立体图；图8（b）、（c）是上述装置的狭缝式喷嘴和辊部的局部剖视图。 

图9是表示第二实施方式中的基板涂布方法的各工序的图。 

图10（a）～（c）是用于说明使用了上述基板涂布方法的基板涂布装置中的第四工序的立体图。 

图11是表示基板涂布装置中的擦拭部的构成的局部剖视图。 

图12是表示常规的有机电致发光器件的构成的侧剖视图。 

具体实施方式

参照图1～图8对本发明的第一实施方式的基板涂布方法和实施该涂布方法的基板涂布装置进行说明。本实施方式的基板涂布装置1通过涂布来形成构成有机电致发光器件（以下称为有机电致EL器件）的膜。如图1（a）、（b）所示，基板涂布装置1具备：储存涂布液20的涂布液储存部2、涂布涂布液20的涂布部3、在涂布液20不与外部气体接触的情况下送液的涂布液送液部4和以滑动自如的方式配置辊部50的辊受液部5。另外，基板涂布装置1还具备：将涂布中未使用的涂布液20排出的废液罐6（参照后述的图3）和向涂布部3的下方间歇性地搬送基板70（参照后述的图4）的基板搬送部7。此外，基板涂布装置1还具备对涂布部3、涂布液送液部4、辊受液部5和基板搬送部7分别进行驱动控制的控制部（未图示）。作为该控制部，可以对涂布部3、涂布液送液部4、辊受液部5和基板搬送部7分别使用单独的控制部，也可以使用将它们一起驱动控制的控制部。 

涂布部3具备：在下垂方向形成有狭缝状的喷出口30的狭缝式喷嘴31、使狭缝式喷嘴31升降的升降部件33和设置于狭缝式喷嘴31的两端且连结狭缝式喷嘴31与升降部件33的连结部34。连结部34使狭缝式喷嘴31的 长度方向保持水平，并且以相对于升降部件33装卸自如的方式保持该狭缝式喷嘴31。 

狭缝式喷嘴31在喷出口30的上方具备储存规定量的涂布液20的箱状的喷嘴储存部35。在喷嘴储存部35的侧部设置有涂布液20的注入口36。在喷嘴储存部35的底面上，使涂布液20向喷出口30流出的流出槽（未图示）形成为与喷出口30大致相同形状狭缝状。即，当由注入口36供给涂布液20时，向喷嘴储存部35内填充涂布液20，并且当以一定的压力持续供给涂布液20时，涂布液20经由流出槽而从喷出口30喷出。从喷嘴储存部35到喷出口30的外形被构成为向喷出口30侧变尖的倾斜面32。 

升降部件33具备：一对柱状部件37、设置于与柱状部件37对置的面且连结狭缝式喷嘴31的两端的连结部34的垂直导轨部件38和使狭缝式喷嘴31沿着垂直导轨部件38升降的驱动部（未图示）。柱状部件37固定于基板涂布装置1的台座（未图示）上。驱动部根据来自控制部的驱动控制信号而动作，使狭缝式喷嘴31升降移动至任意的高度。 

涂布液送液部4具备：作为涂布液20的送液路的涂布液配管40、从涂布液储存部2抽吸涂布液20而向涂布部3送液的泵41和控制从涂布液配管40流过的涂布液20的流量的多个气动阀（AOV）42。这些涂布液配管40、泵41和AOV42分别形成密封结构，以使涂布液20能够在不与外部气体接触的情况下从涂布液储存部2向涂布部3（狭缝式喷嘴31）送液。 

辊受液部5具备：接受由狭缝式喷嘴31喷出的涂布液20的辊部50、收容辊部50的辊支承部51和使辊支承部51在水平方向上滑动的滑动支承部52。 

使得辊部50具有沿着狭缝式喷嘴31的长度方向的旋转轴，并且被保持在比辊支承部51的底面高的位置。辊部50的表面优选由与涂布液20的接触角小的材料形成。 

辊支承部51在辊部50的上方具有开口部53，经由该开口部53，将由狭缝式喷嘴31喷出的涂布液20涂布于辊部50。另外，辊支承部51的内部形成为能够填充规定量的溶剂的容器部54，在该容器部54中，与涂布液20具有亲和性的溶剂55被填充至其上表面大致与辊部50的下表面相接的位置。此外，在辊支承部51的内部，设置有除去附着在辊部50上的涂布 液20的刮刀56。 

