CN103238201A

CN103238201A - 涂覆的x-射线窗口

Info

Publication number: CN103238201A
Application number: CN2010800704175A
Authority: CN
Inventors: 奥斯卡·汉伯格; 汤米·图希玛
Original assignee: Excillum AB
Current assignee: Excillum AB
Priority date: 2010-12-03
Filing date: 2010-12-03
Publication date: 2013-08-07
Anticipated expiration: 2030-12-03
Also published as: EP2647028B8; US20130235979A1; EP2647028A1; KR101738652B1; JP2014502019A; EP2647028B1; JP5701996B2; KR20130127476A; CN103238201B; US9171693B2; WO2012072146A1

Abstract

一种X-射线窗口包括主窗口元件（22）和辅助窗口元件（70）。为了通过电阻加热蒸发碎片，电流流过辅助（上游）窗口元件。同时，由电子照射和/或沉积的带电粒子引起的电荷将被从窗口元件排出。为了防止大的碎片粒子短路窗口元件，并改变所希望的加热模式，用于加热窗口元件的电流流过与电荷漏层（76）绝缘的层（72）。

Description

涂覆的X-射线窗口

发明的技术领域

本文所公开的发明一般涉及电子碰撞的X-射线源的安装。更具体地，本发明涉及适于作为用于包括液体喷射阳极的X-射线产生布置的真空外壳的一部分的X-射线窗口。

发明背景

在此通过引用并入本文的公布为WO2010/083854的共同未决的国际申请公开了用于将大气压力与真空分离同时让X-射线辐射通过的自清洁的窗口布置。窗口布置具有用于清洁面向真空的内表面的加热装置，以蒸发操作过程中的污染物。特别地，窗口可以清除来自液体喷射阳极的飞溅物、液滴和沉积雾。

发明内容

本发明的一个目的是提出一种对污染具有改进的鲁棒性的X-射线窗口。本发明的特定目的是提出一种具有鲁棒的自加热功能的X-射线窗口。

一种用于将环境压力区域与减压区域分开的X-射线窗口，包括：

●对X-射线透明的主窗口元件，所述主窗口元件将所述环境压力区域与中间区域分开;

●辅助窗口元件，所述辅助窗口元件将所述中间区域与所述减压区域分开，且具有面向所述减压区域用于在其上接收沉积的污染物的侧面；及

●加热装置，所述加热装置用于在所述辅助窗口元件的区域之间施加电压，从而蒸发沉积在其上的污染物。

这样的窗口可以设置在X-射线源的真空或接近真空的腔室（减压区域）的壁中，并允许生成的X-射线离开该腔室，同时保持必要的（接近）真空条件。在具有液体金属喷射流的X-射线源的情况下，污染物可以是来自阳极的金属碎片。即使在X-射线源的正常操作期间，碎片积聚在辅助窗口元件，根据本发明可以方便地清洁辅助窗口元件，而无需拆卸X-射线源或释放真空，或者甚至中断所述源的正常操作。

本发明人已经认识到，所描述的种类的窗口易于受到故障状况的影响，其中碎片粒子与邻近窗口的元件建立了电气和/或热连接。正如图1中所示，碎片粒子C1位于壳体44和形成内表面的电加热的辅助窗口元件24之间。如果壳体44被接地，由源30提供的电流的一部分可以通过粒子C1逸出，而不是加热辅助窗口元件24。即使壳体44是电绝缘的，如该例子可能的情况，粒子C1将用作散热片，并导致辅助窗口元件24偏离预定的温度分布。这将阻碍窗口的自洁作用。

图2示出了包括包围辅助窗口元件24的吸收电荷的围屏60的窗口布置的故障条件。该围屏60在其中窗口边界和与其相关联的设备需要保护免受电子或X-射线的照射或免受污染的应用中可能是有用的。为了允许对辅助窗口元件24的电阻加热有序进行并节省产生的热量，通过热绝缘和电绝缘的间隔件62将窗口元件24与围屏60分开。位于辅助窗口元件24和围屏60之间的污染物粒子C2将在这些元件之间建立不需要的电气连接和/或热连接。特别是，从电流源30中流动的电流可集中在从连接点26到粒子C2的较短的段。因此，由于粒子C2本身使加热效率较低，对于窗口而言，可能需要相当长的时间从故障状态中恢复。

