CN103036525A - 压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟 - Google Patents

Abstract

本发明提供能抑制振动臂部的厚度方向的振动并抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片、用该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。压电振动片（4）具备：并列配置的一对振动臂部（10、11）；形成在振动臂部（10、11）的两主面上并沿着振动臂部（10、11）的Y方向（长度方向）延伸的槽部（51）；以及连接有一对振动臂部（10、11）的基部（12），其特征在于：在槽部（51）内形成有从－Y侧（基端侧）的壁面向＋Y侧（前端侧）延伸的肋部（53）。

Description

压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

技术领域

本发明涉及压电振动片、压电振动器、用该压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟。

背景技术

在便携电话、便携信息终端设备上，采用利用水晶（石英）等作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等的压电振动器。对于这种压电振动器，已提供各式各样的压电振动器，但作为其中之一，已知将所谓的音叉型压电振动片封入封装件（package）的压电振动器。

音叉型压电振动片是具有在宽度方向并列配置的一对振动臂部和将一对振动臂部的长度方向的基端侧固定成一体的基部的薄板状的水晶片。当电压施加到形成在各振动臂部的激振电极时，该压电振动片在宽度方向以既定的谐振频率以使一对振动臂部接近及分离的方式进行振动。

近年来，随着所搭载的设备的小型化，希望压电振动片的更进一步的小型化。作为将压电振动片的CI值（晶体阻抗：Crystal Impedance）抑制在低水平并谋求压电振动片的小型化的方法，在振动臂部的两主面形成槽部的方法已被广为人知（例如，参照专利文献1）。

专利文献1中记载的压电振动片，具备基部和从所述基部突出地形成的多个振动臂部，在各振动臂部的表面部及背面部，形成有槽部。因为槽部，与振动臂部的长度方向垂直的截面形状成为大致H型。

专利文献

专利文献1：日本特开2003－92530号公报。

图15是压电振动片4的正常的振动状态的说明图。

图16是现有技术的压电振动片4的说明图。

此外，在图15及图16中，以压电振动片4的宽度方向为X方向、以长度方向为Y方向、以厚度方向为Z方向进行说明。此外，在图15及图16中，为了便于理解附图，夸张地表现振动臂部10、11的振动幅度。

在压电振动片4形成槽部51的情况下，较之未形成槽部51的情况，与振动臂部10、11的Y方向垂直的截面的面积（以下称为“振动臂部10、11的截面积”）变小，振动臂部10、11的对应Z方向的弯曲刚性下降。

因此，如果使压电振动片4工作，振动臂部10、11不仅做图15所示的正常的X方向的弯曲振动，而且如图16所示，因为Z方向的弯曲刚性的下降而还在Z方向进行弯曲振动。具体而言，如图16所示，有可能在Z方向上第一振动臂部10和第二振动臂部11错乱成相反相位进行振动。该振动臂部10、11的Z方向的振动有可能关系到CI值的上升或压电振动片4的振动泄漏到外部的所谓振动泄漏。

发明内容

于是，本发明的课题是提供能够抑制振动臂部厚度方向的振动并抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片、用该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

为了解决上述课题，本发明的压电振动片，具备：并列配置的一对振动臂部；形成在所述振动臂部的两主面上并且沿着所述振动臂部的长度方向延伸的槽部；以及连接有所述一对振动臂部的基部，其特征在于，在所述槽部内形成有肋部，该肋部从所述长度方向的基端侧及所述长度方向的前端侧的任意一侧的壁面，朝着所述基端侧及所述前端侧的任意另一侧延伸。

根据本发明，通过在槽部内形成肋部能够增大振动臂部的截面积。由此，比现有技术能够将振动臂部的对应厚度方向的弯曲刚性确保在较高水平，因此在使压电振动片工作时，能够抑制振动臂部在厚度方向的振动。因而，能够得到能够抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片。

此外，通过将振动臂部的弯曲刚性确保在较高水平，即便压电振动片掉落等而受碰撞的情况下，也能防止振动臂部的破损。

此外，本发明的特征在于：所述肋部从所述基端侧的壁面朝着所述前端侧延伸。

根据本发明，由于在槽部内肋部从基端侧的壁面朝着前端侧延伸，所以能够增大振动臂部的基端侧的截面积。由此，能够将振动臂部的基端侧的弯曲刚性确保在较高水平，并且能够抑制振动臂部全体以基部和振动臂部的连接部分附近为拐点在厚度方向振动。因而，能够有效抑制CI值的上升、振动泄漏。此外，在压电振动片受到碰撞的情况下，在应力容易作用的基部和振动臂部的连接部分确保弯曲刚性，因此能够可靠地防止振动臂部的破损。

