CN103120022A - 印刷用凸版及使用该印刷用凸版的有机el 元件的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种不会产生由凸版印刷法引起的印刷缺陷、能形成均匀的发光介质层并抑制发光不均的有机EL元件的制造方法。这是一种由形成在基板上的像素电极、在前述像素电极上由隔壁划定的像素区域、在前述像素区域上具有至少由有机发光材料构成的发光层的发光介质层和与前述像素电极对置的对置电极构成的有机EL元件的制造方法,在该方法中,包括用凸版印刷法形成构成前述发光介质层的至少一层的工序,在该凸版印刷法中,油墨从至少二个以上邻接的凸起图案转印到一个前述像素区域内,进行流动并形成一体,从而形成发光介质层。
Description
技术领域
本发明涉及一种通过凸版印刷法形成有机发光层的有机EL元件及其制造方法和用于该制造方法的印刷用凸版。
背景技术
有机EL元件是一种具有在对置的阳极和阴极间形成有由有机发光材料构成的有机发光层的结构的发光元件,通过施加电压,从阳极、阴极分别注入空穴、电子,空穴和电子在有机发光层再结合而发光。要得到高效率的发光,有机发光层的膜厚是重要的因素,必须将膜厚控制在数nm到数十nm左右。此外,用有机EL元件作为显示器时,需要有高精细地进行图案形成的技术。
有机发光层中使用的有机发光材料区分为低分子类材料和高分子类材料,有机发光层的形成方法随有机发光材料的种类而不同。
通常,低分子类材料通过电阻加热蒸镀法(真空蒸镀法)等在基板上形成薄膜。使有机EL元件全色化时,通过使用与各色像素形状相应的图案的掩模,将不同发光色的发光材料蒸镀到各自的像素部分而形成。这种方法对于形成均匀的薄膜中是优异的方法,但若为大型基板,则存在难以保持掩模的图案精度的问题。
另一方面,使用高分子材料时,将有机发光材料溶解或分散到溶剂中进行油墨化,通过湿式成膜法形成薄膜。作为湿式成膜法,有旋转涂布法、棒式涂布法、突出涂布法、浸涂法等,但难以用于图案形成和颜色的区别涂抹,要进行高精细的图案成形等,必须使用利用喷墨法、印刷法等的图案印刷。
在利用例如专利文献1中公开的那样的喷墨法的图案形成方法中,从喷墨嘴将溶解在溶剂中的有机发光材料喷到基板上,使其在基板上干燥,形成图案。然而,从喷嘴喷出的油墨液滴呈球状,因此,存在喷射到基板上时油墨展开成圆形状、形成的图案的形状欠缺直线性或喷射命中精度差、不能得到图案的直线性之类的问题。
此外,在利用印刷法的图案形成方法中,有凸版印刷法、反转印刷法、丝网印刷法等。在有机EL元件、显示器中,多使用玻璃基板作为基板,凹版印刷法等中使用的金属印刷版等硬印刷版在这里是不适合的。因此,使用弹性橡胶印刷版的印刷法、使用橡胶的印刷用橡皮布的胶版印刷法、使用以具有弹性的橡胶或其他树脂为主要成分的感光性树脂版的凸版印刷法等被认为是合适的印刷法。实际上,作为这些印刷法的尝试,已有人提倡利用胶版印刷的图案印刷方法(专利文献2)、利用凸版印刷的图案印刷方法(专利文献3)。
作为通过凸版印刷法来形成有机EL元件的有机发光层的工序的一个例子,首先,将有机发光材料溶解或分散在溶剂中进行油墨化,涂布到具有微细孔的网纹辊的辊表面。接着,用刮墨刀刮去网纹辊表面的多余油墨,使网纹辊的单位面积的油墨涂布量均匀。然后,将网纹辊上的油墨转移到具有对应有机EL元件的像素的形状而设置的图像形成部的印刷版的图像形成部上,最后,将该印刷版的图像形成部上的油墨薄膜转移到基板上,形成有机EL元件的有机发光层。
图9示出通过凸版印刷法来形成发光部的印刷工序的一个例子。示于图9的油墨盘101中存积有将有机发光材料溶解或分散在溶剂中而成的油墨。在该油墨盘101中,油墨被供给到网纹辊103上后,用刮墨刀102刮去网纹辊上多余的油墨,油墨仅蓄积在孔内部。孔内部的油墨被转移至卷绕在与网纹辊103相对地进行旋转的印版滚筒105上的凸版104的图像形成部上,在该图像形成部上形成图案化的油墨薄膜。形成在图像形成部上的图案化的薄膜被转移到与印版滚筒105相对地进行移动的基板106上,在该基板之上的发光部的形成位置上形成所希望的发光部。
通过印刷法制作有机EL元件时,位于用于形成发光部的印刷版上的图像形成部的图案具有以下构成:在构成有机EL元件各像素的多个发光部中,用于形成以同一发光色发光的发光部的图像形成部多个排列。按照发光色的色数数目,准备好这种印刷版,依次印刷发出各种发光色的发光部,由此得到有机发光层。
图6示出利用凸版印刷法的一般的印刷工序的示意图。对其印刷工序进行说明。首先,在印刷版上加入油墨后(图6(a)),将版推移至抵触被转印基板201(图6(b))。此时,由于版的凸起图案203被推压在被转印基板上,因而,出现被压破的油墨202从版的凸起图案向外展开的现象,在从被转印基板上分离印刷版时,由于油墨的粘性,油墨在印刷版和被转印基板上分离(图6(c))。之后,转移到被转印基板上的油墨介由流平而形成均匀的图案(图6(d))。在该工序中完成的图案的印刷线宽存在比版的凸起图案的宽度大、但增大的部分仅为凸起图案上的油墨被压破、从凸起图案展开所导致的部分的倾向。
前述印刷工序中转移的油墨的流平未充分进行时,会产生印刷线的中央部未被转印的中央脱落现象,或与之相反,印刷线的外侧未被转印的外缘(marginal)现象之类的印刷缺陷。若出现这些现象,则像素内的有机材料层的膜厚出现不均匀化,产生发光不均匀。将这些现象的发生情况的示意图示于图7、图8。图7(a)、(b)示出发生中央脱落现象的情况,图8(a)、(b)示出发生外缘现象的情况。
这些现象可在版的凸起图案宽度大时和油墨粘度高时的印刷条件中出现。此外,即使在印刷几张时不出现,若连续印刷,也容易出现。
