CN103213042A - 用于对关于工件的工件轴线偏心设置的工件环周面精加工的设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于对关于工件（12）的工件轴线偏心设置的工件环周面、尤其是曲柄轴的曲柄销进行精加工的设备（10），该设备具有：用于将工件（12）围绕工件轴线旋转驱动的旋转驱动装置（24）；用于将精加工工具朝着工件环周面按压的按压装置（20）；以及用于将按压装置（20）支承在支架（14）上的支承装置（18），其中设置有力施加装置，该力施加装置将制动力和/或加速力施加到支承装置（18）的由于工件（12）的旋转而在反转位置之间来回运动的支承部件上。

Description

用于对关于工件的工件轴线偏心设置的工件环周面精加工的设备

技术领域

本发明涉及一种用于对关于工件的工件轴线偏心设置的工件环周面、尤其是曲柄轴的曲柄销（Hublager）进行精加工的设备，该设备具有：用于将工件围绕工件轴线旋转驱动的旋转驱动装置；用于将精加工工具朝着工件环周面按压的按压装置；以及用于将按压装置支承在支架上的支承装置。

背景技术

从DE102007059926A1中已知一种设备，其用于对工件上基本上旋转对称的工件区段的环周面进行加工，这些工件例如为凸轮轴和曲柄轴，其具有工件轴线和多个沿着工件轴线错移设置的工件区段。DE102007059926A1提出，设置关于工件轴线彼此角度错移的超精加工单元。这要能够实现节省位置并且结构上简化地设置平行于工件轴线并排设置的超精加工单元。

发明内容

本发明所基于的任务是，实现开头提及类型的设备，该设备能够实现工件的满足高的质量要求并且同时经济的精加工。

根据本发明，该任务在开头提及类型的设备中通过如下方式解决：设置有力施加装置，该力施加装置将制动力和/或加速力施加到支承装置的由于工件的旋转而在两个反转位置之间来回运动的支承部件上。

根据本发明的设备能够实现减小或者至少在很大程度上避免在精加工工件时出现的惯性力。由此，在精加工工具与工件之间的接触区域中起作用的按压力可以被均匀化，由此去除率也可以被均匀化，并且可以改进加工质量。制动力能够实现将支承装置的来回运动的支承部件在到达反转位置之前制动。加速力能够实现将支承部件在到达一个反转位置时或之后朝着另一反转位置进行驱动。由此实现了显著地平稳化支承装置。该平稳化也使得为了旋转驱动工件而设置的旋转驱动装置不必产生与支承部件的来回运动对应变化的驱动转矩来保证工件的恒定旋转。更确切而言，旋转驱动装置仅还需要施加在很大程度上恒定的驱动转矩。这也使得待加工的工件环周面具有较高的圆度精确性。此外可能的是，提高工件的旋转驱动速度，使得提高加工质量，实现较高的材料去除率并且工件的精加工需要较短的时间。

优选的是，力施加装置至少在支承部件的反转位置之一上将朝着另一反转位置定向的加速力施加到支承部件上。这能够实现对在反转位置上出现的惯性力进行补偿，尤其是在关于重力方向沿竖直方向运动并且优选至少在下方的反转位置上被施加加速力的支承部件情况下，对在反转位置上出现的惯性力进行补偿。

尤其优选的是，力施加装置至少分别在支承部件的两个反转位置上将分别朝着另一反转位置定向的加速力施加到支承部件上。这能够实现在两个反转位置上惯性力的补偿。

根据本发明的一个改进方案提出，当支承部件位于设置在反转位置之间的中间位置上时，力施加装置将制动力和/或加速力施加到支承部件上。以该方式，支承部件的制动和/或支承部件的加速不仅能够点状地在反转位置上进行，而且对此附加地或可替选地也可以在中间位置上进行，使得实现支承装置的特别强的平稳化。此外，制动力和/或加速力可以“更柔和地”（在时间上更加连续地）引入到支承部件中。

根据本发明的一个优选实施形式设置的是，力施加装置具有能量存储器，该能量存储器能够在支承部件从第一反转位置到第二反转位置的运动过程中加载并且能够在相反方向上释放。能量存储器的加载尤其可以伴随着将制动力施加到支承部件上而出现。能量存储器的释放尤其伴随着将加速力施加到支承部件上而出现，并且由此伴随着对支承部件从第一反转位置到第二反转位置的运动的辅助。能量存储器具有如下优点：可以将支承部件的动能用于产生制动力和/或加速力，使得旋转驱动器需要较少的能量来旋转驱动工具。在使用能量存储器的情况下可以省去原理上可能的、就其本身而言有利并且下面还要阐述的“主动的”力施加装置，其包括外部的能量输送。