滑动支承部52具备：一对支承部件57、设置于该支承部件57的上表面且连结辊支承部51的水平导轨部件58和使狭缝式喷嘴31沿着垂直导轨部件38升降的驱动部（未图示）。支承部件57以比狭缝式喷嘴31的宽度略宽的间隔配置，在比搬送基板70的基板搬送部7的高度高的位置以滑动自如的方式支撑辊支承部51。支承部件57固定于基板涂布装置1的台座（未图示）。驱动部根据来自控制部的驱动控制信号而动作，使辊支承部51移动至开口部53（辊部50）处于狭缝式喷嘴31的正下方的位置或辊支承部51不妨碍狭缝式喷嘴31的升降移动的位置。 

如图2所示，涂布液储存部2形成具有内侧收容部21和外侧收容部22的双重结构，涂布液20储存于内侧收容部21。内侧收容部21和外侧收容部22的内部分别通过连接阀23确保各自的密封性。内侧收容部21例如使用作为塑料容器的容易因外压而变形的袋状容器。在该内侧收容部21中，密封有例如用于1个月的涂布膜制造的量的涂布液20。外侧收容部22使用具有规定强度的筒状或箱状的容器。连接阀23以不损害内侧收容部21内的密封性的方式，将涂布液配管40与内侧收容部21内连接。经由该连接阀23，空气配管24与外侧收容部22内连接。然后，向外侧收容部22的内部与内侧收容部21的外部之间注入流体（空气），对内侧收容部21加压，由此内侧收容部21的涂布液20被送往涂布液储存部2的外侧。这些内侧收容部21、外侧收容部22和连接阀23优选由卡合盒（cartridge）构成，涂布液20使用完后，通过更换卡合盒，能够容易地向狭缝式喷嘴31一直供给新的涂布液20。 

涂布液20是将用于实现所形成的涂布层的功能的功能材料与使其分散的溶剂等混合而生成的。对于涂布而言，与蒸镀等相比，能够不考虑材料的分子量地使用，用于本实施方式的涂布液20的功能性材料可以使用从低分子材料到高分子材料的各种材料。此外，这里所说的高分子是指具有两个以上重复单元的分子，也包括寡聚物等。 

这里，下述内容示出所制作的涂布层为作为构成有机电致EL器件的膜之一已知的空穴注入/输送层时涂布液20所使用的材料。作为低分子材料，可以使用例如α-NPD（4,4-双[N-（2-萘基）-N-苯基-氨基]联苯、螺-NPB（N,N’- 双[萘-1-基]-N,N’-双[苯基]-9,9-螺双芴）、螺-TAD（2,2’,7,7’-四[N,N-二苯基氨基]-9,9’-螺双芴）、2-TNATA（4,4’,4’’-三[2-萘基苯基氨基]三苯基胺等。另外，也可以使用以国际公开WO2001/49806号或日本特开2006-173550号公报所述的HAT-CN6（1,4,5,8,9,12-六氮杂苯并菲-六腈）等为代表的具有六氮杂苯并菲骨架的衍生物等。此外，作为高分子材料，可以使用P3HT（聚3-己基噻吩）、PEDOT/PSS（聚3,4-亚乙基二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸）、MEH-PPV（聚-[2甲氧基-5-（2-乙基-己氧基）-1,4-亚苯基-撑乙烯）]、聚苯胺、聚吡咯、PVK（聚乙烯咔唑）等。另外，为了提高这些材料的导电性，可以掺杂电子接受性（electron-accepting property）化合物。作为电子接受性化合物没有特别限制，是指日本特开2003-272860号公报所公开的氯化铁、溴化铁、碘化铁、氯化铝、溴化铝、碘化铝、氯化镓、溴化镓、碘化镓、氯化铟、溴化铟、碘化铟、五氯化锑、五氟化砷、三氟化硼等无机化合物或DDQ（二氰基-二氯醌）、TNF（三硝基芴酮）、TCNQ（四氰基醌二甲烷）、F4-TCNQ（四氟-四氰基醌二甲烷）等有机化合物。另外，作为溶剂，可以使用例如水、IPA（异丙醇）、乙酸丁酯、环己醇、乙二醇、丙二醇、氯仿、氯苯、二氯乙烷、DMF（N,N二甲基甲酰胺）、DMSO（二甲基亚砜）等，并且也可以使用将它们适当混合而使粘度、表面能变化后的混合溶剂。 