因此,在使用凸版印刷法连续、稳定地制作有机EL元件时,在以往的印刷用凸版中,在被印刷体的转印区域大小、油墨的种类、物性方面存在问题。
专利文献
专利文献1:日本特开平10-12377号公报
专利文献2:日本特开平2001-93668号公报
专利文献3:日本特开平2001-155858号公报
发明内容
本发明是为了解决前述问题而作出的,其目的在于提供一种在通过使用有机材料油墨的凸版印刷法制作有机EL元件的发光介质层时,即使在使用高粘度油墨的情况下和在进行宽幅像素图案印刷的情况下,以及在连续地进行许多张印刷的情况下仍能在不引发印刷缺陷的情况下形成均匀的发光介质层、抑制发光不均的有机EL元件及其制造方法以及在该方法中所用的凸版。
为了解决前述课题,对印刷用凸版的凸起图案形状进行了研究,结果发现以下手段有效。
本发明的技术方案1的发明为一种有机EL元件的制造方法,是一种由形成在基板上的像素电极、在前述像素电极上由隔壁划定的像素区域、在前述像素区域上具有至少由有机发光材料构成的发光层的发光介质层和与前述像素电极对置的对置电极构成的有机EL元件的制造方法,其特征在于,包括将含有发光介质材料和溶剂的油墨利用凸版印刷法转印到前述像素区域、形成前述发光介质层的工序,在该凸版印刷法中,油墨从二个以上邻接的凸起图案上转印到一个前述图像区域内,进行流动并形成一体,从而形成前述发光介质层。
本发明的技术方案2的发明为在技术方案1中,前述油墨的粘度在5mPa·s以上、120mPa·s以下。
本发明的技术方案3的发明为一种印刷用凸版,用于技术方案1或技术方案2的有机EL元件的制造方法,其特征在于,至少由版基材、形成在前述版基材上的二个以上邻接的凸起图案和由前述凸起图案构成的凸起图案群构成。
本发明的技术方案4的发明为在技术方案3中,前述凸起图案的高在10μm以上。
本发明的技术方案5的发明为在技术方案3或技术方案4中,前述多个邻接的凸起图案之间的距离在10μm以上、40μm以下。
本发明的技术方案6的发明为技术方案3~5中任一项中,前述凸起图案群的宽在60μm以上、500μm以下。
通过本发明,可以通过使用具有多个邻接的凸起图案的印刷用凸版的凸版印刷法,简便、均匀地形成发光介质层的由有机材料构成的至少一个层,从而可以制造能得到均匀发光的有机EL元件。
附图说明
图1是显示本发明的印刷用凸版的一个实施例的截面图(a)以及对本发明的印刷用凸版的一部分进行扩大的图(b)。
图2是显示本发明的印刷用凸版的一个实施例的截面斜视图(a)以及显示本发明的印刷用凸版的其他实施例的截面斜视图(b)。
图3是显示在本发明的印刷用凸版上形成的一个实施例的斜视图(a)以及显示其他实施例的斜视图(b)。
图4是显示用本发明的印刷用凸版进行凸版印刷的印刷工序的一个实施例的截面图(a)、(b)、(c)、(d)。
图5是一般的印刷用凸版的例子的截面图。
图6是显示利用一般的凸版印刷法的印刷工序的例子的截面图(a)、(b)、(c)、(d)。
图7是显示用一般的凸版印刷法进行印刷的工序中出现中央脱落现象情况下的印刷中及印刷后的凸版与被印刷体的基板间的状态的截面图(a)、(b)。
图8是显示用一般的凸版印刷法进行印刷的工序中出现外缘现象的情况下的印刷中及印刷后的凸版与被印刷体的基板间的状态的截面图(a)、(b)。
图9是显示使用本发明的印刷用凸版的印刷装置的一个实施例的示意截面图。图
10是显示用本发明制造的有机EL元件的一个实施例的截面图。
图11是本发明的有机EL元件的制造中使用的有源矩阵方式的基板的一个实施例的截面图。
具体实施方式
下面根据附图对本发明的实施方式进行说明。而本发明并不局限于此。
图1示出本发明的印刷用凸版的一个实施例的说明截面图。在基材204上形成有由树脂层形成的凸起图案203,至少二个以上邻接的前述凸起图案进一步形成凸起图案群205。对凸起图案203而言,存在如图2(a)所示地邻接的凸起图案连续地形成在基材上的情况和如图2(b)所示地邻接的凸起图案独立地形成在基材上的情况,本发明中使用任何一种均可。另外,也可根据需要在凸起图案203和基材204之间加入用于赋予防止可见光线反射效果、防止紫外线反射效果、耐水性、耐油性、拨水性、粘合性等的层,将基材204形成为层积体。并且,形成在本发明的印刷用凸版上的凸起图案群205由至少二个以上邻接的凸起图案203形成。邻接的凸起图案203之间从强度和容易制造的角度考虑,优选相互平行。
在本发明的印刷用凸版中所使用的版材中,作为形成有凸起图案203的基材204,只要具有对印刷的机械强度即可,可以使用聚乙烯、聚苯乙烯、聚丁二烯、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚醋酸乙烯、聚酰胺、聚醚砜、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚乙烯醇等公知的合成树脂、铁、铜、铝之类公知的金属或它们的层积体。其中优选保持高尺寸稳定性的基材。作为这种基材,金属可良好地使用,所使用的金属可以是铁、铝、铜、锌、镍、钛、铬、金、银或这些金属的合金、层积体等,但从加工性、经济性的角度考虑,尤其可良好地使用以铁为主要成分的钢铁基材或铝基材。
作为形成本发明凸版的凸起图案203的树脂的一种成分的聚合物,除了丁腈橡胶、硅橡胶、异戊二烯橡胶、苯乙烯丁二烯橡胶、丁二烯橡胶、氯丁橡胶、丁基橡胶、丙烯腈橡胶、乙丙橡胶、聚氨酯橡胶等橡胶以外,可以从聚乙烯、聚苯乙烯、聚丁二烯、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚醋酸乙烯、聚酰胺、聚氨酯、聚醚砜、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚乙烯醇等合成树脂或这些树脂的共聚物、纤维素等高分子等中选择一种以上,但涂布有机发光材料等之类涂装液时,从对有机溶剂的耐溶剂性的角度考虑,优选氟系弹性体或聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、聚偏六氟乙烯或它们的共聚物之类的氟系树脂。