此外，本发明的特征在于：所述振动臂部在所述基端侧的所述肋部的宽度，形成为大于所述振动臂部在所述前端侧的所述肋部的宽度。

根据本发明，振动臂部在基端侧的肋部的宽度，形成为大于振动臂部在前端侧的肋部的宽度，因此能够增大振动臂部的基端侧的截面积。由此，能够进一步提高振动臂部在基端侧的弯曲刚性，因此能够进一步抑制振动臂部在厚度方向的振动。此外，即便在振动臂部受到碰撞的情况下，也能进一步防止振动臂部的破损。

此外，振动臂部在前端侧的肋部的宽度，形成为小于振动臂部在基端侧的肋部的宽度，因此确保振动臂部在前端侧的槽部的截面积，大于振动臂部在基端侧的槽部的截面积。由此，能够有效地使振动臂部的前端侧在宽度方向上振动，因此提高电场效率而能够提高压电振动片的振动特性。

如此，通过将振动臂部在基端侧的肋部的宽度形成得大于振动臂部在前端侧的肋部的宽度，能够兼顾地提高振动臂部在基端侧的弯曲刚性及压电振动片的振动特性。

此外，本发明的特征在于：所述振动臂部在所述基端侧的所述槽部的宽度，形成为小于所述振动臂部在所述前端侧的所述槽部的宽度。

根据本发明，由于在振动臂部的基端侧中，振动臂部的侧面和槽部侧面的宽度形成得较宽，所以能够使振动臂部的基端侧的截面积大于振动臂部的前端侧的截面积。由此，能够进一步提高振动臂部的基端侧的弯曲刚性，因此能够进一步抑制振动臂部在厚度方向的振动。此外，即便在振动臂部受到碰撞的情况下，也能可靠地防止振动臂部的破损。特别是，通过将基端侧的肋部的宽度形成为比前端侧的肋部的宽度大，并且将基端侧的槽部的宽度形成为比前端侧的槽部的宽度小，能够大幅提高振动臂部的基端侧的弯曲刚性。由此，能够可靠地抑制振动臂部在厚度方向的振动，并能可靠地抑制CI值的上升、振动泄漏。

此外，本发明的特征在于：所述槽部的宽度形成为沿着所述振动臂部的长度方向恒定。

根据本发明，能以极短的距离对置地配置振动臂部的侧面和槽部的侧面。由此，在对振动臂部的侧面和槽部的侧面分别形成的电极（激振电极）施加电压时，由于有效地在振动臂部的侧面与槽部的侧面之间形成电场，所以能有效地使振动臂部在宽度方向上振动。特别是，通过将基端侧的肋部的宽度形成为比前端侧的肋部的宽度大，并将槽部的宽度形成为沿着振动臂部的长度方向恒定，能够提高振动臂部的基端侧的弯曲刚性，并能形成损失较少的压电振动片。

此外，本发明的压电振动器，其特征在于：具备上述的压电振动片。

根据本发明，由于具备能抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片，能够提供高效率且消耗电力较少的压电振动器。

此外，本发明的振荡器，其特征在于：上述的压电振动器，作为振子与集成电路电连接。

本发明的电子设备，其特征在于：上述的压电振动器与计时部电连接。

本发明的电波钟，其特征在于：上述的压电振动器与滤波部电连接。

根据本发明，能够提供高效率且消耗电力较少的高性能的振荡器、电子设备及电波钟。

根据本发明，通过在槽部内形成肋部，能够增大振动臂部的截面积。由此，比现有技术能够将振动臂部对应厚度方向的弯曲刚性确保在较高水平，因此在使压电振动片工作时，能够抑制振动臂部在厚度方向的振动。因而，能够得到能抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片。