鉴于这些缺点，本发明提供根据权利要求1所述的X-射线窗口。有利的实施例由从属权利要求定义。在第一方面中，辅助窗口元件包括：

●电绝缘层;

●电荷漏层，所述电荷漏层面向所述减压区域，并被连接到电荷接收器;

●加热器层，所述加热器层与所述电荷漏层电绝缘，其中，在其之间施加电压的所述区域位于所述加热器层。

因此，本发明基于认识到现有技术窗口中的辅助窗口元件负责两种不同类型的电荷传输-电阻加热来蒸发碎片和通过带电碎片粒子或直接电子照射排出传送到元件中的电荷-并进一步区分这两种类型的电荷传输是有利的。如果这两种类型的电荷传输发生在单独的层，如加热器层和电荷漏层，则加热器层可位于其自身免受碎片沉积否则将可能干扰其运作的位置。本发明将比现有技术更快地更正图2中所示的故障状态，因为即使在围屏60和辅助窗口元件24之间的通过碎片粒子C2的不希望的电连接存在时，电阻加热会继续运作。同样地，图1中所示的故障状态可以很容易地通过可使用辅助边界元件来体现的本发明预先阻止，在辅助边界元件上，加热器层终止到边界的距离，该边界是最容易暴露到碎片的部分。

对于本公开的特别是权利要求的目的，术语“碎片”和“污染物”可以互换使用。应理解，“电绝缘层”可具有高或低的热导率，这取决于期望的应用。如果例如沉积在窗口元件的轴向相对侧上的碎片将被去除，则电绝缘层优选具有高（轴向）的热导率。另一方面，如果碎片将在与加热器层热接触的一个元件上被蒸发，但是不在窗口元件的轴向相对侧上（例如，如果辅助窗口元件是对X-射线部分非透明的），那么选择电绝缘且也热绝缘的材料是更经济的。另外，“电荷漏层”适于从窗口元件排放电荷，这样就不会在任何显著的程度上被静电充电。为了实现这点，电荷漏层可以在任何合适的电位，如大地电位、恒定的非大地电位（无论对于电子是吸引力还是排斥力）或变化的电位上。另外，电荷漏层是导电的，至少在辅助窗口元件的横向方向上，这样电荷可以从窗口元件排出，并前进到电荷接收器。最后，“加热器层”可以是覆盖辅助窗口元件的全部或部分的固体或非固体元件。加热器层可以是至少在窗口元件的横向方向上导电的材料的薄层。

本发明可体现类似于图1的无围屏的窗口。这提供了一种简单而有效的结构，尽管如此，其可以通过将加热器层布置在躲避碎片飞溅的位置，诸如让它终止在离辅助窗口元件的边界一段距离的位置而更加鲁棒。

在一个实施例中，辅助窗口元件在面向减压区域的一侧上至少部分地被围屏包围。优选地，通过将围屏连接到电荷吸收体（或电荷接收器，例如，大地）和使其导电，围屏可以用作电荷排放器。围屏遮住了辅助窗口元件的边缘、机械固定装置和电连接（如果有的话），避免了直接暴露于碎片，包括飞溅物或行进中的液滴。

在一个实施例中，辅助窗口元件被排放电荷的围屏包围，并且辅助窗口元件的电荷漏层通过热绝缘的间隔件被装配到围屏而连接到围屏。间隔件电接触围屏和窗口元件的电荷漏层。间隔件本身充分导电以排放撞击在辅助窗口元件上的电荷。通常情况下，撞击在窗口元件上的电荷在微安培的级别。使辅助窗口元件热绝缘是经济的，因为将需要较少的加热功率，和使用较弱的加热电流将延长加热器层的工作寿命。

在一个实施例中，辅助窗口元件被排放电荷的围屏包围，并通过导热和导电的间隔件安装于该围屏。为了实现所期望的电荷从电荷漏层排放，该层通过丝被连接到围屏。该丝优选为松弛的，以便适应辅助窗口元件和/或围屏的热膨胀。

