CN103019048B - 一种显影喷嘴 - Google Patents

Abstract

一种显影喷嘴，包括相对设置的条形底座和上壳、以及若干喷液管，所述底座和上壳围成一个腔体，所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴，所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔，所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内，喷液管包括管体部和管体部一端的管座部，管体部和管座部分别置于阶梯状通孔的小径孔部和大径孔部，且管座部和大径孔部之间设置密封环和套筒，所述底座上设置压板挤压所述套筒使所述密封环变形。本显影喷嘴能够实现大深径比的喷液管道，而且加工成本低，管内不会产生毛刺，显影液喷涂效果好。

Description

一种显影喷嘴

技术领域

本发明涉及集成电路芯片制造过程中的显影设备，更具体地说，涉及用于喷涂显影液的显影喷嘴。

背景技术

现有的显影液的施加，一般是采用在晶圆上滴下显影液，然后旋转晶圆的方式将显影液铺展；或者采用长度与晶圆直径约略相等的排孔喷嘴扫描晶圆进行显影液的喷涂。前者容易造成显影液膜厚度不均匀从而形成显影缺陷，且容易在晶圆旋转过程中浪费显影液，后者是一种成熟且常用的显影喷嘴，但由于该种排孔喷嘴的结构中常常有深径比较大的孔，又由于：目前，排孔喷嘴一般用特氟龙材料，如PVDF、PPS等，通过数控机床加工，这些塑料材料相比于金属材料而言更易粘刀，除非采用高速切削，否则表面质量和尺寸要求很难达标，而采用高速切削的加工成本较高，不利于大批量生产，所以导致了这种显影用的排孔喷嘴加工成本高，且孔径中含有不易清理的毛刺会影响显影液喷涂效果。

发明内容

本发明的目的是针对现有显影喷嘴存在的加工成本高、显影液喷涂效果差的技术缺陷，提供一种显影喷嘴。

为达上述目的，本发明提供的显影喷嘴，包括相对设置的条形底座和上壳、以及若干喷液管，所述底座和上壳围成一个腔体，所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴，所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔，所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内，喷液管包括管体部和管体部一端的管座部，管体部和管座部分别置于阶梯状通孔的小径孔部和大径孔部，且管座部和大径孔部之间设置密封环和套筒，所述底座上设置压板挤压所述套筒使所述密封环变形。

优选地，所述喷液管是用金属经冷拉拔工艺成型的。其中，所述金属优选不锈钢。

优选地，所述通孔的内端设置过滤网，以滤除显影液中的杂质，过滤网压接在所述压板和所述底座之间。

优选地，所述阶梯状的通孔的台阶部呈锥面，对应地，所述喷液管的管座部的底面也呈锥面。

优选地，所述喷液管的管座部的底缘成形有径向向外的突环，所述压板通过所述套筒和密封环挤压所述突环。

优选地，所述底座上的若干通孔排列成一排。

优选地，所述底座上的若干通孔排列成至少两排，相邻两排的孔位相互错开。

本发明的有效益在于，由于喷液管道（喷液管）和显影喷嘴主体是可拆卸地组装在一起的，而不是一体成型的，所以喷液管能够通过冷拉拔等方式进行加工，尤其对于大深径比的喷液管道，加工成本低，且管内不会产生毛刺，显影液喷涂效果好。

此外，由于采用组合式结构，可以方便地拆下喷液管进行清洗；而且可以对损坏的喷液管单独更换，而不必要更换整个喷嘴。

附图说明

图1为一实施例显影喷嘴的整体结构示意图；

图2为其剖视图；

图3为图2中B部的放大图；

图4为图1显影喷嘴的仰视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

参照图1～图4，本实施例显影喷嘴包括相对设置的条形底座3和上壳1、以及若干喷液管7，条形底座3和上壳1围成一个腔体8，上壳1设置用于给腔体8供液的接嘴11，底座3设置连通腔体8的若干阶梯状的通孔31，若干喷液管7分别安装在若干阶梯状的通孔31内，喷液管7包括管体部71和管体部71一端的管座部72，管体部71和管座部72分别置于阶梯状通孔31的小径孔部和大径孔部，且管座部72和大径孔部之间设置密封环6和套筒5，底座3上通过螺栓安装压板2，压板2挤压套筒5使密封环6变形，一方面起到固定喷液管7，防止其松动的作用，另一方面起到防止液体从喷液管7和通孔31之间渗漏的作用。