此外，通过将振动臂部的弯曲刚性确保在较高水平，即便在压电振动片掉落等而受到碰撞的情况下，也能防止振动臂部的破损。

附图说明

图1是压电振动片的平面图；

图2是槽部的放大图；

图3是沿着图1的A－A线的剖视图；

图4是沿着图1的B－B线的剖视图；

图5是驱动电平特性的说明图；

图6是实施方式的第一变形例的说明图；

图7是实施方式的第二变形例的说明图；

图8是压电振动器的外观立体图；

图9是压电振动器的内部结构图，是取下盖基板后的状态的平面图；

图10是图9的C－C线上的剖视图；

图11是图8所示的压电振动器的分解立体图；

图12是示出振荡器的一实施方式的结构图；

图13是示出电子设备的一实施方式的结构图；

图14是示出电波钟的一实施方式的结构图；

图15是压电振动片的正常的振动状态的说明图；

图16是现有技术的压电振动片的说明图。

具体实施方式

（压电振动片）

以下，参照附图，对实施方式的压电振动片进行说明。

图1是压电振动片4的平面图。

图2是槽部51的放大图。此外，在图2中，为了易于理解附图而省略了后述的激振电极13、14的图示。

图3是沿着图1的A－A线的槽部51的剖视图。

图4是沿着图1的B－B线的槽部51的剖视图。

再者，在以下说明中，以振动臂部10、11并列的宽度方向为X方向（参照图1）、以X方向上的中心轴为O、以压电振动片4的内侧为－X侧、以外侧为＋X侧进行说明。此外，以压电振动片4的长度方向为Y方向（参照图1）、以基端侧为－Y侧、以前端侧为＋Y侧进行说明。此外，以压电振动片4的厚度方向为Z方向（参照图3）、以一侧（图3中的上侧）为＋Z侧、以另一侧（图3中的下侧）为－Z侧进行说明。

如图1所示，压电振动片4用水晶、钽酸锂、铌酸锂等的压电材料形成的音叉型的压电振动片4。

压电振动片4具备：平行配置的一对振动臂部10、11（第一振动臂部10及第二振动臂部11）；和将一对振动臂部10、11的－Y侧固定成一体的基部12。在被施加既定的电压时，压电振动片4以使振动臂部10、11在接近及分离的方式在X方向振动。

一对振动臂部10、11沿着中心轴O在Y方向延伸，在X方向大致平行地并列形成。在振动臂部10、11的＋Z侧面及－Z侧面（两主面）上，形成有沿着振动臂部10、11的Y方向延伸的槽部51。在此，形成在第一振动臂部10的槽部51和形成在第二振动臂部11的槽部51为同一形状。因而，在以下说明中，对形成在第一振动臂部10的槽部51进行说明，而省略对形成在第二振动臂部11的槽部51的说明。

（槽部）

如图2所示，在振动臂部10形成有槽部51。槽部51的－Y侧壁面51a配置在振动臂部10和基部12的连接部附近。槽部51的＋Y侧壁面51b配置在振动臂部10的Y方向上的大致中央。即，槽部51以既定的深度从振动臂部10和基部12的连接部附近到振动臂部10的Y方向上的大致中央的范围内沿着Y方向形成。

槽部51形成为－Y侧壁面51a的宽度L1小于＋Y侧壁面51b的宽度L2。具体而言，从＋Y侧到－Y侧，槽部51的＋X侧面51c以既定角度向－X侧倾斜，－X侧面51d以既定角度向＋X侧倾斜而形成。由此，槽部51的宽度形成为从＋Y侧到－Y侧逐渐收窄的锥状。

在槽部51内的X方向大致中央，形成有肋部53。肋部53的－Y侧端部53a配置在振动臂部10和基部12的连接部附近，与槽部51的－Y侧壁面51a连接。肋部53的＋Y侧端部53b比槽部51的＋Y侧壁面51b靠－Y侧配置，并与槽部51的＋Y侧壁面51b分离。即，在从槽部51内的－Y侧壁面51a到比槽部51的＋Y侧壁面51b靠－Y侧的范围内，肋部53沿着Y方向形成。

肋部53以使－Y侧端部53a的宽度L3大于＋Y侧端部53b的宽度L4的方式形成。具体而言，从＋Y侧到－Y侧，肋部53的＋X侧面53c以既定角度向＋X侧倾斜，－X侧面53d以既定角度向－X侧倾斜而形成。由此，肋部53的宽度形成为从＋Y侧到－Y侧逐渐扩大的锥状。

如上所述，肋部53的＋Y侧端部53b与槽部51的＋Y侧壁面51b分离。因此，如沿着图1的A－A线的图3所示的剖视图那样，在槽部51的＋Y侧槽部51内不具有肋部53。因而，在A－A截面中的槽部51的截面积变大，振动臂部10、11的截面积S1变小。

与此相对，肋部53的－Y侧端部53a（参照图2），与槽部51的－Y侧壁面51a（参照图2）连接。因此，如沿着图1的B－B线的图4所示的剖视图那样，在槽部51的－Y侧槽部51内具有肋部53。而且，槽部51的宽度形成为从＋Y侧到－Y侧变窄，肋部53的宽度形成为从＋Y侧到－Y侧变宽。因而，B－B截面中的槽部51的截面积变得非常小，振动臂部10、11的截面积S2变大。

如此，通过增大振动臂部10、11的－Y侧的截面积S2，振动臂部10、11的－Y侧的弯曲刚性被确保在较高的水平。由此，在基部12与振动臂部10、11的连接部分附近，抑制以沿着X方向的轴为中心的振动臂部10、11向Z方向的弯曲振动。因而，在使压电振动片4工作时，能够抑制振动臂部10、11全体在Z方向的振动。