要吸收或漫反射可见光线、使利用凸部的可见光进行的缺陷检查变得容易,可以设置防可见光线反射层,可以使用氧化硅、氧化钛等对光进行漫反射的金属氧化物、炭黑或公知的颜料等在可见光区域具有吸收带的物质。
此外,至少含有聚乙烯醇、聚酰胺、聚氨酯、醋酸纤维素琥珀酸酯、部分皂化聚醋酸乙烯、含阳离子型哌嗪聚酰胺或它们的衍生物之类水溶性溶剂中的一种以上可溶物质,也可赋予耐溶剂性,因此,还优选从这些化合物中选择一个以上进行使用。
本发明中的由树脂层形成的凸起图案203可以通过使用正型感光性树脂的光刻法、使用负型感光性树脂的光刻法、射出成型、凸版印刷法、凹版印刷法、平板印刷法、漏版印刷法、激光烧蚀法等各种图案成型法而形成,但从图案的高精细度的角度考虑,优选使用感光性树脂的光刻法,最好是使用可以形成要求精度的凸版的负型感光性树脂的光刻法。
将使用感光性树脂的光刻法作为凸起图案203的形成方法时,最好由依次层积有基材层、感光性树脂层的板状感光性树脂层积体形成凸版的凸起图案203。感光性树脂层的成形方法可以使用射出成型法、突出成型法、层积法、棒式涂布法、狭缝涂布法、逗点式涂布法等公知的方法。
示出本发明中的板状感光性树脂层积体的成型方法。在基材204上形成防反射层等时,用棒式涂布法、狭缝涂布法、喷涂法、柔性版印刷、凹版印刷等湿式涂布法或溅射法、真空蒸镀法、CVD法等干式涂布法进行成膜,形成层积体。接着,在层积体或基材204上用射出成型法、突出成型法、层积法、棒式涂布法、狭缝涂布法、逗点式涂布法等公知的方法进行成膜,形成板状感光性树脂层积体。
接着对本发明的印刷用凸版的图案形状进行说明。在用凸版印刷法印刷有机EL元件时,必须对应有机EL元件的像素区域来形成印刷用凸版的凸起图案203,像素图案也大大影响印刷用凸版的图案。
图1中示出本发明的印刷用凸版的一个实施例的截面图,图4示出本发明凸版印刷工序的一个实施例的截面图,图5示出一般的印刷用凸版的例子的截面图,图6示出一般的凸版印刷工序的一个实施例的截面图。
通过用凸版印刷法进行印刷,像图6那样地,油墨被以比凸起图案203的版线宽粗的方式转印到基板上,但对于更宽度更大的像素区域,必须使用版线宽更宽的凸起图案203。但是,随着油墨的粘度、印刷条件,在图5那样的使用以往的印刷用凸版的凸版印刷法中,若版线宽为超过70μm的宽度,则印刷物中明显地出现中央脱落现象(图7)、外缘现象(图8)等印刷缺陷。此外,在凸版印刷法中使用高粘度油墨时,即使是在通常粘度的油墨中能保证适当印刷的版线宽的范围内,有时也会发现上述印刷缺陷。另外,此处所说的版线宽是指凸起图案的宽度,即凸起图案的短方向上的长度。
本发明的印刷用凸版对于作为一个目的的被印刷图案,多个印刷适宜宽度的凸起图案203邻接,形成凸起图案群205,油墨从凸起图案群205转印至基板204时,在基板上通过流平而彼此连接,形成作为目标的宽幅印刷线(图4)。此时,对基板进行印刷的凸起图案203分别为印刷适宜宽度,因此,即使是在印刷宽幅的转印图案的情况下也能抑制在以往的印刷用凸版中产生的中央脱落现象、外缘现象之类不好的状况,能用凸版印刷法形成用以往的凸版印刷法不能形成的宽线幅图案。在使用高粘度油墨的情况下,也不会产生印刷缺陷。
凸起图案群205中的邻接的凸起图案203之间的距离在10μm以上40μm以下。另外,此处所述的凸起图案203之间的距离是指彼此邻接的凸起图案203的内面之间的距离。在凸起图案203之间的距离、即邻接间距离小于10μm的情况下,凸起图案203所对向的壁面间过近,因此在转印前油墨相互接触、融合,通过表面张力、毛细管现象,油墨侵入到凸起图案203的邻接间。若油墨侵入到凸起图案203的邻接间,则在转印图案上产生油墨转印量不均匀等印刷不良。相反地,凸起图案203的邻接间距离大于40μm时,由于凸起图案203的宽度、油墨的粘度等,即使将油墨转印到基板上进行流平,也存在不能在基板上连成一体这样的印刷不良。在使凸起图案203间的距离为适合印刷的距离时,只要凸起图案203的邻接间距离在40μm以下,转印时就连成一体,得以流平,因而优选。然而,在由于油墨的粘度、凸起图案203的宽度等印刷条件而未产生上述问题的情况下,凸起图案203的邻接间距离既可小于10μm,也可大于40μm。
凸起图案203的高度,即凸起图案203的顶部和基材204之间的垂直方向的长度在10μm以上。若短于10μm,则存在凸起图案203上的油墨接触到基材204的表面,油墨被吸入到基材表面上之虞。
然而,在由于印刷条件而未产生上述问题的情况下,凸起图案203的高度也可小于10μm。
形成的凸起图案203的宽度只要是适合印刷的宽度即可,只要在70μm以下就能抑制印刷不良的发生,但在能通过调节油墨的粘度、印刷条件而抑制印刷不良的情况下,也可形成超过该宽度的凸起图案203。另外,此处所说的凸起图案203的宽度是指凸起图案203的短方向上的长度。
形成在本发明的印刷用凸版上的凸起图案群205的宽度在60μm以上500μm以下。另外,此处所说的凸起图案群的宽度是指作为凸起图案203的集合的凸起图案群205的短方向上的长度,不是指凸起图案203的宽度。在凸起图案群205的宽度不足60μm的情况下,构成凸起图案群的各个凸起图案203的宽度非常小,因此,难以用光刻法形成凸起图案203。此外,为了应对今后的有机EL显示器的大画面化,目前的情况下,凸起图案群205的宽度只要具有500μm以下的大小即足够了,但在作为目的的印刷图案的宽度大于现状的情况下,可以是大于500μm的版线宽,这种情况下,通过使不致出现外缘现象或中央脱落现象的宽度的凸起图案203多个邻接、形成凸起图案群来得到所希望的版线宽。
