CN102899631A - 卷对卷ito膜的退火系统和方法 - Google Patents
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Abstract
提供了一种用于触控面板的涂覆有诸如ITO材料的透明电极材料的膜的退火处理系统。具体地,本发明构造为包括:展开装置,该展开装置包括第一卷绕辊,涂覆有透明电极材料的膜材料绕第一卷绕辊卷绕;红外线加热模块,该红外线加热模块使用红外线加热器在从第一卷绕辊装载的膜材料上进行退火处理;以及卷绕装置,该卷绕装置包括第二卷绕辊,通过红外线加热模块的膜材料绕第二卷绕辊卷绕。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于涂覆有诸如用于触控面板的ITO材料之类的透明电极材料的膜的退火处理系统。
背景技术
触摸窗是安装在图像显示装置——诸如阴极射线管(CRT)、液晶显示器(LCD)、场发射显示器(FED)、等离子显示器(PDP)和电致发光器件(ELD)等——的显示表面上而通过允许用户在观看图像显示装置的同时按压触摸窗(面板)来向计算机输入预定信息的设备。
图1和图2示出了电容式触控面板的主要部件。图1是多层粘合结构的平面图,而图2是沿图1的线X截取的横截面图。参照图1和图2,触控面板总体具有如下结构:上OCA 50粘附在透明窗10下面,上电极层40(ITO)粘附在上OCA 50下面,下OCA 30粘附在上电极层40下面,下电极层20粘附在下OCA 30下面,液晶面板(LCD)60粘附在下电极层20下面。通过将各种层相互粘结而形成的触摸屏面板(TSP)包括粘结区域C,在粘结区域C中,通过切割如上文描述的上OCA 50、上电极层(ITO)40和下OCA 30而露出连接衬垫P,以与FPCB模块粘结。
在上述结构中,上电极层(ITO)40和下电极层20一般使用涂覆有ITO的膜。该涂覆有ITO的膜被切割为预定片材,装入电加热式干燥炉内,随后经受使膜暴露于140℃至160℃的温度下的退火处理,从而防止在处理过程中沉积的薄膜ITO热收缩并且稳定沉积的薄膜ITO的晶体结构。然而,退火处理消耗60至90分钟的处理时间,从而导致片材受热而卷曲和发黄。
发明内容
本发明的一方面针对退火系统和方法,通过采用红外线加热方法而非应用于触控面板的ITO膜的退火处理的加热方法对ITO沉积层应用直接加热传送方法并且通过在不将膜切割为片材单元的情况下将处于卷进状态的原材料直接插入处理过程的卷对卷方法使处理效率最大化,该退火系统和方法能够缩短处理时间。
此外,本发明的另一方面针对退火系统和方法,借助于包括真空吸附滚筒而去除容易导致膜的传送部分中的ITO膜的热收缩的高温条件,该退火系统和方法能够防止膜由于在膜的输送或传送过程中产生的张紧力而被过度拉伸。
根据本发明的实施方式,提供了一种用于透明涂覆膜的退火系统,其包括:展开装置,所述展开装置包括第一卷绕辊,涂覆有透明电极材料的膜材料绕所述第一卷绕辊卷绕;红外线加热模块,所述红外线加热模块使用红外线加热器在从所述第一卷绕辊载入的所述膜材料上进行退火处理;以及卷绕装置,所述卷绕装置包括第二卷绕辊,经过所述红外线加热模块的所述膜材料绕所述第二卷绕辊卷绕。所述退火系统可以进一步包括封闭环形带式的传送模块,所述传送模块从所述展开装置向所述卷绕装置传送所述膜材料。所述退火系统可以进一步包括至少一个真空吸附滚筒,所述至少一个真空吸附滚筒设置在与所述传送模块间隔开的位置,以暂时地吸附所述膜材料,由此去除由所述展开装置和所述卷绕装置所产生的张紧力。
与借助于通过将膜切割为片材单元的电加热方法进行退火处理的相关技术的过程不同,通过此构造,借助于采用红外线加热方法而非使用如应用于触控面板的ITO膜的退火处理的加热方法对ITO沉积层应用直接加热传送方法,并且借助于应用在不将膜切割为片材单元的情况下将处于卷进状态的原材料直接插入处理过程的卷对卷方法使处理效率最大化,本发明示例性实施方式可以缩短处理时间。
附图说明
根据以下结合附图进行的描述,本发明一些示例性实施方式的上述和其他方面、特征和优点将变得更清楚,图中:
图1是根据相关技术的触摸窗的横截面图;
图2是根据相关技术的触摸窗的平面图;
图3是根据本发明示例性实施方式的退火系统的总体构造的框图;
图4是实施根据本发明示例性实施方式的退火系统的图示;
图5是用于说明根据本发明示例性实施方式的真空吸附滚筒的构造的横截面图。
<附图标记>
100:展开装置 110:第一卷绕辊
200:真空吸附滚筒
210:第一真空吸附辊
220:第二真空吸附辊
300:红外线加热模块
310:红外线加热器
