WO2023130684A1

WO2023130684A1 - 冷却系统及其使用方法

Info

Publication number: WO2023130684A1
Application number: PCT/CN2022/101865
Authority: WO
Inventors: 卢康
Original assignee: 长鑫存储技术有限公司
Priority date: 2022-01-06
Filing date: 2022-06-28
Publication date: 2023-07-13
Also published as: CN116447823A

Abstract

一种冷却系统及其使用方法。其中，所述冷却系统包括：设置于设备（101）内的冷却管（102），所述冷却管（102）内流经的冷却媒介（103）用于冷却所述设备（101），以维持所述设备（101）内的温度；设置于所述冷却管（102）上的第一阀门（104）、第二阀门（105）和第三阀门（106），底部与所述冷却管（102）连通的存储腔（107）；其中，所述存储腔（107）用于存储所述冷却媒介（103）；所述第一阀门（104），位于所述冷却管（102）的进水口（108）与所述存储腔（107）之间；所述第二阀门（105），位于所述存储腔（107）与所述设备（101）内的待冷却对象（110）之间；所述第三阀门（106），位于所述冷却管（102）的出水口（109）与所述待冷却对象（110）之间，且第一阀门（104）和第三阀门（106）均为单向阀门。

Description

冷却系统及其使用方法

相关申请的交叉引用

本公开基于申请号为202210010557.8、申请日为2022年01月06日、申请名称为“冷却系统及其使用方法”的中国专利申请提出，并要求该中国专利申请的优先权，该中国专利申请的全部内容在此以全文引入的方式引入本公开。

技术领域

本公开涉及但不限于一种冷却系统及其使用方法。

背景技术

在半导体器件的制造过程中，机台的反应腔室内的温度对制造工艺影响较大，因此对冷却系统有很高的要求。冷却系统中，冷却水通过冷却管流至机台反应腔室附近，通过水循环能够带走部分多余热量，水的比热容较大能够稳定温度，机台的冷却水配合加热组件共同保持反应腔室内的温度稳定。但是，冷却系统中的冷却水流量不稳定，影响机台反应腔室内的器件的冷却效果，对制程中的半导体晶圆或者衬底造成影响，甚至缩短半导体器件的使用寿命。

发明内容

有鉴于此，本公开实施例提供一种冷却系统及其使用方法。

第一方面，本公开实施例提供一种冷却系统，包括：设置于设备内的冷却管，所述冷却管内流经的冷却媒介用于冷却所述设备，以维持所述设备内的温度；设置于所述冷却管上的第一阀门、第二阀门和第三阀门，底部与所述冷却管连通的存储腔；其中，所述存储腔；用于存储所述冷却媒介；所述第一阀门，位于所述冷却管的进水口与所述存储腔之间；所述第二阀门，位于所述存储腔与所述设备内的待冷却对象之间；所述第三阀门，位于所述冷却管的出水口与所述待冷却对象之间，且所述第一阀门和所述第三阀门均为单向阀门。

第二方面，本公开实施例提供一种冷却系统的使用方法，包括：应用于上述冷却系统，所述方法包括：打开所述第一阀门，关闭所述第二阀门，使所述冷却媒介通过所述冷却管存储于所述存储腔；在所述冷却媒介达到所述存储腔的第一液位线时，打开所述第二阀门和所述第三阀门，使所述冷却管内流经的冷却媒介冷却所述设备。

本公开实施例中，通过在冷却管上设置第一阀门、第二阀门和第三阀门以及底部与冷却管连通的存储腔；其中，存储腔；用于存储冷却媒介；第一阀门，位于冷却管的进水口与存储腔之间；第二阀门，位于存储腔与设备内的待冷却对象之间；第三阀门，位于冷却管的出水口与待冷却对象之间，且第一阀门和第三阀门均为单向阀门。如此，可以减小冷却媒介供应端的冷却媒介流量对设备中待冷却对象的冷却效果的影响，当供应端冷却媒介流量不稳定时，流经设备中的冷却媒介不会受影响，流量可以保持稳定，从而不会影响到设备中待冷却对象的冷却效果，设备中的制程连续性好，产品良率高、寿命长。

附图说明

在附图(其不一定是按比例绘制的)中，相似的附图标记可在不同的视图中描述相似的部件。具有不同字母后缀的相似附图标记可表示相似部件的不同示例。附图以示例而非限制的方式大体示出了本文中所讨论的各个实施例。

