CN103014672B - 镀膜方法及装置 - Google Patents

镀膜方法及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103014672B
CN103014672B CN201210562933.0A CN201210562933A CN103014672B CN 103014672 B CN103014672 B CN 103014672B CN 201210562933 A CN201210562933 A CN 201210562933A CN 103014672 B CN103014672 B CN 103014672B
Authority
CN
China
Prior art keywords
coated
district
heating
unplated piece
film coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210562933.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103014672A (zh
Inventor
郑文达
吴础任
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201210562933.0A priority Critical patent/CN103014672B/zh
Priority to PCT/CN2012/087479 priority patent/WO2014094328A1/zh
Priority to US13/813,656 priority patent/US20140178600A1/en
Publication of CN103014672A publication Critical patent/CN103014672A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103014672B publication Critical patent/CN103014672B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/46Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for heating the substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0209Pretreatment of the material to be coated by heating
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

本发明公开了一种镀膜方法及装置,所述镀膜方法包括步骤:对待镀件的待镀膜区加热;在所述待镀件加热后的待镀膜区镀膜。从而,通过预先对待镀件的待镀膜区加热,以提高该待镀膜区的温度,减小该待镀膜区与镀膜气流之间的温差,避免镀膜气流中的混合物于待镀件的待镀膜区结晶,从而镀膜层与待镀件之间没有结晶物的阻隔,镀膜层直接紧密附着于待镀膜区上,提高了镀膜的成功率和稳定性。<!--1-->

