CN103011165A - 固体微粒子回收方法 - Google Patents

Abstract

提供一种不仅从含有SiC以及Si的固体微粒子的液体将比较的大粒径的固体微粒子分离回收，也将比所述固体微粒子小的粒径的超细微的固体微粒子高效率地进行固液分离，将这些所有的固体微粒子回收的方法。SiC以及/或Si的固体微粒子回收方法为，具有二个工序,在第一工序中从含有SiC以及/或Si的固体微粒子的液体用离心分离或／以及液体旋风器将所述固体微粒子中的比较的大粒径的固体微粒子分离回收，比较的小粒径的固体微粒子残存的液体排出,第二工序为向第一工序排出的液体中，添加有机凝集剂,使含有所述比较的小的粒径的固体微粒子凝集形成凝集体，将该含有凝集体的液体进行离心分离或过滤,将所述凝集体回收。

Description

固体微粒子回收方法

技术领域

本发明涉及将在液体中含有的SiC以及Ｓｉ的固体微粒子从液体中分离回收的方法以及使所述回收的固体微粒子可以进行再利用的再生的方法。

背景技术

近年，碳化硅粉（ＳｉＣ粉）不仅使用于Ｓｉ，水晶，ＳｉＣ，ＧａＡｓ，ＧａＮ等的单结晶以及多结晶的基板，玻璃或陶瓷等的切断,切削以及研磨，还作为ＳｉＣ成形体的原料而被广泛使用。所述ＳｉＣ粉，通常用艾奇逊法进行分批反应来加以制造。

艾奇逊法是在大气开放的Ｕ型炉中，在中心长方向上通以石墨电极，在所述电极的周围，将数ｍｍ-数ｃｍ的硅砂以及碳的混合物鱼糕状层叠，在石墨电极通以大电流加热来进行ＳｉＣ的制造。所述反应（ＳｉＯ₂＋3Ｃ→ＳｉＣ＋ＣＯ）为吸热反应，仅石墨电极为发热体,变成高温状态，电极周围充分反应，主要生成高温安定型结晶αＳｉＣ。另一方面，从电极离开的部分，未反应，或者用途比较有限的低温安定型结晶的βＳｉＣ和αＳｉＣ的混合物等大量生成，反应不充分。反应后，将块状的坚硬固化的炉内物进行粗粉碎，仅对需要的αＳｉＣ部分进行选择，进一步微粉碎。剩余的未反应物以及βＳｉＣ和αＳｉＣ的混合物，作为不要物,再一次，返回作为反应原料。微粉碎的αＳｉＣ，根据用途，用水等进行湿式分级以及用空气以及氮等进行干式分级，根据所述用途进行最适当的粒度以及粒度分布调整。如此得到的ＳｉＣ微粉，作为所述的切断，切削，研磨的砥粒，作为切削材料，或作为ＳｉＣ成形体的原料粉末，被大量使用。

在ＳｉＣ微粉的制造中，根据使用目的以及用途,最适当的平均粒径以及粒度分布被要求，需要对粒度和不要粒度进行的分级工序是不可缺少的。所述分级中，成本比较低的精密分级一般为水分级法，含有不需要的ＳｉＣ微粉的水溶液,会大量发生。同样，在干式分级的场合也有不要的ＳｉＣ微粉发生，它们的处理也成为问题。另外，对单结晶以及多结晶的Ｓｉ锭以及成形物进行切削时，含有切削末的Ｓｉ微粒子的废液会大量发生，所述处理也成为问题。

作为所述溶液以及废液的处理，用离心分离机以及过滤机将ＳｉＣ以及Ｓｉ的微粒子回收,并将其有效地利用，但是不加以改良的场合,由于超细微的粒子混在其中，完全的固液分离极难。作为工业废弃物进行焚烧，但是用大量的热进行加热干燥后,将干燥残渣的ＳｉＣ以及Ｓｉ回收，一般仅能作为经济价值低的溶矿炉的脱氧剂加以利用，或作为艾奇逊炉的原料返回加以利用。ＳｉＣ以及Ｓｉ的微子除去后的液体，根据场合进行蒸留再利用也是有的,但是需要热能高,不经济。

