CN102952653A

CN102952653A - 洗净液组成物及基板的洗净方法

Info

Publication number: CN102952653A
Application number: CN2012102793102A
Authority: CN
Inventors: 蔡宇杰; 谢依纯
Original assignee: Chi Mei Corp
Current assignee: Chi Mei Corp
Priority date: 2011-08-19
Filing date: 2012-08-03
Publication date: 2013-03-06
Anticipated expiration: 2032-08-03
Also published as: TW201309791A; TWI449783B; CN102952653B

Abstract

本发明是有关于一种洗净液组成物及基板的洗净方法。该洗净液组成物包含碱剂(A)、式(I)所示的支链型界面活性剂(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)。其中，式(I)为R₁-O-(EO)_a(PO)_b-H。式(I)的R₁为碳数6至20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12至20的含支链烷基取代的苯基；EO为乙氧基；PO为丙氧基；a为1至20的整数；以及b为0至20的整数。该洗净液组成物具有长效洗净性且碱剂消耗性低，可有效洗净玻璃基板。

Description

洗净液组成物及基板的洗净方法

技术领域

本发明涉及一种洗净液组成物及基板的洗净方法，特别是涉及一种针对玻璃基板，具有长效洗净性及碱剂消耗性低的洗净液组成物及基板的洗净方法。

背景技术

以往，作为电视、个人电脑、钟表等液晶显示用的玻璃基板，如钠钙玻璃、硼硅玻璃、硅玻璃、无碱玻璃等，可经溶融成形工程制得玻璃母板，并切割成任意尺寸以供使用。

另外，近年来常用于彩色液晶显示器、感测器及色分解装置等的彩色滤光片，也在透明玻璃基板上形成黑色矩阵及红、绿、蓝的像素画像，并使用分散颜料用的感光性树脂，以一般微影工艺(photolithography)制得。

然而，上述玻璃基板在切割时，玻璃切削粉(glass cu11et)常附着于基板上而妨碍后续的精密的研磨工艺、膜处理工艺等。此外，彩色滤光片在制造时，飞散的微粒或前工艺使用的感光性树脂的残渣等也会附着于基板上，其不仅造成制品良率的低下，且当彩色滤光片与TFT阵列(TFTarray)贴合时甚至可能产生共同短路(common short)的情形。

因此，上述工艺中导入了玻璃基板的洗净工艺，而基板的制造及加工厂商为了提高制造良率，也致力于洗净技术的提升。特别是近年来，对于制品高度信赖性的需求，以及彩色滤光片的高精度化的走向，玻璃基板清净化的要求变得愈来愈高。

为有效清除上述基板上残存的附着物，目前业界改善的方式，是采用特定的洗净液组成物清洗玻璃基板。例如，日本特开2007-131819号公开特许公报揭示，使用含烷基葡萄糖苷(alkyl glucoside)的洗净液组成物；日本特开2009-084565号公开特许公报揭示，使用含非离子型界面活性剂、水、特定酸(或其盐类)及碱剂的碱型非离子界面活性剂组成物等。然而，使用上述洗净液组成物清洗玻璃基板时，仍有重复使用率低及碱剂消耗量高的问题，造成了成本提高。

由此可见，上述现有的洗净液组成物及基板的洗净方法在使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品及方法又没有适切的结构及方法能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新的洗净液组成物及基板的洗净方法，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

有鉴于此，本申请提出一种洗净液组成物及基板的洗净方法，藉以改善现有习知的洗净液组成物重复使用率低及碱剂消耗量高等缺点。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的洗净液组成物存在的缺陷，而提供一种新的洗净液组成物，所要解决的技术问题是使其通过至少包含碱剂(A)、支链型界面活性剂(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)，而具有重复使用率高及碱剂消耗量低的优点，从而更加适于实用。

本发明的另一目的在于，克服现有的基板的洗净方法存在的缺陷，而提供一种新的基板的洗净方法，所要解决的技术问题是使其利用上述洗净液组成物清洗基板，从而更加适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种洗净液组成物，其包含：

碱剂(A)；

如式(I)所示的支链型界面活性剂(B)；

R₁-O-(EO)_a(PO)_b-H (I)

