CN103336330A - 一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于非对称垂直狭缝(slot)波导的偏振旋转器，其包括：入射端波导，其用于导入外部入射的光；模式转换波导，其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模出射光；出射端波导，其用于导出TM/TE模；其中，入射端波导、模式转换波导和出射端波导均为不对称狭缝波导。该结构在纵向上打破了材料的对称性，横向上打破了几何尺寸的对称性，从而使得特定波导中的本征模式是混合模式，两个本征混合模式之间可以实现相互转化，最终实现TE模和TM模之间的相互转化。该偏振旋转器可以利用一次刻蚀将TE/TM转化为TM/TE模，大大减小了器件制作难度。

Description

一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器
技术领域
本发明涉及集成光学技术领域，尤其涉及一种基于非对称垂直slot波导的偏振旋转器，用于将波导中的一阶TE/TM模转化为一阶TM/TE模。
背景技术
在波导中，模式之间的相互转化会导致入射光脉冲的展宽，增加传输损耗，因此目前在片上互连器件中都采用单模波导。SOI单模波导一般在亚微米量级，其典型尺寸是400nm×220nm，由于其小尺寸和高折射率差，导致了波导内TE模和TM模的有效折射率相差很大，由此引起的偏振模式色散、损耗和对波长的敏感性限制了波导在通信中的应用，因此寻找有效的方法来消除或减小这种效应非常有必要。现在主要有三种办法解决这个问题：偏振无关波导，单偏振模式导通器和偏振分集系统。偏振无关波导对设计和工艺精度要求很高，在实验中难以实现；单偏振模式导通器只允许单一模式通过，抑制另一模式，然后对通过的模式进行处理；偏振分集系统是将一束TE/TM混合入射光经过偏振分束器变成两束不同偏振方向的光，其中一束光首先经过偏振旋转器再经过调制器，而另一束光首先经过调制器再经过偏振旋转器，最后两束光合束输出，由于两条臂的器件结构完全相同，并且两个模式之间相互正交，因此会达到偏振无关的效果。偏振分集系统是近些年提出来，主要包括偏振分束/合束器，偏振旋转器和电光调制器，其中偏振分束器和旋转器担负着将入射光进行分束和偏振模式转换的作用，是偏振分集系统的基本功能器件。
偏振旋转器的基本原理都是基于混合模式，但是从器件结构上分为三种：各种波导形状的偏振旋转器，基于锥形波导(Taper)的偏振旋转器和基于相位匹配的偏振旋转器。各种波导形状的偏振旋转器研究已经很久，前期主要是集中于三五族元素材料上，如，InGaAs，InP，InGaAsP等。现在基于SOI的偏振旋转器，由于器件尺寸小，结构设计简单，转换效率高，因此受到了很多研究人员的注意。基于各种波导形状的偏振旋转器主要是通过在波导上进行二次加工，打破波导的材料或者几何形状上的对称性，从而在波导中产生混合模式，实现模式的转换，但是一般需要多次刻蚀或者湿法腐蚀实现波导结构。基于Taper的偏振旋转器仅仅需要一次刻蚀，将波导宽度从恒定改变为渐变，在宽度改变过程中，由于混合模式的存在从而发生了模式的旋转，省去了多次刻蚀或者湿法腐蚀的过程，大大减小了工艺制作难度。基于位相匹配的偏振旋转器利用不对称的定向耦合器结构。定向耦合器包括两条波导：窄波导和宽波导。当宽波导TM模的有效折射率等于窄波导的TE模的有效折射率时，满足相位匹配的条件，从而使得入射宽波导TM模转化为窄波导TE模，同时保证宽波导TE模不变，该器件不仅实现了偏振转化的效果，而且可以实现偏振分束，简化了偏振分集系统，减小了处理偏振的难度。
发明内容
为解决上述现有技术中存在的问题，本发明旨在提供一种偏振旋转器的新型结构，采用该结构的偏振旋转器转换效率高、带宽大，适于集成。
本发明提供的基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器，其包括：
入射端波导，其用于导入外部入射的光；
模式转换波导，其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模出射光；
出射端波导，其用于导出TM/TE模；
其中，入射端波导、模式转换波导和出射端波导均为不对称狭缝波导。。
本发明是利用slot波导代替普通条型波导，使得纵向上材料不同和横向上波导宽度不同，从而打破了器件结构的对称性，使得波导中出现混合模式，实现模式之间的相互转换。与多次刻蚀条型波导的偏振旋转器相比，仅仅需要一次刻蚀就可以实现，省掉了工艺制作中的光刻板之间的精确对准问题；与基于Taper条波导的偏振旋转器相比，该器件模式转换发生在TE一阶模和TM一阶模之间，不支持高阶模的传输，可以避免光传输过程中的高阶模引起的损耗。
附图说明
图1是本发明中偏振旋转器的俯视结构示意图；