另外，将ＳｉＣ作为游离砥粒,在浆状下用线切断的遊离砥粒线锯中，在水或油的溶媒中,将切削材ＳｉＣ的微粉和乙二醇，界面活性剂，防锈剂等的种种的添加材料加入,制作成浆,用于Ｓｉ锭等的切断。但是所述浆中，如单结晶以及多结晶Ｓｉ被大量切断，最适当的ＳｉＣ的粒径以及粒度分布，会由于磨耗，破裂，疲劳，细粒化而使粒度分布变宽,切断能力变差的同时,切屑Ｓｉ微粒子积蓄会使浆粘度上升，浆的循环使用会变得不可能，要与新的浆进行交换。在使用不能的的浆废液中，除水或油的溶媒以外,消耗并且细粒化的ＳｉＣ,切屑Ｓｉ以及各种的添加剂存在，由于排水污染的问题,不能单纯地加以废弃。同样，由于将金刚石粒进行固定而成的金刚石线锯在制造晶片以及薄片时发生的切屑Ｓｉ微粒子也含会含在浆废液中，至今为止也难以再利用，其处理也成为问题。

这些线锯废液的ＳｉＣ和Ｓｉ的混合微粉，至今为止有不少的关于回收，有效利用的方法的提议，例如，专利文献1中,公开了一种为了将切削泥中的金属硅变为碳化硅,要加入必要量的碳，在非氧化条件下,1200℃以上进行加热的碳化硅结晶体的制造方法。另外，专利文献2，公开了在废硅污泥中进行碳添加,将得到的混合物进行加热的碳化硅的制造方法。

这些方法，为了将废液中含有的细微的Ｓｉ转变为ＳｉＣ,要加入必要量的碳，例如，石油胶以及碳黑,然后进行加热干燥，或将所述废浆进行离心分离以及过滤,从而将得到的固形污泥进行加热,将切屑Ｓｉ变为ＳｉＣ（Ｓｉ＋Ｃ→ＳｉＣ）而回收利用。但是，这些方法中，由于超细微的粒子混杂在一起，实际上离心分离以及过滤难以进行完全的固液分离,从而造成回收困难，超高速回转的高价的装置以及膨大的过滤面积会使成本变高,使实用化变得困难。现状是用离心分离机或液体旋风器仅将比较的大粒径的粒子分离回收，进行再利用。含有残留的超微粉的ＳｉＣ以及Ｓｉ的残液的固液分离困难，所以就将其作为废弃物。另外，用加热成本高的蒸留法进行固液分离,再利用的场合，也由于超微粉的ＳｉＣ以及Ｓｉ过细，没有利用价值，一般作为废弃物来处理。

将溶液以及废液不进行固液分离,原封不动地进行加热干燥的方法，需要大量的热量不经济。假如从废浆中将ＳｉＣ微粒子进行回收，由于疲劳以及细粒化，在此状态下，不能用与线锯等的高度的用途。另外，与ＳｉＣ微粒子一起回收的切屑Ｓｉ微粒子，加热会与碳反应，新生成ＳｉＣ，原本要回收的Ｓｉ由于是线锯的切屑,是超微粉且粒度分布宽，生成的ＳｉＣ也为微粒子,粒度分布宽。与回收的ＳｉＣ同样，对要求的比较大的粒径且狭的粒度分布的线锯用等是不适宜的,由此成为低价值之物，由此被期望改善。

专利文献

【专利文献1】特开平11－116227号公报

【专利文献2】特开2002－255532号公报

本发明的课题，是提供一种不仅仅是将从含有ＳｉＣ以及Ｓｉ的固体微粒子的液体将比较的大粒径的固体微粒子分离回收，而且是将比所述固体微粒子小的小粒径的超细微的固体微粒子进行效率良好的固液分离，以及将这些所有的固体微粒子回收的方法，以及将所述回收的固体微粒子中的Ｓｉ转化为ＳｉＣ的同时，由于疲劳以及细粒化,使用困难,没有利用价值的ＳｉＣ变为具有利用价值高的粒径以及粒度,在线锯，包皮，抛光用等的高附加价值的切削材，砥粒，研磨材可以利用的，作为有用的ＳｉＣ的再生的方法。