此外，振动臂部10、11在＋Y侧中的肋部53的宽度，形成为小于振动臂部10、11在－Y侧中的肋部53的宽度，因此＋Y侧的槽部51的截面积大于－Y侧的槽部51的截面积。由此，能够使振动臂部10、11的＋Y侧有效率地在X方向振动，因此能够提高电场效率并提高压电振动片4的振动特性。

如此，通过将振动臂部10、11在－Y侧中的肋部53的宽度，形成为大于振动臂部10、11在＋Y侧中的肋部53的宽度，能够兼顾地提高振动臂部10、11的－Y侧的弯曲刚性及压电振动片4的振动特性。

图5是驱动电平特性的说明图。

可是，已知振动臂部10、11的弯曲刚性通常会影响压电振动片4的驱动电平特性。在此，驱动电平特性是指振动频率相对驱动电压的变动的变动特性。

具体而言，如图5所示，当施加在压电振动片4的电压从V1上升到V2时，频率从f0上升到f1。然后，在将施加在压电振动片4的电压从V2再次返回到V1时，频率不会从f1回到f0频率而成为低于f0的值f2。将该振动频率的变动值Δf（f0与f2之差）的特性称为驱动电平特性。此外，Δf的振动幅度越小，称驱动电平特性越好。

依据本实施方式，由于振动臂部10、11的－Y侧的截面积S2变大，能够将振动臂部10、11的－Y侧的弯曲刚性确保在较高水平。由此，在使压电振动片4工作时，在基部12和振动臂部10、11的连接部分附近，抑制振动臂部10、11的歪曲。因而，能得到具有良好的驱动电平特性的压电振动片4。

（激振电极）

如图1所示，上述的压电振动片4具有：形成在一对振动臂部10、11并使一对振动臂部10、11振动的由第一激振电极13和第二激振电极14构成的激振电极15；以及与第一激振电极13及第二激振电极14电连接的装配电极16、17。

激振电极13、14形成在一对振动臂部10、11的主面上。例如，用铬（Cr）等的单层的导电性膜形成。激振电极13、14是在被施加电压时，以既定的谐振频率使一对振动臂部10、11彼此接近或分离的方式在X方向振动的电极。

一对激振电极13、14在一对振动臂部10、11的表面以分别电性切断的状态构图而形成。

具体而言，第一激振电极13主要形成在第一振动臂部10的槽部51内及肋部53的外表面和第二振动臂部11的＋X侧面11a及－X侧面11b（参照图4）。此外，第二激振电极14主要形成在第二振动臂部11的槽部51内及肋部53的外表面和第一振动臂部10的＋X侧面10a及－X侧面10b（参照图4）。

（装配电极）

如图1所示，在基部12夹着中心轴O形成有一对装配电极16、17。装配电极16、17是铬和金的层叠膜，在以与水晶的密接性良好的铬膜为基底层成膜后，在表面以金的薄膜为精装（仕上げ）层成膜而形成。但是，并不限于这种情况，例如，在以铬和镍铬为基底层成膜后，在表面进一步以金的薄膜为精装层成膜也可。

（引出电极）

此外，在基部12形成有分别电连接激振电极13、14与装配电极16、17的引出电极19、20。

引出电极19连接装配电极16和形成在第一振动臂部10的第一激振电极13，以跨过中心轴O的方式形成。

此外，引出电极20连接装配电极17和形成在第一振动臂部10的第二激振电极14，以在基部12的＋X侧中沿着Y方向的方式形成。

引出电极19、20用与装配电极16、17的基底层相同材料的铬以单层膜形成。由此，能够在成膜装配电极16、17的基底层的同时，成膜引出电极19、20。但是，并不限于这种情况，例如，用镍、铝、钛等成膜引出电极19、20也可。

在振动臂部10、11的前端部，形成有以在既定的频率范围内振动的方式进行调整（频率调整）的由粗调膜21a及微调膜21b构成的重锤金属膜21。利用该重锤金属膜21进行频率调整，从而能够将一对振动臂部10、11的频率收敛在器件的标称频率的范围内。

（实施方式的效果）

依据本实施方式，通过在槽部51内形成肋部53能够增大振动臂部10、11的截面积。特别是，实施方式的肋部53从槽部51的－Y侧向＋Y侧延伸。而且，形成为使－Y侧的肋部53的宽度大于＋Y侧的肋部53的宽度，并且使－Y侧的槽部51的宽度小于＋Y侧的槽部51的宽度。因此，在振动臂部10、11的－Y侧中，由于较窄地形成槽部51的＋X侧面51c和肋部53的＋X侧面53c的宽度、以及槽部51的－X侧面51d和肋部53的－X侧面53d的宽度，所以能够使振动臂部10、11的－Y侧的截面积大于振动臂部10、11的＋Y侧的截面积（参照图3及图4）。由此，较之现有技术能够将振动臂部10、11对应Z方向的弯曲刚性确保在较高水平。因而，在使压电振动片4工作时，能够得到能抑制振动臂部10、11在Z方向的振动并抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片4。

