CN103293173B - 一种x射线衍射仪薄膜测试样品台 - Google Patents

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Abstract

一种用于X射线衍射仪的薄膜测试样品台,由一个固定支架、三根弹簧、一个平板型样品架、一个调节螺丝组成。所述的固定支架为直角“Z”字形,在固定支架下方平板中央开有螺丝孔,及三个弹簧钩孔,平板型样品架也开有三个弹簧拉钩孔,平板型样品架通过三个弹簧分别通过拉钩孔与固定支架相联接,调节螺丝穿过固定支架的螺丝孔与样品架下底面接触,通过调节螺丝,可以自由调节样品架的高度,最终使样品表面与固定支架上表面在同一平面内。本发明可以方便不同规格样品的X射线衍射测量,特别是不同衬底厚度的薄膜样品的X射线衍射测量。

Description

一种X射线衍射仪薄膜测试样品台
技术领域
本发明与X射线衍射仪样品测量相关,特别是薄膜样品的测量相关,既可以作为薄膜样品的测量,也可以作为其他粉末样品的测量。
技术背景
X射线衍射测量是鉴定材料物相结构的重要手段。当X射线以掠角θ入射到某一点阵晶格的晶面上时,在符合布拉格方程的条件下,将在反射方向上得到因叠加而加强的衍射线。从每一θ角符合布拉格方程条件的反射面得到反射,测出θ后,即可确定材料的点阵晶面间距、晶胞大小和类型等,根据衍射线的强度,还可进一步确定晶胞内原子的排布。材料在进行X射线衍射测量中,为了测量的准确性,通常要求样品必须放在仪器特定的平面位置内。现在主流的X射线衍射仪(如布鲁克、理学等)中,对粉末样品,样品台使用的是在表面带有浅坑的玻璃片,将粉末放入浅坑中压平,并且要求与玻璃表面在同一水平面内,然后将玻璃样品台插入仪器相应位置,以保证测量的精度。然而对不同基底厚度的薄膜样品,通常则需要根据样品的厚度专门制作样品架,以保证膜面在样品台平面内,才可以保证测量准确性。由此可见,这样针对特定样品制作的样品台不具有通用性,不但给测量带来诸多不便,且对不同样品定制不同的样品架也是一种浪费。本发明旨在设计一种通用性强的X射线衍射仪测试样品台。
发明内容
本发明要解决的是X射线衍射测量中样品台通用性差的问题,提供一种新型X射线衍射仪薄膜样品测试台,对粉末样品也具有较好的适用性。
本发明的技术方案如下:
一种用于X射线衍射仪的薄膜样品测试台,其特征是由固定支架、三根弹簧、样品架、调节螺丝四部分组成。所述的固定支架为直角“Z”字形,下方平板中央开有螺丝孔和三个弹簧联接拉钩孔,样品架也同样有三个弹簧拉钩孔,样品架通过三根弹簧与固定支架下平板联接,调节螺丝穿过固定支架下平面中央螺丝孔与样品架底面接触,通过调节螺丝可以自由调节样品架的高度,使样品表面与固定支架上平板表面水平。
本发明的技术效果:
1、本发明采用调节螺丝自由调节样品架高度,适合不同衬底厚度薄膜样品的测量,不需要根据不同的薄膜样品厚度加工不同的样品架,不但提高了测量效率,同时也避免重复加工样品台带来的浪费;
2、本发明适用性强,不但适合薄膜样品的测量,同时也适用粉末样品的测量;
3、本发明样品架表面可以增加吸盘,防止样品的滑落;
4、本发明样品架可以是加热板或制冷片,实现样品的变温测量。
附图说明
图1固定支架的示意图
图2样品架示意图
图3X射线衍射仪薄膜样品测试台整体示意图
图4X射线衍射仪薄膜样品测试台侧视图
具体实施方式
参阅图3,先加工一个直角“Z”字形固定支架(1),在下平板(3)中央开螺丝孔(4),并在以螺丝孔(4)为圆心的圆周上等间距开三个弹簧拉钩孔(5),在平板型样品架(6)与固定支架下平板(3)对应位置也开三个弹簧拉钩孔(5),三根相同的弹簧(7),通过弹簧拉钩孔(5)联接在固定支架(1)和样品台(6)上,调节螺丝(8)穿过固定支架(1)下平板上的螺丝孔(4),与样品台(6)底面接触,通过拧调节螺丝(8),顶样品台(6)平板移动到合适位置,使样品(9)表面与固定支架(1)上表面在同一水平面。最后将样品测试台的固定支架(1)的上平板(2)端插入X射线衍射仪相对应位置即可以进行相关测量。