发明的内容

为了将所述的目的达成，本发明的第一技术方案,是将所述的ＳｉＣ以及/或Ｓｉ的固体微粒子回收方法。其为将含有ＳｉＣ以及/或Ｓｉ的固体微粒子的液体，用离心分离或／以及液体旋风器将所述固体微粒子中的比较大的粒径的固体微粒子分离回收，比较的小粒径的固体微粒子残留的液体排出的第一工序；在从第一工序排出的液体中，加入有机凝集剂,使所述比较的小粒径的固体微粒子凝集,形成的凝集体,将含有该凝集体的液体，离心分离或过滤将所述凝集体回收的第二工序。

本发明的第二技术方案的所述的固体微粒子回收方法，其特征在于:在第一技术方案中,所述有机凝集剂为下述化学式（1）表示的阳离子性有机凝集剂

【化1】

（式中，Ｒ¹为氢原子或甲基，Ｒ²为碳数1-10的烷基，Ｘ为从Ｃｌ，Ｂｒ，以及Ｆ选出的任一个卤化物，ａ为0-10的数，ｂ为1-10的数，ｍ为最小为3的数）。

技术方案3所述的固体微粒子回收方法为，在权利要求1或者2所述的方法，其特征在于:对从第一工序排出的液100重量份，所述有机凝集剂为0．01-10重量份。

技术方案4,其特征在于:所述的有用的ＳｉＣ的再生方法，为在用技术方案1的固体微粒子回收方法回收的所述凝集体中，添加碳，或碳和氧化硅,在非氧化性氛围气下最低也要加热1800℃,使所述ＳｉＣ的平均粒径肥大化，或所述将Ｓｉ转化为ＳｉＣ。

技术方案5的向所述的有用的ＳｉＣ转化的再生方法为，技术方案4所述的再生方法中，在碳，或碳和氧化硅中，添加从Ｂ，Ｂ₄Ｃ，以及Ｂ₂Ｏ₃选出的任一种的烧结助剂。

发明的效果

根据本发明的ＳｉＣ以及/或Ｓｉ的固体微粒子回收方法，从含有ＳｉＣ以及Ｓｉ的固体微粒子的液体中，高效率地将固液进行完全分离，将它们的超微粉的固体微粒子回收。作为所述回收工序,进行第一工序和第二工序的2段階回收，粒度分布宽的种种的粒径的固体微粒子被从其被含有的液体中，将比较的大粒径的固体微粒子和比较的小粒径的固体微粒子分开回收。所述回收的固体微粒子中，比较的大粒径的固体微粒子，可以原封不动地，再一次循环而使用，比较的小粒径的固体微粒子，进行再生而使用。另外，根据所述固体微粒子回收方法，各微粒子的固体成分和完全透明的液体成分被分离，因此,不污染排水，排水污染的问题不会发生。固液分离的液体也可以再一次使用。

以往的方法中,向液体中直接加入碳,不仅会使离心分离的量以及过滤量増加,固液分离的负担增大,效率变坏，而且碳为微粒子的场合,如添加必要量的碳,就会形成油脂状以及圆球状,使固液分离的操作完全不能进行。本发明地的固体微粒子回收方法是在第一工序中,比较的大粒径的固体微粒子回收,此后，第二工序中,将比较的小粒径的固体微粒子进行凝集,然后进行固液分离，所以具有超高速回转以及膨大的过滤面积的那样的高价的装置的使用就变得不必要了，经济且实用。

根据本发明的再生方法，回收的固体微粒子之中，比较小粒径的固体微粒子的Ｓｉ被转化为ＳｉＣ，细微的ＳｉＣ肥大化，向具有需要的粒径以及粒度分布,利用价值的高的粒子再生。

具体实施方式

以下，对本发明的优选实施方式进行详细说明,但是本发明的范围不受它们的限定。

根据本发明的ＳｉＣ以及/或Ｓｉ的固体微粒子回收方法，是从以下的废液中,将至今为止难以利用的废弃物的ＳｉＣ微粒子以及Ｓｉ微粒子以及它们的混合微粉经济且效率良好的分离回收的方法:在ＳｉＣ粉的制造时的分级工序中含有作为副产物生成的目的粒径以下的不要的ＳｉＣ微粒子的溶液；含有对单结晶以及多结晶的Ｓｉ锭以及成形物进行切削时的切屑Ｓｉ微粒子的废液；作为ＳｉＣ遊离砥粒将单结晶以及多结晶Ｓｉ在浆状态中,用线进行切断的遊离砥粒线锯或将金刚石粒固定的金刚石固定线锯对晶片以及薄片加以制造时,含有发生的ＳｉＣ微粒子以及含有Ｓｉ微粒子的浆废液等的悬浊液。