图1a为一种冷却系统组成结构示意图；

图1b至图1c为本公开实施例提供的一种冷却系统的组成结构示意图；

图2a至图2b为本公开实施例提供的一种冷却系统的组成结构示意图；

图3为本公开实施例提供的一种冷却系统的组成结构示意图；

图4和图5为本公开实施例提供的一种冷却系统使用方法的实现流程示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开，而不应被这里阐述的具体实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本公开更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本公开可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本公开发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述；即，这里不描述实际实施例的全部特征，不详细描述公知的功能和结构。

在附图中，为了清楚，层、区、元件的尺寸以及其相对尺寸可能被夸大。自始至终相同附图标记表示相同的元件。

应当明白，当元件或层被称为“在……上”、“与……相邻”、“连接到”或“耦合到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻、连接或耦合到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在……上”、“与…… 直接相邻”、“直接连接到”或“直接耦合到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本公开教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。而当讨论的第二元件、部件、区、层或部分时，并不表明本公开必然存在第一元件、部件、区、层或部分。

在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本公开的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

为了更好地理解本公开实施例提供的冷却系统，下面先对冷却系统存在的问题进行说明。

半导体制备过程中设备冷却水系统有很高的要求，例如远程等离子体氮化(Remote Plasma Nitridation，RPN)工艺或者光刻工艺等，冷却水流量不达标会造成设备的部分器件因冷却效果不佳产生缺陷。例如，远程等离子发生器内表面累计的热量无法及时散走，生成过量的氮化物气态物质，这种物质会随工艺气流一起流到晶圆或衬底的表面并凝结，形成异常颗粒，影响产品良率；同时累计热量过高造成制程反应腔室条件变化，造成机台报警中断制程，影响制程稳定性，甚至缩短器件的使用寿命。因此，需要通过冷却水保持反应腔室中的温度，并且冷却水需要在极小的范围内波动。

如图1a，冷却系统包括进水口10和出水口20以及冷却管30，箭头方向表示冷却水流经方向。其中，进水口10和出水口20都直接与厂务端相连，冷却管30进入机台40，机台40中的冷却管30上依次设置蝴蝶阀43和供水阀44，两者配合使用使冷却水流经反应腔室41的外壁，使反应腔室41内的温度维持稳定。在实施时，反应腔室41有多个，冷却管30可以分成多个分支，例如3个分支，包括第一分支31、第二分支32和第三分支33。每一支路上都有针型阀42，用于控制流经反应腔室41外壁的冷却水流量。每一个分支可以通过软管接在反应腔室的冷却水入口，反应腔室41的外壁会有空间用来流冷却水，类似与一个圆环形状，以使反应腔室41内的温度达到标准值。之后每一支路会汇集到冷却管30中，冷却管30上依次设置单向阀45和蝴蝶阀46，之后连接出水口20，冷却水排到厂务端。

冷却系统主要存在以下问题：1、进水口与厂务端直接相连，冷却水受厂务端供水量的影响，当厂务端冷却水流量不稳定时，流经机台中的冷却水就会受影响，流量不稳定，从而影响到机台中器件的冷却效果，对制程中的晶圆造成影响，甚至缩短器件的使用寿命；2、系统中没有监测组件和报警组件，无法预知厂务端水量降低；3、采用针型阀控制冷却系统中流经反应腔室外壁的冷却水的流量，针型阀控制流量精确度较低。

本公开实施例提供一种冷却系统，包括设置于设备内的冷却管，冷却管内流经的冷却媒介用于冷却所述设备，以维持所述设备内的温度；设置于所述冷却管上的第一阀门、第二阀门和第三阀门，底部与所述冷却管连通的存储腔；其中，所述存储腔；用于存储所述冷却媒介；所述第一阀门，位于所述冷却管的进水口与所述存储腔之间；所述第二阀门，位于所述存储腔与所述设备内的待冷却对象之间；所述第三阀门，位于所述冷却管的出水口与所述待冷却对象之间，且第一阀门和第三阀门均为单向阀门。