优选的是设置有至少两个能量存储器，其能够在支承部件的彼此相反的运动方向上加载，并且由此也能够在支承部件的分别彼此相反的运动方向上释放。

作为能量存储器，可以有利地使用以机械或气动方式起作用的弹性元件。在这种弹性元件的加载期间，其产生用于制动支承部件的制动力。在弹性元件释放期间，存储在弹性元件中的能量被释放并且引起支承部件的加速。

有利的是，力施加装置包括至少一个汽缸/活塞单元。这种单元特别良好地适于集成上面描述的能量存储器。然而，汽缸/活塞单元也可以用作力传递装置，其将支承部件的惯性力导出到支承部件的环境中，以便在那里补偿惯性力，例如借助尤其是弹性元件形式的能量存储器、或者借助可以以气动、液压、机械或电学方式起作用的主动力产生元件来进行。

当汽缸/活塞单元的汽缸的内腔与附加容积有效通流地连接时，形成惯性力到支承部件的环境中的特别简单的导出。

此外有利的是，设置有供给装置，用于对汽缸的内腔和/或与内腔连接的附加容积施加可预调节、尤其可改变的流体压力。这种供给装置例如可以借助压缩空气来馈送。流体压力的改变可以用于调节力施加装置的馈送率，并且能够实现制动力和/或加速力的数值的简单匹配。

可能的是，设置力施加装置，使得其针对工件的确定转速以及在工件环周面与工件的工件轴线之间的确定间距、并且针对支承部件和按压装置和必要时的精加工工具的确定质量提供可预先给定的最大力。然而，对于所述设备的简单匹配，尤其对于不同的旋转速度和工件环周面与工件的工件轴线之间的不同间距有利的是，设置有控制装置用于对作用到支承部件上的制动力和/或加速力的数值和/或方向和/或时间变化进行控制。以该方式，可以将所述设备迅速并且简单地匹配于不同的工件几何结构和制造参数。

有利的是，设置有用于对支承部件的位置进行检测的装置。在此，结合上面描述的控制装置，可以特别简单地控制力施加装置。

对于支承部件的限定的运动可能的是，该支承部件在线性引导装置上引导。

线性引导装置例如借助枢转部件相对于支架能够枢转地支承。由此，支承部件可以在横向于其来回运动的方向上跟踪待加工的工件环周面的运动。

替选于此可能的是，线性引导装置设置在滑架上，该滑架以能够在横向于、尤其垂直于线性引导装置的引导轴线的方向上推移的方式支承在支架上。这种结构也可以称作“交叉滑架（Kreuzschlitten）”。

根据本发明的另一实施形式，设置有其他力施加装置，用于对由于支承部件围绕枢转轴线的运动或者由于支承部件横向于线性引导装置的引导轴线的运动而形成的、质量决定的惯性力进行补偿。（然而，当未设置用于产生作用到在两个反转位置之间来回运动的支承部件上的制动力和/或加速力的力产生装置时，也可以使用这种力施加装置。）

前述设备适于基本上在水平方向上来回运动的支承部件。然而，前述设备也可以用于在竖直方向上来回运动的支承部件。

对于支承部件能够沿着相对于重力方向竖直的轴线在反转位置之间运动的情况，有利的是，设置有补偿装置，其至少部分地产生竖直向上作用的保持力，该保持力在数值上对应于按压装置、支承部件和精加工工具（例如超精加工石或者在带引导装置上引导的超精加工带）的重力。以该方式，可以补偿所述设备的所提及的部件的重力的至少一部分。

对此可替选或附加地，保持力可以至少部分地通过力施加装置来产生。以该方式，也可以补偿所述设备的所提及的部件的重力的至少一部分。对于力施加装置产生保持力的至少一部分的情况，特别优选的是，可以调节由力施加装置施加到支承部件上的保持力。在将弹簧用于产生保持力的至少一部分时，可以通过改变弹簧的预张来实现这种可调节性（在机械弹簧的情况下通过改变弹簧止挡的位置；在气动弹簧的情况下通过改变气压）。

对于力施加装置能够实现调节保持力的情况下，可以将相同的力施加装置不仅用于能水平运动的支承部件，而且用于能竖直运动并且在此补偿重力的支承部件。由此，出现模块系统的优点。