此外，通过将振动臂部10、11的弯曲刚性确保在较高水平，即便压电振动片4掉落等而受到碰撞的情况下，也能防止振动臂部10、11的破损。

（实施方式的第一变形例）

接着，对实施方式的第一变形例进行说明。

图6是实施方式的第一变形例的说明图。

在上述的实施方式中，肋部53形成为使－Y侧端部53a与槽部51的－Y侧壁面51a连接，并且从－Y侧向＋Y侧延伸（参照图2）。与之相对，如图6所示，在第一变形例中，肋部53形成为使＋Y侧端部53b与槽部51的＋Y侧壁面51b连接，并且从＋Y侧向－Y侧延伸，在这一点上与实施方式不同。此外，对于与实施方式同样的构成部分省略说明。

（槽部）

如图6所示，在振动臂部10形成有槽部51。槽部51形成为使－Y侧壁面51a的宽度L1小于＋Y侧壁面51b的宽度L2。本变形例中的槽部51的－Y侧壁面51a的宽度L1，形成得小于实施方式中的槽部51的－Y侧壁面51a的宽度L1（参照图2）。

在槽部51内的X方向大致中央，形成有肋部53。肋部53的－Y侧端部53a比振动臂部10和基部12的连接部靠＋Y侧配置，并与槽部51的－Y侧壁面51a分离。肋部53的＋Y侧端部53b与槽部51的＋Y侧壁面51b连接。即，肋部53在从槽部51内的＋Y侧壁面51b到比振动臂部10和基部12的连接部靠＋Y侧的范围内，沿着Y方向形成。

肋部53对应于槽部51的形状而形成为使－Y侧端部53a的宽度L3小于＋Y侧端部53b的宽度L4。具体而言，从＋Y侧到－Y侧，肋部53的＋X侧面53c以既定角度向－X侧倾斜、－X侧面53d以既定角度向＋X侧倾斜而形成。由此，肋部53的宽度形成为从＋Y侧到－Y侧逐渐缩小的锥状。

（第一变形例的效果）

依据第一变形例，在振动臂部10、11的－Y侧中，较宽地形成振动臂部10、11的＋X侧面10a、11a和槽部51的＋X侧面51c的宽度、以及振动臂部10、11的－X侧面10b、11b和槽部51的－X侧面51d的宽度。由此，能够进一步提高振动臂部10、11的－Y侧的弯曲刚性，因此能够抑制振动臂部10、11在＋Z方向的振动。此外，通过从槽部51的宽度较宽地形成的＋Y侧起形成肋部53，能够沿着Y方向使槽部51在形成区域中的振动臂部10、11的截面积大致恒定（一定）地形成。即便振动臂部10、11受到碰撞的情况下，也抑制应力集中而能够防止振动臂部10、11的破损。

（实施方式的第二变形例）

接着，对实施方式的第二变形例进行说明。

图7是实施方式的第二变形例的说明图。

在上述的实施方式及第一变形例中，形成为使槽部51的宽度从＋Y侧到－Y侧变窄（参照图2及图6）。与之相对，在本变形例中，使槽部51的宽度形成为沿着Y方向恒定，在这一点上与实施方式不同。此外，对于与实施方式同样的构成部分省略说明。

（槽部）

如图7所示，在振动臂部10形成有槽部51。槽部51形成为使－Y侧壁面51a的宽度L1和＋Y侧壁面51b的宽度L2大致相同。具体而言，从＋Y侧到－Y侧，形成为槽部51的＋X侧面51c和振动臂部10的＋X侧面10a、以及槽部51的－X侧面51d和振动臂部10的－X侧面10b大致平行。即，槽部51的宽度形成为沿着Y方向恒定。再者，与实施方式同样地，肋部53的－Y侧端部53a的宽度L3大于肋部53的＋Y侧端部53b的宽度L4。