Description

镀膜方法及装置
技术领域
本发明涉及液晶面板技术领域,尤其涉及一种镀膜方法和镀膜装置。
背景技术
液晶面板包括阵列基板、彩色滤光片基板及设置在二者之间的液晶层。阵列基板是液晶面板的重要组成元件之一。在阵列基板上设置有若干信号线,如数据线、扫描线等。由于各种原因,阵列基板的信号线会存在断线缺陷,即信号线存在断路。为提高阵列基板的良率,需要利用镀膜装置在断线缺陷的区域补镀金属镀膜层,以修复断开的信号线。
在补镀金属镀膜层时,由于镀膜装置向阵列基板上传送的镀膜气流是高温熔融的混合物,而阵列基板则是处于常温下,因此阵列基板与镀膜气流的温差很大,导致镀膜气流中的混合物接触阵列基板后会形成结晶物。当结晶物落在待镀膜区域时,会使得镀膜层与阵列基板之间被结晶物阻隔,镀膜层不能紧密附着于阵列基板上,从而使镀膜层不牢固,容易从阵列基板上剥离,导致镀膜失败,降低了阵列基板的良率。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种镀膜方法及装置,旨在提高镀膜的成功率和稳定性。
为达以上目的,本发明提出一种镀膜方法,包括步骤:
对待镀件的待镀膜区加热;
在所述待镀件加热后的待镀膜区镀膜。
优选地,所述对待镀件的待镀膜区加热包括:
利用激光加热装置或电阻加热装置对待镀件的待镀膜区加热。
优选地,所述对待镀件的待镀膜区加热包括:
发射激光并把该激光汇聚于待镀件的待镀膜区,以对该待镀膜区加热。
优选地,所述对待镀件的待镀膜区加热包括:
加热气体并把加热后的气体吹向待镀件的待镀膜区,以对该待镀膜区加热。
本发明同时提出一种镀膜装置,包括加热单元和镀膜单元,所述加热单元用于对待镀件的待镀膜区加热,所述镀膜单元用于在待镀件加热后的待镀膜区镀膜。
优选地,所述加热单元为激光加热单元或电阻加热单元。
优选地,所述加热单元为激光加热单元,包括激光发射器和聚光件,所述激光发射器发射的激光经聚光件汇聚后照射于所述待镀件的待镀膜区。
优选地,所述镀膜单元包括一阻隔玻璃,所述激光加热单元和镀膜单元位于所述待镀件的同一侧,且所述阻隔玻璃采用聚光玻璃以充当所述激光加热单元的聚光件。
优选地,所述加热单元为电阻加热单元,包括导热管、设于导热管内的发热电阻和鼓风件,所述鼓风件对所述导热管内部吹风,吹入的气体被发热电阻加热后经导热管导向所述待镀件的待镀膜区。
优选地,所述加热单元和镀膜单元并列设置位于所述待镀件的同一侧或相对设置分置于所述待镀件的两侧。
本发明所提供的一种镀膜方法,通过预先对待镀件的待镀膜区加热,以提高该待镀膜区的温度,减小该待镀膜区与镀膜气流之间的温差,避免镀膜气流中的混合物于待镀件的待镀膜区结晶,从而镀膜层与待镀件之间没有结晶物的阻隔,镀膜层直接紧密附着于待镀件的待镀膜区上,提高了镀膜的成功率和稳定性。
附图说明
图1是本发明的镀膜方法第一实施例的流程图;
图2是本发明的镀膜方法第二实施例的流程图;
图3是本发明的镀膜装置的结构示意图;
图4是本发明的镀膜装置第一实施例的结构示意图;
图5是本发明的镀膜装置第二实施例的结构示意图。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
参见图1,提出本发明的镀膜方法一实施例,所述镀膜方法包括:
步骤S101、对待镀件的待镀膜区加热。
在镀膜之前,先对待镀件的待镀膜区加热,以提高待镀件的待镀膜区的温度,减小待镀件的待镀膜区与镀膜气流的温差。
可以利用激光加热装置、电阻加热装置等加热装置对待镀件的待镀膜区加热,加热装置可以与镀膜装置设为一体,也可以分体设置;加热装置与镀膜装置可以并列设置,位于待镀件的同一侧对该待镀件加热以及在该待镀件上镀膜;加热装置与镀膜装置也可以相对设置,分置于待镀件的两侧。
当用激光加热装置加热时,激光加热装置的激光发射器发射的激光经聚光件汇聚后照射于待镀件的待镀膜区,汇聚后的激光就对该待镀膜区加热而提高该区域的温度。当用电阻加热装置加热时,将电阻加热装置的导热管的出风口对准待镀件的待镀膜区,电阻加热装置的鼓风件如风机则对导热管内部吹风,导热管内部的发热电阻对吹入的气体加热,加热后的热气体吹到待镀膜区使得该区域被加热,温度得以升高。
步骤S102、在待镀件加热后的待镀膜区镀膜。
对待镀件的待镀膜区加热后,待镀件的待镀膜区的温度得以升高,此时再在待镀件的待镀膜区镀膜时,镀膜装置喷射的高温熔融的镀膜气流与待镀件的待镀膜区的温差较小,甚至待镀件的的待镀膜区与镀膜气流之间的温差可以忽略,因此镀膜气流中的混合物不会在待镀膜区域结晶而影响镀膜气流在待镀膜区形成的镀膜层的附着力,使得镀膜层直接附着于待镀件的待镀膜区,与待镀件紧密结合,提高了镀膜的成功率和稳定性。
参见图2,提出本发明的镀膜方法第二实施例。本发明的镀膜方法可以应用于液晶面板技术领域,当液晶面板的阵列基板上的信号线存在断路缺陷时,需要对断线区域补镀金属镀膜层,以修复该信号线。本实施例即以在阵列基板上补镀金属镀膜层为例对本发明的镀膜方法做详细说明:
步骤S201、对阵列基板的待镀膜区加热。
本实施例的待镀件即为需要修复信号线的阵列基板,并只对阵列基板的待镀膜区加热,一方面减少高温对阵列基板上其他部件的影响,另一方面可以减小能量不必要的损耗和浪费。此时待镀膜区即为阵列基板上信号线因存在断线而需要补镀金属镀膜层的区域。
当用激光加热装置加热时,激光加热装置的激光发射器发射的激光经聚光件汇聚后照射于阵列基板的待镀膜区,汇聚后的激光就对该待镀膜区加热而提高该区域的温度。当用电阻加热装置加热时,将电阻加热装置的导热管的出风口对准阵列基板的待镀膜区,电阻加热装置的鼓风件如风机则对导热管内部吹风,导热管内部的发热电阻对吹入的气体加热,加热后的热气体吹到待镀膜区使得该区域被加热,温度得以升高。
步骤S202、将包含金属粉末混合物的镀膜气流传送到加热后的待镀膜区。
镀膜装置将高温熔融的镀膜气流喷射到阵列基板的待镀膜区,由于该区域已预先加热,其与高温熔融的镀膜气流的温差较小,甚至阵列基板的待镀膜区与镀膜气流之间的温差可以忽略,因此镀膜气流中的金属粉末混合物就不会在该待镀膜区结晶。
步骤S203、分解出金属粉末混合物中的金属粒子,以使该金属粒子附着于待镀膜区上形成镀膜层。
镀膜装置发射激光对金属粉末混合物进行分解,由于从金属粉末混合物中分解出的金属粒子处于高温熔融状态,因此马上附着于阵列基板的待镀膜区上形成金属镀膜层,从而将存在断线缺陷的信号线修复。由于此时阵列基板的待镀膜区已经被加热,其与金属粒子之间的温差较小或者温差可以忽略,因此附着在阵列基板的待镀膜区的金属离子不会发生结晶,从而使形成在阵列基板的待镀膜区的金属镀膜层在待镀膜区的附着力强,而不会脱落。
