CN103424181A - 具有集成的传感器单元的载体元件 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种具有至少一个传感器单元（11）的传感器装置（10），所述传感器单元设置在载体元件（14）中并且包括与压电致动器（16）连接的能振动的膜片（12），其中，所述膜片（12）形锁合地作为单独的组成部件或纤维垫（40）集成在所述载体元件（14）中并且在所述膜片（12）的能振动的区域（26）上贴靠着阻尼材料（24）。此外，本发明涉及用于制造所述传感器装置的方法以及该传感器装置用于车辆中的距离测量的应用。

Description

具有集成的传感器单元的载体元件

技术领域

本发明涉及一种具有至少一个传感器单元的传感器装置，其设置在载体元件中并且包括与压电致动器连接的能振动的膜片。此外，本发明涉及一种用于制造这类传感器装置的方法以及用于机动车中的距离测量的应用。

背景技术

现今的车辆配有驾驶辅助系统，其在车辆的操作时辅助驾驶员。这类驾驶辅助系统典型地包括环境传感机构，所述环境传感机构监视车辆的周围环境，以便例如选择表示在行车道上的潜在的障碍物的对象。为了监视在近区域内的周围环境，通常使用超声波传感器，所述超声波传感器确定对象和其至机动车的距离。在此，超声波传感器经常安置在车辆的保险杠中。

由DE102008018110A1已知一种超声波传感器，其包括压电陶瓷元件，所述压电陶瓷元件应用在保险杠中或直接在保险杠后。通过这种方式，保险杠可以通过压电陶瓷元件激励发送超声波或接收到达的超声波信号。

在DE10039060A1中说明在保险杠中安置超声波传感器的另一种可能性。在那里，超声波换能器设有去耦环并且用在保险杠中的留空内。留空此外，超声波传感器在其朝向保险杠的侧上覆盖有由薄膜制成的掩盖物，以便使保险杠的振动到传感器单元上的传递最小化并且同时在保险杠中尽可能不可见地设置传感器。由US2009/0223296A1已知所述类型的另一构型。在此，将具有抑制的固定结构的超声波传感器嵌入保险杠的贯通孔中。DE102010025194描述另一装置，在制造保险杠时将预制的超声波传感器注入所述另一装置中。超声波传感器在此由膜片和膜致动器构成，它们膜片由外壳层包围。

已知的传感器系统的缺点是，保险杠的最外层——大多是漆层在超声波传感器的范围内更弱并且因此可能容易被损坏。因此，尤其是传感器所嵌入的留空的区域和在留空和传感器之间的轮廓是显著的薄弱部位，其中可能导致裂纹形成。这类损坏损害保险杠的外观并且让以前不可见的超声波传感器重现。已知的装置的另一个缺点在于，传感器单元必须已经在被引入到保险杠中之前已经完全生产，并且传感器单元经常复杂地构造。此外，这种传感器系统的制造是耗费的，并且对于不同应用的适配只能是有条件地进行。因此，持续的兴趣在于，为不可见地设置在保险杠中的传感器找到简单的和灵活的解决方案，而不损害其功能。

发明内容

根据本发明，提出具有至少一个传感器单元的传感器装置，所述传感器单元设置在载体元件中并且包括与压电致动器连接的能振动的膜片，其中膜片形锁合地作为单独的组成部件或以纤维垫的形式集成在载体元件中并且在膜片的能振动的区域上贴靠着阻尼材料。

在本发明的范围内，“形锁合地集成”表示在没有附加的机械的或粘附的固定装置如粘合剂、夹子或螺钉的情况下，膜片埋入载体元件中。因此，膜片与载体元件直接接触并且优选在载体元件的制造中，例如在注射中埋入载体元件中。