（第二变形例的效果）

依据第二变形例，通过使槽部51的宽度形成为沿着振动臂部10、11的Y方向恒定，能以极短的距离对置地配置振动臂部10、11的＋X侧面10a、11a与槽部51的＋X侧面51c、以及振动臂部10、11的－X侧面10b、11b与槽部51的－X侧面51d。由此，在对激振电极13、14施加电压时，能够有效率地形成沿着X方向将振动臂部10、11的＋X侧面10a、11a与槽部51的＋X侧面51c、以及振动臂部10、11的－X侧面10b、11b与槽部51的－X侧面51d交叉的电场。即，能够在X方向对振动臂部10、11有效率地形成电场，因此能够有效率地使振动臂部10、11在X方向振动。特别是，通过使－Y侧的肋部53的宽度形成得大于＋Y侧的肋部53的宽度，并且沿着振动臂部10、11的Y方向使槽部51的宽度形成得恒定，能够形成提高振动臂部10、11的－Y侧的弯曲刚性并且损失少的压电振动片4。

（压电振动器）

接着，作为具备用上述的制造方法制造的压电振动片4的封装件9，对压电振动器1进行说明。

图8是压电振动器1的外观立体图。

图9是压电振动器1的内部结构图，是取下盖基板3后的状态的平面图。

图10是图9的C－C线上的剖视图。

图11是图8所示的压电振动器1的分解立体图。

此外，在图11中，为了方便示图而省略了后述的激振电极13、14、引出电极19、20、装配电极16、17及重锤金属膜21的图示。

如图8所示，本实施方式的压电振动器1是具备隔着接合膜35而阳极接合基底基板2及盖基板3的封装件9、和被收纳于封装件9的空腔3a的压电振动片4的表面安装型的压电振动器1。

如图10所示，基底基板2及盖基板3是用玻璃材料例如碱石灰玻璃构成的能阳极接合的基板，形成为近似板状。在盖基板3中与基底基板2的接合面一侧，形成有收纳压电振动片4的空腔3a。

在盖基板3中与基底基板2的接合面一侧的全体，形成有阳极接合用的接合膜35（接合材料）。接合膜35形成在空腔3a的整个内表面，而且形成在空腔3a周围的边缘区域。本实施方式的接合膜35用硅形成，但是也可以用铬、铝等形成接合膜35。该接合膜35和基底基板2被阳极接合，空腔3a被真空密封。

压电振动器1具备沿厚度方向贯通基底基板2并使空腔3a的内侧和压电振动器1的外侧导通的贯通电极32、33。然后，贯通电极32、33由金属销7和筒体6形成，该金属销7配置在贯通基底基板2的贯通孔30、31内，将压电振动片4与外部电连接，该筒体6被填充到贯通孔30、31与金属销7之间。下面以贯通电极32为例进行说明，但是对于贯通电极33也同样。此外，贯通电极33、迂回电极37及外部电极39的电连接，也与贯通电极32、迂回电极36及外部电极38相同。

贯通孔30形成为从基底基板2的上表面U侧到下表面L侧内径逐渐变大，形成为包含贯通孔30的中心轴P的截面形状为锥状。

金属销7是用银、镍合金、铝等的金属材料形成的导电性的棒状部件，通过锻造、压力加工来成型。金属销7优选用线膨胀系数接近基底基板2的玻璃材料的金属，例如含有58重量%的铁、42重量%的镍的合金（42合金（alloy））形成。

将膏状的玻璃料烧成而形成筒体6。在筒体6的中心，以贯通筒体6的方式配置有金属销7，筒体6对金属销7及贯通孔30牢固地固接。

如图11所示，在基底基板2的上表面U侧，构图有一对迂回电极36、37。此外，在这些一对迂回电极36、37上形成有分别由金等构成的凸点（bump）B，利用凸点B安装压电振动片4的一对装配电极。由此，压电振动片4的一个装配电极17（参照图9）经由一个迂回电极36而与一个贯通电极32导通，另一装配电极16（参照图9）经由另一迂回电极37而与另一贯通电极33导通。

在基底基板2的下表面L，形成有一对外部电极38、39。一对外部电极38、39形成在基底基板2的长度方向的两端部，对于一对贯通电极32、33分别电连接。

在使这样构成的压电振动器1工作的情况下，对形成在基底基板2的外部电极38、39施加既定的驱动电压。由此，能够对压电振动片4的第一激振电极13及第二激振电极14施加电压，因此能够在X方向（参照图1）上使一对振动臂部10、11以既定的频率接近及分离的方式进行振动。然后，利用该一对振动臂部10、11的振动，能够作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等而加以利用。

（效果）

依据本实施方式，由于具备能抑制CI值的上升、振动泄漏的压电振动片4，能够提供高效率且消耗电力少的压电振动器1。

（振荡器）

接着，参照图12，对本发明的振荡器的一实施方式进行说明。

本实施方式的振荡器110如图12所示，将压电振动器1构成为电连接至集成电路111的振子。该振荡器110具备安装了电容器等的电子元器件112的基板113。在基板113安装有振荡器用的集成电路111，在该集成电路111的附近安装有压电振动器1。这些电子元器件112、集成电路111及压电振动器1通过未图示的布线图案分别电连接。此外，各构成部件通过未图示的树脂来模制（mould）。