其中R₁为碳数6至20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12至20的含支链烷基取代的苯基，EO为乙氧基，PO为丙氧基，a为1至20的整数，b为0至20的整数；

聚乙二醇化合物(C)；以及

水(D)；

其中，该聚乙二醇化合物(C)的重量平均分子量为100至6000。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的洗净液组成物，其中基于该碱剂(A)为100重量份，该支链型界面活性剂(B)的使用量为10重量份至500重量份，该聚乙二醇化合物(C)的使用量为10重量份至500重量份，且该水(D)的使用量为500重量份至30,000重量份。

前述的洗净液组成物，其还包含一螯合剂(E)。

前述的洗净液组成物，其中基于该碱剂(A)为100重量份，该螯合剂(E)的使用量为2重量份至100重量份。

前述的洗净液组成物，其中该洗净液组成物的粘度为1cps至20cps。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种清洗基板的方法，其是使用根据上面所述的洗净液组成物清洗一基板。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明洗净液组成物及基板的洗净方法至少具有下列优点及有益效果：本发明的洗净液组成物及基板的洗净方法，其中该洗净液组成物包含碱剂(A)、式(I)所示的支链型界面活性剂(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)。其中，式(I)为R₁-O-(EO)_a(PO)_b-H。式(I)的R₁为碳数6至20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12至20的含支链烷基取代的苯基；EO为乙氧基；PO为丙氧基；a为1至20的整数；以及b为0至20的整数。该洗净液组成物具有长效洗净性且碱剂消耗性低，可有效洗净玻璃基板。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例详细说明如下。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合较佳实施例，对依据本发明提出的洗净液组成物及基板的洗净方法其具体实施方式、结构、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。

有关本发明的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合较佳实施例的详细说明中将可清楚呈现。通过具体实施方式的说明，应当可对本发明为达成预定目的所采取的技术手段及功效获得一更加深入且具体的了解。

本发明的正型感光性树脂组成物包括碱剂(A)、式(I)所示的支链型界面活性剂(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)，以下具体析述。

碱剂(A)

本发明的碱剂(A)包含无机碱性化合物(A-1)及/或有机碱性化合物(A-2)。

上述无机碱性化合物(A-1)的具体例，如：氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵等的碱金属氢氧化物；磷酸氢二铵、磷酸氢二钠、磷酸氢二钾、磷酸二氢铵、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾等的碱金属或铵的磷酸盐类；硅酸锂、硅酸钠、硅酸钾等的碱金属硅酸盐类；碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾等的碱金属碳酸盐类；硼酸锂、硼酸钠、硼酸钾等的碱金属硼酸盐类。其中，以碱金属氢氧化物较佳。上述的无机碱性化合物(A-1)可以单独一种使用或者混合多种使用。

本发明的有机碱性化合物(A-2)包含氢氧四级铵基盐类化合物及有机胺类的有机碱性化合物。上述氢氧四级铵基盐类化合物的具体例，如：氢氧四甲铵(tetramethyl ammonium hydroxide)、氢氧四乙胺、氢氧四丙胺、氢氧四丁胺、2-羟基-氢氧三甲铵(2-hydroxyl trimethyl ammonium hydroxide)等化合物；而有机胺类的具体例如：单甲胺、二甲胺、三甲胺、单乙胺、二乙胺、三乙胺、单异丙胺(monoisopropylamine)、二-异丙胺(di-isopropylamine)、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、2-(2-胺基乙氧基)乙醇(2-(2-aminoethoxy)ethanol)、单异丙醇胺(monoisopropano1-amine)、二异丙醇胺、三异丙醇胺、正乙基乙醇胺(N-ethyl ethanolamine)、正丁基乙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺(N，N-dimethyl ethanolamine)、N，N-二甲基丙醇胺、N，N-二甲基异丙醇胺(N，N-dimethyl isopropanolamine)、环已胺、吗啉(morpholine)等化合物。上述的有机碱性化合物(A-2)可以单独一种使用或者混合多种使用。

本发明的有机碱性化合物(A-2)，在制造上因不含有金属离子，故对于薄膜晶体管等半导体元件较不易产生残影等不良影响。其中，以单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺以及单异丙醇胺较佳。

支链型界面活性剂(B)