纤维垫包括有序和/或无序地在至少一种扁平构成物中的纤维，其中所述至少一种扁平构成物优选埋入载体元件中。进一步优选地，在载体元件具有减小的壁厚的区域中设置纤维垫。因此，载体元件的、在壁厚方面减小的、其中集成有纤维垫的区域可以构成膜片的能振动的区域。减小的区域在此可以具有数百微米至几毫米的厚度。

膜片的能振动的区域表示以下区域：在该区域中膜片在接收或发送波时、尤其是在接收或发送超声波时振动。膜片的一个面优选朝向周围环境，传感器装置可以从该周围环境中接收波或传感器装置可以发送波到该周围环境中。阻尼材料贴靠在膜片的相反的面上，其中该相反的面背离所述的、传感器装置可以从中接收波或传感器装置可以发送波到其中的周围环境。因此，阻尼材料在一侧在能振动的区域中邻接该膜片。

载体元件可以包括车辆上的部件——例如塑料部件，该部件朝向车辆的内室或周围环境。所述部件可以是例如外部的车身外壳的部分。其例子是保险杠、保险杠条、门保护条、侧面保护条、阻流板、号牌框、门把或外后视镜壳体。集成在这些位于外部的部件中，根据本发明的传感器装置例如可以被用作用于检测车辆的周围环境的距离传感器。替代地，集成在传感器装置中的部件可以位于车辆内室中。这类部件的例子是车辆内室中的仪表盘和内饰。在此构型中，根据本发明的传感器装置例如可以被用作运动传感器，用于监视内室。

此外，载体元件可以由能注射的塑料制作，所述能注射的塑料典型地使用在车辆构造或车身构造中并且在注射方法的范围内被处理。其例子是丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物树脂（ABS）、聚丙烯（PP）、聚乙烯（PE）或聚芳醚酮（PAEK）、尤其是聚醚醚酮（PEEK）。

如果膜片作为单独的组成部件集成在载体元件中，则膜片和载体元件优选由不同的材料制作。尤其是膜片可以由比载体元件的材料具有更高的刚性的材料制作。如果膜片以纤维垫的形式集成在载体元件中，则载体元件的其中埋入有纤维垫的区域优选具有更高的刚性。在此，“刚性”描述一个主体的抵抗通过力或转矩引起的变形的能力并且典型地通过弹性模量定义。更高的刚性在此相应于更高的弹性模量。

因此，载体元件由塑料——如具有在数千兆帕的范围内的弹性模量的丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物树脂（ABS）制作。与此相比，膜片的材料或载体元件在纤维垫的范围内具有优选是用于载体元件的材料的相应的弹性模量的优选至少五倍并且特别是至少十倍的弹性模量。

作为单独的组成部件的膜片可以由例如基于纤维的塑料——如纤维增强的塑料或金属——如铝制作。纤维塑料复合物——如玻璃纤维增强的塑料、碳纤维增强的塑料、金属纤维增强的塑料、芳族聚酰胺纤维增强的塑料、芳族聚酰胺纤维复合物或它们的组合尤其适合用于膜片。单独构造的膜片也可以多层地构造。例如，膜片在至少两个覆盖层之间具有至少一个核心层。核心层在此优选具有比覆盖层更高的刚性，与此相反，覆盖层具有更高的强度。覆盖层的强度在此尤其是通过与核心层相比更大的冲击韧性确定。这类膜片可以具有数百微米至数毫米的厚度。

在本发明的备选实施方案中，膜片通过在载体元件中埋入纤维垫来构成。纤维垫可以包括具有有序的和/或无序的纤维的至少一种扁平构成物，所述纤维包含在织物、多轴网格布（Multiaxialgelege）、编织物、精切物（Feinschnitt）、间距织物、针织物、网格布（Gelege）、纤维垫、毛毡或无纺布中。优选的是织物。纤维可以是具有长度为0.1mm至1mm的短纤维、具有长度为1mm至50mm的长纤维和/或环状纤维。纤维垫在此可以具有在1微米和500微米之间、优选在7微米和150微米之间的厚度。