据此,本实施例通过预先对阵列基板的待镀膜区加热,以提高阵列基板的待镀膜区的温度,减小阵列基板的待镀膜区与镀膜气流之间的温差,避免镀膜气流中的混合物于阵列基板的待镀膜区结晶,使得镀膜层与阵列基板之间没有结晶物的阻隔,镀膜层直接紧密附着于阵列基板上,因此附着力强不会脱落,提高了镀膜的成功率和稳定性。
如图3-图5,本发明还提出一种镀膜装置,所述镀膜装置100包括加热单元120和镀膜单元110,其中加热单元120用于对待镀件的待镀膜区加热,镀膜单元110用于在待镀件200加热后的待镀膜区镀膜。加热单元120可以是激光加热单元121、电阻加热单元122等。
结合参见图4,提出本发明的镀膜装置第一实施例,所述镀膜装置100包括激光加热单元121和镀膜单元110,其中激光加热单元121包括激光发射器1211和聚光件1212,激光发射器1211发射的激光经聚光件1212汇聚后照射于待镀件200的待镀膜区。镀膜单元110包括镀膜腔体111、阻隔玻璃112、和激光器113,其中该镀膜腔体111开设有镀膜通道,阻隔玻璃112设置在镀膜通道的上方。镀膜腔体111具有第一出口1111、第二出口1112、第三出口1113及排出口1114。用于形成镀膜的粉末状镀膜材料由该第一出口1111吹出,该第一出口1111设置在待镀膜区的上方。第二出口1112设置在第一出口1111的上方,该第二出口1112用于吹出不与镀膜材料发生反应的气体,如惰性气体等,并且该第二出口1112吹出的惰性气体与第一出口1111吹出的镀膜材料混合。第三出口1113设置在第一出口1111的一侧,由第三出口1113吹出的惰性气体用于阻挡由第二出口1112吹出的惰性气体与镀膜材料的混合物扩散到非待镀膜区,即由第三出口1113吹出的气体用于将镀膜材料限定在待镀膜区。排出口1114位于第一出口1111与第三出口1113之间,用于排出镀膜材料和惰性气体的混合物。激光器113透过阻隔玻璃112向待镀件200的待镀膜区发射激光,分解出粉末状镀膜材料混合物中的金属粒子,以使该金属粒子附着于待镀件200上形成镀膜层;阻隔玻璃112阻挡粉末状镀膜材料与惰性气体形成的混合气流上浮。优选的,该镀膜腔体111还具有第二排出口1115,该第二排出口1115与排出口1114分别设置在第三出口1113的两侧,用于将从第三出口1113吹出的气体排出。
激光加热单元121和镀膜单元110可以并列设置,于待镀件200的同一侧对该待镀件200加热和在待镀件200上镀膜,从而可以将激光加热单元121的激光发射器1211和镀膜单元110的激光器113并列设置,均透过阻隔玻璃112向待镀件发射激光,此时的阻隔玻璃112可以采用聚光玻璃以充当激光加热单元121的聚光件1212。
当然,激光加热单元121和镀膜单元110也可以相对设置,分置于待镀件200两侧,从而激光加热单元121在一侧对待镀件200加热,镀膜单元110在待镀件200另一侧对加热后的待镀膜区域镀膜。
现以镀膜装置100为修复液晶面板的阵列基板上的信号线而在信号线断线的区域补镀金属镀膜层为例,详细说明本实施例的镀膜装置100的镀膜过程:
激光加热单元121的激光发射器1211发射的激光经聚光件1212汇聚后照射于待镀件200的待镀膜区域(即阵列基板的信号线断线区域),得以预先对该区域加热而提高了该区域的温度。粉末状镀膜材料由该第一出口1111吹出并与惰性气体混合形成镀膜气流,由于该待镀膜区域已被加热而与镀膜气流的温差减小,因此镀膜气流中的金属粉末混合物不会在该待镀膜区域结晶;同时激光器113向该待镀膜区发射激光,分解出镀膜气流的金属粒子,以使该金属粒子附着于待镀膜件200上形成金属镀膜层。由于金属镀膜层与待镀件200之间没有结晶物的阻隔,使得金属镀膜层得以直接附着于待镀件200,与待镀件200紧密结合。
据此,本实施例通过激光加热单元121预先对待镀件200的待镀膜区加热,以提高待镀件200的待镀膜区域的温度,减小待镀件200的待镀膜区与镀膜气流之间的温差,避免镀膜气流中的混合物于待镀件200的待镀膜区结晶,使得金属镀膜层与待镀件200的待镀膜区之间没有结晶物的阻隔,金属镀膜层直接紧密附着于待镀件200的待镀膜区上,提高了镀膜的成功率和稳定性。
结合参见图5,提出本发明的镀膜装置第二实施例,本实施例与上述实施例的区别在于加热单元120不同,本实施例的加热单元为电阻加热单元122,所述电阻加热单元122包括鼓风件1221、导热管1222以及设于导热管1222内的发热电阻1223,鼓风件1221可以设于导热管1222内,也可以设于导热管1222外但对准导热管1222入口。电源(图中未示出)对发热电阻1223通电使发热电阻1223发热,所述鼓风件1221对导热管1222内部吹风,吹入的气体被发热电阻1223加热后经导热管1222导向待镀件200的待镀膜区。
如图5所示,电阻加热单元122可以和镀膜单元110相对设置,分置于待镀件200两侧,电阻加热单元122的导热管1222的出口对准待镀膜区,从而电阻加热单元122在一侧对待镀件200的待镀膜区加热,镀膜单元110在待镀件200另一侧对加热后的待镀膜区域镀膜。
电阻加热单元122和镀膜单元110也可以并列设置,位于待镀件200的同一侧。可以将电阻加热单元122设置于镀膜单元110的周围,也即将导热管1222设置为圆环形管道,将镀膜单元110套设于该导热管1222的圆环内,使得电阻加热单元122和镀膜单元110对准待镀件200的同一位置,于同一侧对待镀件200加热和在待镀件200上镀膜。
本实施例的镀膜装置100的镀膜过程如下:将电阻加热单元122的导热管1222的出风口对准待镀件200的待镀膜区,电阻加热单元122的鼓风件1221如风机对导热管1222内部吹风,导热管1222内部的发热电阻1223对吹入的气体加热,加热后的热气体吹到待镀膜区使得该区域被加热,温度得以升高。粉末状镀膜材料由该第一出口1111吹出并与惰性气体混合形成镀膜气流,由于该待镀膜区域已被加热而与镀膜气流的温差减小,因此镀膜气流中的金属粉末混合物不会在该待镀膜区域结晶;同时激光器113向该待镀膜区发射激光,分解出镀膜气流的金属粒子,以使该金属粒子附着于待镀膜件200上形成金属镀膜层。由于金属镀膜层与待镀件200之间没有结晶物的阻隔,使得金属镀膜层得以直接附着于待镀件200上,提高了镀膜的成功率和稳定性。
应当理解的是,以上仅为本发明的优选实施例,不能因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (2)