这里，冷却媒介可以是水，水的比热容较大能够稳定温度，可以配合设备中的加热组件共同保持反应腔室内的温度稳定。冷却媒介当然也可以是乙醇和水的混合液、甘油、气体等。设备可以是半导体机台，也可以是真空镀膜、磁控溅射、蒸馏等设备。待冷却对象可以是机台中的反应腔室，也可以是蒸馏设备中的蒸馏瓶等。

冷却管可以是金属材质或者塑料材质；第一阀门的材质可以选取黄铜等耐腐蚀、耐氧化的材质，也可选取如铸铁等金属材质。第二阀门和第三阀门的材质可以与第一阀门的材质相同，也可以不同。存储腔的形状可以是方形、柱形或其它形状，存储腔的材质可以是耐腐蚀、耐氧化的材质，例如不锈钢等。

下面结合图1b对本实施例提供的一种冷却系统进行说明。如图1b所示，冷却系统包括设置于设备101内的冷却管102，冷却管102内流经的冷却媒介103会流经设备101，带走设备101中的热量，以维持设备101内的温度，使设备101内的反应正常进行或者使设备101中制备的产品良率提高；设置于冷却管102上的第一阀门104、第二阀门105和第三阀门106，底部与冷却管102连通的存储腔107；其中，存储腔107；用于存储冷却媒介103，在进水口108处冷却媒介103流量过大或过小时，减小其对设备101中冷却媒介103流量的影响；第一阀门104是单向阀门，位于冷却管102的进水口108与存储腔107之间，用于防止存储腔107中的冷却媒介103倒流回进水口108；第二阀门105，位于存储腔107与设备101内的待冷却对象110之间，第二阀门105可以是蝴蝶阀，方便在检查设备101时控制冷却管102的连通与关闭；第三阀门106为单向阀门，位于冷却管102的出水口109与待冷却对象之间110，用于防止冷却媒介103倒流。图1b中的箭头方向代表冷却媒介流经方向。本公开实施例中，设备可以是真空镀膜设备，冷却媒介可以是水。

本公开实施例中，首先，与冷却管连通的存储腔，可以用于存储冷却媒介；其次，由于在冷却管的进水口和存储腔之间设置单向阀门，这样可以使存储腔内的冷却媒介不会倒流回进水口，而是流向设备中；最后，在冷却管的进水口与存储腔之间设置单向阀门，这样可以使流经过设备的冷却媒介不倒流至设备中，从而可以提高冷却效果。如此，一方面，当供应端冷却媒介流量不稳定时，存储在存储腔中的冷却媒介会调节流经待冷却对象的冷却媒介的流量，使得流经待冷却对象的冷却媒介的流量不会随供应端冷却媒介流量的增大(或减小)而增大(减小)，即流经待冷却对象的冷却媒介的流量保持稳定，也就是说本公开实施例中的冷却系统可以减小冷却媒介供应端的冷却媒介流量对设备中待冷却对象的冷却效果的影响，当供应端冷却媒介流量不稳定时，流经设备中的冷却媒介不会受影响，流量可以保持稳定，从而不会影响到设备中待冷却对象的冷却效果；另一方面，由于设备中待冷却对象的冷却效果得到改善，制程中的温度会处于目标温度范围内，从而设备不会发生因温度不在目标范围内而报警，使得制程中断，因此，本公开实施例设备中的制程连续性好，产品良率高、寿命长。

在一些实施例中，所述冷却管的管壁至少为部分所述存储腔的底部，或所述存储腔的底部通过连通管与所述冷却管连接。如图1b所示，冷却管102的管壁充当存储腔107的底部，即存储腔与冷却管是一体的，这样方便加工。如图1c所示，存储腔107的底部通过连接管与冷却管102连接，这样方便拆卸存储腔，并对其进行清洗。在一些实施例中，可以在连接管上设置阀门，当检测到进水口处的冷却媒介流量稳定时，例如流量在预设范围内例如2.5加减(±)0.5升每分钟(L/min)、3.5±0.5L/min、7.0±1.0L/min或其他预设范围内时，将阀门关闭，在流量不在预设范围内时打开阀门，以使设备中的冷却媒介流量稳定在预设范围内。