在本发明的范围内使用的纤维优选具有高的强度，以便提高膜片的刚性。其中合成纤维——如聚乙烯纤维、玻璃纤维、碳纤维、陶瓷纤维、芳族聚酰胺纤维、矿物纤维、尤其是玄武岩纤维或一个或多个这些纤维的任意组合提供所述特性。此外，纤维垫的纤维可以具有相同的或不同的尺寸。因此，纤维的长度和/或横截面可以变化。

优选地，载体元件通过注射制造并且预制的作为单独的组成部件的膜片或纤维垫在注射过程期间作为置入物被注射在载体元件中。由此，作为单独的组成部件的膜片或纤维垫直接由能注射的塑料围绕压力注射并且因此直接集成在载体元件中。在此，膜片作为单独的组成部件优选如此埋入载体元件中，使得膜片与载体元件齐平地终止。膜片作为单独的组成部件和载体元件优选构成平面。替代地，膜片可以用作视觉的构型元件并且例如相对于载体元件的面向前或向后错开。

如果膜片形锁合地作为单独的组成部件集成在载体元件中，则还可以将一个阻尼层引入膜片和载体元件之间。尤其是阻尼层可以连同膜片一起在载体元件的注射期间引入到载体元件中。阻尼层优选包括具有比膜片更小的刚性并且必要时比载体元件更小的刚性的材料，以便减小膜片和载体元件之间的声传输。

此外，在载体元件中可以设置至少一个留空、优选贯通的留空或载体元件中具有减小的厚度的区域，该留空限定膜片的能振动的区域。例如，膜片作为单独的组成部件可以比留空的尺寸定得更大并且因此构成一个不能振动的、同样与载体元件齐平地终止的区域。

此外，在膜片的能振动的区域内，尤其在载体元件的留空或具有减小的厚度的区域内引入阻尼材料，所述阻尼材料能够完全地或至少部分地填充留空或具有减小的厚度的区域。优选如此选择阻尼材料，使得膜片的动能转化为热量。橡胶——例如天然橡胶、聚烯烃橡胶如乙丙橡胶、聚异丁烯橡胶、丁基橡胶或乙烯-醋酸乙烯酯橡胶、聚二烯——例如丁二烯橡胶、丁苯橡胶、聚丁二烯、聚异戊二烯、聚氯丁二烯、丁腈橡胶或硅橡胶、聚硅氧烷例如硅氧烷弹性体或硅氧烷树脂、聚合体泡沫例如聚氨酯（PUR）软质泡沫、PUR硬泡沫、发泡丁腈橡胶或发泡酚醛塑料或这些的组合适合用于阻尼材料。优选地，多组分泡沫——例如至少两种组分的室温硫化的硅基泡沫用作阻尼材料。

在根据本发明的传感器装置的另一实现中，被构造为单独的组成部件的膜片包括伸入载体元件的至少一个锚定元件。这类锚定元件可以直接在一个邻接留空的区域中伸入载体元件中。附加地或替代地，锚定元件可以设置在以下区域中：在所述区域中膜片伸出超过留空的区域。

此外，为了连接根据本发明的传感器装置到电子单元——例如控制设备、信号发生器或电压源上，可以设置保持装置，所述保持装置集成到膜片或载体元件中或被单独地构造。对于集成到膜片中的保持装置，可以在膜片上构造接片，所述接片从膜片沿着优选贯通的留空伸入载体元件的从外部不可见的背面部分中。对于集成在载体元件中的保持装置，可以在载体元件的能振动的区域中构造接片，所述接片伸入载体元件的从外部不可见的背面部分中。单独构造的保持装置可以固定在载体元件的从外部不可见的背面的部分中、优选邻近载体元件中的贯通的留空或具有减小的厚度的区域。