图2是本发明中偏振旋转器的横截面结构示意图；
图3是本发明中非对称垂直狭缝波导有效折射率随可变波导宽度的变化图；
图4是本发明中偏振旋转器的模式转换效果图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。
图1示出了本发明中偏振旋转器的俯视结构图以及工作过程。如图1所示，该偏振旋转器包括：
入射端波导1，其用于导入外部入射的光；
模式转换波导2，其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模的出射光；
出射端波导3，其用于导出所述经模式转换后的出射光。
其中，所述模式转换波导2包括输入转换波导21、中间转换波导22和输出转换波导23，输入转换波导21初始端与入射波导1相连，输出转换波导23末端与出射波导3相连，中间转换波导22初始端与输入转换波导21末端相连，末端与输出转换波导23初始端相连，输入转换波导21和输出转换波导23长度很短，以实现初步不完全的偏振模式转换，而中间转换波导22用于实现完全的偏振转换。
入射端波导1、模式转换波导2和出射端波导3都是不对称狭缝波导，狭缝区的宽度很窄，在30nm-120nm内，优选为100nm，以保证狭缝区对光的强限制作用，狭缝两边的硅波导宽度不同。
入射段波导1和出射端波导2均为单模波导，且尺寸不同。入射端波导1和出射端波导3狭缝两边的硅波导宽度恒定，而模式转换波导2狭缝一边的硅波导宽度恒定，另一边宽度渐变，其中间转换波导22的波导宽度细端和粗端分别小于和大于完全混合模式的波导宽度，即所述完全混合模式为波导混合模式中x方向电场分量(Ex)和y方向电场分量(Ey)的比例均为50％的一种特定波导。狭缝波导在制作工艺中仅需一次刻蚀，减小了工艺难度和复杂度。
从单模光纤出来的高斯光束通过入射端波导1耦合进偏振旋转器，入射光为一阶TE/TM模的光，其光轴在x/y方向，经过模式转换波导2，一阶TE/TM模的入射光在传播过程中首先变为混合模式的传输光，光轴方向发生旋转，由x/y方向开始向y/x方向转变，经过一段距离的传输，光轴变为y/x方向，也就是一阶TE/TM模转化为一阶TM/TE模的出射光，最后通过输出端波导3。
图2是本发明提出的基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器的横截面示意图。如图2所示，该偏振旋转器基于SOI材料，其主要包括：衬底硅41，其可以有效的传导热量；二氧化硅(SiO2)埋氧层21，其主要作用是防止波导中的光泄漏到衬底中，以减小光在传输中的损耗；单晶硅波导层33，其中波导层包括条波导31和32，条波导31是宽度恒定的波导，条波导32是宽度线性渐变的波导，两条波导的宽度不同，并且相邻很近(几十纳米)形成狭缝波导，狭缝波导在特定结构参数下可以产生混合模式，所述特定结构参数包括波导宽度、波导高度和狭缝宽度，在混合模式的作用下实现模式转换的功能，条波导31对应于入射端波导1、模式转换波导2和出射端波导3狭缝两边宽度相同的那条硅波导，条波导32对应于模式转换波导2狭缝两边宽度线性渐变的那条硅波导。上包空气层11，由于空气的折射率远小于硅，空气层可以限制光泄漏到上方，减小传输损耗，同时由于空气和SiO2材料不同打破了在纵向上结构的对称性，有利于产生混合模式。
该偏振旋转器件长度在小于120μm，同时其转换效率在100nm(1500nm-1600nm)的带宽范围内大于98％。
图3示出了slot波导有效折射率随可变波导宽度的变化图。随着波导宽度的增加，一阶TE模和TM模的有效折射率收敛于1.6附近，此时可变波导宽度为270nm左右时，此时出现混合模式。当入射一阶TE/TM模时，在混合模式产生的波导中，一阶TE/TM模式首先变成混合模式，在混合模式状态下经过一段长度的传输演化，最终变成一阶TM/TE模式。规定Ex和Ey分量相等时的混合模式为完全混合模式，此时光轴沿x轴偏转45°，在完全混合模式下可以实现模式之间的完全的相互转换。
为了设计偏振转换器，首先要找到完全混合模式的波导宽度，具体步骤是：固定模式转换波导2的单边波导31的宽度(大约为100-200nm)，然后对可变波导32的宽度进行扫描，找到混合模式出现的宽度范围，继续对其详细分析找到完全混合模式波导宽度，选取中间转换波导22的细端和粗端的宽度，使得完全混合模式波导宽度位于两者之间，然后再选取入射和出射波导宽度。最后对器件进行模拟，找到最优模式转换长度，形成偏振模式旋转器。
图4是经过优化设计后偏振模式旋转器的模式转换效果图，通过采用计算机仿真光波传输过程得到。如图4所示，入射光是一阶TM模，其电场分量在波导中的分布如图b，图c是出射一阶TE模的电场分量在波导中的分布图，图a是入射一阶TM模在波导中的传输光强分布图，从中可以看出，一阶TM模基本完全转化成了一阶TE模。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器，其包括：