凸起图案群205中的凸起图案203的排列方法如图3(a)、(b)所示,可沿凸起图案203的长度方向形成,也可在短方向上形成。此外,只要可以进行适当的印刷、保持凸起图案的强度,形成的凸起图案的数目可以任意。多个凸起图案203的邻接间距离只要在上述邻接间距离的范围内,彼此间既可以是相同宽度,也可以是不同宽度,同样地,多个凸起图案203的宽度彼此间既可相同,也可不同。另外,为了使形成凸起图案203的难易度、凸起图案203的强度一定,优选凸起图案203之间相互平行,在图3(a)、(b)中的任一情况下均优选平行。
考虑到从向网纹辊供给涂装中使用的油墨的油墨供给装置103向网纹辊的供给、和从网纹辊向凸版的转移以及从凸版向基板的转移的各个阶段中的油墨的干燥,对使用的油墨的粘度进行调整,优选使油墨的粘度在5mPa·s以上120mPa·s以下。在高于120mPa·s的粘度下,即使使用形成有本发明的凸起图案群205的凸版,仍会发生前述中央脱落、外缘现象。此外,在粘度不足5mPa·s的情况下,在像素内会发生斥油墨不均匀,导致印刷不良。然而,在通过调整使用的溶剂等而未发生上述问题的情况下,也可以使用上述范围外的粘度的油墨。
接着,作为使用通过本发明而形成有图案形成的凸版的回路图案的制造方法的一个例子,对有机EL元件的制作方法进行说明。但本发明不局限于此。
图9示出使用本发明的印刷用凸版的印刷装置的示意截面图。台子107上固定着被印刷基板106,通过本发明而形成有图案的印刷用凸版104固定在印版滚筒105上,印刷用凸版104与作为油墨供给体的网纹辊103相接,网纹辊103包括油墨补充装置101和刮墨刀102。
首先,从油墨补充装置101向网纹辊103中补充油墨,供给到网纹辊103中的油墨108中多余的油墨由刮墨刀102除去。作为油墨补充装置101,可适适地使用可向网纹辊中以非接触方式进行供给的滴加型油墨补充装置,例如浸渍辊、狭缝涂布机、点胶涂布机(die coater)、CAP涂布机等涂布机或这些装置的组合。
除了刮墨刀片以外,也可将刮刀辊之类的公知器具用作刮墨刀102。此外,网纹辊103可以是铬或陶瓷制成的。此外,作为用于印刷用凸版的油墨供给体,可以不使用筒状的网纹辊,而使用平板状的网纹版。平板状的网纹版例如可在将其配置到图9的被印刷基板106的位置上,由油墨补充装置将油墨补充到网纹版的整个面上后,通过旋转印版滚筒来向被印刷基板供给油墨。
均匀地保持在作为用于印刷用凸版的油墨供给体的网纹辊103的表面上的油墨被转印、供给到安装在印版滚筒105上的印刷用凸版104的凸起图案203上。随着印版滚筒105的旋转,印刷用凸版104的凸起图案103与基板边接触边进行相对移动,将油墨108转移到台子107上的被印刷基板106的规定位置,在被印刷基板上形成油墨图案108a。在被印刷基板上设置油墨图案后,可根据需要设置通过烘箱等进行的干燥工序。
另外,在将印刷用凸版上的油墨印刷到被印刷基板上时,可以是随着印版滚筒105的旋转使固定有被印刷基板106的台子107移动的方式,也可以是随着印版滚筒的旋转使由图9上部的印版滚筒105、印刷用凸版104、网纹辊103、油墨补充装置101构成的印刷单元移动的方式。此外,本发明的印刷用凸版也可在印版滚筒105上形成树脂层,直接制版,形成凸起图案203。
另外,图9是一张一张地在被印刷基板上形成油墨图案的单张纸式凸版印刷装置,但在本发明的印刷物的制造方法中,在被印刷基板可以卷筒纸状卷取的情况下,也可以使用卷到卷式凸版印刷装置。使用卷到卷式凸版印刷装置时,可以连续地形成油墨图案,能降低制造成本。
接着,作为使用本发明的印刷用凸版的印刷物的制造方法的一个例子,对有机EL元件的制造方法进行说明。但本发明不局限于此。图10示出通过本发明制造的有机EL元件的截面图。作为有机EL元件的驱动方法,有无源矩阵方式和有源矩阵方式,本发明的有机EL元件对无源矩阵方式的有机EL元件、有源矩阵方式的有机EL元件均可适用。
无源矩阵方式是使条状电极以正交的方式对置,使其交点发光的方式,与此相对,有源矩阵方式是通过使用在每个像素上形成有晶体管的、所谓的薄膜晶体管(TFT)基板而使每个像素独立发光的方式。
如图10所示,用本发明的印刷用凸版制造的有机EL元件在基板1上以条状具有第一电极2作为阳极。优选隔壁7设置在第一电极2间,以防止由第一电极2的端部的毛边等引起的短路为目的而覆盖第一电极2的端部。
用本发明的印刷用凸版制成的有机EL元件在第一电极2上且在被隔壁7所区划的区域(发光区域、像素部)上具有由有机发光层及发光辅助层构成的有机EL层。夹在电极间的有机EL层可由有机发光层单独构成,也可由有机发光层和发光辅助层的层积结构构成。
作为发光辅助层,可以是空穴输送层、空穴注入层、电子输送层、电子注入层、电荷发生层。图10示出作为发光辅助层的由空穴输送层3和有机发光层(41、42、43)的层积结构构成的结构。第一电极2上设置有空穴输送层3,空穴输送层3上分别设置有红色(R)有机发光层41、绿色(G)有机发光层42、蓝色(B)有机发光层43。
接着,在有机发光层上以与作为阳极的第一电极2对置的方式配置作为阴极的第二电极5。适用于无源矩阵方式时,第二电极被以与具有条状的第一电极正交的形式设置成条状。适用于有源矩阵方式时,第二电极形成在有机EL元件的整个面上。为了防止环境中的水分、氧侵入第一电极、有机发光层、发光辅助层、第二电极,对有效像素的整个面设置由玻璃盖8等形成的密封体,介由粘合剂9与基板1粘合。