压电致动器可以直接或间接地连接到电子单元。例如，两根导线可以从压电致动器引导至电子单元，以便实现间接的连接。替代地，可以直接电触点接通金属的或金属化的膜片。因此，例如可以通过导电性的粘合剂建立压电致动器和膜片之间的直接接触。还能够改变压电致动器的电接触，其中两根导线施加在压电表面的一侧上。此外，屏蔽壳体可以引入载体元件中的留空内或具有减小的厚度的区域中，所述屏蔽壳体不与膜片的能振动的区域接触，以便不损害振动。

在根据本发明的传感器装置的另一实现中，载体元件包括加强装置，所述加强装置包围膜片或被构造为膜片的区域。因此，例如金属织物可以埋入载体元件中，以便给予在膜片区域内的载体元件更好的稳定性。

此外，本发明的主题是用于制造上述传感器装置的方法，具有以下步骤：

a）提供作为单独的组成部件的膜片或纤维垫；

b）将膜片或纤维垫作为置入物由载体元件的注射注射入载体元件中；

c）引入其他的用于运行传感器单元的装置；

d）将阻尼材料引入膜片的能振动的区域中。

在此，用于运行传感器单元的装置可以包括至少一个压电致动器以及用于传感器单元的电连接的装置——例如保持装置。优选在注射过程中、在载体元件中构造至少一个留空，由此定义膜片的能振动的区域。由此，载体元件除了膜片或纤维垫以外，与传感器单元的其他部分无关地被制造，这能够实现制造过程中更高的灵活性。

先前描述的传感器装置优选在车辆部件中用作载体元件。在这种配置中，根据本发明的传感器装置进一步优选地用于车辆中的距离测量并且因此可以向上一级的单元——如驾驶辅助系统提供距离数据。

本发明的优点

本发明提供稳健的和灵活的解决方案，以便在载体元件中、尤其在车辆上的部件中不可见地集成传感器单元。此外，使得可以简单和成本有利地制造简单的结构、功能齐全的传感器单元。

通过载体元件与作为单独的组成部件构造的膜片的间接连接或通过纤维垫的引入，避免零件之间的可见的接缝。因此，尤其是在分层的部件——例如喷漆的保险杠中不产生易于受到损害并且倾向于裂纹形成的薄弱部位。附加地，这类构型可以容易地生产并且允许足够的灵活性，以便在载体元件的生产之后，对于相应的应用适配传感器单元。

因为膜片作为单独的组成部件设置在传感器装置中或通过将纤维垫引入较小厚度的区域中来构造，所以可以专门地适配膜片的特征。例如，可以通过单独构造的膜片或纤维垫的材料选择和几何形状、对相应的应用适配作为超声波传感器运行的传感器单元的谐振频率。能振动的区域中的阻尼材料的选择还影响膜片的谐振频率和偏转并且可以在载体元件-膜片复合体的制造之后被相应地适配，所述膜片的谐振频率和偏转确定声压并且因此还确定传感器单元的带宽。此外，通过在膜片的能振动的区域内设置的阻尼材料来支持传感器单元的功能，其方式是，从外部抑制干扰。通过这种方式，对于根据本发明的传感器装置的功能性和视觉效果可以获得最佳结果。

此外，能够简单地实现根据本发明的传感器装置的传感器单元的电连接。因此，可以根据应用和传感器单元电连接到的周围环境灵活地设计导线导向和导线的数量。其他的措施——如膜片的金属化或屏蔽壳体的提供允许系统的电屏蔽并且由此降低电干扰的发生。

在周围环境影响——例如温度波动时，可以通过协调的材料选择来优化载体元件和单独地或通过纤维垫实现的膜片之间的相互作用。例如，可以选择更刚性的材料用于膜片，其中刚性仅仅有很小的由于温度变化引起的波动。尤其在受到很强的周围环境影响的载体元件——如保险杠中，膜片中的锚定元件或载体元件中的加强装置可以提供额外的稳定性。