本发明的支链型界面活性剂(B)是具有如式(I)所示的结构：

R₁-O-(EO)_a(PO)_b-H (I)

其中，式(I)的R₁为碳数6至20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12至20的含支链烷基取代的苯基，EO为乙氧基，PO为丙氧基，a为1至20的整数，b为0至20的整数。当b为零时，表示式(I)的支链型界面活性剂(B)仅由乙氧基构成。当b为1至20的整数时，表示式(I)的支链型界面活性剂(B)是由乙氧基与丙氧基构成，且EO与PO的排列可为嵌段，也可为随机。其中，当EO与PO的排列为嵌段时，只要各个平均数在上述范围之内，则EO的嵌段数及PO的嵌段数分别可为1个，也可分别为2个以上。EO的嵌段数为2个以上时，各嵌段中的重复数可相同，也可不同；PO的嵌段数为2个以上时，各嵌段中的重复数可相同，也可不同。

EO与PO的排列为嵌段或随机时，若EO与PO的摩尔比[M_EO/M_PO]为9.5/0.5至5/5，可达到高水溶性。而(EO)_a(PO)_b中，基于高水溶性及低发泡性的考量，a及b较佳分别为1至15，更佳分别为1至10，(a+b)较佳为2至30，更佳为2至20。

上述支链型界面活性剂(B)的具体例如：商品名SINOPOL E8002、SINOPOLE8003、SINOPOL E8008、SINOPOL E8015(中日合成化学制)；商品名Lutensol TO 3、Lutensol TO5、Lutensol TO7、Lutensol TO10(BASF制)；商品名Newcol 1004、Newcol 1006、Newcol 1008、Newcol 1020(日本乳化剂制)；商品名NONION EH-204、NONION EH-208(日本油脂制)。

上述的支链型界面活性剂(B)可以单独一种使用或者混合多种使用。

在本发明的洗净液组成物中，基于碱剂(A)100重量份，支链型界面活性剂(B)的使用量通常为10至500重量份，较佳为20至450重量份，更佳为30至400重量份。若无使用支链型界面活性剂(B)，则会有碱剂消耗量高的问题。

聚乙二醇化合物(C)

本发明的聚乙二醇化合物(C)，基于提高洗净液组成物的重复使用率，其重量平均分子量较佳为100至6000，更佳为200至5000，又更佳为300至4000。次则，此处所指的重量平均分子量是采用凝胶过滤色层分析法(gel filtration chromatography；GFC)，并依以下条件进行测定。装置：LC-6A(岛津制作所制)，检测器：RID-10A(岛津制作所制)，管柱：Asahipak GF-510HQ(直径7.6mm×长0.3m；昭和电工制)，移动相：水(流速为1mL/min)，温度：30℃。

上述聚乙二醇化合物(C)的具体例如：商品名PEG#200、PEG#300、PEG#400、PEG#600、PEG#1000、PEG#1500、PEG#1540、PEG#2000、PEG#3000、PEG#4000、PEG#4000P(日本油脂制)；商品名PEG-200、PEG-300、PEG-400、PEG-600、PEG-1000、PEG-1500、PEG-1540、PEG-2000、PEG-4000N、PEG-4000S、PEG-4000E、PEG-6000E(三洋化成制)；商品名PEG#200、PEG#300、PEG#400、PEG#600、PEG#1000、PEG#1500、PEG#1540、PEG#4000(LION制)；商品名PEG 1000、PEG 4000、PEG 6000(Merck制)；商品名PEG-200、PEG-300、PEG-400、PEG-600(东邦化学制)。

上述聚乙二醇化合物(C)可以单独一种使用或者混合多种使用。

基于碱剂(A)100重量份，聚乙二醇化合物(C)的使用量通常为10重量份至500重量份，较佳为20重量份至450重量份，更佳为30重量份至400重量份。若无使用聚乙二醇化合物(C)，则会有洗净液重复使用率低的问题。

水(D)