本公开实施例提供一种冷却系统，所述系统包括：设置于设备内的冷却管，冷却管内流经的冷却媒介用于冷却所述设备，以维持所述设备内的温度；设置于所述冷却管上的第一阀门、第二阀门和第三阀门，底部与所述冷却管连通的存储腔；其中，所述存储腔；用于存储所述冷却媒介；所述第一阀门，位于所述冷却管的进水口与所述存储腔之间；所述第二阀门，位于所述存储腔与所述设备内的待冷却对象之间；所述第三阀门，位于所述冷却管的出水口与所述待冷却对象之间，且第一阀门和第三阀门均为单向阀门；位于所述存储腔中的液位检测组件，用于检测所述存储腔中所述冷却媒介的液位。

这里液位检测组件可以是液位计、水位传感器、液位变送器，可以是接触式的，例如，单法兰静压/双法兰差压液位变送器，浮球式液位变送器，磁性液位变送器，投入式液位变送器，电动内浮球液位变送器，电动浮筒液位变送器，电容式液位变送器，磁致伸缩液位变送器，伺服液位变送器；也可以是非接触式的，例如超声波液位变送器，雷达液位变送器等等。本领域技术人员可以根据需要选择，这里并不限定。

下面结合图2a对本公开实施例中提供的冷却系统进行说明，如图2a所示，冷却系统包括设置于设备101内的冷却管102，冷却管102内流经的冷却媒介103流经设备101，以维持设备101内的温度，使设备内的反应正常进行或者使设备中制备的产品良率提高；设置于冷却管上的第一阀门104、第二阀门105和第三阀门106，底部与冷却管102连通的存储腔107；其中，

存储腔107，用于存储冷却媒介103。

第一阀门104是单向阀门，位于冷却管102的进水口108与存储腔107之间，用于防止存储腔107中的冷却媒介103倒流。

第二阀门105，位于存储腔107与设备101内的待冷却对象110之间，第二阀门105可以是蝴蝶阀，方便在检查设备101时控制冷却管102的连通与关闭。

第三阀门106为单向阀门，位于冷却管102的出水口109与待冷却对象之间110，用于防止冷却媒介103倒流。

位于存储腔107中的液位检测组件111，用于检测存储腔107中冷却媒介103的液位。

该系统还包括控制组件(图2a未示出，可以参考图2b)，控制组件在确定液位较低的时候输出提醒信息，以提示进水口处的冷却媒介流量出现波动，处于不稳定的状态，产线的工程师可以及时采取措施，提高制程的连续性。

在一些实施例中，如图2b所示，该冷却系统还包括控制组件112，控制组件112位于冷却管102的管壁外，用于控制第一阀门104、第二阀门105和第三阀门106的接通与关闭。在一些实施例中，控制组件还可以设置在待冷却对象上，还可以位于设备外，这里并不限制控制组件的位置。

在一些实施例中，如图2b所示，该冷却系统还包括报警组件113，用于发出报警信息；控制组件112，还用于在液位检测组件111检测到冷却媒介103的液位低于第一液位线时，控制报警组件113发出报警信息。

这里，第一液位线可以是预先设定的一个点值，也可以是一个范围值，例如，可以是存储腔高度的一半，或者是存储腔高度的二分之一至四分之三。

这里，报警组件可以是控制面板、喇叭、麦克风、指示灯或者其他合适的组件。报警信息可以是显示在控制面板上的信息，例如“液位低”等类型的消息，也可以是通过网络连接发送给远程终端控制上的信息，还可以是通过喇叭、麦克风播放出来的报警信息，还可以是指示灯发出的报警信息。这样，在产线的工程师看到或者接收到报警信息时，可以及时采取措施，减小对制程的影响，提高制程的连续性。

在一些实施例中，所述冷却系统还包括流量检测控制器，用于检测并控制所述冷却媒介经过所述待冷却对象时所述冷却媒介的流量。其中，流量检测控制器为液体流量控制器(Liquid Flow Controller，LFC)，可以将流量控制在设定值的±1％范围内，响应速度快，可以实现液体流量的精确控制。