对本发明的固体微粒子回收方法中的各工序进行详细说明。

所述固体微粒子回收方法由下述2个工序构成，即,从含有ＳｉＣ以及Ｓｉ的固体微粒子液体中用离心分离以及液体旋风器将固体微粒子中的比较的大粒径的固体微粒子分离回收的第一工序以及向从第一工序排出的液体中添加有机凝集剂,将比较的小的粒径的固体微粒子凝集,从含有形成的凝集体的液中，用离心分离机或过滤机将固液分离，将凝集体回收的第二工序。

第一工序中，从含有作为固体主成分的ＳｉＣ以及Ｓｉ的固体微粒子的液体，用离心分离机以及液体旋风器进行离心分离以及分级，固体微粒子中,将比较的大粒径的固体微粒子或含有其的液体，与比较的小粒径的固体微粒子残存的液体进行分离。其中,比较的大粒径的固体微粒子被回收，比较小粒径的固体微粒子残留的液体排出。

比较大粒径的固体微粒子，平均粒径为4-15μｍ为优选。所述固体微粒子由于粒径比较大，再一次循环使用。在此，粒子的平均粒径为用激光测定法(日机装公司制MicrotracＨＲＡ)测定的平均径。

作为比较大粒径的固体微粒子进行离心分离的离心分离机可以例举Decanter bucket型离心过滤机等,其离心力为500-3000Ｇ。比较大的粒径的固体微粒子进行分级,作为分离液体旋风器，将含有粗固形粒子的浆沿切线方向导入，将旋转运动加以利用,用离心力将粗粒子和细粒子分离。粗粒子从下方作为浓厚浆排出，细粒子从上方作为稀释浆排出。第一工序，用离心分离机以及液体旋风器，作为固体成分,即可将比较大的粒径的固体微粒子分离，也可以将含有比较的大粒径的固体微粒子的液体进行分离。

第二工序中，向从第一工序排出的含有比较的小粒径的固体微粒子的液体中，将有机凝集剂添加，比较小粒径的固体微粒子凝集成凝集体。将含有所述凝集体的液体用离心分离机或过滤机将固体成分的凝集体和透明的液体分离，凝集体被回收。

作为有机凝集剂，可以例举聚丙烯酰胺，聚乙烯胺，聚乙烯亚胺，各种的阳离子类的有机凝集剂等。特别是，下所述化学式（1）中所示的阳离子性有机凝集剂效果良好。

【化2】

式中，Ｒ¹为氢原子或甲基，Ｒ¹为氢原子或甲基，Ｒ²为碳数1-10的烷基，Ｘ为从Ｃｌ，Ｂｒ，以及Ｆ选出的任一个卤化物，ａ为0-10，ｂ为1-10，ｍ为3以上。

这些有机凝集剂，与无机凝集剂不同，在后述的粒子的再生中，从Ｓｉ微粒子向ＳｉＣ的转化以及ＳｉＣ微粒子的肥大化时进行加热分解,成为碳，该碳不象无机凝集剂的那样残存变为杂质，为再生中的反应原料的一部分,是适宜的。

有机凝集剂的添加量，对于从第一工序排出的液100重量份,为0．01-10重量份。

第一工序排出的液中残存的比较的小粒径的固体微粒子（0．1-5μｍ程度）凝集,回收的凝集体的平均粒径，优选3-15μｍ。如比3μｍ小,效率良好地分离回收困难。所述比较的小的粒径的固体微粒子，破裂以及疲劳，磨耗以及细粒化，再利用困难,没有利用价值。由此，向回收的凝集体中，将碳，或碳和氧化硅添加,1800℃以上进行加热，从没有利用价值的比较的小粒径的固体微粒子，向有利用价值高的比较的大的粒径，粒子的粒度分布狭的有用的ＳｉＣ再生。

向本发明的有用的ＳｉＣ再生方法为，使比较的小粒径的固体微粒子凝集,向回收的凝集体中，加入碳，或碳以及氧化硅，进一步根据需要,加入烧结助剂，之后1800℃以上加热反应，比较小粒径的固体微粒子中的ＳｉＣ肥大化，另外使Ｓｉ向ＳｉＣ转化，使这些固体微粒子再生。在此，所谓再生是指，细微化的ＳｉＣ由于粒成长而肥大化,成为利用价值的高的ＳｉＣ，另外从Ｓｉ生长为ＳｉＣ，所述生成的ＳｉＣ颗粒成长,肥大化而形成利用价值的高的ＳｉＣ。再生的ＳｉＣ优选为αＳｉＣ。