本发明中所使用的水(D)并无特别限制。其具体例如：蒸馏水、纯水(经离子交换树脂等进行脱盐处理而得的水)、超纯水(除无机离子外，不含有机物、生菌、微粒子及溶解气体)及近年来被提案的各种机能水等。基于金属离子对电子控制回路具有不佳影响，本发明中所使用的水(D)较佳为纯水或超纯水，更佳为超纯水。其中，上述超纯水可藉由将自来水通过活性碳、离子交换处理、蒸馏处理后，必要时以紫外光照射杀菌，或者通过过滤器而得。根据25℃的电阻值来区分，电阻值在1MΩ.cm以上即可称为纯水，电阻值在10MΩ.cm以上即可称为超纯水。

在本发明的洗净液组成物中，基于碱剂(A)100重量份，水(D)的使用量通常为300重量份至25,000重量份，较佳为400重量份至20,000重量份，更佳为500重量份至15,000重量份。当水(D)的使用量介于300重量份至25,000重量份时，较不易有洗剂残留及洗净力下降的问题。

螯合剂(E)

本发明所使用的螯合剂(E)并无特别限制，其具体例如：乙二胺四乙酸(盐)(EDTA)、二乙三胺五乙酸(盐)(DTPA)、三乙四胺六乙酸(盐)(TTHA)、羟乙基乙二胺三乙酸(盐)(HEDTA)、二羟乙基乙二胺四乙酸(盐)(DHEDDA)、次氮基三乙酸(盐)(NTA)、羟乙基亚胺基二乙酸(盐)(HI DA)、β-丙胺酸二乙酸(盐)、天冬酰胺酸二乙酸(盐)、甲基甘胺酸二乙酸(盐)、亚胺基二琥珀酸(盐)、丝胺酸二乙酸(盐)、羟基亚胺基二琥珀酸(盐)、二羟乙基甘胺酸(盐)、天冬酰胺酸(盐)、麸胺酸(盐)等的氨基多羧酸(盐)类；羟基乙酸(盐)、乳酸(盐)、酒石酸(盐)、苹果酸(盐)、羟基丁酸(盐)、甘油酸(盐)、柠檬酸(盐)、葡萄糖酸(盐)、L-抗坏血酸(盐)、异抗坏血酸(盐)、水杨酸(盐)、没食子(盐)等的羟基羧酸(盐)类；均苯四甲酸(盐)、苯并多羧酸(盐)、环戊烷四羧酸(盐)等的环羧酸(盐)类；羟基丙二酸羧甲酯(carboxymethyltartronate)、丁二酸羧甲氧基酯、氧基二丁二酸酯(oxydisuccinate)、酒石酸单丁二酸酯、酒石酸二丁二酸酯等的醚羧酸(盐)类；马来酸(盐)、富马酸(盐)、草酸(盐)等的其他羧酸(盐)类；甲基二膦酸(盐)、胺基三亚甲基膦酸(盐)、1-羟基亚乙基-1，1-二膦酸(盐)、乙二胺四亚甲基膦酸(盐)、已二胺四亚甲基膦酸(盐)、丙二胺四亚甲基膦酸(盐)、二乙三胺五亚甲基膦酸(盐)、三乙四胺六亚甲基膦酸(盐)、三胺基三乙基胺六亚甲基膦酸(盐)、反-1，2-环已二胺四亚甲基膦酸(盐)、二醇醚二胺四亚甲基膦酸(盐)、四乙五胺七亚甲基膦酸(盐)等之膦酸(盐)类；焦磷酸(盐)、偏磷酸(盐)、三聚磷酸(盐)、六偏磷酸(盐)等的缩合磷酸(盐)等。

上述之螯合剂可单独一种或混合多种以上使用。

在本发明的洗净液组成物中，基于碱剂(A)100重量份，螯合剂(E)的使用量通常为2重量份至100重量份，5重量份至90重量份，更佳为10重量份至80重量份。若使用螯合剂(E)，则可更进一步减少碱剂的消耗量。

添加剂(F)

本发明的洗净液组成物可进一步选择性加入添加剂(F)，例如：消泡剂、抗氧化剂、pH调整剂、缓冲溶剂、防腐剂、分散剂、有机溶剂等。

上述消泡剂的具体例如：聚硅氧系、高级醇系、聚醚系、脂肪酸酯系、聚乙二醇系、矿物油系及包含下述结构式(II)所表示的化合物：

在式(II)中，x表示1或2的整数，R表示下述式(III)所表示的官能基：

在式(III)中，y表示3至7的整数。

上述的结构式(II)所表示的化合物的具体例如：商品名Surfynol MD-20、Surfynol MD-30(Air Products and Chemicals公司制)。