入射端波导，其用于导入外部入射的光；
模式转换波导，其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模出射光；
出射端波导，其用于导出TM/TE模；
其中，入射端波导、模式转换波导和出射端波导均为不对称狭缝波导。
2.如权利要求1所述的偏振旋转器，其特征在于，所述入射端波导和出射端波导狭缝两边的硅波导宽度恒定，而模式转换波导狭缝一边的硅波导宽度恒定，另一边硅波导宽度渐变。
3.如权利要求1所述的偏振旋转器，其特征在于，所述模式转换波导包括输入转换波导、中间转换波导和输出转换波导。
4.如权利要求3所述的偏振旋转器，其特征在于，所述输入转换波导、中间转换波导和输出转换波导首尾相接，所述输入转换波导初始端与入射端波导相连，输出转换波导末端与出射端波导相连。
5.如权利要求3所述的偏振旋转器，其特征在于，输入转换波导和输出转换波导长度短于中间转换波导，以实现初步不完全的偏振转换，而中间转换波导用于实现完全的偏振转换。
6.如权利要求3所述的偏振旋转器，其特征在于，所述中间转换波导狭缝一边波导宽度细端和粗端分别小于和大于完全混合模式的波导宽度。
7.如权利要求1所述的偏振转换器，其特征在于，入射端波导和出射端波导均为单模波导，但是尺寸不同。
8.如权利要求1所述的偏振转换器，其特征在于，所述入射端波导、模式转换波导和出射端波导的狭缝区宽度为30nm-120nm。
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Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103558661A (zh) * 2013-11-11 2014-02-05 东南大学 一种基于硅基l形波导结构的集成偏振转换器
WO2015168905A1 (zh) * 2014-05-08 2015-11-12 华为技术有限公司 一种偏振旋转器
CN105353466A (zh) * 2015-12-18 2016-02-24 武汉邮电科学研究院 基于截面l形波导和非对称y分支的偏振旋转与合束器
CN105445953A (zh) * 2015-12-30 2016-03-30 武汉邮电科学研究院 基于以高阶te模为过渡模式的偏振转换器
CN105572800A (zh) * 2016-01-26 2016-05-11 东南大学 一种基于硅基槽式波导耦合的偏振旋转器
WO2016070791A1 (en) * 2014-11-06 2016-05-12 Huawei Technologies Co., Ltd. Waveguide polarization rotator and method of construction thereof
WO2016071345A1 (en) 2014-11-03 2016-05-12 Consorzio Nazionale Interuniversitario Per Le Telecomunicazioni Integrated photonic polarisation rotator and splitter and related method
CN105759355A (zh) * 2016-05-17 2016-07-13 东南大学 一种片上集成型偏振分束器及其偏振分束方法
CN105759348A (zh) * 2016-05-17 2016-07-13 东南大学 一种硅基双段式槽波导偏振旋转器和偏振旋转方法
CN105842787A (zh) * 2016-05-30 2016-08-10 东南大学 一种基于等离子波导的偏振旋转器
CN106104335A (zh) * 2014-03-05 2016-11-09 日本电信电话株式会社 偏振旋转回路
WO2017012586A1 (zh) * 2015-07-23 2017-01-26 中兴通讯股份有限公司 一种偏振分束器
WO2017032214A1 (zh) * 2015-08-25 2017-03-02 中兴通讯股份有限公司 一种偏振分束器
CN107390317A (zh) * 2017-06-30 2017-11-24 清华大学 一种适用于集成光波导的色散控制方法和集成光波导
CN108169850A (zh) * 2017-12-26 2018-06-15 武汉邮电科学研究院 一种基于模阶转换的分束器
CN108594364A (zh) * 2018-04-23 2018-09-28 武汉邮电科学研究院有限公司 基于狭缝波导的超宽带宽3dB分合束器及方法
CN110346950A (zh) * 2019-06-06 2019-10-18 浙江大学 一种基于交叉狭缝波导的电控去偏器