接着，参照图3对涂布液20的送液路径进行说明。储存于涂布液储存部2的内侧收容部21中的涂布液20被吸入泵41中，并且由泵41施加压力，从涂布液配管40通过而送至狭缝式喷嘴31。此时的涂布液20的流体压力由AOV42控制。滞留在泵41内或狭缝式喷嘴31内的涂布液20的一部分经由废液配管60而作为废液送往废液罐6。另外，由狭缝式喷嘴31喷出到辊部50并流出到辊支承部51的容器部54的涂布液20也经由废液配管60而作为废液送往废液罐6。在上述涂布液20的送液路径中，至少从涂布液储存部2向狭缝式喷嘴31送液涂布液20是以在该过程中涂布液20不与外部气体接触的方式进行的。 

然而，当将涂布液20以其与大气接触的状态长时间保管在储存罐等中时，存在下述危险：或者功能材料氧化，或者溶剂蒸发而使材料浓度变化，其结果是，涂布后的膜厚存在偏差而变得不均匀。另外，在向储存罐等添补涂布液20来使用的现有的方法中，有时涂布液的浓度在储存罐内出现不 均，或者有时旧的涂布液20滞留在储存罐的底部。对此，在本实施方式中，涂布液20保管在可交换的专用的涂布液储存部2中，就从涂布液储存部2到狭缝式喷嘴31的送液路径而言，如上所述与外部气体隔绝。因此，能够防止涂布液20所含的功能材料等氧化。另外，涂布液储存部2被构成为通过对内侧收容部21加压，而使涂布液20向外侧送液，因此能够抑制涂布液20的浓度在内侧收容部21内产生不均，或者抑制滞留旧的涂布液。 

如图4（a）、（b）所示，基板搬送部7沿着设置于基板涂布装置1的台座（未图示）上的导轨（未图示）以滑动自如的方式设置有用于搬送基板70的搬送台71。在搬送台71上设置有滑轮72，该滑轮72载于基板涂布装置1的台座的导轨上，并且使搬送台71与辊支承部51平行地自如滑动。此外，与辊支承部51不同，基板搬送部7通过驱动部（未图示）的牵引，使载置有基板70的搬送台71在一个方向上以一定的速度移动。 

作为基板70，可以使用例如钠玻璃或无碱玻璃等硬性的透明玻璃板，但不限于这些。例如，可以使用聚碳酸酯或聚对苯二甲酸乙二醇酯等挠性的透明塑料板、由Al、铜（Cu）、不锈钢等形成的金属薄膜等任意的基板。 

接着，在上述附图的基础上，参照图5至图8对本实施方式的基板涂布方法进行说明。如图5所示，本实施方式的基板涂布方法依次反复进行以下说明的第一工序、第二工序和第三工序。这些第一工序、第二工序和第三工序并不一定限于以该顺序进行，只要第二工序在第一工序之后且第三工序在第一工序之前进行就行，例如可以在第二工序与第三工序之间，进行与它们不同的其他工序。 

这里，第一工序是在间歇性地搬送的基板70上由狭缝式喷嘴31涂布涂布液20来形成涂布膜的工序。第二工序是不在基板70上涂布涂布液20而进行待机的工序。第三工序是向在狭缝式喷嘴31的下方位置与狭缝式喷嘴31的喷出口30隔开间隔地配置的辊部50喷出涂布液20的工序。而且，在第二工序中，由狭缝式喷嘴31向辊部50喷出涂布液20。上述第二工序中的喷出优选每隔规定时间间歇性地进行，但根据待机时间的长度或涂布液20的性质等也可以仅进行1次。 

分别对上述第一工序、第二工序和第三工序进行更详细的说明。这里，对如图5所示的从第三工序开始的涂布方法进行说明。 

在第三工序中，如图1（a）、（b）所示，首先，辊部50和支撑该辊部50的辊支承部51配置在狭缝式喷嘴31的正下方。然后，涂布液20在不与外部气体接触的情况下从涂布液储存部2经由涂布液送液部4（泵41）注入到喷嘴储存部35。如图所示，在注入口36设置在喷嘴储存部35的长度方向的中央附近时，在注入初期，涂布液20滞留在喷嘴储存部35内的中央附近，因此喷出口30的中央附近的涂布液20的喷出量增多，两端侧的喷出量减少。但是，当持续地向喷嘴储存部35内填充涂布液20并且向辊部50的喷出持续规定时间时，能够使涂布液20的喷出量沿着喷出口30长度方向变得均匀。此外，这里所说的规定时间随着涂布液20的浓度或注入涂布液20的压力、温度等的不同而不同。该第三工序为使来自喷出口30的喷出量均匀化的处理，该处理被称为底涂（priming），接受喷出的涂布液20的辊部50被称为底涂辊。由此操作，第三工序结束，然后立刻进行第一工序。 