在一个实施例中，电荷漏层没有延伸到绝缘层的外侧，而加热器层延伸到电荷漏层的外侧，至少到在窗口元件的横向方向上的一个正向距离。绝缘层可以与加热器层或电荷漏层齐平，或者可以延伸到电荷漏层的外侧，但没有延伸到加热器层。尺寸的差异使层的电绝缘更鲁棒。它们也可能简化辅助窗口元件的电气和机械紧固，因为它的一部分可以被插入到含有导电液体的容器的狭缝。这样的紧固可以类似于WO2010/083854的图3实现。它轴向固定窗口元件，并且也可以在一些横向方向上固定。有利地，所述辅助窗口元件被允许响应于温度变化而膨胀和收缩。如果窗口元件的边界的两段被插入到不同容器的狭缝中，用于电阻加热的电流可以被驱动通过加热器层。如果加热器层和电绝缘层在边缘彼此齐平，则两者可被插入到容器的狭缝中。

在该实施例的变型中，加热器层没有延伸到绝缘层的外侧，并且电荷漏层延伸到加热器层的外侧至少一个正向距离。绝缘层可以与外部的层齐平，或可终止在加热器层和电荷漏层的相应边界之间。这种几何形状至少在所述辅助窗口元件的边界的一部分上适用。由于电荷漏层在所述部分构成辅助窗口元件的最外部分，通过将该层插入到容器的狭缝中来固定它是方便的，在容器中，它与导电液体接触。如果电荷漏层和电绝缘层彼此齐平，两者都可被插入到容器的狭缝中。优选地，液体转而被电连接到电荷接收器。可能但不必要的是，通过插入到狭缝中，来连接窗口元件的多于一个的边界段，因为热膨胀能力和电荷排放能力已经通过一个边界段实现了。

在一个实施例中，电绝缘层至少在其边界一部分构成辅助窗口元件的最外部分。在该部分中，更准确地说，电绝缘层可以延伸超出加热器层第一距离并延伸超出电荷漏层第二距离，其中，所述第一和第二距离指窗口元件的横向方向。这使得辅助窗口元件易于安装，因为紧固装置的电绝缘性不是必须的。如果另外地，电绝缘层是热绝缘的，安装可变得更简单，因为紧固装置不必是非热传导的材料（例如，金属），这是方便的。

在一个实施例中，辅助窗口元件对X-射线是透明的。换句话说，窗口元件只在有限的程度上吸收X-射线的波长范围的辐射。具有可接受的X-射线吸收率的窗口材料的设计选择可能会受到材料的其他性能，如导电性、导热性、机械强度、耐磨损性、生产工程方面等的影响，因此，辅助窗口元件的加热部分应至少包括对应于X-射线束穿过窗口元件的位置的中央部分。

在一个实施例中，在上面所讨论的意义上，辅助窗口元件不一定是对X-射线透明的。这允许以更大的自由度来选择窗口元件的材料。为了让X-射线辐射通过，它包括至少一个孔。为了阻止碎片到达主窗口元件，通过对X-射线透明的盖提供该孔。该盖也可作为减压区域和中间区域之间的压力间断。孔基本上在轴向方向上延伸。它可以是直线的或在从交互区产生的射线锥面之后成形，即，在射线方向稍微扩大。该盖优选与加热器层热接触，直接接触或通过辅助窗口元件的其他层接触。该盖可在减压区域一侧上与孔的孔径重叠。该盖也可以在中间区域的一侧上与孔重叠，鉴于盖元件的高效加热，优选后者的安装。

值得注意的是，本发明涉及本文所公开的特征的所有组合，即使它们被叙述在相互不同的权利要求中。

附图的简要描述

现在将参照附图更详细地描述本发明的优选实施例，其中：

图1和图2示出了现有技术中的在两种不同的故障情况下的X-射线窗口;

图3是根据本发明的一个实施例的具有局部围屏的X-射线窗口的侧剖视图;