CN111149029A (zh) * 2017-07-27 2020-05-12 菲尼萨公司 制造容差和宽带偏振分路器和旋转器
CN111366337A (zh) * 2018-12-26 2020-07-03 中兴光电子技术有限公司 一种片上偏振旋转测试装置和方法
CN112505829A (zh) * 2020-12-14 2021-03-16 华中科技大学 一种模式选择性耦合器设计方法
CN112558223A (zh) * 2021-01-06 2021-03-26 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 混合模式转换器及其制备方法
CN113189708A (zh) * 2021-07-01 2021-07-30 西安奇芯光电科技有限公司 一种偏振不敏感的定向耦合器结构及方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03208002A (ja) * 1990-01-09 1991-09-11 Hikari Keisoku Gijutsu Kaihatsu Kk モード変換素子
CN101765796A (zh) * 2007-07-24 2010-06-30 英飞聂拉股份有限公司 偏振分束器-偏振旋转器结构
JP2013109088A (ja) * 2011-11-18 2013-06-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 偏波もつれ光子対発生素子

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03208002A (ja) * 1990-01-09 1991-09-11 Hikari Keisoku Gijutsu Kaihatsu Kk モード変換素子
CN101765796A (zh) * 2007-07-24 2010-06-30 英飞聂拉股份有限公司 偏振分束器-偏振旋转器结构
JP2013109088A (ja) * 2011-11-18 2013-06-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 偏波もつれ光子対発生素子

Cited By (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103558661A (zh) * 2013-11-11 2014-02-05 东南大学 一种基于硅基l形波导结构的集成偏振转换器
CN106104335B (zh) * 2014-03-05 2019-03-22 日本电信电话株式会社 偏振旋转回路
CN106104335A (zh) * 2014-03-05 2016-11-09 日本电信电话株式会社 偏振旋转回路
WO2015168905A1 (zh) * 2014-05-08 2015-11-12 华为技术有限公司 一种偏振旋转器
CN106461870B (zh) * 2014-05-08 2019-08-20 华为技术有限公司 一种偏振旋转器
CN106461870A (zh) * 2014-05-08 2017-02-22 华为技术有限公司 一种偏振旋转器
WO2016071345A1 (en) 2014-11-03 2016-05-12 Consorzio Nazionale Interuniversitario Per Le Telecomunicazioni Integrated photonic polarisation rotator and splitter and related method
JP2017538169A (ja) * 2014-11-06 2017-12-21 ホアウェイ・テクノロジーズ・カンパニー・リミテッド 導波路偏光回転子およびその構成方法
WO2016070791A1 (en) * 2014-11-06 2016-05-12 Huawei Technologies Co., Ltd. Waveguide polarization rotator and method of construction thereof
US9400354B2 (en) 2014-11-06 2016-07-26 Huawei Technologies Co., Ltd. Waveguide polarization rotator and method of construction thereof
WO2017012586A1 (zh) * 2015-07-23 2017-01-26 中兴通讯股份有限公司 一种偏振分束器
CN106443883A (zh) * 2015-07-23 2017-02-22 中兴通讯股份有限公司 一种偏振分束器