在第一工序中，如图4（a）、（b）所示，基板70被基板搬送部7搬送至狭缝式喷嘴31的正下方，并且使辊部50和支撑该辊部50的辊支承部51滑动移动至不妨碍狭缝式喷嘴31的升降移动的位置。此外，基板70也可以已在第三工序中被搬送了（在图1（a）中未图示）。接着，如图6（a）、（b）所示，升降部件33以狭缝式喷嘴31的喷出口30与略微隔开距离的位置接近的方式，使狭缝式喷嘴31下降。然后，由狭缝式喷嘴31在基板70上涂布涂布液20。此时，由狭缝式喷嘴31的喷出口30涂布的涂布液20通过第三工序而沿着喷出口30的长度方向均匀地涂布，因此能够直线状地形成基板70上的涂布膜20’的端面。 

在基板70上涂布涂布液20的同时，如图6（c）所示，基板搬送部7使基板70以一定的速度移动。此时，从涂布部3以一定的涂布量涂布涂布液20。由此，在基板70上形成具有均匀厚度的涂布膜20’。由此操作，第一工序结束。 

如上述第一工序那样，当以在狭缝式喷嘴31与基板70之间设置间隙的状态使基板70相对于狭缝式喷嘴31相对地移动来进行涂布时，与固定狭缝式喷嘴31而移动基板70的情况相比，更容易制作均匀的涂布膜。这是因为，当移动狭缝式喷嘴31时，因振动而使喷出量变得不稳定，难以得 到均匀的膜厚的缘故。此外，在基板70的尺寸大时，使基板70移动的基板搬送部7变得大型化，反而移动狭缝式喷嘴31来进行涂布较为合适。 

当规定次数的向基板70涂布涂布液20结束时，停止从喷出口30喷出涂布液20。然后，移至不在基板70上涂布涂布液20而进行待机的第二工序。制造有机电致EL器件的工序包括形成有机层的工序和形成阴极层的工序等，并且如图12所示，常规的有机层由多个膜形成，因此需要形成这些多个膜的工序。本实施方式的基板涂布方法也被用作形成这种膜的一个（或多个）工序。然而，根据有机层的种类等，有时不适于涂布，还有时适于蒸镀等其他的膜形成方法，这些其他的膜形成方法的所需要的时间分别不同。例如，在利用本实施方式的基板涂布方法形成有机电致EL器件的空穴输送层后在其上通过蒸镀形成发光层时，通常蒸镀需要涂布以上的时间，因此需要使在蒸镀之前进行的涂布工序待机规定时间。第二工序相当于该待机时间。 

在第二工序中，首先，如图7（a）（b）所示，升降部件33使狭缝式喷嘴31上升，以使得狭缝式喷嘴31的喷出口30位于比辊部50和辊支承部51的上表面略微高的位置。然后，如图8（a）、（b）所示，使辊部50和支撑该辊部50的辊支承部51滑动至狭缝式喷嘴31的正下方。并且，如图8（c）所示，将涂布液20从狭缝式喷嘴31的喷出口30喷出至辊部50。该喷出在第二工序的期间不是持续进行的，而是如图5所示每隔规定时间间歇性地进行的。 

这样，在作为待机时间的第二工序中，当由狭缝式喷嘴31向辊部50间歇性地喷出涂布液20时，将涂布液20适当地循环，因此能够抑制狭缝式喷嘴31内的涂布液20的干燥。另外，能够防止涂布液20中的功能材料析出在狭缝式喷嘴31的喷出口30周边而发生变性等。 

第二工序中的涂布液20的喷出根据待机时间的长短或涂布液20的性质等而以适当的频度进行。该频度过多时，浪费涂布液20，而过少时，无法抑制狭缝式喷嘴31的干燥。就该频度而言，考虑环境温度、涂布液的粘度等，设定最合适的次数。例如，在温度为23～27℃、粘度为1～10cP时，希望频度为5～10次/小时。此外，在图例中，示出了在一次第2工序的期间进行三次喷出的情况，但不限于此，如上所述，也可以仅进行一次喷出。 