用本发明的印刷用凸版制造的有机EL元件至少具备基板、该基板所支承的图案状的第一电极、有机发光层和第二电极。本发明的有机EL元件也可与图10相反,是以第一电极为阴极、第二电极为阳极的结构。
此外,代替玻璃盖等密封体,为了保护有机发光介质层、电极免受外部的氧、水分的浸入,也可设置钝化层、防止外部应力的保护层或者具备这二个功能的密封基材。
作为基板,只要是具有绝缘性的基板,任何基板均可使用。当为从该基板侧取出光的底部发光方式的有机EL元件时,作为基板,必须使用透明基板。
例如,作为基板可以使用玻璃基板、石英基板。此外,可以是聚丙烯、聚醚砜、聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚丙烯酸酯、聚酰胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等塑料膜或片。其中,为了防止水分侵入到有机发光介质层的目的,可以在这些塑料膜或片上层积金属氧化物薄膜、金属氟化物薄膜、金属氮化物薄膜、金属氧氮化膜薄膜或高分子树脂膜,用作基板。
此外,这些基板更优选地通过预先进行加热处理来极力减少吸附在基板内部、表面的水分。此外,根据层积在基板上的材料,为了提高密着性,优选在实施超声波清洗处理、电晕放电处理、等离子体处理、UV臭氧处理等表面处理后使用。
此外,可在这些基板上形成薄膜晶体管(TFT),作为有源矩阵方式的有机EL元件用基板。本发明的有机EL元件的制造中使用的有源矩阵方式的基板的截面图示于图9。作为有机EL元件基板,优选在TFT120上形成平坦化层117的同时,在平坦化层117上设置有机EL元件的下部电极(第一电极2)且TFT和下部电极介由设置在平坦化层117上的接触孔118进行电连接。通过以这样的方式形成,可在TPT与有机EL元件之间得到优异的电绝缘性。
TFT120、在其上方构成的有机EL元件通过支承体111支承。作为支承体,优选具有优异的机械强度和尺寸稳定性,具体而言,可以使用前面作为基板而述及的材料。
设置在支承体上的TFT120可以使用公知的薄膜晶体管。具体而言,可以是主要由形成有源极/漏极区域及沟道区域的活性层、栅极绝缘膜及栅电极构成的薄膜晶体管。作为薄膜晶体管的结构,无特殊限制,例如可以是交错型、反交错型、顶栅型、底栅型、共面型等。
对活性层112无特殊限制,例如可由非晶硅、多晶硅、微晶硅、硒化镉等无机半导体材料或噻吩低聚物、聚对苯乙炔等有机半导体材料形成。
这些活性层例如可用如下方法形成:将非晶硅用等离子体CVD法层积、进行离子掺杂的方法;在使用SiH4气体用LPCVD法形成非晶硅,用固相生长法使非晶硅结晶化、得到多晶硅后,用离子注入法进行离子掺杂的方法;在使用Si2H6用LPCVD法或使用SiH4气体用PECVD法形成非晶硅,用准分子激光等激光进行退火,使非晶硅结晶化、得到多晶硅后,用离子掺杂法进行离子掺杂的方法(低温工艺);用减压CVD法或LPCVD法层积多晶硅,在1000℃以上进行热氧化,形成栅极绝缘膜,在栅极绝缘膜上形成n+多晶硅的栅电极114,之后,用离子注入法进行离子掺杂的方法(高温工艺)等。
作为栅极绝缘膜113,可以使用通常用作栅极绝缘膜的材料,例如可以使用用PECVD法、LPCVD法等形成的SiO2、对多晶硅膜进行热氧化得到的SiO2等。
作为栅电极114,可以使用通常用作栅电极的材料,例如可以是铝、铜等金属、钛、钽、钨等高熔点金属、多晶硅、高熔点金属的硅化物、多晶硅化金属(polycide)等。
TFT120可以是单栅结构、双栅结构、三个以上栅电极的多栅结构。此外,也可具有LDD结构、偏置栅结构。还可以在一个像素中配置二个以上的薄膜晶体管。
薄膜晶体管(TFT)必须连接,以起有机EL元件的开关元件的作用,晶体管的漏极电极116和有机EL元件的像素电极(第一电极2)电连接。此外,用于形成顶部发光结构的像素电极通常必须使用对光进行反射的金属。
TFT120、漏极电极116和有机EL元件的图像电极(第二电极2)的连接介由在贯通平坦化膜117的接触孔118内形成的连接配线进行。
关于平坦化膜117的材料,可以使用SiO2、旋涂玻璃、SiN(Si3N4)、TaO(Ta2O5)等无机材料、聚酰亚胺树脂、丙烯酸树脂、光阻材料、黑色矩阵材料等有机材料等。可根据这些材料选择旋转涂布法、CVD、蒸镀法等。可根据需要,作为平坦化层,使用感光性树脂,用光刻法的手段或先在整个面上形成平坦化层后,在与下层的TFT120对应的位置用干式蚀刻、湿式蚀刻等形成接触孔118。之后用导电性材料填埋接触孔,以与形成在平坦化层上层的像素电极导通。平坦化层的厚度只要是能覆盖下层的TFT、电容器、配线等即可,厚度只要有数μm、例如3μm左右即可。
基板上设置有第一电极2。以第一电极为阳极时,作为第一电极的材料,可以使用由ITO(铟锡复合氧化物)、IZO(铟锌复合氧化物)、氧化锡、氧化锌、氧化铟、锌铝复合氧化物等金属复合氧化物、金、铂、铬等金属材料构成的单层或层积体。第一电极的形成方法可根据材料而使用电阻加热蒸镀法、电子束蒸镀法、反应蒸镀法、离子电镀法、溅射法等干式成膜法。
另外,由于电阻低、具有耐溶剂性和采用底部发光方式时透明性高等,因此,可适宜地使用ITO。通过溅射法将ITO形成在玻璃基板上,通过光刻法进行图案形成,形成第1电极2。
形成第一电极2后,以覆盖第一电极边缘部的方式形成隔壁7。隔壁7必须具有绝缘性,可以使用感光性材料等。作为感光性材料,既可以是正型,也可以是负型,可以使用光自由基聚合系、光阳离子聚合系的光固化性树脂或者含有丙烯腈成分的共聚物、聚乙烯基苯酚、聚乙烯醇、酚醛清漆树脂、聚酰亚胺树脂及氰基乙基支链淀粉等。此外,作为隔壁形成材料,可以使用SiO2、TiO2等。