本公开实施例中，以设备为半导体机台、待冷却对象为反应腔室、冷却媒介为冷却水为例进行说明。参见图3，本公开实施例中的冷却系统包括：

设置于半导体机台101内的冷却管102，冷却管102内流经的冷却水103流经半导体机台101，以维持半导体机台101内的温度。

设置于冷却管102上的第一阀门104、第二阀门105和第三阀门106，底部与冷却管102连通的存储腔107。

位于存储腔107右壁上的液位检测组件111；位于冷却管102管壁下端的控制组件112和报警组件113。其中，

存储腔107，用于存储冷却水103。

第一阀门104，位于冷却管102的进水口108与存储腔107之间。

第二阀门105，位于存储腔107与反应腔室110之间。

第三阀门106，位于冷却管102的出水口109与反应腔室110之间，且第一阀门104和第三阀门106均为单向阀门。

冷却管102包括三个冷却分支管1021、1022和1023；冷却分支管1021、1022和1023上都设置于每一反应腔室110的外表面，且冷却分支管1021、1022和1023上都设置有流量检测控制器114。

液位检测组件111，用于检测存储腔107中冷却水103的液位。

报警组件113，用于发出报警信息。

控制组件112，用于控制第一阀门104、第二阀门105和第三阀门105的接通与关闭；还用于在液位检测组件111检测到冷却水103的液位低于第一液位线时，控制报警组件113发出报警信息。

这样，厂务端水流量不稳定时，只会影响到存储腔中水位的变化，由于第一阀门的存在，冷却水不会倒流回厂务端，此时存储腔中的冷却水会供应到机台中反应腔室外壁设置的冷却管中，当厂务端冷却水流量不稳定时，例如流量过小，机台中流经的冷却水流量仍能保持稳定，机台也不会因厂务端冷却水流量不稳而发生报警，因此制程中的半导体晶圆或者衬底仍可正常进行，不会影响制程稳定性。

图3中示出了冷却管包括3个冷却分支管，在其他实施例中冷却分支管可以包括一个、两个或者多个，可以根据待冷却对象的数量进行设置。在其他实施例中，液位检测组件、报警组件和控制组件也可以根据需要设置在其他位置。

在一些实施例中，所述存储腔的大小为0.5至3立方米(m ³)，例如可以为1m ³，在实施时，在占位空间适当的基础上，存储腔的尺寸可以根据设备所需量身定制，从而满足不同需求。

在一些实施例中，所述冷却系统还包括：第四阀门，位于所述第二阀门与所述第三阀门之间，和/或，第五阀门，位于所述冷却管的出水口和所述第三阀门之间。这里，第四阀门可以是供水阀，作用可以是调控冷却媒介流量的大小，使其在流量满足我们的需求。第五阀门可以是蝴蝶阀，在检查设备时方便控制冷却管的连通与关闭。

在一些实施例中，该冷却系统可以只包括第四阀门，位于所述第二阀门与所述第三阀门之间。

在一些实施例中，该冷却系统可以只包括第五阀门，位于所述冷却管的出水口和所述第三阀门之间。

在一些实施例中，如图3所示，冷却系统可以同时包括第四阀门115，第四阀门115位于第二阀门105与第三阀门106之间；第五阀门116，位于冷却管102的出水口109和第三阀门106之间。第四阀门115可以调控冷却水流量的大小，使其流量满足需求。第五阀门116可以在检查设备或者维修时，连通或者关闭冷却管102，方便检查和维修。

在一些实施例中，所述存储腔的材质为不锈钢；所述第一至第五阀门中至少所述第一阀门的材质包括以下至少之一：黄铜、铸铁。

本公开实施例提供一种冷却系统的使用方法，应用于上述实施例中的冷却系统，冷却系统可以参考图1b。

如图4所示，该方法包括步骤S401和步骤S402：

步骤S401、打开第一阀门，关闭第二阀门，使冷却媒介通过冷却管存储于存储腔。

步骤S402、在冷却媒介达到存储腔的第二液位线时，打开第二阀门和第三阀门，使冷却管内流经的冷却媒介冷却设备。

其中，第二液位线高于第一液位线，第二液位线可以是存储腔装满冷却媒介时冷却媒介的最高液位线，也可以是存储腔接近装满冷却媒介时冷却媒介的最高液位线。

在实施时，冷却水经过冷却管道后，可以先将存储腔的空间填满，第二阀门流经机台中待冷却对象，这样当厂务端冷却水流量不稳定时，只会影响到存储腔中水位的变化，由于第一阀门存在，冷却水不会倒流回厂务端，当厂务端冷却水流量不稳定时，例如流量过小，机台中流经的冷却水流量仍能保持稳定，机台也不会因厂务冷却水流量不稳而发生报警，因此制程中的半导体晶圆或者衬底仍可正常进行，不会影响制程稳定性。