另外，在第二工序中喷出的涂布液20的量优选少于在第三工序中由狭缝式喷嘴31喷出的涂布液20的量。第三工序作为在即将向基板70涂布之前进行的空转（dummy）涂布起作用，因此需要喷出一定程度多的涂布液20。对此，第二工序中的涂布液20的喷出只要以能够抑制狭缝式喷嘴31的干燥的程度使涂布液20循环就行，因此与第三工序相比少量即可。另外，在第二工序中，多次喷出涂布液20，因此如果减少每一次的涂布液20的量，就能够削减所废弃的涂布液20，抑制浪费。 

如上所述，根据本实施方式的基板涂布方法，在基板涂布的工序中，即使在有待机时间的情况下，也能够抑制狭缝式喷嘴31的干燥，在基板70涂布涂布液20时，经能够一直向狭缝式喷嘴31供给新的涂布液20。其结果是，能够在不发生因涂布液20的氧化等造成的液体劣化情况下制作所需的涂布膜。另外，即使在使用该基板涂布方法以及实施该方法的基板涂布装置来形成构成有机电致EL器件的膜的情况下，也能够制作所需的涂布膜，从而能够制作可靠性高的有机电致EL器件。 

本实施方式的基板涂布方法能够特别适合用于形成有机电致EL器件的基板70上的第1层的有机膜。基板70通常使用带有透明电极（阳极层111）的基板，因此这里优选用于形成如图12所示的空穴注入层121、空穴输送层122。这样的话，如上所述，即使在基板70上存在微粒子的情况下，也能够用涂布膜覆盖该微粒子，防止对置电极短路。另外，也能够用涂布膜使基板本身的凹凸和阳极层111的表面的微细的凹凸平坦化。 

另外，在利用本实施方式的基板涂布方法而形成的涂布膜上，还可以进一步形成构成有机电致EL器件的膜。这可以适用于例如下述工艺：通过本实施方式的基板涂布方法形成包含高分子材料的有机层，然后用蒸镀的方法形成包含低分子材料的有机层，制造混合型的有机电致EL器件。这样，叠层多层有机层时，各层的功能分离变得容易，能够提高亮度、寿命得到了改善的有机电致EL器件的设计自由度。 

接着，参照图9～图11，对本发明的第二实施方式的基板涂布方法和实施该方法的基板涂布装置进行说明。如图9所示，本实施方式的基板涂布方法在第二工序与第三工序之间，包括对附着于狭缝式喷嘴31的外表面上的涂布液20进行擦拭的第四工序。如图10（a）～（c）所示，使用了该 基板涂布方法的基板涂布装置1具备用于对附着于狭缝式喷嘴31的外表面上的涂布液20进行擦拭的擦拭部8。擦拭部8被构成为沿着设置在辊支承部51的上表面上的滑动导轨81而在沿着狭缝式喷嘴31的长度方向的方向上自如滑动。如图示，擦拭部8的沿着狭缝式喷嘴31的长度方向的方向的宽度以与连结部34的宽度大致相同的宽度形成。这样，当擦拭部8位于连结部34的正下方时，即使在辊支承部51滑动的情况下，也能够防止擦拭部8与狭缝式喷嘴31接触。 

如图11所示，擦拭部8具备：与狭缝式喷嘴31的喷出口30抵接且擦拭该喷出口30周缘的擦拭部件82、保持该擦拭部件82的一对块体83和保持它们的板84。擦拭部件82由海绵或橡胶等构成。块体83具有与狭缝式喷嘴31的倾斜面32大致平行的倾斜面85，并且设置有用于供给清洗液的开口86。板84以相对于设置于辊支承部51的上表面上的滑动导轨81滑动自如的方式设置。清洗狭缝式喷嘴31后的清洗液优选排出到辊支承部51内的容器部54。 

参照上述图10（a）～（c），对这样构成的擦拭部8的动作进行说明。首先，在第二工序（待机时间）中，如图10（a）所示，辊支承部51以辊部50位于狭缝式喷嘴31的正下方的方式配置。因此，第二工序结束而移至第四工序时，首先，如图10（b）所示，以滑动导轨81位于狭缝式喷嘴31的正下方的方式，使辊支承部51滑动。然后，如图10（c）所示，使擦拭部8沿着滑动导轨81滑动，使擦拭部件82（图11参照）刮狭缝式喷嘴31的喷出口30，由此擦拭喷出口30的周缘的涂布液20。 