加热反应的温度为，1800℃以上的高温，可以使残存的ＳｉＣ以及Ｓｉ的反应物向αＳｉＣ结晶转移,所以为优选，1800℃未满时,使反应物完全向ＳｉＣ结晶转移是困难的。

添加的碳，作为ＳｉＣ形成的反应原料的一部分起作用，为使残存的ＳｉＣ肥大化的原料，新生成ＳｉＣ的原料，为使所述新生成ＳｉＣ肥大化的原料。进一步所述碳，不仅仅为ＳｉＣ的反应原料，还会起提供使反应变易的环境即反应的场所的作用，对反应速度以及生成的ＳｉＣ的收率有影响。因此，碳以粉末以及粉体为优选，所述粒径以100μｍ以下为优选。粒径太大反应速度缓慢的同时,生成的ＳｉＣ的收率变差,所以不经济。

碳的添加量，随回收的凝集体的组成而变化。碳的添加量优选对凝集体中的Ｓｉ的1．0摩尔，为1．0-1．5摩尔。

添加的氧化硅，与所述的碳不同，对生成的ＳｉＣ的收率几乎没有影响。但是，如所述粒径过大,反应速度缓慢，不合适。氧化硅以粉末以及粉体为优选，所述粒径优选为200μｍ以下。

在碳和氧化硅添加的场合，与仅将碳添加的场合同样，为残存的ＳｉＣ肥大化的原料，新生ＳｉＣ的原料以及使所述新生成的ＳｉＣ成长肥大化的原料。

碳以及氧化硅的添加量，根据回收的凝集体的组成而变化。碳以及氧化硅的添加量，对凝集体中的ＳｉＣ以及／或Ｓｉ的1．0摩尔，优选为0．1-10摩尔。0．1摩尔未满的场合，残存的ＳｉＣ的肥大化不充分，新生成的ＳｉＣ的粒径极微小，不能得到实用的ＳｉＣ。另外，10摩尔以上的场合，对必要量发生过剩，有必要在反应后将所述过剩部分除去,并且使粒径必要以上变大。所以优选碳以及氧化硅的混合比率为，碳：氧化硅＝3-4：1。

根据必要,添加的烧结助剂为，向凝集体，至少与碳，或碳以及氧化硅的混合而添加。作为烧结助剂，一般地说,使用ＳｉＣ的烧结助剂,但是如从Ｂ，Ｂ₄Ｃ，以及Ｂ₂Ｏ₃选出至少一种,烧结促进效果高,为优选。

以这些工序再生回收的ＳｉＣ，根据所述用途,可以调整为最适的粒径以及粒度分布。例如，线锯浆中的ＳｉＣ和Ｓｉ的混合微粉中，如过度使用,使ＳｉＣ的平均粒径为1μｍ未满,切断速度会变低，生产性变差，所以要与新的浆进行交换。另外平均粒径为20μｍ以上时,会有大的切削伤以及切断损失易于发生,所以通常不用。因此，再生化的ＳｉＣ的平均粒径优选1-20μｍ。

实施例

以下，对本发明的实施例进行详细说明，但是本发明的范围不受它们的限定。

（实施例1）

将艾奇逊法中制造的αＳｉＣ粉碎为平均粒径18μｍ后，水分级将过粗或过细的去除。过粗的αＳｉＣ再一次，作为粉碎原料返回。

作为第一工序，被去除平均粒径10μｍ以下的过细之物的αＳｉＣ的水溶液，被用ＣＭＳ公司制的纵型固液分离装置,1000-2000Ｇ离心分离，将2μｍ以上的粒子的比较的大粒径的固体微粒子分离，回收。

作为第二工序，向从第一工序排出的液体中的富含2μｍ未满的微粒子的溶液中,将聚乙烯亚胺凝集剂以对所述溶液100重量份,为1重量份进行添加，使溶液中的固体成分凝集。此后，将所述溶液用高强过滤器进行过滤。固液分离因为微粉已被凝集，过滤容易,且过滤速度快，过滤液没有微粉的混入,所以是透明的，回收的过滤液可以再循环使用。

