CN102951846A - 一种用于旋转涂布玻璃的溶剂喷涂装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于旋转涂布玻璃的溶剂喷涂装置，包括盛有溶剂的溶剂瓶和与所述溶剂瓶通过管路连接的喷嘴，管路上设置有气动阀，气动阀上设置有用于控制气动阀开关的电磁阀，在管路上串联设置有液体流量计。本发明的溶剂喷涂装置可准确地探测溶剂的流量情况，从而保证了喷涂剂量的准确性，有效地避免了产品的大批量报废，从而保证生产稳定、持续、安全地进行。

Description

一种用于旋转涂布玻璃的溶剂喷涂装置

技术领域

本发明涉及半导体技术，具体涉及一种用于旋转涂布玻璃的溶剂喷涂装置。

背景技术

旋转涂布玻璃(spin on glass coating，SOG)，也称旋制氧化硅，它是半导体制程中主要的局部性平坦化技术，用于使金属层间平坦化，以增加层与层之间的结合特性，避免空洞的形成以及膜的剥裂。具体地，SOG是将含有介电材料的液态溶剂以旋转涂布的方式，均匀地涂布在晶圆的表面，以填补沉积介电层凹陷的孔洞，再经过热处理，以去除溶剂，从而在晶圆表面上留下固化后近似二氧化硅的介电材料。SOG的简单流程如下：旋转平涂→加热烧烤→高温硬化。

如图1所示，其为现有的SOG制备工艺中的溶剂喷涂装置，其中，溶剂4盛放在溶剂瓶11中，溶剂瓶11通过固定支架19固定，溶剂4在气动阀12的控制下，通过溶剂管路101传送至喷嘴13，喷嘴13设置在待涂布的晶片3上方，由喷嘴13对晶片3进行旋转涂布。

在上述现有的溶剂喷涂装置中，主要存在以下缺陷和危害：(1)该装置没有任何探测溶剂喷涂回路中流量是否异常的机制，而该装置中的电容式液位开关17只是用于探测溶剂是否用完；(2)在制备生产时，容易发生气动阀因老化而无法打开或关闭，或产生溶剂结晶等问题，从而造成上述装置无法喷涂或喷涂剂量不准确。由于现有技术中存在上述缺陷和危害，常常会造成大批量产品报废，又无法及时发现，从而给生产带来巨大损失。

发明内容

本发明的目的是提供一种可准确探测溶剂流量情况，可有效避免产品大批量报废的用于旋转涂布玻璃的溶剂喷涂装置。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种用于旋转涂布玻璃的溶剂喷涂装置，包括盛有溶剂的溶剂瓶和与所述溶剂瓶通过管路连接的喷嘴，所述管路上设置有气动阀，所述气动阀上设置有用于控制所述气动阀开关的电磁阀，其中，所述管路上串联设置有液体流量计。

进一步地，所述液体流量计位于所述气动阀和喷嘴之间。

进一步地，所述液体流量计的电源与所述电磁阀的电源并联。

进一步地，所述溶剂喷涂装置还包括蜂鸣器报警电路，所述蜂鸣器报警电路与所述液体流量计的报警信号输出端连接。

进一步地，所述蜂鸣器报警电路为具有自锁功能的蜂鸣器报警电路。

进一步地，所述液体流量计为具有传感器的液位流量计。

进一步地，所述气动阀为具有回吸功能的气动阀。

本发明提供的用于旋转涂布玻璃的溶剂喷涂装置，通过设置在管路上的液体流量计，来监测溶剂管路中的溶剂流动情况，从而可探测喷涂回路中溶剂流量是否异常，若观测到喷涂回路中溶剂流量超出预定的范围，则说明溶剂流量出现异常，此时可及时对管路进行处理，或调整流量。同时也可根据监测得到的溶剂流量情况，及时处理溶剂结晶和气动阀老化的问题，进而保证了生产的稳定性和持续性。因此，本发明的溶剂喷涂装置可准确地探测溶剂的流量情况，从而保证喷涂剂量的准确性，有效地避免产品的大批量报废，保证生产稳定、持续、安全地进行。

附图说明

图1为现有SOG制程中的溶剂喷涂装置的结构示意图。

图2为在图1所示的现有技术的基础上改进得到的本发明的用于SOG的溶剂喷涂装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图2所示，本发明提供一种用于旋转涂布玻璃的溶剂喷涂装置，包括盛有溶剂4的溶剂瓶11和与溶剂瓶11通过管路101连接的喷嘴13，管路101上设置有气动阀12，气动阀12上设置有用于控制气动阀开关的电磁阀15，在管路101上串联设置有液体流量计21。

在工作时，气动阀12由电磁阀控制，当气动阀12打开时，溶剂4通过管路101，流经液体流量计21，传送至喷嘴13，喷嘴13设置在待涂布的晶片3上方，由喷嘴13对晶片3进行旋转喷涂；当需要结束旋转喷涂时，关闭气动阀12，则可结束工作。