在一些实施例中，所述系统还包括控制组件；步骤S401包括：

通过控制组件打开第一阀门，关闭第二阀门，使冷却媒介通过冷却管存储于存储腔；

步骤S402包括：在冷却媒介达到存储腔的第二液位线时，通过控制组件打开第二阀门和第三阀门，使冷却管内流经的冷却媒介冷却设备。其中，当存储腔中的冷却媒介达到第二液位线时，可以表示冷却媒介已经填充满存储腔。如此，可以实现自动化控制，减少用户参与，提升用户体验感。

在一些实施例中，所述系统还包括液位检测组件和报警组件；所述方法还包括步骤S403和步骤S404：

步骤S403、通过液位检测组件检测存储腔中冷却媒介的液位；

步骤S404、在冷却媒介的液位低于第一液位线时，通过控制组件控制报警组件发出报警信息。如此，在液位较低的时候报警，提示进水口处的冷却媒介流量出现波动，处于不稳定的状态，产线的工程师可以及时采用措施，提高制程的连续性。

在一些实施例中，所述设备中包括至少一个待冷却对象；所述系统还包括位于所述冷却管上的流量检测控制器；

所述方法还包括：

步骤S407、通过流量检测控制器检测并控制冷却媒介经过待冷却对象时冷却媒介的流量。

本公开实施例提供一种冷却系统的使用方法，应用于如图3的冷却系统中。如图5所示，该方法包括：

步骤S501、通过控制组件打开第一阀门，关闭第二阀门，使冷却媒介通过冷却管存储于存储腔。

步骤S502、在冷却媒介达到存储腔的第二液位线时，通过控制组件打开第二阀门和第三阀门，使冷却管内流经的冷却媒介冷却设备。

步骤S503、通过液位检测组件检测存储腔中冷却媒介的液位。

步骤S504、在冷却媒介的液位低于第一液位线时，通过控制组件控制报警组件发出报警信息。

步骤S505、通过每一冷却分支管上的流量检测控制器检测并控制冷却媒介经过待冷却对象时冷却媒介的流量。

在一些实施例中，所述存储腔的大小为0.5至3m ³。

在本公开所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的设备和方法，可以通过非目标的方式实现。以上所描述的设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，如：多个单元或组件可以结合，或可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另外，所显示或讨论的各组成部分相互之间的耦合、或直接耦合。

上述作为分离部件说明的单元可以是、或也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是、或也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，也可以分布到多个网络单元上；可以根据实际的需要选择其中的部分或全部单元来实现本实施例方案的目的。

本公开所提供的几个方法或设备实施例中所揭露的特征，在不冲突的情况下可以任意组合，得到新的方法实施例或设备实施例。

以上所述，仅为本公开实施例的一些实施方式，但本公开实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开实施例揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开实施例的保护范围之内。因此，本公开实施例的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

工业实用性

本公开实施例中，冷却系统包括：设置于设备内的冷却管，所述冷却管内流经的冷却媒介用于冷却所述设备，以维持所述设备内的温度；设置于所述冷却管上的第一阀门、第二阀门和第三阀门，底部与所述冷却管连通的存储腔；其中，所述存储腔；用于存储所述冷却媒介；所述第一阀门，位于所述冷却管的进水口与所述存储腔之间；所述第二阀门，位于所述存储腔与所述设备内的待冷却对象之间；所述第三阀门，位于所述冷却管的出水口与所述待冷却对象之间，且第一阀门和第三阀门均为单向阀门。通过在冷却管上设置第一阀门、第二阀门和第三阀门以及底部与冷却管连通的存储腔；其中，存储腔；用于存储冷却媒介；第一阀门，位于冷却管的进水口与存储腔之间；第二阀门，位于存储腔与设备内的待冷却对象之间；第三阀门，位于冷却管的出水口与待冷却对象之间，且第一阀门和第三阀门均为单向阀门。如此，可以减小冷却媒介供应端的冷却媒介流量对设备中待冷却对象的冷却效果的影响，当供应端冷却媒介流量不稳定时，流经设备中的冷却媒介不会受影响，流量可以保持稳定，从而不会影响到设备中待冷却对象的冷却效果，设备中的制程连续性好，产品良率高、寿命长。