400:传送模块
410:传送带
500:卷绕装置
具体实施方式
下面将参照附图详细描述本发明的示例性实施方式。只要可能,在整个说明书中,将用相同的附图标记指代相同的元件,并且将省略对其重复描述。可以理解,尽管本文使用了术语“第一”、“第二”等来描述不同元件,但这些元件不应受到这些术语的限制。这些术语仅用于将元件彼此区域分开。
本发明的示例性实施方式是为了提供涉及退火系统和方法的技术,该退火系统和方法能够使施加至膜的张紧力最小,同时在不将膜切割成预定尺寸的情况下在卷进状态下为涂覆有用于触摸窗的透明电极材料的膜退火。
参照图3和图4,图3示出了整个系统的构造图,图4示出了根据本发明示例性实施方式的退火系统的一个实施示例。
参照图3和图4,根据本发明示例性实施方式的用于透明电极涂覆膜的退火系统(下文称为“本系统”)可以构造为包括展开装置100、红外线加热模块300和卷绕装置500,展开装置100包括第一卷绕辊110,涂覆透明电极材料的膜材料绕第一卷绕辊110卷绕,红外线加热模块300使用红外线加热器310在从卷绕辊110载入的膜材料上进行退火处理,卷绕装置500包括第二卷绕辊510,通过红外线加热模块300的膜材料绕第二卷绕辊510卷绕。此外,本系统可以进一步包括将膜材料传送至卷绕装置500的封闭环形带式传送模块400。具体地,本系统可以进一步包括至少一个真空吸附滚筒210和220,该至少一个真空吸附滚筒210和220设置在与传送模块400间隔开的位置而暂时地吸附膜材料,由此去除由展开装置100和卷绕装置500产生的张紧力。
将参照图3和图4描述本系统的详细构造和操作。
用于本发明示例性实施方式的膜材料F全体指具有涂覆有用于触控面板的透明电极材料的结构的膜材料。此处,可以将铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)和氧化锌(ZnO)中的任一者用作透明电极材料,而膜材料可以是由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、聚醚砜(PES)、聚酰亚胺(PI)和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)制成的膜。
展开装置100指的是包括第一卷绕辊110、驱动单元(未示出)、供电单元(未示出)等的装备,膜材料F绕第一卷绕辊110卷绕成卷,驱动单元使第一卷绕辊旋转。
第一卷绕辊110与第二卷绕辊510成对设置用于连续制程,在最终经受退火之后,膜材料F绕第二卷绕辊510卷绕成膜材料F卷绕的状态。
从第一卷绕辊110展开的膜材料F被传送至设置红外线加热模块300的红外线加热区域,红外线加热模块300使用红外线加热器310直接对涂覆于膜材料F的表面上的透明电极材料进行退火处理。膜材料F通过红外线加热模块300的移动可以借助于传送模块400执行。
传送模块400可以构造为包括带式封闭环形传送带410,从而减少由于膜材料F本身的张紧力或载荷所产生的重力作用。
当膜材料F基本被从展开装置100装载而进入红外线加热模块300时,传送模块400可以以预定速度移动置于传送带410的顶面上的膜材料F。在此情况下,可以将从展开装置100装载的膜材料F设置在展开装置100和卷绕装置500上的直线路上,从而以膜材料F设置在传送带410的上部区域中的状态传送膜材料F。此外,可以使用经受过抗导电(electric resistance)处理和耐热处理的传送带。
红外线加热模块300可以基本上包括可包括多个红外线加热器310和驱动红外线加热器310的供电装置(未示出)的装备。用来自红外线加热器310的红外线加热根据本发明的红外线加热模块300的空间由“红外线加热区域”限定。
当膜材料F在传送带410上输送以通过红外线加热区域时,可以使用具有红外波段的加热器为涂覆在膜材料F的顶面上的透明电极材料(例如,ITO之类)直接供热,从而可以在处理过程中防止膜材料的热收缩,并且稳定具有沉积薄膜结构的透明电极材料的晶体结构。
具体地,在本发明示例性实施方式中,将真空吸附滚筒210和220设置在与传送模块间隔开的位置以暂时地吸附膜材料,由此去除由展开装置和卷绕装置产生的张紧力。
在图4中示出的结构中,真空吸附滚筒可以构造为包括至少一个第一真空吸附滚筒210和至少一个第二真空吸附滚筒220,该至少一个第一真空吸附滚筒210设置在第一卷绕辊110与传送模块400之间,该至少一个第二真空吸附滚筒220设置在第二卷绕辊510与传送模块400之间。