1.一种镀膜方法,其特征在于,包括步骤:
发射激光通过阻隔玻璃把该激光汇聚于待镀件的待镀膜区,对待镀件的待镀膜区加热;
在所述待镀件加热后的待镀膜区镀膜;
所述在所述待镀件加热后的待镀膜区镀膜的步骤包括:
将包含金属粉末混合物的镀膜气流传送到加热后的待镀膜区;
阻隔玻璃阻挡包含金属粉末混合物的镀膜气流上浮;
发射激光对金属粉末混合物进行分解,分解出金属粉末混合物中的金属粒子,以使该金属粒子附着于待镀膜区上形成镀膜层。
2.一种镀膜装置,其特征在于,包括加热单元和镀膜单元,所述加热单元用于对待镀件的待镀膜区加热,所述加热单元包括激光发射器和聚光件,所述激光发射器发射的激光经聚光件汇聚后照射于所述待镀件的待镀膜区,所述镀膜单元用于在待镀件加热后的待镀膜区镀膜,所述镀膜单元具体用于将包含金属粉末混合物的镀膜气流传送到加热后的待镀膜区,以及发射激光对金属粉末混合物进行分解,分解出金属粉末混合物中的金属粒子,以使该金属粒子附着于待镀膜区上形成镀膜层,所述镀膜单元包括一阻隔玻璃,且所述阻隔玻璃采用聚光玻璃以充当所述激光加热单元的聚光件。
CN201210562933.0A 2012-12-21 2012-12-21 镀膜方法及装置 Active CN103014672B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210562933.0A CN103014672B (zh) 2012-12-21 2012-12-21 镀膜方法及装置
PCT/CN2012/087479 WO2014094328A1 (zh) 2012-12-21 2012-12-26 镀膜方法及装置
US13/813,656 US20140178600A1 (en) 2012-12-21 2012-12-26 Coating method and device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210562933.0A CN103014672B (zh) 2012-12-21 2012-12-21 镀膜方法及装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103014672A CN103014672A (zh) 2013-04-03
CN103014672B true CN103014672B (zh) 2015-11-25