通过设置在管路101上的液体流量计21，来监测溶剂管路中的溶剂流动情况，从而可探测喷涂回路中溶剂流量是否异常，若观测到喷涂回路中溶剂流量超出预定的范围，则说明溶剂流量出现异常，此时可及时对管路进行处理，或调整流量。同时也可根据监测的溶剂流量的情况，及时处理溶剂结晶和气动阀老化的问题，进而保证了生产的稳定性和持续性。因此，本发明的溶剂喷涂装置可准确地探测溶剂的流量情况，从而保证喷涂剂量的准确性，有效地避免产品的大批量报废，保证生产稳定、持续、安全地进行。

在本发明的一个优选实施例中，液体流量计21可位于气动阀12和喷嘴13之间的管路101上。这样将液体流量计21设置在喷嘴13之前，从而可以更好地监测整个溶剂喷涂回路中溶剂的流量，避免由于溶剂在到达喷嘴之前出现结晶或堵塞而无法被检测出来，由此达到更好的监测效果。

为了使液体流量计只在溶剂喷涂过程中进行监测(如工作时，可2分钟/次地进行喷涂溶剂)，作为一个优选方案，将液体流量计21的电源与电磁阀15的电源并联。当气动阀12被开启时，液体流量计21也同时被开启；当气动阀12被关闭时，液体流量计21也同时被关闭，从而实现了液体流量计和气动阀同步工作，使操作更加简单，更加自动化。

本发明的溶剂喷涂装置还包括蜂鸣器报警电路22，该蜂鸣器报警电路与液体流量计21的报警信号输出端连接。由此，可在上述液体流量计上设定流量范围，当管路101中溶剂的流量出现异常(即溶剂的流量超出设定的流量范围)时，蜂鸣器报警电路22可收到液体流量计21输送的报警信号，从而启动扬声器发出报警声，以通知工作人员对溶剂流量异常情况进行处理。

为了达到更好的报警效果，上述蜂鸣器报警电路22可为具有自锁功能的蜂鸣器报警电路。如图2所示，该具有自锁功能的蜂鸣器报警电路可以具体包括电磁继电器A、电磁继电器B和扬声器224，上述电磁继电器B与液体流量计的报警信号输出端连接，在连接扬声器224的线路中设有停止按钮223。通过该具有自锁功能的蜂鸣器报警电路，可实现只要溶剂流量发生异常，就持续报警，而不受液体流量计电源开或关的影响，从而进一步地保证了对溶剂出现流量异常的及时处理。

当然，其他的具有自锁功能的蜂鸣器报警电路也可用于本发明中，此处不再赘述。

作为一个优选方案，液体流量计21可为具有传感器的液位流量计。如此，采用具有传感器的液位流量计可更好地对溶剂的流量进行检测，并及时传送检测信号给蜂鸣器报警电路。

在本发明的一个优选实施例中，上述气动阀为具有回吸功能的气动阀。这样可以更好地控制溶剂的流动，尤其是在关闭气动阀时，可将管路中残留的溶剂回吸到溶剂瓶中，避免了由于溶剂残留而产生的溶剂结晶从而将管路堵塞的情况。

在本发明溶剂喷涂装置的电磁阀电源处可设置PLC控制器，以用于控制溶剂喷涂装置的运行。

在本发明的另一个优选实施例中，具有传感器的液位流量计为CKDWFK5000-A2型号，该液位流量计具有4个引脚，第一引脚1经含有开关的PLC控制器与电源连接，第三引脚3(即报警信号输出端)与上述具有自锁功能的蜂鸣器报警电路的电磁继电器B连接，第四脚4接地。采用该型号的液位流量计，可在该液位流量计上设定流量范围，当发生溶剂流量异常时，可更及时准确地进行报警提醒。同时由于该液位流量计与上述具有自锁功能的蜂鸣器报警电路连接，可使其不受该流量传感器电源2分钟/次开启的影响，从而进行持续报警。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围；如果不脱离本发明的精神和范围，对本发明进行修改或者等同替换，均应涵盖在本发明权利要求的保护范围当中。

Claims (7)

1.一种用于旋转涂布玻璃的溶剂喷涂装置，包括盛有溶剂的溶剂瓶和与所述溶剂瓶通过管路连接的喷嘴，所述管路上设置有气动阀，所述气动阀上设置有用于控制所述气动阀开关的电磁阀，其特征在于，所述管路上串联设置有液体流量计。

2.根据权利要求1所述的溶剂喷涂装置，其特征在于，所述液体流量计位于所述气动阀和喷嘴之间。

3.根据权利要求1或2所述的溶剂喷涂装置，其特征在于，所述液体流量计的电源与所述电磁阀的电源并联。

4.根据权利要求1或2所述的溶剂喷涂装置，其特征在于，所述溶剂喷涂装置还包括蜂鸣器报警电路，所述蜂鸣器报警电路与所述液体流量计的报警信号输出端连接。

5.根据权利要求4所述的溶剂喷涂装置，其特征在于，所述蜂鸣器报警电路为具有自锁功能的蜂鸣器报警电路。

6.根据权利要求1所述的溶剂喷涂装置，其特征在于，所述液体流量计为具有传感器的液位流量计。

7.根据权利要求1所述的溶剂喷涂装置，其特征在于，所述气动阀为具有回吸功能的气动阀。

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