上述的消泡剂可单独一种或混合多种以上使用。

上述抗氧化剂的具体例如：2，6-二-第三丁基苯酚、2-第三丁基-4-甲氧基苯酚、2，4-二甲基-6-第三丁基苯酚等的苯酚系；单辛基二苯胺、单壬基二苯胺、4，4’-二丁基二苯胺、4，4’-二戊基二苯胺、四丁基二苯胺、四已基二苯胺、α-萘胺、苯基-α-萘胺等的胺系；吩噻嗪(phenothiazine)、季戊四醇四(3-月桂基硫代丙酸酯)、双(3，5-第三丁基-4-羟基芐基)硫醚(bis(3，5-t-buty1-4-hydroxybenzyl)sulfide)等的硫系；二亚磷酸双(2，4-二-第三丁基苯基)季戊四醇酯、亚磷酸一苯二异葵酯、亚磷酸二苯二异辛酯、亚磷酸三苯酯等的磷系等。上述的抗氧化剂可单独一种或混合多种以上使用。

上述pH调整剂的具体例如：盐酸、硫酸、硝酸、磺胺酸、磷酸等的无机酸；氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾等的无机碱等。上述的pH调整剂可单独一种或混合多种以上使用。

上述缓冲溶剂的具体例如：蚁酸、醋酸、琥珀酸、乳酸、苹果酸、酪酸、顺丁烯二酸、丙酮酸、丙二酸、没食子酸等的有机酸及盐类；磷酸、硼酸等的无机酸及其盐类等。上述的缓冲溶剂可单独一种或混合多种以上使用。

上述防腐剂的具体例如：六氢-1，3，5-三(羟乙基)-s-三嗪等的三嗪(triazine)衍生物；1，2-苯并异噻唑啉-3-酮、2-甲基-4-异噻唑啉-3-酮、5-氯-2-甲基-4-异噻唑啉-3-酮等的异噻唑啉(isothiazolin)衍生物；4-(2-硝基丁基)吗啉、4，4-(2-乙基-2-硝基三亚甲基)二吗啉等的吗啉衍生物；2-(4-噻唑基)苯并咪唑等的苯并咪唑(benzimidazole)衍生物等。上述的防腐剂可单独一种或混合多种以上使用。

上述分散剂的具体例如：羟乙基纤维素、阳离子化纤维素、羟甲基纤维素、羟丙基纤维素、瓜尔胶(guar gum)、阳离子化瓜尔胶、三仙胶(xanthan gum)、海藻酸盐、阳离子化淀粉等的多糖类及其衍生物；植酸(phytic acid)、二(聚氧乙烯)烷基醚磷酸、三(聚氧乙烯)烷基醚磷酸等的聚乙烯醇(poval)及其磷酸酯类。上述的分散剂可单独一种或混合多种以上使用。

上述的有机溶剂以在20℃时对水的溶解度以3(g/100g)以上为佳，然而以10以上为更佳，其具体例如：二甲基亚砜、环丁砜、3-甲基环丁砜、2，4-二甲基环丁砜等的亚砜类；二甲砜、二乙砜、双(2-羟乙基)砜等的砜类；N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二甲基丙酼胺等之酰胺类；N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-羟甲基-2-吡咯烷酮等之内酰胺类；β-丙内酯、β-丁内酯、γ-丁内酯、γ-戊内酯、δ-戊内酯等的内酯类；甲醇、乙醇、异丙醇等之醇类；乙二醇、乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、二乙二醇、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单丁基醚、二乙二醇单已基醚、二乙二醇单苯基醚、三乙二醇单甲基醚、丙二醇、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、1，3-丁二醇、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、三乙二醇二甲基醚、三乙二醇三乙基醚等的乙二醇及乙二醇醚类；N-甲基-2-恶唑烷酮、3，5-二甲基-2-恶唑烷酮等的恶唑烷酮(oxazolidinone)类；乙腈、丙腈、丁腈、丙烯腈、甲基丙烯腈、苯甲腈等的腈(nitrile)类；碳酸盐类；(碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等)；丙酮、二乙酮、苯乙酮、甲乙酮、环已酮、环戊酮、二丙酮醇等的酮类；四氢呋喃、四氢吡喃等的环醚类等。上述的有机溶剂可单独一种或混合多种以上使用。