在本发明的范围中，精加工工具可以是抛光工具、研磨工具、磨削工具或压辊工具。

精加工工具尤其是超精加工工具，其与按压装置协作并且具有起磨损、摩擦作用的作用面。例如，其为超精加工石形式的超精加工工具，该超精加工石固定在按压装置上。超精加工工具也可以是超精加工带，其优选地借助按压装置的按压壳压向工件环周面。

尤其对于精加工工具是超精加工工具的情况优选的是，所述设备包括振荡驱动器，用于对工件施加与工件轴线平行的振荡运动，使得借助所述设备能够产生表现超精加工方法特征的交叉磨削结构。

本发明的其他特征和优点是优选实施例的下面的描述和视图的主题。

附图说明

在附图中，

图1示出了用于以超精加工方式精加工工件的设备的一个实施形式的立体图；

图2示出了根据图1的设备的一部分的侧视图，其包括超精加工工具形式的精加工工具、按压装置和支承装置；

图3示出了在工件的工件环周面的对应于0°的初始位置上在力施加装置的区域中以拆除方式剖切的、对应于图2的侧视图；

图4示出了在工件的相对于初始位置旋转90°的位置上的对应于图3的侧视图；

图5示出了在工件的相对于初始位置旋转180°的位置上的对应于图3的侧视图；

图6示出了在工件的相对于初始位置旋转270°的位置上的对应于图3的侧视图；

图7示出了在带有用于对支承装置的支承部件的位置进行检测的装置的、所述设备的扩展方案情况下与图3对应的侧视图；

图8示出了在将机械弹簧用作力产生元件和能量存储器的情况下与图3对应的侧视图；

图9示出了在使用与汽缸/活塞单元有效通流地连接的附加容积情况下与图3对应的侧视图；

图10示出了在使用以气动方式控制的气体弹簧情况下与图3对应的侧视图；

图11示出了在使用以气动方式控制的机械弹簧情况下与图3对应的侧视图；

图12示出了用于对汽缸的内腔和/或分别与内腔连接的附加容积施加可预调节的、尤其可改变的流体压力的供给装置的一个实施形式的示意图；

图13示出了供给装置的另一实施形式的示意图；

图14示出了供给装置的另一实施形式的示意图；

图15至18示出了与工件的旋转位置相关的制动力和/或加速力的变化曲线的示例的示意图；以及

图19示出了在未使用和使用力施加装置的情况下施加在所述设备的旋转驱动装置上的驱动转矩的变化曲线的示意图。

具体实施方式

整体上用附图标记10表示的设备的实施形式用于精加工工件12，尤其以超精加工方式加工工件12。设备10包括位置固定的支架14，该支架具有支架部件16，用于将下面还要详细阐述的支承装置18与支架14连接。支承装置18用于将下面还要详细阐述的按压装置20支承在支架14上。按压装置20将超精加工工具22形式（参见图2）的、例如超精加工带形式的精加工工具压向工件12的待以超精加工方式加工的表面。超精加工带例如以导向辊25的形式在超精加工带引导装置23上引导。

设备10包括旋转驱动装置24（参见图1）用于将工件12围绕工件轴线26（参见图2）旋转。旋转驱动装置24包括主轴箱28和尾架30。工件12夹紧在主轴箱28与尾架30之间。旋转驱动装置24和工件12的组合能够借助振荡驱动器32沿着与工件轴线26平行的振荡轴线34短程地来回运动。

有利的是，振荡驱动器32包括支承体36用于固定主轴箱28和尾架30。支承体36借助就其本身而言已知并且因此不详细阐述的驱动装置、例如偏心驱动器形式的驱动装置来驱动。

工件12具有与工件轴线26偏心错移的工件环周面38。尤其是，工件环周面38围绕附加轴线40同心地延伸，该附加轴线与工件轴线26平行并且间隔地延伸。

工件12尤其是曲柄轴。工件环周面38尤其是曲柄轴的销轴承（Hublager）的支承面。

在加工工件12期间，该工件围绕工件轴线26转动。在此，工件环周面38与轴线40和26的间距对应地圆形地围绕工件轴线26运动。上述旋转运动借助振荡驱动器32与在图1中以双箭头42表示的振荡运动叠加，以便在超精加工工具22的磨蚀作用下为工件环周面38设置交叉磨削结构。

因为工件环周面38如上面阐述那样圆形地围绕工件轴线26运动，所以需要的是，超精加工工具22（必要时与带引导装置23一起）并且由此按压装置20能够跟随工件环周面38的该运动。因此，用于将按压装置20支承在支架14上的支承装置18具有两个自由度，其能够实现按压装置20在垂直于工件轴线26的平面内的运动。

