CN103193479A - 低成本表面层型半导体陶瓷电容器瓷料的制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种低成本表面层型半导体陶瓷电容器瓷料的制造方法,第一步:掺杂BaTiO3烧块的合成;第二步:Tc移动剂烧块的合成;第三步:瓷料制造。本发明采用工业级或电子一级TiO2代替价高的高纯TiO2,采用合成掺杂一步法的新工艺替代传统工艺,实现了瓷料生产成本的大幅度降低,而且瓷料性能完全满足要求。此外,采用多种掺杂稀土元素替代价高的氧化钕稀土元素,使生产成本更进一步降低,而且瓷料性能也有显著的提高。

Description

低成本表面层型半导体陶瓷电容器瓷料的制造方法
技术领域
本发明属电子材料领域,具体涉及一种低成本表面层型半导体陶瓷电容器瓷料的制造方法。
背景技术
半导体陶瓷电容器,一般分三大类,即阻挡层型、表面层型和晶粒边界层型。表面层型具有比容大,工艺性好,且较简单,便于量产化等优点,广泛用于通讯、计算机等多种电子产品中。对用于表面层型半导体陶瓷电容器的瓷料而言,应同时满足以下三个条件:(1)瓷料材料本身的ε r应尽可能大;(2)瓷料材料的结构应致密,晶粒应细小均匀;(3)瓷料材料应易还原再氧化。已有技术普遍采用高纯原料和传统工艺生产瓷料,普遍存在ε r不高和工艺的不稳定。而且表现出掺杂效果不稳定,形成Ba位置电中性缺位固溶体数量不足。最为突出的是必须采用高纯原料,使成本居高不下。
发明内容
本发明解决的技术问题:提供一种低成本表面层型半导体陶瓷电容器瓷料的制造方法,采用工业级或电子一级TiO2代替价高的高纯TiO2,采用合成掺杂一步法的新工艺替代传统工艺,实现了瓷料生产成本的大幅度降低,而且瓷料性能完全满足要求。此外,采用多种掺杂稀土元素替代价高的氧化钕稀土元素,使生产成本更进一步降低,而且瓷料性能也有显著的提高。
本发明的技术解决方案:
第一步:掺杂BaTi O3烧块的合成;
首先按BaCO3 65-78 Wt%,工业级或电子一级TiO2 20-30 Wt%,La系稀土2-5 Wt%配比原料;然后将配好的原料混合球磨3-4小时,砂磨细化4-5小时后煅烧合成掺杂BaTi O3烧块,合成温度及保温时间为1240±5℃/2H,再将高温合成的掺杂BaTi O3烧块粉碎过筛,最后对粉碎过筛后的烧块进行检测;
第二步:Tc移动剂烧块的合成;
首先按Nd2O3 55-61 Wt%,ZrO27-33 Wt% ,SnO2 8-14 Wt%,MnCO3 1-3 Wt%配比原料;然后将配好的原料混合球磨3-4小时后压滤,将过滤后的原料煅烧合成Tc移动剂烧块,合成温度及保温时间为1200±5℃/2H,再将高温合成的Tc移动剂烧块粉碎过筛,最后对粉碎过筛后的烧块进行检测;
第三步:瓷料制造;
首先按掺杂BaTi O3烧块99-99.7Wt%,Tc移动剂烧块0.3-1.0Wt%配比原料;然后将配好的原料混合球磨3-4小时,砂磨细化4-5小时后干燥、粉碎、过筛得到瓷料,最后对瓷料进行电性能检测。
所述La系稀土为Nd2O3或La2O3或CeO2
所述混合球磨的料:球:水=1:2-2.5:0.8-1.25。
本发明与现有技术相比具有的优点和效果:
1、本发明采用合成掺杂一步法新工艺替代传统两步法合成工艺,使瓷料生产可以采用工业级或电子一级TiO2替代价高的高纯TiO2,使瓷料生产成本大幅度降低。高纯TiO2市场售价为34-44元/kg,而工业级的TiO2市场售价只有19.5-21元/kg。不但经济效益明显,而且瓷料性能也有所提高。
2、本发明可采用多种稀土材料作施主掺杂。根据市场行情选择价格便宜的稀土材料作施主掺杂。例如目前市场稀土材料氧化钕售价高达800-1000元/kg,而氧化镧,氧化铈等稀土材料市场售价只有120元/kg左右,选用氧化镧,氧化铈作施主材料,使生产成本更进一步降低,而且能确保产品质量水平不下降。
3、本发明使用工业级原料,使生产成本大幅度下降。生产成本由传统工艺的66.47元/kg,下降到28.85元/kg,每月按生产10吨瓷料计算,可增加利润375300元。经济效益十分显著,同时瓷料性能也有较大的提高。
4、本发明增加砂磨细化工艺,提高各原材料的反应活性,采用高温合成使烧块生成Ba位置电中性的缺位固溶体更充分,确保瓷料还原氧化容易。
具体实施方式
第一步:掺杂BaTi O3烧块的合成;
原料配方:BaCO3 68Wt%,工业级TiO2 29Wt%,氧化钕Nd2O3 3.0Wt%;
合成工艺:首先按上述重量比配比原料,然后将配好的原料采用搅拌球磨机按料:球:水=1:2:0.8混合球磨3小时后;继续砂磨细化5小时后在推板炉中煅烧合成掺杂BaTi O3烧块,合成温度及保温时间为1240±5℃/2H,再将高温合成的掺杂BaTi O3烧块粉碎过筛,最后对粉碎过筛后的烧块进行检测;
检测方法:将掺杂BaTiO3烧块100 Wt %,MnO2 0.1 Wt %混匀后干压成型,并在1340℃/3h烧结成瓷,检测电性能如下:介电常数εr 20℃=9246,介质损耗正切值tgδ1=(64-127)×10-4,tgδ2=(94-127)×10-4,居里温度Tc=30℃,εr Tc=11519-12096。
第二步:Tc移动剂烧块的合成;
原料配方:Na2CO3 58Wt%,ZrO 30Wt% ,SnO2 11Wt%,MnCO31.0Wt%;
合成工艺:首先按上述重量比配比原料,然后将配好的原料按料:球:水=1:2.5:1.25混合球磨3.5小时后压滤,将过滤后的原料在推板炉中煅烧合成Tc移动剂烧块,合成温度及保温时间为1200±5℃/2H,再将高温合成的Tc移动剂烧块粉碎过筛,最后对粉碎过筛后的烧块进行检测;
检测方法:将掺杂BaTiO3烧块99.7 Wt%,Tc移动剂烧块0.3 Wt%及MnO2 0.1%混匀后干压成型,并在1340℃/3h烧结成瓷,检测电性能如下:介电常数:εr 20℃=11929-12054,介质损耗正切值tgδ1=(49-80)×10-4,tgδ2=(74-91)×10-4,居里温度Tc=20℃ ,εr Tc =11929-12054。
第三步:瓷料制造;
原料配方:掺杂BaTi O3烧块99.7Wt%,Tc移动剂烧块0.3Wt%;
合成工艺:首先按上述重量比配比原料,然后将配好的原料按料:球:水=1:2:1混合球磨4小时,砂磨细化5小时后干燥、粉碎、过筛得到瓷料,最后对瓷料进行电性能检测。
A、将瓷料干压成型,并在1320℃-1350℃/3H烧结成瓷,检测电性能如下:介电常数εr 20℃=14817,介质损耗正切值tgδ1=(26-30)×10-4,tgδ2=(28-34)×10-4;居里温度Tc=15℃,εr Tc =15414;
B、将瓷料挤膜成型,并在1320℃/3H烧结成瓷,检测电性能如下:介电常数εr 20℃=15935,介质损耗正切值tgδ1=(58-71)×10-4,tgδ2=(64-85)×10-4,居里温度Tc=20℃,εr Tc =15935。
本发明生产的瓷料电性能均能达到设计指标,瓷料的介电常数做到尽可能大,瓷料在规定烧结温度范围内瓷介质材料结构致密、晶粒细小、均匀,瓷料制作的一次烧成芯片易还原再氧化。
上述实施例,只是本发明的较佳实施例,并非用来限制本发明实施范围,故凡以本发明权利要求所述内容所做的等同变化,均应包括在本发明权利要求范围之内。