Family

ID=47963778

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210562933.0A Active CN103014672B (zh) 2012-12-21 2012-12-21 镀膜方法及装置

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN103014672B (zh)
WO (1) WO2014094328A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109852915A (zh) * 2019-03-25 2019-06-07 扬中市新江镀业有限公司 一种连续镀锡生产线

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101672934A (zh) * 2008-09-11 2010-03-17 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜设备
CN102191486A (zh) * 2010-01-20 2011-09-21 欧姆龙株式会社 激光加工装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5424244A (en) * 1992-03-26 1995-06-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Process for laser processing and apparatus for use in the same
JP2005352387A (ja) * 2004-06-14 2005-12-22 Sharp Corp 液晶絶縁層のリペア方法
CN102290336A (zh) * 2011-09-20 2011-12-21 深圳市华星光电技术有限公司 一种薄膜、图案层及其制造方法
JP5520911B2 (ja) * 2011-10-12 2014-06-11 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
CN102492924A (zh) * 2011-12-14 2012-06-13 哈尔滨工业大学 自体离子轰击辅助电子束蒸镀装置及利用其镀膜的方法
CN202433641U (zh) * 2011-12-27 2012-09-12 深圳市三海光电技术有限公司 分离式低反射率电容触摸屏液晶板模组

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101672934A (zh) * 2008-09-11 2010-03-17 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜设备
CN102191486A (zh) * 2010-01-20 2011-09-21 欧姆龙株式会社 激光加工装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN103014672A (zh) 2013-04-03
WO2014094328A1 (zh) 2014-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103014672B (zh) 镀膜方法及装置
WO2023207494A1 (zh) 一种太阳能电池组件的制备方法
CN208116051U (zh) 一种液晶喷涂装置
CN105307853A (zh) 具有改良封装剂粘着性的背板/前板和由其制成的光伏模块
CN103383911B (zh) 一种气体放电灯管生产工艺
CN202290513U (zh) 一种涂布机专用的红外干燥设备
CN108060874A (zh) 复合气凝胶玻璃及其制备方法和应用
CN102419077A (zh) 一种微波、蒸汽混合加热带式干燥窑
JP2010198015A (ja) 平板ディスプレイ基板の電気的特性試験のための冷却及び防湿装置
CN105439465B (zh) 一种光伏钢化玻璃及其制备方法
CN105222327A (zh) 热水器
CN207161145U (zh) 一种高效蒸汽管道的通气保护装置
CN212459476U (zh) 一种工程结构固热流耦合实验装置
CN205102383U (zh) 热水器
CN103575087A (zh) 一种真空绝热芯材烘干生产线的加热烘干方法
CN211134513U (zh) 一种粉末涂装工艺烘干固化燃气辐射加热装置
CN208013730U (zh) 一种鹿养殖用的远程监控装置
CN208627740U (zh) 一种丙烯酸上胶套管的烘干设备
CN204651090U (zh) 一种漆包线烘炉
CN205766770U (zh) 一种石板材固化箱装置
CN201525804U (zh) 热对流喷嘴装置
CN206022579U (zh) 一种通过硅胶实现热量均匀传导的电芯模组
CN209213931U (zh) 一种炉灶一键启动系统
CN201837832U (zh) 硅片烘干可控装置
CN205648020U (zh) 电加热元件以及工业用加热装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant