TWI532835B

TWI532835B - A glass substrate cleaning solution composition

Info

Publication number: TWI532835B
Application number: TW099116071A
Authority: TW
Inventors: yi-chun Xie
Original assignee: Chi Mei Corp
Priority date: 2010-05-20
Filing date: 2010-05-20
Publication date: 2016-05-11
Also published as: TW201142015A

Description

玻璃基板用洗淨液組成物

本發明係有關一種洗淨液組成物，特別是提供一種針對玻璃基板，具洗淨力強、消泡性佳且不易侵蝕基板造成基板表面粗糙度增加之玻璃基板用洗淨液組成物。

以往，作為電視、個人電腦、鐘錶等物品的液晶顯示用之玻璃基板，如鈉鈣玻璃、硼矽玻璃、矽玻璃、無鹼玻璃等，可經熔融成形工程製得玻璃母板，並將玻璃母板切割成任意尺寸的玻璃基板以供使用。

另外，近年來常用於彩色液晶顯示器、感測器及色分解裝置等之彩色濾光片，其製法乃於透明玻璃基板上形成黑色矩陣及紅、綠、藍之畫素畫像，並使用分散顏料用之感光性樹脂，以一般之光平板印刷(photolithography)製得。

然而，上述切割玻璃母板製作玻璃基板時，玻璃被切割所產生之切削粉(glass cullet)常附著於基板上而妨礙後續之精密的研磨工程、膜處理工程等。而於研磨工程後，所使用之研磨液(slurry)亦會殘留於基板上造成污染。

因此，上述製造工程中導入了玻璃基板的洗淨工程，而基板的製造及加工廠商為了提高製造良率，亦致力於洗淨技術的提升。特別是近年來，對於製品高度信賴性的需求，以及彩色濾光片之高精度化的走向，玻璃基板清淨化的要求變得愈來愈高。

為有效清除上述基板上殘存之附著物，目前業界改善之方式，乃採用特定之洗淨液組成物清洗玻璃基板，如日本特開2007-131819號公開特許公報所揭示，使用含烷基葡萄糖苷(alkyl glucoside)之洗淨液組成物、日本特開2009-84565號公開特許公報所揭示，使用含非離子性界面活性劑、水、鹼性化合物及苯磺酸、甲苯磺酸、二甲基苯磺酸或羥基苯磺酸等有機酸(或其鹽類)之鹼型非離子性界面活性劑組成物等。然而，使用前述兩種洗淨液組成物清洗玻璃基板時，除了洗淨力不佳、消泡性不佳之外，尚有侵蝕基板造成表面粗糙等問題之發生。

本發明主要目的在於提供一種洗淨液組成物，特別是提供一種針對玻璃基板，具洗淨力強、消泡性佳且不易侵蝕基板造成基板表面粗糙度增加之玻璃基板用洗淨液組成物。

為滿足前述目的，本發明一種玻璃基板用洗淨液組成物包含：鹼性化合物(A)、下列結構式(1)所表示之非離子性界面活性劑(B)、還原劑(C)以及水(D)；

R₁－O－(EO)_m(PO)_n－H　結構式(1)

式中，R₁表示碳數6～20之含支鏈之烷基、烯基或醯基，或碳數12～20之含支鏈之烷基苯基；EO表示乙氧基(ethylene oxide)；PO表示丙氧基(propylene oxide)；m表示1～20之整數；n表示0～20之整數；(EO)_m(PO)_n之中，當n表示1～20之整數時，(EO)與(PO)之排列可為嵌段(block)或隨機(random)。

以下逐一對本發明各組成做詳細的說明。

[鹼性化合物(A)]

本發明所使用之鹼性化合物(A)包含無機鹼性化合物(A-1)及/或有機鹼性化合物(A-2)。

本發明之無機鹼性化合物(A-1)之具體例，如：氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化銨等之鹼金屬氫氧化物；磷酸氫二銨、磷酸氫二鈉、磷酸氫二鉀、磷酸二氫銨、磷酸二氫鈉、磷酸二氫鉀等之鹼金屬或銨之磷酸鹽類；矽酸鋰、矽酸鈉、矽酸鉀等之鹼金屬矽酸鹽類；碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀等之鹼金屬碳酸鹽類；硼酸鋰、硼酸鈉、硼酸鉀等之鹼金屬硼酸鹽類。其中，以鹼金屬氫氧化物為較佳。上述之無機鹼性化合物(A-1)可以單獨一種使用或者混合複數種使用。

本發明之有機鹼性化合物(A-2)包含氫氧四級銨基鹽類化合物及有機胺類之有機鹼性化合物。上述氫氧四級銨基鹽類化合物之具體例，如：氫氧四甲銨(tetramethyl ammonium hydroxide)、氫氧四乙胺、氫氧四丙胺、氫氧四丁胺、2-羥基-氫氧三甲銨(2-hydroxyl trimethyl ammonium hydroxide)等化合物；而有機胺類之具體例如：單甲胺、二甲胺、三甲胺、單乙胺、二乙胺、三乙胺、單異丙胺(monoisopropylamine)、二-異丙胺(di-isopropylamine)、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、2-(2-胺基乙氧基)乙醇(2-(2-aminoethoxy)ethanol)、單異丙醇胺(monoisopropanol-amine)、二異丙醇胺、三異丙醇胺、正乙基乙醇胺(N-ethyl ethanolamine)、正丁基乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺(N,N-dimethyl ethanolamine)、N,N-二甲基丙醇胺、N,N-二甲基異丙醇胺(N,N-dimethyl isopropanolamine)、環己胺、嗎啉(morpholine)等化合物。上述之有機鹼性化合物(A-2)可以單獨一種使用或者混合複數種使用。

本發明之有機鹼性化合物(A-2)，於製造上因不含有金屬離子，故對於薄膜電晶體等半導體元件較不易產生殘影等不良影響。其中，乃以單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺以及單異丙醇胺為較佳。

[非離子性界面活性劑(B)]

本發明之玻璃基板洗淨液組成物中，包含下記結構式(1)所表示之非離子性界面活性劑(B)。

R₁-O-(EO)_m(PO)_n-H 結構式(1)

式中，R₁表示碳數6~20之含支鏈之烷基、烯基或醯基，或碳數12~20之含支鏈之烷基苯基；EO表示乙氧基；PO表示丙氧基；m表示1~20之整數；n表示0~20之整數；(EO)_m(PO)_n之中，當n表示1~20之整數時，(EO)與(PO)之排列可為嵌段或隨機。

結構式(1)中，當n=0時，表示(EO)_m(PO)_n僅由乙氧基構成，當n表示為1~10之整數時，表示(EO)_m(PO)_n係由乙氧基與丙氧基構成。當(EO)_m(PO)_n由乙氧基與丙氧基構成時，EO與PO的排列可為嵌段，亦可為隨機。其中，當EO與PO的排列為嵌段時，只要各個平均數於上述範圍之內，則EO之嵌段數及PO之嵌段數分別可為1個，亦可分別為2個以上。EO之嵌段數為2個以上時，各嵌段中之重複數可相同，亦可不同；PO之嵌段數為2個以上時，各嵌段中之重複數可相同，亦可不同。

EO與PO的排列為嵌段或隨機時，若EO與PO之莫耳比[M_EO/M_PO]為9.5/0.5～5/5，可達到高水溶性。而(EO)_m(PO)_n中，基於高水溶性及低發泡性之考量下，m及n較佳分別為1～15，更佳分別為1～10，(m+n)較佳為2～30，更佳為2～20。

上記結構式(1)所表示之非離子性界面活性劑(B)之具體例如：商品名SINOPOL E8002、SINOPOL E8003、SINOPOL E8008、SINOPOL E8015(中日合成化學製)。

上述之非離子性界面活性劑(B)可以單獨一種使用或者混合複數種使用。

本發明之玻璃基板洗淨液組成物中，基於鹼性化合物(A)100重量份，非離子性界面活性劑(B)之使用量通常為20～200重量份，較佳為30～180重量份，更佳為50～150重量份。由於非離子性界面活性劑(B)具有高分散性之側鏈結構，故可有效清除玻璃基板上殘存之附著物，亦可減少起泡現象，改善消泡性。當非離子性界面活性劑(B)之使用量介於20～200重量份時，則洗淨液對於基板上附著物之洗淨力優異，且消泡性佳，並可保持玻璃基板表面的平滑性。若完全未使用非離子性界面活性劑(B)，則洗淨液有洗淨力不佳、消泡性不佳等問題。

[還原劑(C)]

本發明所使用之還原劑(C)係選自於由脂肪族有機系還原劑、芳香族有機系還原劑、醣系還原劑、羥胺系還原劑、磷系還原劑、硼系錯合物還原劑、硫醇系還原劑及無機含氧酸系還原劑所組成的群組。

上述脂肪族有機系還原劑之具體例如：蟻酸、醋酸、琥珀酸、乳酸、蘋果酸、酪酸、順丁烯二酸、丙酮酸(2-oxopropanoic acid)、丙二酸、沒食子酸、乙醇酸、酒石酸、檸檬酸、葡萄糖酸、草酸及其鹽類等之有機酸類；甲醛、乙醛、丙醛及丙烯醛(acrolein)等之醛類；左旋抗壞血酸(L-ascorbic acid)、左旋抗壞血酸硫酸酯、左旋抗壞血酸磷酸酯、左旋抗壞血酸2-葡萄糖苷(L-ascorbic acid 2-glycoside)、左旋抗壞血酸棕櫚酸酯、左旋抗壞血酸四異棕櫚酸酯、抗壞血酸異棕櫚酸酯、異抗壞血酸(erythorbic acid)、異抗壞血酸磷酸酯、異抗壞血酸棕櫚酸酯、異抗壞血酸四異棕櫚酸酯及其鹽類等之還原酮類；碳數1～6之烷基胺、碳數2～6之醇胺、碳數2～5之亞烷基二胺(alkylenediamine)、碳數4～10之環胺、碳數3～15之脒化合物(amidine)、碳數4～30之多亞烷基(碳數2～6)多胺等之脂肪族胺類。

上述碳數1～6之烷基胺之具體例如：甲胺、乙胺、丙胺、異丙胺、丁胺及己胺等之單烷基胺；二甲胺、甲乙胺、甲丙胺、甲丁胺、二乙胺、乙丙胺及二異丙胺等之二烷基胺。

上述碳數2～6之醇胺之具體例如：單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甲氨基乙醇、二乙氨基乙醇、N-甲基-二乙醇胺、2-氨基-2-甲基-1-丙醇、N-(氨基乙基)乙醇胺、N,N-二甲基-2-氨基乙醇及2-(2-氨基乙氧基)乙醇等。

上述碳數2～5之亞烷基二胺之具體例如：乙二胺(ethylenediamine)、丙二胺(propylenediamine)、丙撐二胺(trimethylenediamine)、丁二胺(tetramethylenediamine)以及己二胺(hexamethylenediamine)等。

上述碳數4～10之環胺之具體例如：哌啶(piperidine)、哌嗪(piperazine)以及1,4-二氮雜雙環[2.2.2]辛烷(1,4-diaza-bicyclo[2.2.2]octance,DABCO)等。

上述碳數3～15之脒化合物之具體例如：1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一烯(1,8-diazabicyclo[5.4.0]-7-undecene,DBU)、1,5-二氮雜雙環[4.3.0]-5-壬烯(1,5-diazabicyclo[4.3.0]-5-nonene,DBN)、1H-咪唑、2-甲基-1H-咪唑、2-乙基-1H-咪唑、4,5-二氫-1H-咪唑、2-甲基-4,5-二氫-1H-咪唑、1,4,5,6-四氫-嘧啶以及1,6(4)-二氫嘧啶等。

上述碳數4～30之多亞烷基(碳數2～6)多胺之具體例如：二乙三胺、三乙四胺、四乙五胺、亞胺二丙胺(iminobispropylamine)以及五乙六胺等。

上述芳香族有機系還原劑之具體例如：苯甲醛、桂皮醛等之芳香族醛類；對-苯二胺(p-phenylenediamine)、對-氨基苯酚等之芳香族胺類；一元苯酚{3-羥基黃酮(3-hydroxy flavone)、生育酚[α-、β-、γ-、δ-、ε-或η-生育酚(tocopherol)]等}及多元苯酚(3,4,5-三羥基苯甲酸、鄰苯二酚、間苯二酚、對苯二酚、萘間二酚、鄰苯三酚、間苯三酚等)等之苯酚化合物等。

上述醣系還原劑之具體例如：五碳醣(如阿拉伯醣、木醣、木酮醣、核酸醣、核酮醣等)、六碳醣(如葡萄醣、果醣、山梨醣、半乳醣、塔格醣、甘露醣等)、七碳醣(如天庚酮醣、馬桑醣等)等之單醣類；蔗醣、麥芽醣、乳醣、海藻醣、纖維雙醣、龍膽雙醣等之雙醣類；麥芽三醣、棉子醣等之三醣類；阿拉伯醣醇、木醣醇、核醣醇、山梨醣醇、半乳醣醇、甘露醇等之醣醇類。

上述羥胺系還原劑之具體例如：羥胺、二乙基羥胺、硫酸羥胺、鹽酸羥胺等。

上述磷系還原劑之具體例如：三(2-羧基乙基)膦；硼系錯合物還原劑之具體例如：硼烷-第三丁基胺錯合物、硼烷-三甲基胺錯合物、硼烷-N,N-二乙基苯胺錯合物等；硫醇系還原劑之具體例如：胺基乙烷硫醇(aminoethanethiol)、左旋半胱氨酸(L-cysteine)等。

上述無機含氧酸系還原劑之具體例如：硫酸氫酸(鹽)、亞硫酸(鹽)、亞硫酸氫酸(鹽)、二亞硫酸(鹽)、二亞硫磺酸(鹽)、硫代硫酸(鹽)、二硫磺酸(鹽)、多硫磺酸(鹽)等之硫的含氧酸類；磷酸氫酸(鹽)、磷酸氫二酸(鹽)、亞磷酸(鹽)、亞磷酸氫酸(鹽)、次亞磷酸(鹽)等之磷的含氧酸類。

本發明之還原劑(C)亦可使用硫酸鐵(Ⅱ)、氯化錫(Ⅳ)、硫化鈉、硫化銨、亞硝酸鈉、氰基硼氫化鈉、硼氫化鈉、雙氧水、碘化氫等之無機還原劑。

上述還原劑(C)之中，以脂肪族有機系、羥胺系、硫醇系、無機含氧酸系為佳，更佳為甲醛、左旋抗壞血酸(鹽)、異抗壞血酸(鹽)、單乙醇胺、二乙醇胺、N-甲基-二乙醇胺、左旋半胱氨酸、硫酸羥胺、鹽酸羥胺、胺基乙烷硫醇、亞硫酸(鹽)、二亞硫酸(鹽)、硫代硫酸(鹽)、亞磷酸(鹽)、亞磷酸氫酸(鹽)、次亞磷酸(鹽)及雙氧水等，最佳為左旋抗壞血酸(鹽)、左旋半胱氨酸、硫酸羥胺、亞硫酸(鹽)、亞磷酸(鹽)、亞磷酸氫酸(鹽)等。上述之還原劑(C)可以單獨一種使用或者混合複數種使用。

本發明之玻璃基板洗淨液組成物中，基於鹼性化合物(A)100重量份，還原劑(C)之使用量通常為10～80重量份，較佳為20～70重量份，更佳為30～60重量份。當還原劑(C)之使用量介於10～80重量份時，則洗淨液對於基板上附著物之洗淨力優異，且較不易有侵蝕玻璃基板造成表面粗糙之問題。若完全未使用化合物(C)，則洗淨液有洗淨力不佳以及因易侵蝕玻璃基板造成表面粗糙之問題。

[水(D)]

本發明中所使用的水(D)並無特別限制。其具體例如：蒸餾水、純水(經離子交換樹脂等行脫鹽處理而得之水)、超純水(除無機離子外，不含有機物、生菌、微粒子及溶解氣體)及近年來被提案之各種機能水等。基於金屬離子對電子控制迴路具不佳影響，本發明中所使用的水(D)較佳為純水或超純水，更佳為超純水。其中，上述超純水可藉由將自來水通過活性碳、離子交換處理、蒸餾處理後，必要時以紫外光照射殺菌，或者通過過濾器而得。根據25℃之電阻值來區分，電阻值在1MΩ‧cm以上即可稱為純水，電阻值在10MΩ‧cm以上即可稱為超純水。

本發明之玻璃基板洗淨液組成物中，基於鹼性化合物(A)100重量份，水(D)之使用量通常為300～25,000重量份，較佳為400～20,000重量份，更佳為500～15,000重量份。當水(D)之使用量介於300～25,000重量份時，較不易有洗劑殘留及洗淨力下降之問題。

[消泡劑(E)]

本發明之玻璃基板洗淨液組成物，視需要可進一步添加消泡劑(E)，其具體例如：聚矽氧系、高級醇系、聚醚系、脂肪酸酯系、聚乙二醇系、鑛物油系及包含下記結構式(2)所表示之化合物。

式中，m表示1或2之整數；R表示下記結構式(3)所表示之官能基。

式中，n表示3～7之整數。

上述之結構式(2)所表示之化合物之具體例如：商品名SURFYNOL MD-20、SURFYNOL MD-30(Air products製)。

上述之消泡劑(E)可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明之玻璃基板洗淨液組成物中，基於鹼性化合物(A)100重量份，消泡劑(E)之使用量介於0.1～10重量份，較佳為0.3～9重量份，更佳為0.5～8重量份。消泡劑(E)之使用量介於0.1～10重量份時，除了消泡性佳外，且較不易有形成粒徑較大的微胞造成洗淨液混濁之問題。

[添加劑(F)]

本發明之玻璃基板洗淨液組成物中，選擇性地，可進一步添加添加劑(F)，如：螫合劑、抗氧化劑、pH調整劑、緩衝溶劑、防腐劑、水溶性有機溶劑、分散劑等。

本發明之螫合劑之具體例如：乙二胺四乙酸(鹽)(EDTA)、二乙三胺五乙酸(鹽)(DTPA)、三乙四胺六乙酸(鹽)(TTHA)、羥乙基乙二胺三乙酸(鹽)(HEDTA)、二羥乙基乙二胺四乙酸(鹽)(DHEDDA)、次氮基三乙酸(鹽)(NTA)、羥乙基亞胺基二乙酸(鹽)(HIDA)、β-丙胺酸二乙酸(鹽)、天冬醯胺酸二乙酸(鹽)、甲基甘胺酸二乙酸(鹽)、亞胺基二琥珀酸(鹽)、絲胺酸二乙酸(鹽)、羥基亞胺基二琥珀酸(鹽)、二羥基乙基甘胺酸(鹽)、天冬醯胺酸(鹽)、麩胺酸(鹽)等之胺基多羧酸(鹽)；羥基乙酸(鹽)、酒石酸(鹽)、檸檬酸(鹽)、葡萄糖酸(鹽)等之羥基羧酸(鹽)；甲基二膦酸(鹽)、胺基三(亞甲基膦酸)(鹽)、1-羥基亞乙基-1,1-二膦酸(鹽)、乙二胺四(亞甲基膦酸)(鹽)、己二胺四(亞甲基膦酸)(鹽)、丙二胺四(亞甲基膦酸)(鹽)、二乙三胺五(亞甲基膦酸)(鹽)、三乙四胺六(亞甲基膦酸)(鹽)、三胺基三乙基胺六(亞甲基膦酸)(鹽)、反-1,2-環己二胺四(亞甲基膦酸)(鹽)、二醇醚二胺四(亞甲基膦酸)(鹽)、四乙五胺七(亞甲基膦酸)(鹽)等之膦酸(鹽)；偏磷酸(鹽)、三聚磷酸(鹽)、六偏磷酸(鹽)等之縮合磷酸(鹽)等。上述之螫合劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明之抗氧化劑之具體例如：2,6-二-第三丁基苯酚、2-第三丁基-4-甲氧基苯酚、2,4-二甲基-6-第三丁基苯酚等之苯酚系；單辛基二苯胺、單壬基二苯胺、4,4’-二丁基二苯胺、4,4’-二戊基二苯胺、四丁基二苯胺、四己基二苯胺、α-萘胺、苯基-α-萘胺等之胺系；吩噻嗪(phenothiazine)、季戊四醇四(3-月桂基硫代丙酸酯)、雙(3,5-第三丁基-4-羥基芐基)硫醚(bis(3,5-t-butyl-4-hydroxybenzyl)sulfide)等之硫系；二亞磷酸雙(2,4-二-第三丁基苯基)季戊四醇酯、亞磷酸一苯二異葵酯、亞磷酸二苯二異辛酯、亞磷酸三苯酯等之磷系等。上述之抗氧化劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明之pH調整劑之具體例如：鹽酸、硫酸、硝酸、磺胺酸、磷酸等之無機酸；氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀等之無機鹼等。上述之pH調整劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明之緩衝溶劑之具體例如：蟻酸、醋酸、琥珀酸、乳酸、蘋果酸、酪酸、順丁烯二酸、丙酮酸、丙二酸、沒食子酸等之有機酸及鹽類；磷酸、硼酸等之無機酸及其鹽類等。上述之緩衝溶劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明之防腐劑之具體例如：六氫-1,3,5-三(羥乙基)-s-三嗪等之三嗪(triazine)衍生物；1,2-苯並異噻唑啉-3-酮、2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮、5-氯-2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮等之異噻唑啉(isothiazolin)衍生物；4-(2-硝基丁基)嗎啉、4,4-(2-乙基-2-硝基三亞甲基)二嗎啉等之嗎啉衍生物；2-(4-噻唑基)苯並咪唑等之苯並咪唑(benzimidazole)衍生物等。上述之防腐劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明之水溶性有機溶劑於20℃時對水之溶解度以3(g/100g)以上為佳，更佳為10以上。其具體例如：二甲基亞碸、環丁碸、3-甲基環丁碸、2,4-二甲基環丁碸等之亞碸類；二甲碸、二乙碸、雙(2-羥乙基)碸等之碸類；N,N-二甲基甲醯胺、N-甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N,N-二甲基丙酼胺等之醯胺類；N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-羥甲基-2-吡咯烷酮等之內醯胺類；β-丙內酯、β-丁內酯、γ-丁內酯、γ-戊內酯、δ-戊內酯等之內酯類；甲醇、乙醇、異丙醇等之醇類；乙二醇、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、二乙二醇、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇單己基醚、二乙二醇單苯基醚、三乙二醇單甲基醚、丙二醇、丙二醇單甲基醚、二丙二醇單甲基醚、1,3-丁二醇、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、三乙二醇二甲基醚、三乙二醇三乙基醚等之乙二醇及乙二醇醚類；N-甲基-2-噁唑烷酮、3,5-二甲基-2-噁唑烷酮等之噁唑烷酮(oxazolidinone)類；乙腈、丙腈、丁腈、丙烯腈、甲基丙烯腈、苯甲腈等之腈(nitrile)類；碳酸鹽類；(碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等)；丙酮、二乙酮、苯乙酮、甲乙酮、環己酮、環戊酮、二丙酮醇等之酮類；四氫呋喃、四氫吡喃等之環醚類等。上述之水溶性有機溶劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明之分散劑之具體例如：羥乙基纖維素、陽離子化纖維素、羥甲基纖維素、羥丙基纖維素、瓜爾膠(guar gum)、陽離子化瓜爾膠、三仙膠(xanthan gum)、海藻酸鹽、陽離子化澱粉等之多糖類及其衍生物；植酸(phytic acid)、二(聚氧乙烯)烷基醚磷酸、三(聚氧乙烯)烷基醚磷酸等之聚乙烯醇(poval)及其磷酸酯類。上述之分散劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明所使用之添加劑(F)中，基於鹼性化合物(A)100重量份，螫合劑之使用量通常為30重量份以下，較佳為1～20重量份，更佳為3～20重量份；抗氧化劑、緩衝溶劑、防腐劑及分散劑之使用量通常為10重量份以下，較佳為8重量份以下，更佳為5重量份以下；pH調整劑之使用量通常為90重量份以下，較佳為85重量份以下，更佳為80重量份以下；水溶性有機溶劑之使用量通常為500重量份以下，較佳為400重量份以下，更佳為300重量份以下。

本發明將例舉以下實施例進一步說明，但應瞭解的是，該等實施例僅為例示說明之用，而不應被解釋為本發明實施之限制。

[製備洗淨液組成物]

＜實施例1＞

將100重量份的氫氧化鉀(Potassium hydroxide，以下簡稱A-1)、100重量份的非離子性界面活性劑(B)SINOPOL E8002(中日合成化學製，以下簡稱B-1)、50重量份的硫酸羥胺(以下簡稱C-1)以及2500重量份之水。上述各成份以搖動式攪拌器混合均勻，即可獲得洗淨液組成物，該洗淨液組成物以下記各評價方式進行評價，所得結果如表1所示。