支承装置18包括枢转部件44，其以能够借助枢转轴承46围绕枢转轴线48枢转的方式保持在支架部件16上。枢转轴线48与工件轴线26平行地延伸。

枢转部件44用于设置至少一个线性引导装置50，借助所述线性引导装置，支承部件52以能够沿着线性引导装置50的引导轴线54相对于枢转部件44推移的方式支承。

支承部件52基本上在垂直于工件轴线26的平面内延伸。支承部件52具有被枢转轴承46穿过的穿通部56。

支承部件52具有朝向工件12的支承部件端部58，用于设置按压装置20。

按压装置20包括至少一个按压元件60，优选包括两个按压元件60，其例如以钳臂62的形式构建。钳臂62可以相对于支承部件52围绕按压枢转轴线64枢转。按压枢转轴线64平行于枢转部件44的枢转轴线48延伸。

钳臂62在其朝向工件12的端部上具有按压区段66，其尤其壳状地构建，使得构建为超精加工带的超精加工工具22可以沿着工件环周面38的部分环周向其按压。

为了产生按压力，按压装置20包括对按压元件60施加按压力的按压驱动器68。按压驱动器68例如以液压单元70的形式构建，该液压单元为按压元件60施加按压力72。

例如，按压驱动器68和按压区段66设置在按压元件60的关于按压枢转轴线64彼此背离的侧上。以该方式，彼此背离的压力72可以转换为朝向彼此的按压力74。

设备10包括在枢转部件44与支承部件52之间起作用的力施加装置76（参见图3）。力施加装置76产生与线性引导装置50的引导轴线54平行作用的制动力和加速力，其作用到支承部件52上。

力施加装置76包括至少一个汽缸/活塞单元78，例如两个彼此平行设置的汽缸/活塞单元78。单元78分别包括活塞80，其分别通过活塞杆82以不可移动的方式与支承部件52连接。

活塞80滑动地安置在固定地与枢转部件44连接的汽缸84中。活塞80将汽缸84划分为彼此分离的内腔，即第一内腔86和第二内腔88。

内腔86、88分别填充有施加压力的气体，并且分别形成可以沿相反方向加载和释放的能量存储器90。

在图3中，示出在初始位置中的工件12，在该初始位置中，工件环周面38关于工件轴线26位于“12点钟位置”上。工件12的该初始位置下面用“0°”表示。通过借助旋转驱动装置24将工件12围绕工件轴线26旋转，例如以顺时针方向旋转，工件12从图3所示的位置转动，例如转动到相对于初始位置转动90°的位置中（参见图4）。

通过在按压区段66与工件环周面38之间起作用的形状配合，在工件12的旋转过程中，按压装置20沿竖直方向向下运动并且同时沿水平方向移动离开工件轴线26。按压装置20的水平运动引起支承部件52相对于枢转部件44的相应的水平推移。按压装置20的竖直运动引起支承部件52和枢转部件44围绕枢转轴线48的枢转。

通过支承部件52的水平移动，活塞80相对于汽缸80的位置改变。尤其是，在第二内腔88中存在的气体被压缩，使得在支承部件52从初始位置（图3）到图4中示出的中间位置的运动期间，有越来越大的制动力作用到支承部件52上。该制动力在图4中示出的、第二内腔88的完全压缩的位置上最大。从该位置起，工件12围绕工件轴线26的进一步旋转引起第二内腔88的变大，直至到图5中示出的中间位置上（“180°”）内腔86和88又分别等大。在从中间位置“90°”到中间位置“180°”的运动期间，第二内腔88形式的能量存储器90释放，使得支承部件52被施加朝着工件12定向的加速力。

在图5中示出支承部件52的中间位置。图4示出支承部件52的第一反转位置；图6示出支承部件52的第二反转位置。

从图5中示出的中间位置起，支承部件52在工件12从位置“180°”到位置“270°”的转移中运动（参见图6）。支承部件52的该运动伴随着第一内腔86的压缩，该压缩将越来越强的制动力施加到支承部件52上。与其伴随的第一内腔86的加载用于在工件从位置“270°”回到初始位置“0°”的过渡中（即在工件12从图6中所示的旋转位置到图3中所示的旋转位置的转移中）借助第一内腔86形式的能量存储器90的释放将加速力施加到支承部件52上。