图4和图5示出了根据本发明的实施例的用于电气地和机械地固定辅助窗口元件的两个优选的方法;

图6和图7示出了将辅助窗口元件的电荷漏层连接到围屏的两个优选的方法;

图8和图9示出了辅助窗口元件的两个优选的层几何形状;及

图10是根据本发明的X-射线窗口的中央部的详细的横截面侧视图，其中，所述横截面平面与通过辅助窗口元件的被覆盖的轴向孔相交。

在附图中，相同的参考标记用于相同的元件。除非另有说明，附图是示意性的且没有按比例绘制。

实施方式的详细描述

图3是根据本发明的一个实施例的X-射线窗口的截面图。该图是部分示意图，电流源30和到大地的多个连接被象征性地示出，且不考虑它们在本发明的一个实物实施例中的位置。窗口的一个预期的用途是在X-射线源的壳体中提供真空密封的X-射线孔。窗口布置将减压区域10和环境压力区域14分开。减压区域10可以是气密（真空密封）的外壳44的内部，其包含用于产生X-射线的设备，且其连同X-射线窗口的主窗口元件22将该区域与环境分离。在X-射线产生设备的操作过程中，减压区域10可能在真空或接近真空的压力，如10^-9和10^-6巴之间。作为X-射线源的阳极，在操作过程中，液体金属喷射流（未示出）可被连续地从喷嘴（未示出）喷出。

该窗口包括两个基本平行的窗口元件：主窗口元件22和辅助窗口元件70。主窗口元件和辅助窗口元件包围中间区域12。污染物C被预计沉积在辅助窗口元件70面向减压区域的那侧78。污染物C可以蒸汽、悬浮颗粒或液滴、或飞溅物的形式到达辅助窗口元件70。主窗口元件22的合适的材料包括铍，它在有用的厚度值对X-射线是透明的。与辅助窗口元件70相反，主窗口元件22并不需要耐热。主窗口元件22被固定到气密的外壳44。为了允许热膨胀，辅助窗口元件70在被固定时在每个边缘处具有间隙；类似的间隙也可以设置在辅助窗口元件70的位于该图的平面外侧的那些边缘处。值得注意的是，每个间隙也作为辅助窗口元件70和壳体44之间的热绝缘。作为额外的热量节约措施，包围X-射线窗口的壳体44的部分可以由低导热率的材料构成。减少离开辅助窗口元件70的热通量是有利的，因为将需要供给较少的能量来保持窗口元件70（或它的一部分）在所需的温度。这也减少了冷却在X-射线窗口被设置的区域的X-射线源的需要。

在本实施例中，该窗口还包括围屏60，该围屏60覆盖辅助窗口元件的顶部和底部的边缘从而保护被沿边缘布置的敏感设备，所述敏感设备包括电连接装置26、28和电流源30，如果这位于围屏60下方的话。围屏60也可以覆盖右侧和/或左侧（如从轴向方向看到的），且然后可以被制造成一片。从一片金属，优选耐腐蚀的如不锈钢的金属开始，围屏可通过冲压孔及随后使片材弯曲以形成边缘和角部来被制造。在本实施例中，围屏60被接地以避免电荷积聚。

辅助窗口元件70包括三层：支持性的电绝缘中间层74，设置在元件70的面向上游方向（即，进入减压区域10）的侧面78的一部分上的电荷漏层，及面向下游方向且在点26、28被连接到电流源30的加热器层72，通过它可以实现电阻加热。在本实施例中，接地的电荷漏层76没有延伸超过辅助窗口元件70的整个左侧78，但只是略微延伸到由围屏60限定的孔的轴向投影的外侧。更精确地，电荷漏层76可以延伸到投影外侧一距离d1，其中，该距离d1在选择时可同时考虑到围屏60和左侧78之间的轴向距离及带电碎片C或电子e-被预期撞击的最大角度。因此，正是绝缘层74和加热器层72一起，其通常可具有20μm的总厚度，形成窗口元件70的上边界和下边界。这些上边界和下边界被固定在间隔件62、64之间，间隔件62、64优选由绝热材料制成，如Al₂O₃或例如MACOR^TM的可加工的陶瓷材料。因为窗口元件70的右侧是导电的并受到电阻加热，右边的间隔件64也优选为电绝缘的。如果围屏60完全包围辅助窗口元件70，间隔件可具有在垂直于图的竖直平面内延伸的如环形的封闭形状。