CN106483601B (zh) * 2015-08-25 2019-10-01 南京中兴新软件有限责任公司 一种偏振分束器
WO2017032214A1 (zh) * 2015-08-25 2017-03-02 中兴通讯股份有限公司 一种偏振分束器
CN106483601A (zh) * 2015-08-25 2017-03-08 中兴通讯股份有限公司 一种偏振分束器
CN105353466B (zh) * 2015-12-18 2018-08-14 武汉邮电科学研究院 基于截面l形波导和非对称y分支的偏振旋转与合束器
CN105353466A (zh) * 2015-12-18 2016-02-24 武汉邮电科学研究院 基于截面l形波导和非对称y分支的偏振旋转与合束器
CN105445953A (zh) * 2015-12-30 2016-03-30 武汉邮电科学研究院 基于以高阶te模为过渡模式的偏振转换器
CN105445953B (zh) * 2015-12-30 2017-11-14 武汉邮电科学研究院 基于以高阶te模为过渡模式的偏振转换器
WO2017114118A1 (zh) * 2015-12-30 2017-07-06 武汉邮电科学研究院 基于以高阶te模为过渡模式的偏振转换器
CN105572800A (zh) * 2016-01-26 2016-05-11 东南大学 一种基于硅基槽式波导耦合的偏振旋转器
CN105572800B (zh) * 2016-01-26 2019-04-30 东南大学 一种基于硅基槽式波导耦合的偏振旋转器
CN105759348A (zh) * 2016-05-17 2016-07-13 东南大学 一种硅基双段式槽波导偏振旋转器和偏振旋转方法
CN105759355A (zh) * 2016-05-17 2016-07-13 东南大学 一种片上集成型偏振分束器及其偏振分束方法
CN105842787A (zh) * 2016-05-30 2016-08-10 东南大学 一种基于等离子波导的偏振旋转器
CN107390317B (zh) * 2017-06-30 2019-09-20 清华大学 一种适用于集成光波导的色散控制方法和集成光波导
CN107390317A (zh) * 2017-06-30 2017-11-24 清华大学 一种适用于集成光波导的色散控制方法和集成光波导
CN111149029A (zh) * 2017-07-27 2020-05-12 菲尼萨公司 制造容差和宽带偏振分路器和旋转器
CN111149029B (zh) * 2017-07-27 2022-05-24 菲尼萨公司 制造容差和宽带偏振分路器和旋转器
CN108169850A (zh) * 2017-12-26 2018-06-15 武汉邮电科学研究院 一种基于模阶转换的分束器
CN108169850B (zh) * 2017-12-26 2020-07-07 武汉邮电科学研究院 一种基于模阶转换的分束器
CN108594364B (zh) * 2018-04-23 2019-11-05 武汉邮电科学研究院有限公司 基于狭缝波导的超宽带宽3dB分合束器及方法
CN108594364A (zh) * 2018-04-23 2018-09-28 武汉邮电科学研究院有限公司 基于狭缝波导的超宽带宽3dB分合束器及方法
CN111366337A (zh) * 2018-12-26 2020-07-03 中兴光电子技术有限公司 一种片上偏振旋转测试装置和方法
CN110346950A (zh) * 2019-06-06 2019-10-18 浙江大学 一种基于交叉狭缝波导的电控去偏器
CN110346950B (zh) * 2019-06-06 2020-08-28 浙江大学 一种基于交叉狭缝波导的电控去偏器
CN112505829A (zh) * 2020-12-14 2021-03-16 华中科技大学 一种模式选择性耦合器设计方法
CN112558223A (zh) * 2021-01-06 2021-03-26 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 混合模式转换器及其制备方法
CN112558223B (zh) * 2021-01-06 2021-12-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 混合模式转换器及其制备方法
CN113189708A (zh) * 2021-07-01 2021-07-30 西安奇芯光电科技有限公司 一种偏振不敏感的定向耦合器结构及方法

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