根据本发明的传感器装置的构造提供待简单制造的和在明确的结构中很灵活的解决方案，其也能够在载体元件的制造之后容易地改动。这类传感器装置使用在不同的应用中并且根据本发明的传感器装置使得在制造过程期间进行成本有利的和简单的适配成为可能。

附图说明

在附图中示出并且在随后的描述中详细解释本发明的实施例。

示出：

图1：根据本发明的、集成在保险杠中的传感器装置的一个构型的示意图，

图2：具有单独地构造的膜片的根据本发明的传感器装置的另一个构型的示意图，

图3：具有集成在膜片中的保持装置的根据本发明的传感器装置的另一个构型，

图4：具有与膜片无关的保持装置的根据本发明的传感器装置的另一个构型，

图5：具有电子屏蔽和环加强装置的根据本发明的传感器装置的另一个构型，

图6：说明用于制造根据本发明的传感器装置的方法的过程的流程图。

具体实施方式

图1示出传感器装置10，其中传感器单元11构成保险杠14的部分。在此，传感器单元11被实现为具有膜片12和压电致动器16的超声波换能器。此外，膜片12通过保险杠14本身构成，其方式是，保险杠14在传感器单元11的区域中构造为具有较小的壁厚20并且在此区域中埋入纤维垫40。纤维垫40优选在保险杠14的注射期间埋入此保险杠。纤维垫在此可以设置在留空32的区域中或边缘延伸超出此区域，所述留空通过载体元件的较小的壁厚度形成。由此可以更强地构型膜片12的区域并且可适配传感器单元的典型参量，如谐振频率。为了发送和/或接收超声波信号，压电致动器16直接与用作膜片12的保险杠14连接。如果压电致动器16通过信号线路22施加有相应的信号，则膜片12开始振动并且超声波被发送。如果在相反的情况下，在接收超声波信号时膜片12开始振动，则压电致动器16探测电压变化。因此，传感器装置10不仅可以用于发送超声波信号，而且可以用于接收超声波信号。

图2示出根据本发明的传感器装置10的示例性的实施方式。在此，传感器装置11集成在载体元件14中、例如在保险杠中。传感器单元11包括一个膜片12和一个压电致动器16，其中膜片12作为单独的组成部件直接形锁合地集成到载体元件14中，所述载体元件典型地由塑料材料如ABS制作。为此，膜片12作为例如由纤维增强的塑料组成的预生产的单独的组成部件被提供并且在载体元件14的制造中在注射过程期间作为置入物注射入载体元件14中。因此，膜片12直接由载体元件14的注射材料围绕压力注射并且形锁合地埋入载体元件14中。

对于根据本发明的传感器装置10，由比载体元件14更刚性的材料制成膜片12。例如纤维塑料复合物适合于此，所述纤维塑料复合物可以借助玻璃纤维、碳纤维、芳族聚酰胺纤维或金属纤维增强。替代地，膜片12也可以由金属如铝制作。借助用于膜片12的材料选择，例如可以适配膜片12的刚度并且因此适配谐振频率。因此，膜片12的以几次幂增加的刚度导致传感器单元更高的谐振频率。附加地，塑料纤维复合体的优点是，刚度仅仅很少与温度相关或比纯塑料的情况下更少地与温度相关。

膜片12与载体元件14的前边缘齐平地定位，以便构成尽可能平整的和视觉上无暇的面。替代地，也可以在膜片中设置不平整性，所述不平整性能够实现特别的方向特性，例如凸面或凹面的方向特性。在膜片12的背面上设置压电致动器16，其中膜片12的所述背面背离与所述载体元件14齐平的面：在此区域中，在载体元件14内设置留空32。因此，在留空32的区域26内膜片12能振动。为防止对载体元件14的内侧——即朝向压电致动器16的侧的可能的干扰，阻尼材料24引入留空32中。可能的阻尼材料24是多组分的硅基泡沫。为了传感器单元11的电压馈电，线缆22由压电致动器16通过阻尼材料24引导至载体元件24的不可见的背面部分中，在那实现与其他电子设备的电连接（未示出）。