由于辅助窗口元件70通常不会受到大的局部电压，电绝缘层74不必被设计成针对高的击穿电压，因此可以被制得比较薄。这意味着，对于大多数应用，范围广泛的材料将足够是X-射线透明的。事实上，对于以下材料的0.1mm厚的层，被预期在9.25keV具有90％以上的透射率：BeO、BN、CVD金刚石。如果该层是通过气相沉积制造的，通过气相沉积，可以很容易地实现小于10μm的厚度，更多的材料将是合适的。在高于9.25keV的能量，范围广泛的更多的电绝缘层（即对于某一特定材料具有特定厚度的层）将是可利用的。SiO₂和Al₂O₃一般适于用作电绝缘层74。电绝缘层74可通过在窗口元件70的另一层上气相淀积，或者在基底或另一层上通过喷涂法、溅射法或刮刀涂布来产生。它也可包括预制膜。

加热器层72可以由在相关的厚度对X-射线透明的导电性材料构成，如具有大约100μm或优选小于100μm的厚度石墨或优选玻碳箔。它可通过喷镀或气相沉积在电绝缘层上沉积。可通过掩膜执行喷镀或气相沉积，从而限定电连接的非实心网格，这可提供对电流模式的良好控制，从而很好地控制加热功率的分配。例如通过冲压导电膜得到的预制的加热器层，可以被结合到电绝缘层74上。

电荷漏层76可以由在相关的厚度对X-射线透明的导电材料构成。优选具有相对低的蒸汽压、相对高的熔点和对热熔融金属具有合理的耐腐蚀性的导电或半导电的材料。碳，例如石墨、金刚石或无定形碳是非常合适的。铬、镍或钛的薄层是相当合适的。难熔金属（包括铌、钼、钽、钨、铼）的相对薄层是合适的，特别是关于耐腐蚀性而言。通过将乳化或溶解在溶剂中的材料喷涂到层74上，通过执行气相沉积或通过一些其他的方法，电荷漏层76可形成在电绝缘层74的顶部。为了实现其功能，电荷漏层74将被电连接，有利的是提供具有低的热传导性的电连接，这样辅助窗口元件70的电阻加热可以节能的方式运行。

通过将预制层粘接或焊接在一起，辅助窗口元件70可组装成其最终的三层结构。如上面已经概述的，这些层也可以以合适的顺序使一个在另一个顶部上来形成。在设计辅助窗口元件70时，这些材料在选择时要考虑其单个的属性及其作为三层层压体的兼容性；这可包括匹配它们的热膨胀系数并经过大量的负载周期后进行热和/或机械磨损评估。

图4是辅助窗口元件70的顶边和围屏60的竖直部分的详细视图。图4示出了将辅助窗口元件70电连接和机械连接到X-射线窗口的其他部分的有利的方式。窗口元件70的边缘，即，电绝缘层74和加热器层72作为复合元件，被插入到含有导电液体的容器34的狭缝32中。液体被电连接到电流源30及容器34可通过间隔件被机械地固定到窗口的一部分，诸如围屏和/或壳体44。如在WO2010/083854中解释的，这种类型的连接允许窗口元件70热膨胀。

图5示出了在图4中出现的实施例的变化。这里，加热器层72突出到辅助窗口元件70的其余部分的外侧一个距离d3>0，并形成元件70的边缘，至少在窗口元件70的这个边缘。然后容易将加热器层72插入到容器34的狭缝32中，并获得所需的电连接。电绝缘层74延伸到电荷漏层76以外一段距离d4≥0。这个距离可以是零，但有利的是设计绝缘层74，使其延伸一个正向距离d4以进一步减小在加热器层72和电荷漏层76之间形成短路的风险。