隔壁形成材料为感光性材料时,将形成材料溶液用狭缝涂布法、旋转涂布法在整个面上涂布后,用曝光、显影之类的光刻法进行图案形成。使用旋转涂布法时,隔壁的高度可通过旋涂时的旋转次数等条件进行控制,但在一次涂布中存在极限高度,超过该高度时使用重复多次旋转涂布的手法。
使用感光性树脂通过光刻法形成隔壁时,隔壁的形状可通过曝光条件、显影条件控制。例如,涂布负型的感光性树脂,曝光、显影后,进行后烘焙,得到隔壁,此时,在想使隔壁端部的形状为顺锥形的情况下,只要控制作为该显影条件的显影液的种类、浓度、温度、或者显影时间即可。若显影条件温和,隔壁端部就会形成顺锥形,而若显影条件苛刻,则隔壁端部会形成倒锥形状。
此外,隔壁形成材料为SiO2、TiO2时,可通过溅射法、CVD法这类干式成膜法形成。此时,隔壁的图案形成可通过使用掩模或光刻法进行。
接着,形成由有机发光层及发光辅助层构成的有机EL层。作为夹在电极间的有机EL层,可以由有机发光层单独构成,也可以是有机发光层与空穴输送层、空穴注入层、电子输送层、电子注入层、电荷发生层这类用于辅助发光的发光辅助层的层积结构。空穴输送层、空穴注入层、电子输送层、电子注入层、电荷发生层可根据需要适当选择。
并且,由有机发光层和空穴输送层、空穴注入层、电子输送层、电子注入层、电荷发生层这类发光辅助层构成的有机EL层中的至少一层可通过用以在基材上具有由树脂构成的凸起图案203的树脂凸版为印刷版的凸版印刷法将使有机EL层材料溶解或分散到溶剂中而成的油墨印刷在前述第一电极的上方而形成。下面显示在本发明中使用使有机发光材料溶解或分散到溶剂中而成的有机发光油墨的情况。
有机发光层是通过流过电流进行发光的层。作为形成有机发光层的有机发光材料,可以使用9,10-二芳基蒽衍生物、芘、晕苯、苝、红荧烯、1,1,4,4-四苯基丁二烯、三(8-羟基喹啉)铝络合物、三(4-甲基-8-羟基喹啉)铝络合物、双(8-羟基喹啉)锌络合物、三(4-甲基-5-三氟甲基-8-羟基喹啉)铝络合物、三(4-甲基-5-氰基-8-羟基喹啉)铝络合物、双(2-甲基-5-三氟甲基-8-羟基喹啉)〔4-(4-氰苯基)酚盐)〕铝络合物、双(2-甲基-5-氰基-8-羟基喹啉)〔4-(4-氰苯基)酚盐)〕铝络合物、三(8-羟基喹啉)钪络合物、双〔8-(对甲苯磺酰基)氨基喹啉〕锌络合物及镉络合物、1,2,3,4-四苯基环戊二烯、聚(2,5-二庚氧基对亚苯基亚乙烯)等低分子类发光材料。
此外,可以将香豆素类荧光体、苝类荧光体、吡喃类荧光体、蒽酮类荧光体、卟啉类荧光体、喹吖啶酮类荧光体、N,N’-二烷基取代喹吖啶酮类荧光体、萘二甲酰亚胺类荧光体、N,N’-二芳基取代吡咯并吡咯类荧光体等、Ir络合物等磷光性发光体等低分子类发光材料分散到高分子中后使用。作为高分子,可以使用聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸酯、聚乙烯咔唑等。
此外,也可以是聚(2-癸氧基-1,4-亚苯基)(DO-PPP)、聚〔2,5-双〔2-(N,N,N-三乙基铵)〕乙氧基-1,4-苯基-alt-1,4-亚苯基〕二溴等PPP衍生物、聚〔2-(2’-乙基己氧基)-5-甲氧基-对苯乙炔〕(MEH-PPV)、聚〔5-甲氧基-(2-丙氧基磺酸基)-对苯乙炔〕(MPS-PPV)、聚〔2,5-双(己氧基)-1,4-亚苯基(1-氰基亚乙烯)〕(CN-PPV)、聚(9,9-二辛基芴)(PDAF)、聚螺芴等高分子发光材料。
可以是PPV前体、PPP前体等高分子前体。此外,也可以使用其他已经存在的发光材料。
作为形成空穴输送层的空穴输送材料,可从铜酞菁、四叔丁基酞菁铜等金属酞菁类及不含金属的酞菁类、喹吖啶酮化合物、1,1-双(4-二对甲苯氨基苯基)环己烷、N,N’-二苯基-N,N’-双(3-甲基苯基)-1,1’-联苯基-4,4’-二胺、N,N’-二(1-萘基)-N,N’-二苯基-1,1’-联苯基-4,4’-二胺等芳香胺类低分子空穴注入输送材料、聚苯胺、聚噻吩、聚乙烯咔唑、聚(3,4-乙烯二氧噻吩)与聚苯乙烯磺酸的混合物等高分子空穴输送材料、噻吩低聚物材料、其他已经存在的空穴输送材料中选择。
此外,作为形成电子输送层的电子输送材料,可以使用2-(4-联苯基)-5-(4-四丁基苯基)-1,3,4-噁二唑、2,5-双(1-萘基)-1,3,4-噁二唑、噁二唑衍生物、双(10-羟基苯并〔h〕喹啉)铍络合物、三唑化合物等。
作为溶解或分散有机发光材料的溶剂,可以单独或混合使用甲苯、二甲苯、丙酮、己烷、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环己酮、甲醇、乙醇、异丙醇、乙酸乙酯、乙酸丁酯、2-甲基-(叔丁基)苯、1,2,3,4-四甲基苯、戊基苯、1,3,5-三乙基苯、环己基苯、1,3,5-三异丙基苯等。此外,有机发光油墨中可根据需要添加表面活性剂、抗氧化剂、粘度调节剂、紫外线吸收剂等。
作为溶解或分散空穴输送材料、电子输送材料的溶剂,例如可以单独使用甲苯、二甲苯、丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环己酮、甲醇、乙醇、异丙醇、乙酸乙酯、乙酸丁酯、水,也可以使用这些溶剂的混合溶剂。在将空穴输送材料油墨化时,水或醇类尤其适合。
有机发光层、发光辅助层由湿式成膜法形成。这些层由层积结构构成时,其各层不必全部由湿式成膜法形成。作为湿式成膜法,可以是旋转涂布法、点胶涂布法、吐出涂布法、预涂法、辊式涂布法、棒式涂布法等涂布法和凸版印刷法、喷墨印刷法、胶版印刷法、凹版印刷法等印刷法。在RGB三色的有机发光层上形成图案时,凸版印刷法在图案形成精度、膜厚均匀性等方面优异,可通过选择性地将RGB三色的有机发光层形成在像素部来制造可彩色显示的有机EL元件。有机发光层的膜厚即使是在由单层或层积而形成的情况下仍在1000nm以下,优选为50nm~150nm。