＜實施例2～8＞

相同於實施例1的操作方法，不同的地方在於：改變原料的種類及其使用量，其配方及評價結果如表1所示。

＜比較例1～3＞

相同於實施例1的操作方法，不同的地方在於：改變原料的種類及其使用量，其配方及評價結果如表1所示。其中，比較例3使用之RTL431如以下結構式(4)所示。

式中，n表示9～10之整數。

【評價項目】

＜切削粉洗淨力＞

將鈉鈣玻璃(Soda Lime Glass)粉碎，並將碎粉(粒徑介於10μm～100μm)均勻分散於水中後，塗佈於一玻璃基板上(20mm×100mm)，接著於110℃下乾燥30分鐘後，浸泡在洗淨液組成物中，並以恆溫水槽控制在25℃。於浸泡3分鐘後，以500ml純水洗淨，然後以高壓空氣吹乾，接著以顯微鏡(倍率=50)觀察玻璃基板之表面狀態，並根據以下基準評價：

○：無切削粉殘留。

╳：有明顯的切削粉殘留。

＜研磨液洗淨力＞

於玻璃基板(20mm×100mm)上使用市販的氧化鈰研磨液(粒徑約100nm)及研磨布研磨1分鐘後，以500ml純水洗淨，然後以高壓空氣吹乾，接著浸泡在洗淨液組成物中，並以恆溫水槽控制在25℃。於浸泡3分鐘後，以500ml純水洗淨玻璃基板，然後以高壓空氣吹乾，接著以電子掃描顯微鏡(倍率=50)觀察玻璃基板之表面狀態，並根據以下基準評價：

○：無粒子殘留。

╳：有明顯的粒子殘留。

＜表面粗度＞

由評價檢測項目＜切削粉洗淨力＞及＜研磨液洗淨力＞分別所得之兩片玻璃基板，分別使用非接觸式的白光干涉儀(BMT製；型號為WLI LAB)量測玻璃基板的表面，可分別測得其表面粗度(Ra)，單位為nm。將兩者結果取算術平均數可得一平均表面粗度()，並根據以下基準評價：

○：＜3μm。

△：3μm＜＜5μm

╳：＞5μm。

＜消泡性＞

取50ml洗淨液組成物，倒入100ml量筒，上下震盪20回後，量測泡沫高度(T1)，靜置30秒後，再次量測泡沫高度(T2)，並根據以下基準評價：

消泡率=(T1-T2)/(T1)×100%

◎：消泡率≧90%。

○：80%≦消泡率＜90%。

△：50%≦消泡率＜80%。

╳：消泡率＜50%。

＜比較例4＞

使用100重量份的氫氧化鉀、83重量份的非離子性界面活性劑EMALGEN LS-100(直鏈C_12～14-O-(EO)₅(PO)_1.5(EO)₅-H，花王製)、83重量份的對-甲苯磺酸鈉及3900重量份的水，各成份以搖動式攪拌器混合均勻，獲得洗淨液組成物，並以上記各評價方式進行評價，所得洗淨力、消泡性及表面粗度皆為╳。

＜比較例5＞

使用3重量份的辛基葡萄糖苷及97重量份的水，各成份以搖動式攪拌器混合均勻，獲得洗淨液組成物，並以上記各評價方式進行評價，所得洗淨力、消泡性及表面粗度皆為╳。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