Claims (3)

1.一种低成本表面层型半导体陶瓷电容器瓷料的制造方法,其特征是:
第一步:掺杂BaTi O3烧块的合成;
首先按BaCO3 65-78 Wt%,工业级或电子一级TiO2 20-30 Wt%,La系稀土2-5 Wt%配比原料;然后将配好的原料混合球磨3-4小时,砂磨细化4-5小时后煅烧合成掺杂BaTi O3烧块,合成温度及保温时间为1240±5℃/2H,再将高温合成的掺杂BaTi O3烧块粉碎过筛,最后对粉碎过筛后的烧块进行检测;
第二步:Tc移动剂烧块的合成;
首先按Nd2O3 55-61 Wt%,ZrO27-33 Wt% ,SnO2 8-14 Wt%,MnCO3 1-3 Wt%配比原料;然后将配好的原料混合球磨3-4小时后压滤,将过滤后的原料煅烧合成Tc移动剂烧块,合成温度及保温时间为1200±5℃/2H,再将高温合成的Tc移动剂烧块粉碎过筛,最后对粉碎过筛后的烧块进行检测;
第三步:瓷料制造;
首先按掺杂BaTi O3烧块99-99.7Wt%,Tc移动剂烧块0.3-1.0Wt%配比原料;然后将配好的原料混合球磨3-4小时,砂磨细化4-5小时后干燥、粉碎、过筛得到瓷料,最后对瓷料进行电性能检测。
2.根据权利要求1所述的低成本表面层型半导体陶瓷电容器瓷料的制造方法,其特征是:所述La系稀土为Nd2O3或La2O3或CeO2
3.根据权利要求1或2所述的低成本表面层型半导体陶瓷电容器瓷料的制造方法,其特征是:所述混合球磨的料:球:水=1:2-2.5:0.8-1.25。
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