在这样构成的振荡器110中，对压电振动器1施加电压时，压电振动器1内的压电振动片振动。通过压电振动片所具有的压电特性，将该振动转换为电信号，以电信号方式输入至集成电路111。通过集成电路111对输入的电信号进行各种处理，以频率信号的方式输出。从而，压电振动器1作为振子起作用。

此外，根据需求有选择地设定集成电路111的结构，例如RTC（实时时钟）模块等，除了钟表用单功能振荡器等之外，还能够附加控制该设备或外部设备的工作日期、时刻，或者提供时刻、日历等的功能。

依据本实施方式，能够提供高效率且消耗电力少的高性能的振荡器110。

（电子设备）

接着，参照图13，就本发明的电子设备的一实施方式进行说明。此外作为电子设备，举例说明了具有上述压电振动器1的便携信息设备120。最初本实施方式的便携信息设备120例如以便携电话为代表，发展并改良现有技术中的手表。外观类似于手表，在相当于文字盘的部分配有液晶显示器，能够在该画面上显示当前的时刻等。此外，在作为通信机而利用的情况下，从手腕取下，通过内置于表带的内侧部分的扬声器和麦克风而能够进行与现有技术的便携电话相同的通信。然而，与现有的便携电话相比较，明显小型化且轻型化。

下面，对本实施方式的便携信息设备120的结构进行说明。如图13所示，该便携信息设备120具备压电振动器1和供电用的电源部121。电源部121例如由锂二次电池构成。进行各种控制的控制部122、进行时刻等的计数的计时部123、与外部进行通信的通信部124、显示各种信息的显示部125、和检测各功能部的电压的电压检测部126，与该电源部121并联连接。而且，通过电源部121来对各功能部供电。

控制部122控制各功能部，进行声音数据的发送及接收、当前时刻的测量、显示等的整个系统的动作控制。此外，控制部122具备预先写入程序的ROM、读取写入到该ROM的程序并执行的CPU、和作为该CPU的工作区使用的RAM等。

计时部123具备内置了振荡电路、寄存器电路、计数器电路及接口电路等的集成电路和压电振动器1。对压电振动器1施加电压时压电振动片振动，通过水晶所具有的压电特性，该振动被转换为电信号，以电信号的方式输入到振荡电路。振荡电路的输出被二值化，通过寄存器电路和计数器电路来计数。然后，通过接口电路，与控制部122进行信号的发送与接收，在显示部125显示当前时刻、当前日期或者日历信息等。

通信部124具有与现有的便携电话相同的功能，具备无线电部127、声音处理部128、切换部129、放大部130、声音输入输出部131、电话号码输入部132、来电音发生部133及呼叫控制存储器部134。

通过天线135，无线电部127与基站进行收发声音数据等各种数据的交换。声音处理部128对从无线电部127或放大部130输入的声音信号进行编码及解码。放大部130将从声音处理部128或声音输入输出部131输入的信号放大到既定电平。声音输入输出部131由扬声器或麦克风等构成，扩大来电音、受话声音，或者将声音拢音。

此外，来电音发生部133响应来自基站的呼叫而生成来电音。切换部129仅在来电时，通过将连接在声音处理部128的放大部130切换到来电音发生部133，在来电音发生部133中生成的来电音经由放大部130输出至声音输入输出部131。

此外，呼叫控制存储器部134存放与通信的呼叫及来电控制相关的程序。此外，电话号码输入部132具备例如0至9的号码键及其它键，通过按压这些号码键等，输入通话目的地的电话号码等。

电压检测部126在通过电源部121对控制部122等的各功能部施加的电压小于既定值时，检测其电压降后通知控制部122。这时的既定电压值是作为使通信部124稳定动作所需的最低限的电压而预先设定的值，例如，3V左右。从电压检测部126收到电压降的通知的控制部122禁止无线电部127、声音处理部128、切换部129及来电音发生部133的动作。特别是，停止耗电较大的无线电部127的动作是必需的。而且，显示部125显示通信部124由于电池余量的不足而不能使用的提示。

即，能够由电压检测部126和控制部122禁止通信部124的动作并在显示部125显示该提示。该显示可以是文字消息，但作为更直观的显示，也可以在显示于显示部125的显示面的上部的电话图标打“×（叉）”标记。