Claims (5)

1.一种X射线衍射仪的薄膜测试样品台,其特征在于由固定支架(1)、三根以上弹簧(7)、样品架(6)、调节螺丝(8)组成,所述的固定支架为直角“Z”字形,下方平板(3)中央开有螺丝孔(4)和弹簧联接拉钩孔(5),样品架(6)也同样对应有弹簧拉钩孔(5),样品架(6)通过弹簧(7)与固定支架(1)下平板(3)联接,调节螺丝(8)穿过固定支架下平板(3)的螺丝孔(4)与样品架(6)下底面接触,通过调节螺丝(8)可以自由调节样品架(6)的高度,使样品(9)上表面与固定支架(1)上方平板(2)表面水平。
2.根据权利要求1所述的X射线衍射仪薄膜测试样品台,其特征在于联接固定支架(1)下平板(3)与样品架(6)的弹簧(7)可以为弹片。
3.根据权利要求1所述的X射线衍射仪薄膜测试样品台,固定弹簧的拉钩孔(5)可以为焊接或卡套。
4.根据权利要求1所述的X射线衍射仪薄膜测试样品台,其样品架(6)上表面可以附加固定样品的夹具或吸盘。
5.根据权利要求1所述的X射线衍射仪薄膜测试样品台,其样品架(6)可以为加热板或制冷片,实现样品的变温测量。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106918608A (zh) * 2015-12-24 2017-07-04 中国科学院大连化学物理研究所 大样品x射线衍射物相分析支架
CN107884161A (zh) * 2017-09-30 2018-04-06 惠州市德赛西威汽车电子股份有限公司 一种显示器视觉特性测试装置
CN109696403B (zh) * 2017-10-23 2021-08-13 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 一种用于浸没式显微成像的样品室
CN112014205A (zh) * 2020-10-09 2020-12-01 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种带有多样品自动标定功能的显微硬度计
CN113484347B (zh) * 2021-07-07 2022-11-11 沈阳化工大学 一种x射线粉末衍射仪用不规则形状固体进样器
CN113945594B (zh) * 2021-10-11 2023-03-24 安徽科技学院 用于装配垂直型测角仪的x射线衍射分析用旋转样品台

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2123073U (zh) * 1992-04-28 1992-11-25 吉林大学 光谱仪用多方位移动旋转同步变温装置
CN2746387Y (zh) * 2004-08-25 2005-12-14 辽宁石油化工大学 X射线衍射仪测定固体块状样品用样品架
CN201096732Y (zh) * 2007-08-24 2008-08-06 比亚迪股份有限公司 一种x射线衍射样品架
CN201653939U (zh) * 2010-03-23 2010-11-24 上海梅山钢铁股份有限公司 一种x衍射用多尺寸固体块状样品分析台
CN202330314U (zh) * 2011-11-23 2012-07-11 中国科学院上海应用物理研究所 加热式薄膜x射线衍射仪样品台及x射线衍射仪
CN202442977U (zh) * 2012-02-14 2012-09-19 山东轻工业学院 一种x射线衍射仪用块状样品台
CN202939138U (zh) * 2012-12-10 2013-05-15 山东轻工业学院 一种xrd简易片状样品台

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4211192B2 (ja) * 2000-04-28 2009-01-21 株式会社島津製作所 X線回折装置
JP2003098131A (ja) * 2001-09-26 2003-04-03 Foundation For Promotion Of Material Science & Technology Of Japan 試料ホルダー

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2123073U (zh) * 1992-04-28 1992-11-25 吉林大学 光谱仪用多方位移动旋转同步变温装置
CN2746387Y (zh) * 2004-08-25 2005-12-14 辽宁石油化工大学 X射线衍射仪测定固体块状样品用样品架
CN201096732Y (zh) * 2007-08-24 2008-08-06 比亚迪股份有限公司 一种x射线衍射样品架
CN201653939U (zh) * 2010-03-23 2010-11-24 上海梅山钢铁股份有限公司 一种x衍射用多尺寸固体块状样品分析台
CN202330314U (zh) * 2011-11-23 2012-07-11 中国科学院上海应用物理研究所 加热式薄膜x射线衍射仪样品台及x射线衍射仪
CN202442977U (zh) * 2012-02-14 2012-09-19 山东轻工业学院 一种x射线衍射仪用块状样品台
CN202939138U (zh) * 2012-12-10 2013-05-15 山东轻工业学院 一种xrd简易片状样品台

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