在本发明的洗净液组成物中，基于碱剂(A)100重量份，添加剂(F)的使用量视种类而异；抗氧化剂、缓冲溶剂、防腐剂及分散剂的使用量通常为10重量份以下，较佳为8重量份以下，更佳为5重量份以下；pH调整剂的使用量通常为90重量份以下，较佳为85重量份以下，更佳为80重量份以下；有机溶剂的使用量通常为500重量份以下，较佳为400重量份以下，更佳为300重量份以下。

本发明的洗净液组成物在25℃时的粘度通常为1cps至20cps，较佳为1cps至15cps，更佳为1cps至10cps。当洗净液组成物在25℃时的粘度为1cps至20cps时，则对于玻璃基板的洗净力佳。

洗净液组成物的制备

本发明的洗净液组成物的制备，一般是将上述碱剂(A)、支链型界面活性剂(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)，并可视需要添加螯合剂(E)以及抗氧化剂、pH调整剂、缓冲溶剂、防腐剂、分散剂、有机溶剂等添加剂(F)，在搅拌器中搅拌，使其均匀混合成溶液状态，即可获得洗净液组成物。

基板的洗净方法

本发明进一步提供一种基板的洗净方法，该洗净方法是使用前述所得的洗净液组成物清洗基板；具体的洗净手段包括但不限于浸泡法、冲淋法、刷洗法、超音波洗净法及泡沫洗净法等方法。其中，浸泡法是在浸泡槽内填满洗净液组成物，再将基板浸入洗净液组成物内；冲淋法是将洗净液组成物以冲淋、喷雾、喷射等方式清洗基板；刷洗法是将洗净液组成物利用海绵、刷子等工具对基板进行清洗。

本发明的洗净液组成物，可应用于钠钙玻璃、硼硅玻璃、二氧化硅玻璃及无碱玻璃等玻璃基板的洗净。

制备洗净液组成物

以下根据表1制备实施例1至9以及比较例1至3的洗净液组成物。

实施例1

将100重量份的氢氧化钾(potassium hydroxide，以下简称A-1)、250重量份的支链型界面活性剂(B)SINOPOL E8008(中日合成化学制，以下简称B-1)、30重量份的PEG-200(以下简称C-1)以及2500重量份的水。上述各成份以摇动式搅拌器混合均匀，即可获得洗净液组成物。所得的洗净液组成物以下列各评价方式进行评价，其结果如表1所述，其中粘度、长效洗净性以及碱剂消耗性的检测方法容后再述。

实施例2至9

同实施例1的洗净液组成物的制作方法，不同处在于实施例2至9是改变洗净液组成物中原料的种类及使用量，其配方以及检测结果如表1所示，此处不另做赘述。

比较例1至3

同实施例1洗净液组成物的制作方法，不同处在于比较例1至3所制得的洗净液组成物并未同时使用支链型界面活性剂(B)及聚乙二醇化合物(C)，其配方及检测结果也如表1所示。

评价方式

1.粘度：

在25℃恒温下，使用回转式粘度计(型号：DVM-EII；TOKI SANGYO制)，以100rpm的条件，量测前述制得的洗净液组成物的粘度(单位：cps)。测量所得的粘度如表1所述。

2.长效洗净性

将10cmx10cm的玻璃基板浸泡于经水稀释至1％的洗净液组成物中，并以恒温水槽控制在40℃，接着以30秒的浸泡时间，同时施以42KHz的超音波处理后，以纯水洗净，并使用接触角计(型号为CA-VP150；协和界面科学制)量测玻璃基板的接触角。重复上述步骤，待洗净后的玻璃基板的接触角高于8°时，根据以下基准进行评价：