图6和图7示出了电连接电荷漏层76的两个另外的方式，以及辅助窗口元件70的两个另外的层配置。在图6中，电绝缘层74延伸到最远并构成元件70的边缘。更确切地说，它从加热器层72延伸一段距离D₆₁及从电荷漏层76延伸一段距离D₆₂。如果在窗口元件70的边界周围的任何地方，距离D₆₁、D₆₂不低于最小正值，从而导电层72、76是间隔开的，这对于导电层72、76的电绝缘将是有益的。

电荷漏层76向上延伸到窗口元件70的边缘，如图7中所示。在该边缘，电绝缘层74比电荷漏层76短一横向距离D₇₂，及加热器层72比电绝缘层74短一距离D₇₁。正如已经指出的那样，电气绝缘性将在一定程度上依赖于这些距离的最小值。

对于电连接，如图6中所示的电荷漏层76通过导电丝被连接到围屏上的一个点。通过使丝松弛，辅助窗口元件70的热膨胀可以得到满足。为了避免热损失，理想情况下，丝的横截面积被确定为能够传输对应于每单位时间的电荷轰击的电流的最小值。进一步考虑的因素，如机械强度、弹性和耐机械磨损或热磨损可被考虑在内。

在图7中，电荷漏层76经由绝热的导电性间隔件66被连接，绝热的导电性间隔件66代替之前描述的实施例中的导热和导电的间隔件62。导电性间隔件66允许电流从围屏60流动，围屏60本身在本实施例中是接地的。间隔件66优选具有低的热导率，以防止热量逃逸到围屏60。间隔件66可以通过用薄的导电层涂布一块陶瓷材料来制造，例如，金属化陶瓷。另外，该间隔件可以由掺杂的陶瓷材料，如掺杂的二氧化硅、或某些金属（片）碳化物、氮化物或氧化物构成。

图8示出根据本发明的一个实施例的辅助窗口元件70，其中层72、74、76在其中一个边缘彼此平齐。

图9示出根据另一实施例的窗口元件70，其具有相同大小的电荷漏层76和绝缘层74，另外，加热器层72在元件70的下游侧的中央部延伸。该加热器层72可以是结合到所述电绝缘层74的导电膜，或者由掩膜的气相沉积或喷涂形成的电路。

图10示出了具有至少一个对X-射线不透明的层72、74、76的辅助窗口元件70。相反，为了允许X-射线通过，窗口元件70包括由X-射线透明板80覆盖的轴向孔90，X-射线透明板80可通过加热器层72传导加热。X-射线透明板80从上游侧78覆盖孔90，这有利于碎片撞击在相对简单的几何结构上–且可以从相对简单的几何结构清除。在本实施例的变型中，板80可以被布置在下游侧上，这然后使从加热器层72到板80的热传递更高效。

尽管在附图和前面的描述中已经示出并详细描述了本发明，但这样的图示和描述将被认为是说明性或示例性的，而不是限制性的，本发明并不限于所公开的实施例。比如，辅助窗口元件可以被体现为包括面向减压区域的电荷漏层、绝缘层、加热器层、然后还有面向中间区域的绝缘层的四层实体。

所公开的实施例的其他变型可以由本领域技术人员在实践所要求保护的发明时从附图、说明书和所附权利要求的研究中被理解和实现。在权利要求中的任何附图标记不应当被解释为限制范围。

Claims

1.一种用于将环境压力区域（14）与减压区域（10）分开的X-射线窗口（1），所述窗口包括：

对X-射线透明的主窗口元件（22），所述对X-射线透明的主窗口元件将所述环境压力区域与中间区域（12）分开;

辅助窗口元件（70），所述辅助窗口元件将所述中间区域与所述减压区域分开，所述辅助窗口元件包括面向所述减压区域用于接收沉积在其上的污染物的一侧（78）；及

加热装置（26，28，30），所述加热装置用于在所述辅助窗口元件的区域之间施加电压，从而蒸发沉积在其上的污染物，

其特征在于，所述辅助窗口元件包括：

电绝缘层（74）;