在设备10的一个改进方案中，设置有用于检测支承部件52相对于枢转部件44的位置的装置92（参见图7）。装置92具有与枢转部件44连接的第一保持区段94用于保持位置传感器95。该装置此外具有与支承部件52连接的第二保持部件96用于保持测量区段98。位置传感器95用于检测测量区段98的运动，并且由此用于检测支承部件52相对于枢转部件44的位置。该位置检测对于下面描述的力施加装置76的控制是有利的。

在图8中示出的实施形式中，同样设置有具有汽缸/活塞单元78的力施加装置76。在该实施形式中，构建有以机械方式起作用的弹性元件100形式的能量存储器90。该根据图8特别简单地构建的力施加装置76的工作原理对应于前面参考图3至图6描述的力施加装置76的工作原理。

在图9中示出的实施形式中，同样设置有带有汽缸/活塞单元78的力施加装置76。单元78的第一内腔86和第二内腔88分别通过管路102与附加容积104连接。附加容积104用于容纳被施加压力的流体，尤其是作为能量存储器90起作用的气体。通过调节包含在附加容积104中的气体的压力和/或通过在给定的气体量情况下调节附加容积的大小，可以调节力施加装置的弹性力，其中较高的压力引起较陡的弹簧特性曲线。根据图9的力施加装置76的基本工作原理对应于前面参考图3至图6描述的力施加装置76的工作原理。

在图10和图11中示出的实施形式中，同样设置有汽缸/活塞单元78，其内腔86、88分别通过管路102与附加容积104连接。

内腔86、88、管路102和附加容积优选填充有流体。该装置具有如下优点：该流体可以用于将力传输到支承部件52外部的区域中。因此，可以使用特别紧凑的汽缸/活塞单元78。

附加容积104借助膜形式（图10）或活塞108形式（图11）的封闭元件106来封闭。封闭元件106、108被借助气动作用的弹簧110（图10）和/或机械作用的弹簧100（图11）形式的能量存储器90来加荷。

在根据图10或图11的实施形式的支承部件52的运动中，附加容积104分别被交替较强地填充，或者弹性元件100、110分别被交替地压缩，使得这些弹性元件作为能量存储器90被交替地加载和释放。此外，根据图10或图11的力施加装置76的工作原理对应于上面参考图3至图6描述的力施加装置76的工作原理。

在图12中示出了供给装置112，其用于为单元78的内腔86、88和必要时存在的附加容积104供给被施加压力的流体。供给单元112包括压力源114（例如压缩空气供给部），其通过比例阀116和止回阀118与内腔86、88和必要时存在的附加容积104通流。

比例阀116例如借助电磁铁来控制。为了提高相应的内腔86、88中的压力，开环地控制比例阀116是足够的。如果要减小内腔86、88中的压力，则操作将控制压力施加到止回阀118上的附加阀120，使得可以减小在内腔86、88中并且必要时在附加容积104中的压力。

在图13和图14中示出的供给装置112的实施形式中，压力供给部114通过4/3通阀122与单元78的不同内腔86、88通流。在图13中示出的开关位置中，力施加装置76的工作原理对应于前面参考图3至图6描述的力施加装置76的工作原理。在4/3通阀122的两个其余开关位置中，压力供给部114可以以可选方式与单元78的第一内腔86或者与单元78的第二内腔88有效通流地连接，使得能够借助力施加装置76产生的制动力和/或加速力能够有针对性地改变。

在根据图14的一个有利的改进形式中设置有控制装置124，该控制装置与用于检测支承部件52相对于枢转部件44的位置的装置92耦合，并且根据支承部件52的位置来控制4/3通阀122。

这种控制部例如能够实现产生图15至图18中示出的力变化曲线。例如，压力供给部114通过阀122的转换在工件位置“90°”情况下与第二内腔88连接，并且在工件位置“270°”情况下与第一内腔86连接。

在使用用于阀122的简单的转换阀时，例如可以产生在图15中示出的力变化曲线。例如，压力供给部114与第二内腔88的连接在时段126上引起力变化曲线区段128，即沿着线性引导装置50的引导轴线54来看向左定向的加速力。以相应的方式，压力供给部114与第一内腔86的连接在时段130上引起力变化曲线区段132，即沿着线性引导装置50的引导轴线54来看向右定向的加速力。

在将比例阀用于阀122时，在图16至图18所示的较陡地上升到力峰值（图16）或者较平地上升到力峰值（图17）的力变化曲线是可能的。可以理解的是，力峰值不必在工件位置“90°”和“270°”的区域中、即在支承部件52的反转位置上施加。与此角度偏移地施加力也是可能的，参见图18。