在图1所示的实施方式中，膜片12包括能振动的区域26以及用于在载体元件14中的进一步固定的锚定区28，在所述能振动的区域内设置压电致动器16。为此，膜片12的伸长比留空32的伸长更大并且在锚定区28中，其他的锚定元件30伸入载体元件14中。锚定区28和锚定元件30优选环状地沿着优选圆形或椭圆形的膜片12的整个周边延伸。

图3示出与图2相似的传感器装置，其附加地包括保持装置32。保持装置32使得阻尼材料24到留空32中的导入和用于控制和监视传感器单元11的电子设备的固定变得容易。保持装置32在图3中所示的实施方式中与膜片12一体地构造。其优点是，可以直接在保险杠14的注射期间引入包括保持装置32的膜片12。因此不需要其他的步骤来提供保持装置。

图4中示出用于实现保持装置34的另一种可能性。在此，保持装置与膜片12无关地设置在载体元件14的不可见的背侧上。尤其是保持装置32可以实现为肘形零件，所述肘形零件加长了留空32并且借助弯曲的部分固定在载体元件14上。

可以以不同的方式实现压电陶瓷16的电连接和传感器单元11的电压馈电。在最简单的如在图2至4所示那样的实施方式中，实现压电陶瓷16的无源连接。在此，两根屏蔽导线22由压电陶瓷16引导至例如驾驶辅助系统的控制设备（未示出）。由此可以集中分析处理电子设备并且节省成本。

如果屏蔽是必要的，如果膜片12不是由金属制作则膜片12可被金属化并且例如通过导电性的粘结剂被电触点接通。金属的或金属化的膜片12可以在此实施结构中被直接电触点接通，由此可以节省至压电致动器16的至少一个导线22。作为用于屏蔽的其他措施，壳体38可以引入载体元件14的留空32中，所述壳体阻止干扰。在所示的实施方式中，将壳体38沿着留空32的边缘引导至压电致动器16，以便实现最佳屏蔽。此外，所述屏蔽不与膜片12或其能振动的区域26连接，以便不损害振动。

图5示出根据本发明的传感器装置10的进一步实现，其基本上相应于图3中所示的装置。与图2不同，传感器装置10包括一个环形的加强装置36，该加强装置可以紧邻膜片12或可以至膜片12有一段距离地设置。例如金属织物适合用作环形加强装置36，所述金属织物同样在注射期间被注入载体元件14。这类金属织物在温度变化的情况下保护传感器装置10免受破坏。因此，载体元件14可以例如在日射的情况下以与膜片12不同的膨胀系数膨胀。这可能导致膜片12与载体元件14之间的接口上的应力，其最后导致漆破坏或裂纹并且负面地影响载体元件的外观。载体元件14中的环加强装置36提供进一步的保护，以便避免这样的损害。

图3至5中所示的、膜片12作为单独的组成部件集成在载体元件14中的实施方式可以与图1中所示的实施方式相同的方式实现。因此，如图3至5中所示那样，保持装置34尤其是还可以在以下实施方式中设置：在该实施方式中膜片12通过区域26中的纤维垫40而具有更小的壁厚20。

图6示出说明用于制造根据本发明的传感器装置10的方法的过程的流程图60。

在步骤62中，首先提供一个膜片12或一个纤维垫40，其根据应用情况在载体元件14的制造之前以合适的形状和由合适的材料被生产。在步骤64中，载体元件14通过注射被注射到一个给定的模具中。已被预生产的膜片12或纤维垫40在注射过程期间作为置入物由注射材料直接压力注射包覆并且因此形锁合地集成在载体元件14中。