此外，也可以在第二工序后，进行第四工序，并且在不进行第三工序的情况下进行第一工序。另外，也可以在第三工序之后且第一工序之前，进行第四工序。这是为了预防由于残留于狭缝式喷嘴31的喷出口30附近的涂布液20的影响而使涂布膜变得不均匀以及由于与狭缝式喷嘴31内的涂布液20混合而使涂布液20被污染的原因，可以适当进行第四工序。 

另外，本发明不限于上述的实施方式，可以进行各种变形。对上述的涂布部3、涂布液送液部4、辊受液部5和基板搬送部7等分别进行驱动控制的控制部（未图示）基于规定的软件进行动作，并且基板涂布装置1具备用于输入涂布液20的种类、制作的涂布膜的尺寸、数量等的操作部（未 图示）。上述软件是以根据由操作部输入的操作信息而使涂布部3、涂布液送液部4等的驱动最优化的方式来构建的。 

符号说明 

1    基板涂布装置 

2    涂布液储存部 

21   内侧收容部 

22   外侧收容部 

3    涂布部 

30   喷出口 

31   狭缝式喷嘴 

4    涂布液送液部 

5    辊受液部 

50   辊部 

7    基板搬送部 

70   基板 

8    擦拭部 。

Claims (9)

1.一种基板涂布方法，其特征在于，其是使用狭缝式喷嘴在基板上涂布涂布液的基板涂布方法，其包括下述工序：

第一工序，其是在间歇性地搬送的基板上，由所述狭缝式喷嘴涂布涂布液来形成涂布膜；

第二工序，其是在所述第一工序之后，在接下来的基板上不涂布所述涂布液而进行待机；和

第三工序，其是在所述第一工序之前，向在所述狭缝式喷嘴的下方位置与所述狭缝式喷嘴的喷出口隔开间隔地配置的辊部喷出所述涂布液，

其中，在所述第二工序中，由所述狭缝式喷嘴向所述辊部喷出所述涂布液。

2.根据权利要求1所述的基板涂布方法，其特征在于，在所述第二工序中喷出的所述涂布液的量少于在所述第三工序中由所述狭缝式喷嘴喷出的所述涂布液的量。

3.根据权利要求1或2所述的基板涂布方法，其特征在于，所述涂布液储存于具有内侧收容部和外侧收容部的双重结构的涂布液储存部中的内侧收容部，通过向所述外侧收容部与所述内侧收容部之间注入流体来对所述内侧收容部加压，从而向所述涂布液储存部的外侧送液，在直至由所述狭缝式喷嘴喷出为止的送液的过程中不与外部气体接触。

4.根据权利要求1～3中任一项所述基板涂布方法，其特征在于，其包括第四工序，所述第四工序是在所述第二工序与所述第三工序之间，对附着在所述狭缝式喷嘴的外表面上的所述涂布液进行擦拭。

5.一种有机电致发光器件的制造方法，其特征在于，利用权利要求1～4中任一项所述的基板涂布方法来形成构成有机电致发光器件的膜。

6.一种有机电致发光器件的制造方法，其特征在于，在利用权利要求1～5中任一项所述的基板涂布方法形成的涂布膜上，进一步形成构成有机电致发光器件的膜。

7.一种基板涂布装置，其特征在于，其具备：

储存涂布液的涂布液储存部；

使用狭缝式喷嘴来涂布所述涂布液的涂布部；

在所述涂布液不与外部气体接触的情况下从所述涂布液储存部向所述狭缝式喷嘴送液的涂布液送液部；

在所述狭缝式喷嘴的下方以滑动自如的方式配置辊部的辊受液部；和

在所述狭缝式喷嘴的下方间歇性地搬送基板的基板搬送部，

其中，所述涂布部在不向所述基板涂布所述涂布液的待机时间中，向所述辊部喷出所述涂布液。

8.根据权利要求7所述的基板涂布装置，其特征在于，所述涂布液储存部形成具有内侧收容部和外侧收容部的双重结构，并且所述涂布液储存于内侧收容部，

通过向所述外侧收容部与所述内侧收容部之间注入流体来对所述内侧收容部加压，从而向所述涂布液储存部的外侧送液。

9.根据权利要求7或8所述的基板涂布装置，其特征在于，其具备对附着在所述狭缝式喷嘴的外表面上的涂布液进行擦拭的擦拭部。

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