【附表說明】

表1係本發明實施例及比較例的配方組成及評價結果。

Claims

一種玻璃基板用洗淨液組成物，包含：鹼性化合物(A)、下列結構式(1)所表示之非離子性界面活性劑(B)、還原劑(C)以及水(D)；R₁-O-(EO)_m-H 結構式(1)式中，R₁表示碳數6~20之含支鏈之烷基、烯基或醯基，或碳數12~20之含支鏈之烷基苯基；EO表示乙氧基；m表示1~20之整數；其中，基於鹼性化合物(A)100重量份，結構式(1)所表示之非離子性界面活性劑(B)之使用量介於20~200重量份，還原劑(C)之使用量介於10~80重量份，水(D)之使用量介於300~25000重量份；鹼性化合物(A)包含無機鹼性化合物(A-1)及/或有機鹼性化合物(A-2)；無機鹼性化合物(A-1)係選自於由鹼金屬氫氧化物、鹼金屬或銨之磷酸鹽類、鹼金屬矽酸鹽類、鹼金屬碳酸鹽類及鹼金屬硼酸鹽類所組成的群組；有機鹼性化合物(A-2)係選自於由氫氧四級銨基鹽類化合物及有機胺類之有機鹼性化合物所組成的群組；還原劑(C)係選自於由脂肪族有機系還原劑、芳香族有機系還原劑、醣系還原劑、羥胺系還原劑、磷系還原劑、硼系錯合物還原劑、硫醇系還原劑及無機含氧酸系還原劑所組成的群組。
如申請專利範圍第1項所述之洗淨液組成物，其中：脂肪族有機系還原劑係選自於蟻酸、醋酸、琥珀酸、乳酸、蘋果酸、酪酸、順丁烯二酸、丙酮酸、丙二酸、沒食子酸、乙醇酸、酒石酸、檸檬酸、葡萄糖酸、草酸及其鹽類之有機酸類；甲醛、乙醛、丙醛及丙烯醛之醛類；左旋抗壞血酸、左旋抗壞血酸硫酸酯、左旋抗壞血酸磷酸酯、左旋抗壞血酸2-葡萄糖苷、左旋抗壞血酸棕櫚酸酯、左旋抗壞血酸四異棕櫚酸酯、抗壞血酸異棕櫚酸酯、異抗壞血酸、異抗壞血酸磷酸酯、異抗壞血酸棕櫚酸酯、異抗壞血酸四異棕櫚酸酯及其鹽類之還原酮類；碳數1~6之烷基胺、碳數2~6之醇胺、碳數2~5之亞烷基二胺、碳數4~10之環胺、碳數3~15之脒化合物、碳數4~30之多亞烷基(碳數2~6)多胺之脂肪族胺類中之至少一種；芳香族有機系還原劑係選自於苯甲醛、桂皮醛之芳香族醛類；對-苯二胺、對-氨基苯酚之芳香族胺類；一元苯酚{3-羥基黃酮、生育酚[α-、β-、γ-、δ-、ε-或η-生育酚(tocopherol)]}及多元苯酚(3,4,5-三羥基苯甲酸、鄰苯二酚、間苯二酚、對苯二酚、萘間二酚、鄰苯三酚、間苯三酚等)之苯酚化合物中之至少一種；醣系還原劑係選自於五碳醣、六碳醣、七碳醣之單醣類；蔗醣、麥芽醣、乳醣、海藻醣、纖維雙醣、龍膽雙醣之雙醣類；麥芽三醣、棉子醣之三醣類；阿拉伯醣醇、木醣醇、核醣醇、山梨醣醇、半乳醣醇、甘露醇之醣醇類中之至少一種；羥胺系還原劑係選自於羥胺、二乙基羥胺、硫酸羥胺、鹽酸羥胺中之至少一種；磷系還原劑係三(2-羧基乙基)膦；硼系錯合物還原劑係選自於硼烷-第三丁基胺錯合物、硼烷-三甲基胺錯合物、硼烷-N,N-二乙基苯胺錯合物中之至少一種；硫醇系還原劑係選自於胺基乙烷硫醇、左旋半胱氨酸中之至少一種；無機含氧酸系還原劑係選自於硫酸氫酸(鹽)、亞硫酸(鹽)、亞硫酸氫酸(鹽)、二亞硫酸(鹽)、二亞硫磺酸(鹽)、硫代硫酸(鹽)、二硫磺酸(鹽)、多硫磺酸(鹽)等之硫的含氧酸類；磷酸氫酸(鹽)、磷酸氫二酸(鹽)、亞磷酸(鹽)、亞磷酸氫酸(鹽)、次亞磷酸(鹽)之磷的含氧酸類中之至少一種；無機還原劑係硫酸鐵(Ⅱ)、氯化錫(Ⅳ)、硫化鈉、硫化銨、亞硝酸鈉、氰基硼氫化鈉、硼氫化鈉、雙氧水及碘化氫中的至少一種。
如申請專利範圍第1項所述之洗淨液組成物，更進一步含有消泡劑(E)。
如申請專利範圍第3項所述之洗淨液組成物，其中，消泡劑(E)具有下列結構式(2)；式中，m表示1或2之整數；R表示下記結構式(3)所表示之官能基；式中，n表示3至7之整數。
如申請專利範圍第3項或第4項所述之洗淨液組成物，其中，基於鹼性化合物(A)100重量份，消泡劑(E)之使用量介於0.1~10重量份。