在具有集成的膜片12或集成的纤维垫40的载体元件14制造之后，对传感器单元11设置其他的装置（步骤66），所述其他的装置对于传感器单元11的运行是必要的。例如首先建立到其他的电子单元上的电压引线22和电连接。因此，压电致动器16的连接可以通过导线实现。此外，单独地或通过纤维垫被集成的膜片12可以被金属化并且因此可直接被电触点接通。最后，在下一步骤68中，将阻尼材料24引入载体元件14的留空32中。

根据本发明的传感器装置10提供灵活和稳健的解决方案，以便将传感器单元集成到载体元件14中。因此，根据本发明的传感器装置10可以在功能性和外观效果上获得最佳结果。这类传感器装置10的制造通过高的设计灵活性被简化并且可以在没有更大耗费的情况下与不同的要求相适配。

本发明不限制于在此描述的实施例和其中强调的方面。相反地，在通过后附的权利要求说明的范围内能够实现处于本领域技术人员处理的范围内的多种变型。

Claims (15)

1.一种具有至少一个传感器单元（11）的传感器装置（10），所述传感器单元设置在载体元件（14）中并且包括与压电致动器（16）连接的能振动的膜片（12），其特征在于，所述膜片（12）形锁合地作为单独的组成部件或以纤维垫（40）的形式集成在所述载体元件（14）中并且阻尼材料（24）贴靠在所述膜片（12）的能振动的区域（26）上。

2.根据权利要求1所述的传感器装置（10），其特征在于，所述作为单独的组成部件构造的膜片（12）和所述载体元件（14）由不同的材料制作。

3.根据权利要求1或2所述的传感器装置（10），其特征在于，所述膜片（12）具有比所述载体元件（14）的材料更高的刚性。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器装置（10），其特征在于，所述载体元件（14）由能注射的塑料制作。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器装置（10），其特征在于，所述作为单独的组成部件构造的膜片（12）由基于纤维的塑料或金属制作。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的传感器装置（10），其特征在于，所述作为单独的组成部件构造的膜片（12）如此埋入所述载体元件（14）中，使得所述膜片（12）与所述载体元件（14）齐平地终止。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的传感器装置（10），其特征在于，所述载体元件（14）具有至少一个留空（32），所述至少一个留空限定所述膜片（12）的所述能振动的区域（26）。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的传感器装置（10），其特征在于，所述被构造为单独的组成部件的膜片（12）包括伸入所述载体元件（14）的至少一个锚定元件（28，30）。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的传感器装置（10），其特征在于，所述阻尼材料（24）至少部分地填充所述留空（32）。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的传感器装置（10），其特征在于，保持装置（34）集成到所述膜片（12）或所述载体元件（14）中或被单独地构造。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的传感器装置（10），其特征在于，一个包围所述膜片（12）的加强装置（36）埋入所述载体元件（14）中。

12.一种用于制造根据权利要求1至10中任一项所述传感器装置（10）的方法，包括以下步骤：

a）提供（62）一个作为单独的组成部件的膜片（12）或一个纤维垫（40）；

b）将所述膜片（12）或所述纤维垫（40）作为置入物注射入（64）所述载体元件（14）中；

c）引入（66）其他的用于运行所述传感器单元（16，22）的装置；

d）将阻尼材料（24）引入（68）所述膜片（12）的能振动的区域（26）中。

13.根据权利要求12所述的用于制造所述传感器装置（10）的方法，其特征在于，用于运行所述传感器单元（11）的装置包括至少一个压电致动器（16）以及用于所述传感器单元（11）的电连接（22）的装置。

14.根据权利要求11或12所述的用于制造所述传感器装置（10）的方法，其特征在于，在注射所述载体元件（14）时构造至少一个留空（32），所述留空限定所述膜片（12）的所述能振动的区域（26）。

15.根据权利要求1至10中任一项所述的传感器装置（10）的应用，其特征在于，该传感器装置被用于机动车中的距离测量。

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