根据本发明的装置能够实现将为了旋转驱动工件12而由旋转驱动装置24提供的驱动转矩平稳化。在图19中示出了旋转驱动装置24的驱动转矩的时间变化曲线。这些变化曲线分别正弦形地在最大值和最小值之间波动。在此，一个完整的正弦振荡对应于工件12围绕其工件轴线26旋转一圈。在不使用力施加装置76的情况下，与在使用借助其实现明显更均匀、在理想情况下甚至接近恒定的驱动转矩变化曲线136的力施加装置76时相比，驱动转矩变化曲线134显著更强地波动。

Claims (18)

1.用于对关于工件（12）的工件轴线（26）偏心设置的工件环周面（38）、尤其是曲柄轴的曲柄销进行精加工的设备（10），所述设备具有：用于将所述工件（12）围绕所述工件轴线（26）旋转驱动的旋转驱动装置（24）；用于将精加工工具朝着所述工件环周面（38）按压的按压装置（20）；以及用于将所述按压装置（20）支承在支架（14）上的支承装置（18），其特征在于，设置有力施加装置（76），所述力施加装置将制动力和/或加速力施加到所述支承装置（18）的由于所述工件（12）的旋转而在两个反转位置之间来回运动的支承部件（52）上。

2.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于，所述力施加装置（76）至少在所述支承部件（52）的反转位置之一上将朝着另一反转位置定向的加速力施加到所述支承部件上。

3.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于，所述力施加装置（76）至少分别在所述支承部件（52）的两个反转位置上将分别朝着另一反转位置定向的加速力施加到所述支承部件（52）上。

4.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于，当所述支承部件（52）位于设置在所述反转位置之间的中间位置上时，所述力施加装置（76）对所述支承部件（52）施加制动力和/或加速力。

5.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于，所述力施加装置（76）具有能量存储器（90），所述能量存储器能够在所述支承部件（52）从第一反转位置到第二反转位置的运动过程中加载，并且能够在相反方向上释放。

6.根据权利要求5所述的设备（10），其特征在于，所述能量存储器（90）包括以机械方式或气动方式起作用的弹性元件（100，110）。

7.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于，所述力施加装置（76）包括至少一个汽缸/活塞单元（78）。

8.根据权利要求7所述的设备（10），其特征在于，所述汽缸/活塞单元（78）的汽缸（84）的内腔（86，88）与附加容积（104）有效通流地连接。

9.根据权利要求7或8所述的设备（10），其特征在于设置有供给装置（112），所述供给装置用于为所述汽缸（84）的内腔（86，88）和/或与所述内腔（86，88）连接的附加容积（104）施加可预调节的、尤其可改变的流体压力。

10.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于设置有控制装置（124），所述控制装置用于控制作用到所述支承部件（52）上的制动力和/或加速力的数值和/或方向和/或时间变化曲线。

11.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于设置有用于检测支承部件（52）的位置的装置（92）。

12.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于，所述支承部件（52）在线性引导装置（50）上引导。

13.根据权利要求12所述的设备（10），其特征在于，所述线性引导装置（50）以能够借助枢转部件（44）相对于支架（14）枢转的方式来支承。

14.根据权利要求12或13所述的设备（10），其特征在于，所述线性引导装置（50）设置在滑架上，所述滑架以能够在横向于、尤其垂直于所述线性引导装置（50）的引导轴线（54）的方向上推移的方式支承在所述支架（14）上。

15.根据权利要求13或14所述的设备（10），其特征在于，为了补偿由于所述支承部件（52）围绕枢转轴线（48）的运动和/或由于所述支承部件（52）在横向于所述线性引导装置（50）的引导轴线（54）的方向上的运动而形成的、质量决定的惯性力，设置有其他力施加装置。

16.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于，所述支承部件（52）能够沿着关于重力方向竖直的轴线在所述反转位置之间运动，并且设置有至少部分地产生竖直向上作用的保持力的补偿装置，所述保持力在数值上等于所述按压装置（20）、所述支承部件（52）和所述精加工工具的重力，和/或所述力施加装置（76）至少部分地产生这种保持力。

17.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于，所述精加工工具是用于精加工所述工件环周面（38）的超精加工工具（22）。

18.根据上述权利要求之一所述的设备（10），其特征在于设置有振荡驱动器（32），所述振荡驱动器用于将平行于工件轴线（26）的振荡运动施加到所述工件（12）上。

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