Claims

一种冷却系统，包括：

设置于设备内的冷却管，所述冷却管内流经的冷却媒介用于冷却所述设备，以维持所述设备内的温度；

设置于所述冷却管上的第一阀门、第二阀门和第三阀门，底部与所述冷却管连通的存储腔；其中，

所述存储腔；用于存储所述冷却媒介；

所述第一阀门，位于所述冷却管的进水口与所述存储腔之间；

所述第二阀门，位于所述存储腔与所述设备内的待冷却对象之间；

所述第三阀门，位于所述冷却管的出水口与所述待冷却对象之间，且所述第一阀门和所述第三阀门均为单向阀门。
根据权利要求1所述的系统，其中，所述冷却管的管壁至少为部分所述存储腔的底部，或所述存储腔的底部通过连通管与所述冷却管连接。
根据权利要求2所述的系统，还包括：位于所述存储腔中的液位检测组件，用于检测所述存储腔中所述冷却媒介的液位。
根据权利要求3所述的系统，还包括控制组件，用于控制所述第一阀门、所述第二阀门和所述第三阀门的接通与关闭。
根据权利要求4所述的系统，还包括报警组件，用于发出报警信息；

所述控制组件，还用于在所述液位检测组件检测到所述冷却媒介的液位低于第一液位线时，控制所述报警组件发出报警信息。
根据权利要求1至5任一项所述的系统，还包括：流量检测控制器，用于检测并控制所述冷却媒介经过所述待冷却对象时所述冷却媒介的流量。
根据权利要求6所述的系统，其中，所述设备为半导体机台，所述待冷却对象为反应腔室；所述冷却管包括至少一个冷却分支管；

每一所述冷却分支管设置于每一所述反应腔室的外表面，且每一所述冷却分支管上设置有流量检测控制器。
根据权利要求1至5任一项所述的系统，其中，所述存储腔的大小为0.5至3m ³。
根据权利要求7所述的系统，还包括：第四阀门，位于所述第二阀门与所述第三阀门之间，和/或，第五阀门，位于所述冷却管的出水口和所述第三阀门之间。
根据权利要求9所述的系统，其中，所述存储腔的材质为不锈钢；

所述第一至第五阀门中至少所述第一阀门的材质包括以下至少之一：黄铜、铸铁。
一种冷却系统的使用方法，应用于如权利要求1所述的冷却系统，所述方法包括：

打开所述第一阀门，关闭所述第二阀门，使所述冷却媒介通过所述冷却管存储于所述存储腔；

在所述冷却媒介达到所述存储腔的第二液位线时，打开所述第二阀门和所述第三阀门，使所述冷却管内流经的所述冷却媒介冷却所述设备。
根据权利要求11所述的方法，其中，所述系统还包括控制组件；

打开所述第一阀门，关闭所述第二阀门，使所述冷却媒介通过所述冷却管存储于所述存储腔，包括：通过所述控制组件打开所述第一阀门，关闭所述第二阀门，使所述冷却媒介通过所述冷却管存储于所述存储腔；

在所述冷却媒介达到所述存储腔的第二液位线时，打开所述第二阀门和所述第三阀门，使所述冷却管内流经的所述冷却媒介冷却所述设备，包括：在所述冷却媒介达到所述存储腔的第二液位线时，通过所述控制组件打开所述第二阀门和所述第三阀门，使所述冷却管内流经的所述冷却媒介冷却所述设备。
根据权利要求12所述的方法，所述系统还包括液位检测组件和报警组件；所述方法还包括：

通过所述液位检测组件检测所述存储腔中所述冷却媒介的液位；

在所述冷却媒介的液位低于第一液位线时，通过所述控制组件控制所述报警组件发出报警信息。
根据权利要求11至13任一项所述的方法，其中，所述设备中包括至少一个待冷却对象；所述系统还包括位于所述冷却管上的流量检测控制器；所述方法还包括：

通过所述流量检测控制器检测并控制所述冷却媒介经过所述待冷却对象时所述冷却媒介的流量。
根据权利要求14所述的方法，其中，所述设备为半导体机台，所述待冷却对象为反应腔室；所述冷却管包括至少一个冷却分支管，每一所述冷却分支管设置于每一所述反应腔室的外表面，且每一所述冷却分支管上设置有所述流量检测控制器。
根据权利要求15所述的方法，其中，所述存储腔的大小为0.5至3m ³。