喷液管7采用不锈钢冷拉拔而成。金属的冷拉拔成型技术已经成熟，例如，用于静脉注射器中的针头的制备即采用该技术，可以对针头的长度和针孔内径控制的很好。该技术本身不属于本发明的范围，在此不再叙述。

喷液管7管体部71的下端含于相应的通孔31内，换言之，管体部71未从通孔31下端露出。

为了防止显影液中的固体颗粒混杂影响显影效果，进一步在通孔31的内端设置过滤网4，以滤除液体中的杂质，过滤网4压接在压板2和底座3之间。

为了更好地对喷液管7定位，将阶梯状的通孔31的台阶部设计为锥面，对应地，将喷液管7的管座部72的底面也设计为锥面，通过两个锥面的配合将喷液管7更好地定位在通孔31内。

进一步，喷液管7的管座部72的底缘成形有径向向外的突环73，压板2通过套筒5和密封环6向下挤压突环73，以更好地固定喷液管7。组装时，首先将密封环6逐个套在喷液管7管座部72的突环73上，然后逐个将喷液管7插入底座3的阶梯状通孔31中，在通孔31的大径孔部放入套筒5（此时套筒5上端有1至2毫米从底座3上表面突出），然后盖上过滤网4和压板2，最后在压板2的上表面的沉孔中放入垫片并用锁紧螺栓将压板2和底座3锁紧。锁紧后，套筒5压缩密封环6并将喷液管7压紧固定在通孔31中。

由于显影液为强碱性溶液，腐蚀性较强，因此密封环6选用含氟橡胶，喷液管7采用不锈钢冷拉拔而成，过滤网4也需具有一定的抗腐蚀能力。上述过滤网4可以根据需要选择网孔细密程度不同的过滤网。可以用一个过滤网覆盖全部的通孔31的入口。

如图4所示，底座3上的若干通孔31沿底座3的长边方向排列，共有三排，相邻两排的孔位相互错开。

也可以将底座3上的若干通孔31排列成一排或两排等。

本显影喷嘴主要应用于集成电路芯片显影工序中的显影液喷涂。其整体是用喷液管和喷嘴主体采用插装组合方式组合而成，而非一体成型的，从而有效地解决了现有排孔喷嘴中大深径比液流管道加工困难的技术问题，并因此使得排孔式显影喷嘴的流道布置得以优化，进而可以提高集成电路芯片制作过程中的显影质量。

以上通过具体实施例对本发明做了进一步说明。但本发明并不限于上述实施方式，在上述实施例的基础上利用本领域的公知常识或等效替换等手段，而得到的其他显影喷嘴，均在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种显影喷嘴，其特征在于：包括相对设置的条形底座（3）和上壳（1）、以及若干喷液管（7），所述底座和上壳围成一个腔体（8），所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴（11），所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔（31），所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内，喷液管包括管体部（71）和管体部一端的管座部（72），管体部和管座部分别置于阶梯状通孔的小径孔部和大径孔部，且管座部和大径孔部之间设置密封环（6）和套筒（5），所述底座上设置压板（2）挤压所述套筒使所述密封环变形，所述喷液管的管座部（72）的底缘成形有径向向外的突环（73），所述压板通过所述套筒（5）和密封环（6）挤压所述突环（73）。

2.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于：所述喷液管是用金属经冷拉拔工艺成型的。

3.根据权利要求2所述的显影喷嘴，其特征在于：所述金属为不锈钢。

4.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于：所述通孔（31）的内端设置过滤网（4），过滤网（4）压接在所述压板（2）和所述底座（3）之间。

5.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于：所述阶梯状的通孔的台阶部呈锥面，对应地，所述喷液管的管座部（72）的底面也呈锥面。

6.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于：所述底座上的若干通孔（31）排列成一排。

7.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于：所述底座上的若干通孔（31）排列成至少两排，相邻两排的孔位相互错开。

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