此外，通过具备能够有选择地截断与通信部124的功能相关的部分的电源的电源截断部136，能够更加可靠地停止通信部124的功能。

依据本实施方式，能够提供高效率且消耗电力少的高性能的便携信息设备120。

（电波钟）

接着，参照图14，对本发明的电波钟的一实施方式进行说明。

如图14所示，本实施方式的电波钟140具备电连接到滤波部141的压电振动器1，是接收包含时钟信息的标准电波，并具有自动修正为正确的时刻并加以显示的功能的钟表。

在日本国内，在福岛县（40kHz）和佐贺县（60kHz）有发送标准电波的发送站（发送局），分别发送标准电波。40kHz或60kHz这样的长波兼有沿地表传播的性质和在电离层和地表边反射边传播的性质，因此其传播范围宽，且由上述的两个发送站覆盖整个日本国内。

以下，对电波钟140的功能性结构进行详细说明。

天线142接收40kHz或60kHz长波的标准电波。长波的标准电波是将被称为定时码的时刻信息AM调制为40kHz或60kHz的载波。所接收的长波的标准电波由放大器143放大，由具有多个压电振动器1的滤波部141滤波并调谐。

本实施方式中的压电振动器1分别具备与上述载波频率相同的40kHz及60kHz的谐振频率的水晶振动器部148、149。

而且，滤波后的既定频率的信号通过检波、整流电路144来检波并解调。

接着，经由波形整形电路145而抽出定时码，由CPU146计数。在CPU146中，读取当前的年、累积日、星期、时刻等的信息。被读取的信息反映于RTC147，显示出正确的时刻信息。

由于载波为40kHz或60kHz，所以水晶振动器部148、149优选具有上述的音叉型结构的振动器。

此外，虽然上述的说明由日本国内的示例表示，但长波的标准电波的频率在海外是不同的。例如，在德国使用77.5KHz的标准电波。所以，在将即使在海外也能够对应的电波钟140装入便携设备的情况下，还需要与日本的情况不同的频率的压电振动器1。

依据本实施方式，能够提供高效率且消耗电力少的高性能的电波钟140。

此外，本发明的技术范围并不限于上述实施方式，在不超出本发明的宗旨的范围内可做各种变更。

在实施方式中，表面安装型的压电振动器1采用了本发明的压电振动片4，但并不限于此，例如在柱式（cylinder）封装型的压电振动器采用了本发明的压电振动片4也可。

在实施方式及各变形例中，在槽部51内形成了1个肋部53，但是肋部53的个数并不限于1个，在槽部51内形成多个肋部53也可。

在实施方式及各变形例中，在振动臂部10、11各自形成1个槽部51，但槽部51的个数并不限于1个，在振动臂部10、11各自形成多个槽部51也可。

在实施方式及第二变形例中，以使在槽部51内形成的肋部53的宽度从＋Y侧到－Y侧逐渐扩大的方式形成。但是，例如以使肋部53的宽度从＋Y侧到－Y侧阶梯状扩大的方式形成也可。此外，以使肋部53的宽度从＋Y侧到－Y侧恒定的方式形成也可。

在本实施方式及第一变形例中，槽部51形成为从＋Y侧向－Y侧以锥状变窄。但是，例如，槽部51以阶梯状变窄的方式形成也可。

标号说明

1…压电振动器；4…压电振动片；10、11…振动臂部；12…基部；51…槽部；51a…－Y侧壁面（基端侧的壁面）；51b…＋Y侧壁面（前端侧的壁面）；53…肋部；110…振荡器；120…便携信息设备（电子设备）；140…电波钟。

Claims (9)

1. 一种压电振动片，具备：

并列配置的一对振动臂部；

形成在所述振动臂部的两主面上并且沿着所述振动臂部的长度方向延伸的槽部；以及

连接有所述一对振动臂部的基部，

所述压电振动片的特征在于：

在所述槽部内形成有肋部，该肋部从所述长度方向的基端侧及所述长度方向的前端侧的任意一侧的壁面，朝着所述基端侧及所述前端侧的任意另一侧延伸。

2. 根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于：所述肋部从所述基端侧的壁面朝着所述前端侧延伸。

3. 根据权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于：所述振动臂部在所述基端侧的所述肋部的宽度，形成为大于所述振动臂部在所述前端侧的所述肋部的宽度。

4. 根据权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于：所述振动臂部在所述基端侧的所述槽部的宽度，形成为小于所述振动臂部在所述前端侧的所述槽部的宽度。

5. 根据权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于：所述槽部的宽度形成为沿着所述振动臂部的长度方向恒定。

6. 一种压电振动器，其特征在于：具备权利要求1所述的压电振动片。

7. 一种振荡器，其特征在于：权利要求6所述的压电振动器作为振子与集成电路电连接。

8. 一种电子设备，其特征在于：权利要求6所述的压电振动器与计时部电连接。

9. 一种电波钟，其特征在于：权利要求6所述的压电振动器与滤波部电连接。

Images