本发明的印刷用凸版不仅可以用于使用有机发光油墨、通过凸版印刷法形成有机发光层的情况,也可用于使用空穴输送油墨、电子输送油墨、通过凸版印刷法形成空穴输送层、电子输送层这类发光辅助层的情况。
接着,形成第二电极。以第二电极为阴极时,使用电子注入效率高的物质作为第二电极的材料。具体而言,使用Mg、Al、Yb等金属单体或在与发光介质接触的界面上隔着1nm左右的Li、氧化Li、LiF等化合物,层积稳定性、导电性高的Al、Cu后使用。或者,要兼顾电子注入效率和稳定性,可使用一种以上低功函数的Li、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb等金属与稳定的Ag、Al、Cu等金属元素的合金。具体而言,可以使用MgAg、AlLi、CuLi等合金。此外,形成顶部发光方式的有机EL元件时,阴极必须具有透明性,例如,可通过组合这些金属和ITO等透明导电层而实现透明化。
第二电极的形成方法可根据材料而使用电阻加热蒸镀法、电子束蒸镀法、反应蒸镀法、离子电镀法、溅射法等干式成膜法。此外,在必须以第二电极为图案的情况下,可用掩模等进行图案形成。第二电极的厚度优选为10nm~1000nm。此外,在本发明中,也可以第一电极为阴极、以第二电极为阳极。
作为有机EL元件,可在电极间夹入有机发光层,通过流过电流使其发光,但由于有机发光材料、发光辅助层形成材料、电极形成材料的一部分容易因大气中的水分、氧而劣化,因此,通常设置用于与外部隔断的密封体。
密封体例如通过相对于形成有第一电极、有机发光层、发光辅助层、第二电极的基板,使用具有凹部的玻璃盖、金属盖,使凹部位于第一电极、有机发光介质层、第二电极上空,密封在其周边部介由粘合剂使盖子和基板粘合而进行密封。
此外,密封体例如也可通过在相对于形成有第一电极、有机发光层、发光辅助层、第二电极的基板,在密封材料上设置树脂层,用该树脂层使密封材料和基板贴合而进行。
此时,作为密封材料,必须是水分、氧的透过性低的基材。此外,作为材料的一个例子,可以是氧化铝、氮化硅、氮化硼等陶瓷、无碱玻璃、碱玻璃等玻璃、石英、铝或不锈钢等金属箔、耐湿性膜等。作为耐湿性膜的例子,有在塑料基材的两面上用CVD法形成SiOx而成的膜、透过性小的膜和具有吸水性的膜或者涂布有吸水剂的聚合物膜等,耐湿性膜的水蒸气透过率优选在10-6g/m2·日以下。
作为树脂层,可以是环氧类树脂、丙烯酸类树脂、硅树脂等光固化型粘合树脂、热固化型粘合树脂、二液固化型粘合树脂或乙烯-丙烯酸乙酯(EEA)聚合物等丙烯酸类树脂、乙烯-醋酸乙烯(EVA)等乙烯基类树脂、聚酰胺、合成橡胶等热塑性树脂、聚乙烯或聚丙烯的酸改性物等热塑性粘合树脂。作为将树脂层形成在密封材料上的方法的一个例子,可以是溶剂溶液法、挤出复合法、熔融热熔法、压延法、喷嘴式涂布法、丝网印刷法、真空层积法、热辊层压法等。还可根据需要添加具有吸湿性、吸氧性的材料。形成在密封材料上的树脂层的厚度由进行密封的有机EL元件的大小、形状而任意决定,但优选在5~500μm左右。
形成有第一电极、有机发光层、发光辅助层、第二电极的基板与密封体的粘合在密封室进行。在密封体为密封材料与树脂层的两层结构、树脂层中使用热塑性树脂的情况下,优选仅用加热后的辊进行压粘。在使用热固型粘合树脂的情况下,优选在用加热后的辊压粘后,进一步在固化温度下进行加热固化。在使用光固化性粘合树脂的情况下,可在用辊压粘后进一步通过照射光进行固化。此处,在密封材料上形成了树脂层,但也可在基板上形成树脂层,与密封材料粘合。
在用密封体进行密封前,也可不进行密封,而是例如用CVD法形成150nm的氮化硅膜作为钝化膜等,以无机薄膜作为密封体,或者也可将这些方法组合使用。
通过实施使用本发明的印刷用凸版的上述工序,可以制作发光图案精度良好的有机EL元件。
下面显示实施例及比较例,但本发明不局限于此。
实施例
<实施例1>
(感光性树脂凸版104的制作)以厚250μm的42镍材作为基材204,在该基材204上涂布混炼有黑色颜料的丙烯酸粘合树脂溶液,干燥,使干燥膜厚为10μm,形成了防反射层。
将以水溶性聚酰胺为主要成分、以混炼有作为可自由基聚合的单体的双季戊四醇六丙烯酸酯、作为光聚合引发剂的2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙酮(汽巴精化产品)的感光性树脂组合物熔融涂布在基材204的表面上,作为感光性树脂层,并使版材的总厚度为310μm,再将涂布有聚乙烯醇溶液、干燥膜厚为1μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(膜厚125μm:帝人杜邦薄膜公司产品)层叠。
以合成石英基材的铬掩模为树脂凸版图案的原版,将该掩模设置在接近式曝光装置上,用其使树脂凸版曝光,制成图2(a)所示图案形状的感光性树脂凸版104。制成的凸起图案203的厚度为50μm,以二个20μm的间隔形成宽35μm的凸起图案203,并形成宽90μm的凸起图案群205。
(被印刷基板106的制作)作为被印刷基板106,使用了具有设置在支承体上的起开关元件作用的薄膜晶体管、在薄膜晶体管的上方形成的平坦化层和在平坦化层上的通过接触孔与前述薄膜晶体管导通的像素电极的有源矩阵基板。像素大小为130μm×450μm。
以包覆设置在该有源矩阵基板上的像素电极的端部、对像素进行区划的方式形成了隔壁。该隔壁的形成方法为:通过旋转涂布法将日本瑞翁公司生产的正性抗蚀剂ZWD6212-6以干燥膜厚为1μm的方式涂布到有源矩阵基板的整个面上之后,通过光刻法在各像素部分的4边上形成线宽20μm的隔壁。