将回收的固体成分的凝集体进行干燥，向所述干燥固体成分400Ｋｇ中,加入平均粒径80μｍ，比表面积393ｍ²／ｇ的木碳粉48Ｋｇ，平均粒径120μｍ的二氧化硅粉70Ｋｇ,进行良好的混合,作为再生中的反应原料。将其在1850℃温度控制的油压推送炉,Ａｒ气体的流通下，边将加入容器的反应原料进行移动,边进行加热反应。得到的反应生成物完全为αＳｉＣ的结晶。进一步在大气中，750℃将过剩的碳除去。所述结果，平均粒径2μｍ未满的至今为止不能使用的过细的αＳｉＣ微粉作为平均粒径9．5μｍ的αＳｉＣ，肥大化（粒成长）再生，回收成为有用的ＳｉＣ粉。该ＳｉＣ粉作为线锯用的砥粒最适宜。

（比较例1）

除了不将有机凝集剂添加以外,与实施例1同样的条件，方法进行回收，微粉的ＳｉＣ将滤布网眼堵塞，使固液分离变得困难。进一步，极少的流出的滤液混浊,滤液中含有超微粉的ＳｉＣ，不能进行完全的固液分离。

（实施例2）

作为第一工序，线锯废液（固形成分；αＳｉＣ：30重量％，Ｓｉ：4．1重量％，Ｆｅ：0．9重量％，溶液成分；乙二醇＋界面活性剂＋水混合物65重量％），在ＣＭＳ公司制的纵型固液分离装置中以1000-2000G进行离心分离，10μｍ以上的比较粗的粒子的大粒径的固体微粒子被分离回收。

作为第二工序，对从第一工序排出的液体100重量份，将下述化学式（1）表示的Ｒ¹＝甲基，Ｒ²＝烷基，Ｘ＝卤化物，ａ＝1，ｂ＝5，ｍ＝5，的阳离子性有机凝集剂0．02重量份加入从第一工序排出的液体中，固体成分凝集后，用加圧过滤机以3ｋｇ／ｃｍ²的圧力进行加圧过滤，固液分离。所述分离的滤液为透明的。所述滤液可以向线锯装置进行再循环。

将回收的固体成分的凝集体干燥后，向所述干燥固体成分350ｋｇ中加入平均粒径15μｍ的粉碎的比表面积50ｍ²／ｇ的焦炭76ｋｇ，平均粒径50μｍ的二氧化硅粉50ｋｇ,进行混合，作为再生的反应原料。将其在1900℃的转炉中Ａｒ气体流通下，进行加热反应。得到的反应物生成物为，100％的αＳｉＣ中平均粒径8μｍ，这与使用前的ＳｉＣ砥粒的平均粒径8．5μｍ几乎同样，而被再生。另外，再生前的废液中的ＳｉＣ为平均粒径为4μｍ,相当疲劳,用旧。

（实施例2－1）

除了不添加二氧化硅粉以外,与实施例2同样的条件，方法进行再生，回收。细粒化的ＳｉＣ的粒径没有肥大化（粒成长），几乎原封不动地为平均粒径6μｍ，切屑的Ｓｉ微粉和焦炭的反应中生成的新的ＳｉＣ的平均粒径为1μｍ,有显示2个峰的宽的粒度分布。不适宜于线锯等的高度的用途。

（实施例3）

作为第一工序，将含有单结晶Ｓｉ锭用圆筒切削时的切屑Ｓｉ微粒子的废液，用离心分离机,1000-2000Ｇ进行离心分离，将2μｍ以上的粒子的比较的大粒径的固体微粒子进行分离回收。

作为第二工序，对从第一工序排出的液体的分离后的残液100重量份，将所述化学式（1）表示的，Ｒ¹＝甲基，Ｒ²＝烷基，Ｘ＝卤化物，ａ＝8，ｂ＝9，ｍ＝20的阳离子性有机凝集剂7重量份添加进残液，在微粉一次性凝集后,在离心分离机中，以500-1000Ｇ进行离心分离,进行2μｍ未满的超微粒子的固液分离。由于超微粉凝集，固液为良好地分离，分离液为无色透明，可以原封不动地进行排放。

