JP5889968B2 - X線窓 - Google Patents
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Description
を形成することによって実現され得る。このような孔が、低い流れ抵抗(これは、例えば、孔の直径と、長さと、曲がり状態とに依存する)を有するならば、圧力差を非常に早く無くすことができる。即ち、中間の領域と減圧の領域とは、自由な連通状態にあり、同一の圧力を有すると言った方が適切である。
通路は、狭い及び細長いうちの少なくとも一方である。
通路は、分岐される。
通路は、入り組んでいる(曲がっている)。
通路の壁は、減圧の領域よりも低い温度で維持されている。
通路の内側は、粗面である。
通路の内側は、汚染物質沈着材料で被覆されている。
多孔質フィルタが、通路中に設けられている。
Claims (12)
- 減圧の領域(110;210)から周囲の圧力の領域(114;214)を分離し、X線が減圧の領域から射出することを許容する自己クリーニングX線窓構成体であって、
中間の領域(112;212)から前記周囲の圧力の領域を分離している第1の窓要素(122;222)と、
前記減圧の領域から前記中間の領域を分離している第2の窓要素(124;224;310)であって、前記第2の窓要素は、当該第2の窓要素に沈着する汚染物質を受けるための側面を有し、前記側面は、前記減圧の領域に面している、前記第2の窓要素と、
前記第2の窓要素に沈着された汚染物質を結果として蒸発するために少なくとも前記第2の窓要素の一部分の加熱に適用されている熱源(120)とを具備し、
前記中間の領域と減圧の領域とは、圧力均一の通路(230)により連通され、前記圧力均一の通路(230)は、汚染物質が、沈着されて、前記減圧の領域から前記中間の領域へ到達しないように、前記通路は、
複数の通路に分岐されている、と、
曲がっている、と、
通路を形成している壁が、前記減圧の領域よりも低い温度で維持されている、と、
中に多孔質フィルタが、設けられている、と、の少なくとも1つに設定されている、
自己クリーニングX線窓構成体。 - 前記減圧の領域に面している前記第2の窓要素の前記側面は、導電性である請求項1の自己クリーニングX線窓構成体。
- 前記中間の領域における圧力が、前記減圧の領域と実質的に等しい請求項1若しくは2の自己クリーニングX線構成体。
- 前記第2の窓要素は、熱膨張を許容するように間隙を有してハウジングに装着されている請求項1乃至3のいずれか1の自己クリーニングX線構成体。
- 前記第2の窓要素の少なくとも一部分が、200マイクロメータ以下、好ましくは100マイクロメータ以下、さらに好ましくは60マイクロメータ以下の厚さを有するグラッシーカーボンで構成されている請求項1乃至4のいずれか1の自己クリーニングX線構成体。
- 前記熱源(120)は、少なくともセ氏500度の温度で前記第2の窓要素を維持するように動作され得る請求項1乃至5のいずれか1の自己クリーニングX線構成体。
- 前記熱源(120)は、前記第2の窓要素のオーム加熱を発生するために第2の窓要素の伝導性部分の複数の領域の間に電圧を印加するための手段(426、428、430)を有する請求項1乃至6のいずれか1の自己クリーニングX線構成体。
- 前記熱源は、赤外線源と、マイクロ波源と、レーザと、電子ビーム源と、の少なくとも1つを有する請求項1乃至7のいずれか1の自己クリーニングX線窓構成体。
- 少なくとも1のスリット(322、332)を有し、導電性液体を収容する容器(320,330)をさらに具備し、
前記第2の窓要素(310)の少なくとも境界部分は、前記少なくとも1のスリットへ挿入されることによって容器に装着されている請求項8の自己クリーニングX線窓構成体。
- 前記第2の窓要素の境界部分の2つの対向した端部が、前記スリットへ夫々挿入されることによって容器に装着されている請求項9の自己クリーニングX線窓構成体。
- ガス気密性のハウジング(444)と、
このハウジング内に設けられている電子源(450)と、
前記ハウジング内に設けられている液体ジェット電子ターゲット(434)と、
前記ハウジングの外壁に設けられている請求項1乃至10のいずれか1の自己クリーニングX線窓構成体とを具備するX線源。 - 前記電子源の強度に従って、前記自己クリーニングX線窓構成体の前記熱源を制御するための制御装置をさらに具備する請求項11のX線源。
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