CN103576470B - 一种显影工艺喷嘴 - Google Patents

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Abstract

本发明显影工艺喷嘴包括：喷嘴主体，该喷嘴主体的底面开设条形安装槽，该条形安装槽的中部向上设置一显影液入口；以及，喷嘴底板，该喷嘴底板上部内设置条形主流道，该条形主流道的上口边向上设置法兰凸台，底部设置若干出射流道；所述喷嘴主体和喷嘴底板上下对置安装，所述条形安装槽与所述法兰凸台配合定位。其中所述出射流道呈细孔状，且该细孔的深径比不大于10。本发明显影工艺喷嘴用于集成电路芯片显影工艺中显影液的输出，将显影液出射流道，流道从传统的大深径比孔流道改为细短孔状出射流道，由大深径比孔改为小深径比孔，解决了现有显影工艺喷嘴中大深径比孔难以加工的难题，同时降低了显影工艺喷嘴的加工周期和加工成本，满足显影工艺发展的要求。

Description

一种显影工艺喷嘴
技术领域
本发明涉及喷涂领域，主要应用于芯片显影工艺，具体涉及一种显影工艺喷嘴。
背景技术
目前，显影设备中对显影工艺喷嘴的要求越来越高，不仅要求显影工艺喷嘴能实现较好的喷涂区域，同时对喷嘴的加工精度以及成本也提出了很高的要求。
传统的显影工艺喷嘴出射流道的孔径一般较大，同时出射孔流道较深，喷嘴流道的设计不具有良好的加工性能。细长孔具有孔径小、孔深大的特点，现有的一些细长孔出射流道喷嘴，一直存在细长孔深径比（孔长度/深度与孔直径的比）大，难以加工的问题。这些大大增加了对喷嘴设备的要求，延长了喷嘴的加工周期，同时，喷嘴的加工成本也会相应提高。
发明内容
鉴于现有芯片显影工艺中存在的大深径比孔难以加工的问题，本发明提供了一种显影工艺喷嘴，通过对显影液流道的设计，减少出射流道的长度，在实现较好的喷涂效果的同时降低了显影工艺喷嘴的加工难度，为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案。
一种显影工艺喷嘴包括：喷嘴主体，该喷嘴主体的底面开设条形安装槽，该条形安装槽的中部向上设置一显影液入口；以及，喷嘴底板，该喷嘴底板上部内设置条形主流道，该条形主流道的上口边向上设置法兰凸台，底部设置若干出射流道；所述喷嘴主体和喷嘴底板上下对置安装，所述条形安装槽与所述法兰凸台配合定位。
其中，所述出射流道间隔分布于所述条形主流道的底部。
所述出射流道呈细孔状，且该细孔的深径比不大于10，该细孔的深度不超过3mm。
所述显影液入口包括连接部、出口段部以及该连接部与出口段部之间的窄部。
所述出口段部与窄部的直径比为1：0.5-0.8。
所述喷嘴主体与所述喷嘴底板之间加设柔性密封垫。
本发明显影工艺喷嘴用于集成电路芯片显影工艺中显影液的输出，将显影液出射流道从传统的大深径比孔流道改为细短孔状出射流道，由大深径比孔改为小深径比孔，解决了现有显影工艺喷嘴中大深径比孔难以加工的难题，同时降低了显影工艺喷嘴的加工周期和加工成本，满足显影工艺发展的要求。
附图说明
图1为本发明显影工艺喷嘴的实施例1的结构示意图；
图2为图1实施例1截面图；
图3为图2圈示部分的放大图；
图4为图1中喷嘴底板的截面图；
图5为图1中喷嘴底板的俯视图。
具体实施方式
以下结合具体实施例对本发明做详细描述。
参照图1-5，本发明用于芯片显影工艺的工艺喷嘴实施例1主要包括喷嘴主体1和喷嘴底板2。
喷嘴主体1呈条形板状，喷嘴主体1的底面开设条形安装槽12，条形安装槽12的中部向上设置一显影液入口11。如图2，显影液入口11位于喷嘴主体1的中心处，显影液入口11包括带螺纹的连接部111、出口段部113以及连接部111与出口段部113之间的窄部112。带螺纹的连接部111用于与传统显影液的输出管连接，该输出管的孔径与窄部112孔径相同。显影液入口11的出口段部113与窄部112的直径比为1：0.75。
喷嘴底板2上部内设置条形主流道22，条形主流道22的上口边向上设置法兰凸台21，条形主流道22的底部设置若干出射流道23。出射流道23间隔分布于主体流道22的底部，该出射流道23呈细孔状，设计要求该细孔的深径比不大于10，且深度不大于3mm。实施例1中该细孔23的直径为0.3mm，深度为3mm，深径比为10。条形主流道22的横截面呈长圆状，这种设计方式减少了构成出射流道的细孔的深度，便于出射流道23的加工，进而便于喷嘴底板2的整体加工。
安装时，喷嘴主体1和喷嘴底板2上下对置固定，所述条形安装槽12与所述法兰凸台21配合定位，法兰凸台的上表面与条形凹槽的底面接触。来自显影液输出管（连接在显影液入口11的连接部111）的显影液由显影液入口11注入，进而流经窄部112、出口段部113、条形主流道22，由各出射流道23喷出。
为了便于组装以及喷嘴主体1与喷嘴底板2之间的密封，在喷嘴主体与喷嘴底板之间加设柔性密封垫，该密封垫采用全氟橡胶制成，以防止显影液的腐蚀。
以上通过具体实施例对本发明做了详细的说明，这些具体的描述不能认为本发明仅仅限于这些实施例的内容。本领域技术人员根据本发明构思、这些描述并结合本领域公知常识做出的任何改进、等同替代方案，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。

Claims (8)

1.一种显影工艺喷嘴，其特征在于，包括：
喷嘴主体，该喷嘴主体的底面开设条形安装槽，该条形安装槽的中部向上设置一个显影液入口；以及
喷嘴底板，该喷嘴底板上部内设置条形主流道，该条形主流道的上口边向上设置法兰凸台，底部设置若干出射流道；所述喷嘴主体和喷嘴底板上下对置，所述条形安装槽与所述法兰凸台配合定位；
其中，所述出射流道呈细孔状，且该细孔的深径比不大于10。
2.根据权利要求1所述的显影工艺喷嘴，其特征在于，所述出射流道间隔分布于所述条形主流道的底部。
3.根据权利要求1或2所述的显影工艺喷嘴，其特征在于，所述细孔的深度不超过3mm。
4.根据权利要求1所述的显影工艺喷嘴，其特征在于，所述显影液入口包括连接部、出口段部以及该连接部与该出口部之间的窄部。
5.根据权利要求4所述的显影工艺喷嘴，其特征在于，所述出口段部与窄部的直径比为1：0.5-0.8。
6.根据权利要求1所述的显影工艺喷嘴，其特征在于，所述法兰凸台的上表面与所述条形安装槽的底面接触。
7.根据权利要求1所述的显影工艺喷嘴，其特征在于，所述喷嘴主体与所述喷嘴底板之间加设柔性密封垫。
8.根据权利要求1所述的显影工艺喷嘴，其特征在于，所述条形主流道的横截面呈长圆状。
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