回收的固体成分的凝集体干燥，在所述干燥固体成分253Ｋｇ（切屑，平均粒径1．1μｍ的Ｓｉ微粒子25．3重量％，含有微量的胺类防锈剂）中，将平均粒径32μｍ，比表面积695ｍ²／ｇ的活性碳124Ｋｇ和平均粒径170μｍ的石英粉25Ｋｇ加入，良好地混合,作为再生反应原料。将其与实施例1同样,油压推送炉中1950℃温度控制，Ａｒ气体的流通下，将加入容器的反应原料每40分在各区域边移动,边进行加热反应。反应物生成物完全αＳｉＣ化。进一步,在大气中，750℃中将过剩的碳除去。平均粒径1μｍ未满的超微粉的Ｓｉ切屑被作为平均粒径7．5μｍ的αＳｉＣ回收，进行有效资源化。所述回收的αＳｉＣ，作为抛光研磨用砥粒以及ＳｉＣ成形原料进行适宜的高价值利用,。

（比较例2）

作为阳离子性有机凝集剂的替代，将阴离子类凝集剂（丙烯酰铵丙烯酸苏打共聚物）或非离子类凝集剂（丙烯酰铵共聚物）分别添加,除此以外,与实施例3同样的条件，方法进行回收。所有的场合都不能良好地凝集，此后的离心分离以及过滤中的固液的分离也不能顺利进行,过滤液中固体成分大量流出。

（实施例4）

在进入实施例3中的油压推送炉反应炉前的反应原料，加入5重量％的Ｂ₄Ｃ进行混合。此后的反应以及除碳也与实施例3同一条件中进行。所述结果，作为平均粒子径为12μｍ的αＳｉＣ再生，作为线锯用的砥粒是适宜的。

产业上的利用可能性

本发明的ＳｉＣ以及/或Ｓｉ的固体微粒子回收方法，作为含有在ＳｉＣ粉的制造中作为副产物生成的目的粒径以下的不要的ＳｉＣ微粒子的溶液，含有Ｓｉ锭以及成形物切削的时的切屑的Ｓｉ微粒子的废液，线锯浆废液等的处理，将含有的细微的ＳｉＣ以及Ｓｉ的固体成分和液体成分分离，进一步用于所述固体成分的各固体微粒子的回收。

所述固体微粒子回收方法回收的各固体微粒子为，从不要的粒径的ＳｉＣ微粒子，循环使用中消耗疲劳以及细微化的ＳｉＣ微粒子，切屑Ｓｉ微粒子，根据用途再生为具有最适的粒径以及粒度分布的利用价值高的ＳｉＣ。它们可以作为线锯，包皮，抛光用等的高附加价值的切削材，砥粒，研磨材而被利用。

Claims (5)

1.一种ＳｉＣ以及/或Ｓｉ的固体微粒子回收方法,包括:

第一工序,将含有ＳｉＣ以及/或Ｓｉ的固体微粒子的液体，用离心分离或／以及液体旋风器将所述固体微粒子中的比较的大粒径的固体微粒子分离回收，将比较的小粒径的固体微粒子残存的液体排出，

向从第一工序排出的液体中，添加有机凝集剂,将所述比较的小粒径的固体微粒子凝集,将含有形成的凝集体的液体，进行离心分离或过滤,所述凝集体被回收。

2.权利要求1所述的固体微粒子回收方法,其特征在于:所述有机凝集剂为通式（1）表示的阳离子性有机凝集剂,

【化1】

式中，Ｒ¹为氢原子或甲基，Ｒ²为碳数1-10的烷基，Ｘ为从Ｃｌ，Ｂｒ，以及Ｆ选出的任一个卤化物，ａ为0-10，ｂ为1-10，ｍ为最小3。

3.权利要求1或者2所述的固体微粒子回收方法,其特征在于:对第一工序排出的液体100重量份，所述有机凝集剂为0．01-10重量份。

4.一种向有用的ＳｉＣ的再生方法,其特征在于:用权利要求1的固体微粒子回收方法回收的所述凝集体中，添加碳，或碳和氧化硅,在非氧化性氛围气下进行最低也为1800℃的加热,使所述ＳｉＣ的平均粒径肥大化，或使所述Ｓｉ转化为ＳｉＣ。

5.权利要求4所述的向有用的ＳｉＣ的再生方法,其特征在于:与碳，或碳和氧化硅一起，添加从Ｂ，Ｂ₄Ｃ以及Ｂ₂Ｏ₃选出的烧结助剂。