电荷漏层（76），所述电荷漏层面向所述减压区域，并被连接到电荷接收器;以及

加热器层（72），所述加热器层与所述电荷漏层电绝缘，其中，在其之间施加电压的所述区域位于所述加热器层中。

2.根据权利要求1所述的X-射线窗口，还包括围屏（60），所述围屏在面向所述减压区域的一侧（78）至少部分地围绕所述辅助窗口元件（70），所述围屏是导电的并连接到电荷接收器。

3.根据权利要求2所述的X-射线窗口，其中，所述电荷漏层（76）被所述围屏完全包围，并与所述围屏重叠一距离（d₁）。

4.根据权利要求2或3所述的X-射线窗口，其中，所述围屏和所述辅助窗口元件彼此热绝缘。

5.根据权利要求4所述的X-射线窗口，还包括热绝缘的间隔件（66），所述热绝缘的间隔件被布置在所述围屏和所述辅助窗口元件的所述电荷漏层之间，并与两者电接触。

6.根据权利要求5所述的X-射线窗口，其中，所述热绝缘的间隔件包含下列材料之一：

金属化的氧化铝，

β-氧化铝，

掺杂的二氧化硅，

掺杂的陶瓷材料，

金属化的陶瓷材料。

7.根据权利要求4所述的X-射线窗口，还包括：

热绝缘和电绝缘的间隔件（62），所述热绝缘和电绝缘的间隔件被布置在所述围屏和所述辅助窗口元件之间;及

导电丝（68），所述导电丝将所述电荷漏层与所述围屏连接。

8.根据权利要求7所述的X-射线窗口，其中，所述热绝缘和电绝缘的间隔件（62）包含玻璃-陶瓷材料，优选含有Al₂O₃的玻璃-陶瓷材料。

9.根据前述权利要求中的任一项所述的X-射线窗口，其中，所述加热器层包含下列材料之一：

石墨，

热解碳。

10.根据前述权利要求中的任一项所述的X-射线窗口，其中，所述电绝缘层包含下列材料之一：

钻石，

SiO₂,

BeO,

Al₂O₃,

BN。

11.根据前述权利要求中的任一项所述的X-射线窗口，其中：

所述电荷漏层至多在所述电绝缘层的范围内延伸;及

所述加热器层至少在边界的一部分至少延伸到所述电荷漏层之外一段距离（d₃）。

12.根据权利要求11所述的X-射线窗口，其中，所述加热器层的边界的一部分通过被插入到含有导电液体的容器（34）中的狭缝（32）而被固定。

13.根据权利要求1到10中的任何一项所述的X-射线窗口，其中：

所述加热器层至多在所述电绝缘层的范围内延伸;及

所述电荷漏层至少在边界的一部分至少延伸到所述加热器层之外一段距离（d₇₁+d₇₂）。

14.根据权利要求13所述的X-射线窗口，其中，所述电荷漏层的边界的一部分被插入到包含导电流体的容器（34）的狭缝（32）中。

15.根据权利要求1至10中的任一项所述的X-射线窗口，其中，所述电绝缘层至少在边界的一部分至少延伸到所述加热器层之外一段距离（d₆₁）且至少延伸到所述电荷漏层之外一段距离（d₆₂）。

16.根据前述权利要求中的任一项所述的X-射线窗口，其中，所述电荷漏层包含下列材料之一：

石墨，

钻石，

无定形碳，

铬，

镍，

钛，

难熔金属。

17.根据前述权利要求中的任一项所述的X-射线窗口，其中，所述辅助窗口元件对X-射线是透明的。

18.根据权利要求1到16中的任一项所述的X-射线窗口，其中，所述辅助窗口元件的层限定至少一个轴向孔（90），所述至少一个轴向孔由对X-射线透明的元件（80）覆盖。

19.一种X-射线源外壳，包括：

气密的壳体（44）；及

根据前述权利要求中的任一项所述的X-射线窗口，所述X-射线窗口设置在所述壳体的外壁中。

20.一种X-射线源，包括：

根据权利要求19所述的X-射线-源外壳;

设置在所述外壳内部的电子源;及

设置在所述外壳内部的液体喷射的电子靶。