在像素电极上,通过旋转涂布法,用聚(3,4-乙烯二氧噻吩)/聚苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)1.5重量%水溶液形成100nm的膜,作为空穴输送层。再将PEDOT/PSS薄膜在减压下于100℃干燥1小时,制成被印刷基板106。
(有机发光层形成用油墨的制作)将红色、绿色、蓝色(R、G、B)三色构成的下述有机发光油墨溶解在二甲苯中进行调制。红色发光油墨(R)为聚芴类衍生物的甲苯溶液(住友化学公司产的红色发光材料,商品名Red1100)。绿色发光油墨(G)为聚芴类衍生物的甲苯溶液(住友化学公司产的绿色发光材料,商品名Green1300)。蓝色发光油墨(B)为聚芴类衍生物的甲苯溶液(住友化学公司产的蓝色发光材料,商品名Blue1100)。各种油墨溶液的粘度为50mPa·s。
(印刷工序)将感光性树脂凸版104固定在单张纸式凸版印刷机的印版滚筒105上。接着,将上述有机发光油墨供给至凸版印刷机的油墨罐中,从油墨吐出部涂布到600线/英寸的蜂巢型网纹辊103上,用刮墨刀102刮掉后,形成感光性树脂凸版104的凸起图案群205的油墨线条图案。印上油墨的感光性树脂凸版104再抵触被印刷基板106,被转动,将条状图案印刷到被印刷基板106上。分别就红色有机发光层、绿色有机发光层、蓝色有机发光层重复该工序,得到有机发光层图案。印刷各种颜色之后,在烘箱内于130℃干燥1小时。
干燥后,在印刷形成的有机发光层上形成10nm的钙膜,再在该钙膜上真空蒸镀300nm的银,最后用玻璃盖进行密封,制成有机电致发光显示元件。
<实施例2>
作为实施例2,按与实施例1相同的方式制成了元件,所不同的是:制作的凸起图案203的宽度为25μm,使其以二个10μm的间隔邻接,形成60μm的凸起图案群205;像素大小为80μm×150μm;使用的有机发光油墨的粘度为120mPa·s;在印刷工序中20张基板连续地进行印刷。
<比较例1>
作为比较例1,以宽90μm形成感光性树脂凸版104的凸起图案203,此外,在除了不使该凸起图案与其他的凸起图案邻接以外,按与实施例1相同的方法制成元件。
<比较例2>
作为比较例2,除了感光性树脂凸版104的凸起图案203的高度为9μm以外,按与实施例1相同的方法制成元件。
<比较例3>
作为比较例3,除了感光性树脂凸版104的凸起图案群205中的凸起图案203的邻接间距离为50μm以外,按与实施例1相同的方法制成元件。
<比较例4>
作为比较例4,除了仅形成一个宽60μm的凸起图案203、未形成凸起图案群205以外,按与实施例2相同的方法制成元件。
对于通过实施例1及比较例1~3制成的元件,用荧光显微镜进行像素内观察,并进行点灯显示确认、检查发光状态,将结果示于表1。此外,对于通过实施例2及比较例4制得的元件,对用凸版印刷法印刷在第1张上的元件和印刷在第20张上的元件用荧光显微镜进行像素内观察,并进行点灯显示确认、检查发光状态,将结果示于表2。
表1
荧光显微镜观察 | 发光不均 | |
实施例1 | 良好 | 无 |
比较例1 | 不良(出现线中央脱落现象和外缘现象) | 有 |
比较例2 | 不良(出现由油墨流入凸起图案间引起的不均) | 有 |
比较例3 | 不良(出现由凸起图案间未连接引起的脱落) | 有 |
表2
比较结果
从比较例1到比较例4与实施例的比较可知,在作为本发明实施方式的实施例1及实施例2中,均可形成无印刷不良的良好的印刷图案,而且均得到无发光不均的良好结果。
符号说明
1.....基板
2.....第一电极
3.....空穴输送层
41....红色有机发光层
42....绿色有机发光层
43....蓝色有机发光层
5.....第二电极
7.....隔壁
8.....玻璃盖
9.....粘合剂
10....被转印图案
101...油墨补充装置
102...刮墨刀
103...网纹辊
104...印刷用凸版
105...印版滚筒
106...被印刷基板
107...台子
108...油墨
108a..油墨图案
111...支承体
112...活性层
113...栅极绝缘膜
114...栅电极
116...漏极电极
117...平坦化层
118...接触孔
120...TFT
201...被转印基板
202...油墨
203...凸起图案
204...基材
205...凸起图案群
206...凹部
207...转印部
Claims (6)
1.有机EL元件的制造方法,其是由形成在基板上的像素电极、在所述像素电极上由隔壁划定的像素区域、在所述像素区域上具有至少由有机发光材料构成的发光层的发光介质层和与所述像素电极对置的对置电极构成的有机EL元件的制造方法,其特征在于,包括
将含有发光介质材料和溶剂的油墨通过凸版印刷法转印到所述像素区域,形成所述发光介质层的工序,
在该凸版印刷法中,油墨从二个以上邻接的凸起图案被转印在一个所述图像区域内,进行流动并形成一体,从而形成所述发光介质层。
2.根据权利要求1所述的有机EL元件的制造方法,其特征在于,所述油墨的粘度在5mPa·s以上、120mPa·s以下。
3.印刷用凸版,用于权利要求1或2所述的有机EL元件的制造方法,其特征在于,至少由版基材、形成在所述版基材上的二个以上邻接的凸起图案和由所述凸起图案组成的凸起图案群构成。
4.根据权利要求3所述的印刷用凸版,其特征在于,所述凸起图案的高度在10μm以上。
5.根据权利要求3或4所述的印刷用凸版,其特征在于,所述多个邻接的凸起图案之间的距离在10μm以上、40μm以下。
6.根据权利要求3~5中任一项所述的印刷用凸版,其特征在于,所述凸起图案群的宽度在60μm以上、500μm以下。
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