〇：玻璃基板的洗净片数＞1000片

△：500片<玻璃基板的洗净片数≦1000片

×：玻璃基板的洗净片数≦500片

3.碱剂消耗性

将实施例1至9以及比较例1至3所制得的各种洗净液组成物以水稀释至1％后，使用导电度计(型号为EC215；HANNA制)量测该洗净液组成物可得一初始导电度(ρ₁)。接着将10cmx10cm的玻璃基板浸泡于该洗净液组成物之中，并以恒温水槽控制在40℃，然后以30秒的浸泡时间，同时施以42KHz的超音波处理后，以纯水洗净。重复上述洗净步骤，待玻璃基板的洗净片数到达500片时，使用导电度计量测洗净液组成物可得另一导电度(ρ ₂)，并根据下式(IV)进行评价，由导电度的下降幅度可算得碱剂消耗程度：

碱剂消耗性(％)＝[(ρ₁-ρ₂)/(ρ₁)]×100 (IV)

◎：碱剂消耗性＜10％

〇：10％≦碱剂消耗性＜15％

△：15％≦碱剂消耗性＜40％

×：碱剂消耗性≦40％

前述实施例所得的洗净液组成物，其粘度、长效洗净性及碱剂消耗性的评估结果如表1所示。

由表1的结果可知，当同时使用支链型界面活性剂(B)及聚乙二醇化合物(C)，所制得的洗净液组成物具有长效洗净性及较低的碱剂消耗性。其次，当支链型界面活性剂(B)及聚乙二醇化合物(C)并用螯合剂(E)时，可获致更低的碱剂消耗性，故确实可达到本发明的目的。

比较例4

另外，取3重量份的辛基葡萄糖苷以及97重量份的水，以摇动式搅拌器混合均匀，即可获得洗净液组成物，所得的洗净液组成物也以上列各评价方式进行评价。以上述各评价方式进行效能评估后，所得长效洗净性及碱剂消耗性皆为×。

比较例5

此外，取100重量份的氢氧化钾、83重量份的非离子型界面活性剂(商品名Emalgen LS-110；花王制)、83重量份的对甲苯磺酸钠(sodium p-toluenesulfonic acid)以及3900重量份的水。上述各成份以摇动式搅拌器混合均匀，即可获得洗净液组成物，所得的洗净液组成物也以上列各评价方式进行评价。以上述各评价方式进行效能评估后，所得长效洗净性及碱剂消耗性皆为×。

表1

A-1-1氢氧化钾

A-1-2氢氧化钠

A-2-1单乙醇胺

A-2-2氢氧四甲铵

B-1 SINOPOL E8008 中日合成化学制

B-2 Lutensol TO10 BASF制

B-3 NONION EH-204 日本油脂制

C-1 PEG200 三洋化成制

C-2 PEG600 中日合成化学制

C-3 PEG1540 LION制

C-4 PEG6000 Merck制

E-1 乙二胺四乙酸二钠

E-2 1-羟基亚乙基-1，1-二膦酸

F-1 磷酸

F-2 γ-戊内酯

需补充的是，本发明虽以特定的化合物、组成、反应条件、工艺、分析方法或特定仪器作为例示，说明本发明的洗净液组成物及基板的洗净方法，但本发明所属技术领域中任何具有通常知识技术人员可知，本发明并不限于此，在不脱离本发明的精神和范围内，本发明的洗净液组成物及基板的洗净方法也可使用其他的化合物、组成、反应条件、工艺、分析方法或仪器进行。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的方法及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims

1.一种洗净液组成物，其特征在于，其包含：

碱剂(A)；

如式(I)所示的支链型界面活性剂(B)；

R₁-O-(EO)_a(PO)_b-H (I)

聚乙二醇化合物(C)；以及

水(D)；

其中，该聚乙二醇化合物(C)的重量平均分子量为100至6000。

2.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，其中基于该碱剂(A)为100重量份，该支链型界面活性剂(B)的使用量为10重量份至500重量份，该聚乙二醇化合物(C)的使用量为10重量份至500重量份，且该水(D)的使用量为500重量份至30，000重量份。

3.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，其还包含一螯合剂(E)。

4.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，其中基于该碱剂(A)为100重量份，该螯合剂(E)的使用量为2重量份至100重量份。

5.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，其中该洗净液组成物的粘度为1cps至20cps。

6.一种清洗基板的方法，其特征在于，其是使用根据权利要求1至5中任一权利要求所述的洗净液组成物清洗一基板。