真空吸附滚筒通过施加预定吸附力而延缓膜材料F的移动速度,从而基本上防止膜由于展开装置与卷绕装置之间的张紧力而过度拉伸,而且真空吸附滚筒可以进行无张紧力传送以便在膜材料在如所示出的结构中被传送至红外线加热模块300之前形成备用部分X和Y。
图5示出了参照图4描述的上述真空吸附滚筒的构造。在示出的结构中,真空吸附滚筒包括滚筒表面上的多个吸附滚筒道201,该多个吸附滚筒道201与滚筒内的真空吸附管路202连通,以便将膜材料吸附于滚筒表面。施加至真空吸附管路202的吸附力可以借助于吸气装置或者真空泵产生。
使用图3和图4中示出的本系统在涂覆有透明电极材料的膜材料上进行的退火处理将概述如下。
首先,可以通过从包括涂覆有透明电极材料的膜材料绕其卷绕的第一卷绕辊的展开装置向红外线加热模块供给膜材料,随后用来自红外线加热模块的红外线加热膜材料的顶部而进行退火处理,并且可以实施绕第二卷绕辊卷绕膜材料的过程。
在此情况下,借助于传送模块和真空吸附滚筒的构造,可以执行无张紧力传送。详细地,膜材料吸被附至设置在展开装置与红外线加热模块之间的第一真空吸附滚筒,并且通过该无张紧力传送方法传送至红外线加热模块,经受退火处理的膜材料可以被吸附至设置在红外线加热模块和第二卷绕辊之间的第二真空吸附滚筒,而且可以通过该无张紧力传送方法传送并绕第二卷绕辊卷绕。
此外,使用红外线加热模块直接使透明电极材料经受退火,由此增加处理效率。详细地,膜材料在封闭环形带式传送模块的顶部上被供给至传送带,并且置于传送带上的膜材料依传送带的旋转而移动,并且可以使用红外线实施退火处理。
如上所述,通过使用红外线加热方法而非使用如应用于触控面板的ITO膜的退火处理的加热方法对ITO沉积层应用直接加热传送方法,并且通过在不将膜切割为片材单元的情况下应用将处于卷进状态的原材料直接插入处理过程的卷对卷方法使处理效率最大化,本发明的示例性实施方式可以缩短处理时间。
具体地,通过包括真空吸附滚筒而去除容易导致膜的传送部分中的ITO膜的热收缩的高温条件,本发明示例性实施方式可以防止膜由于在膜传送或传输过程中产生的张紧力而被过度拉伸。
尽管已经参照本发明的示例性实施方式示出并描述了本发明,但本领域普通技术人员可以理解,在不脱离由所附权利要求限定的本发明的精神和范围的情况下,可以对本发明做出形式和细节上的各种改变。因此,本发明的范围不是由本发明的具体实施方式部分限定而是由所附权利要求限定,且在该范围内的所有变型都可以理解为包括在本发明以内。
Claims (15)
1.一种用于透明电极涂覆膜的退火系统,包括:
展开装置,所述展开装置包括第一卷绕辊,涂覆有透明电极材料的膜材料绕所述第一卷绕辊卷绕;
红外线加热模块,所述红外线加热模块使用红外线加热器在从所述第一卷绕辊载入的所述膜材料上进行退火处理;以及
卷绕装置,所述卷绕装置包括第二卷绕辊,经过所述红外线加热模块的所述膜材料绕所述第二卷绕辊卷绕。
2.如权利要求1所述的系统,进一步包括封闭环形带式的传送模块,所述传送模块从所述展开装置向所述卷绕装置传送所述膜材料。
3.如权利要求2所述的系统,其中,
所述传送模块被设置在设置于所述红外线加热模块中的红外线加热区域内,并且
从所述展开装置载入的所述膜材料设置在介于所述展开装置与所述卷绕装置之间的直线路上,以便在所述膜材料设置在传送带的上部区域中的状态下传送所述膜材料。
4.如权利要求3所述的系统,其中,所述传送带是经受抗导电处理和耐热处理的封闭式环形带。
5.如权利要求2所述的系统,进一步包括至少一个真空吸附滚筒,所述至少一个真空吸附滚筒设置在与所述传送模块间隔开的位置,以暂时地吸附所述膜材料,由此去除由所述展开装置和所述卷绕装置所产生的张紧力。
6.如权利要求5所述的系统,其中,所述真空吸附滚筒包括:
至少一个第一真空吸附滚筒,所述至少一个第一真空吸附滚筒设置在所述第一卷绕辊与所述传送模块之间;
至少一个第二真空吸附滚筒,所述至少一个第二真空吸附滚筒设置在所述第二卷绕辊与所述传送模块之间。
7.如权利要求5所述的系统,其中,所述真空吸附滚筒具有在滚筒表面上包括多个吸附孔的结构,所述多个吸附孔与滚筒内的真空吸附管路连通。
8.如权利要求7所述的系统,其中,所述透明电极材料是铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)和氧化锌(ZnO)中的任一者。
9.如权利要求8所述的系统,其中,所述膜材料由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、聚醚砜(PES)、聚酰亚胺(PI)和聚甲基丙烯酸甲酯中的任一者制成。
10.一种用于透明电极涂覆膜的退火方法,包括:
从展开装置向红外线加热模块供给膜材料,所述展开装置包括第一卷绕辊,所述第一卷绕辊上卷绕有涂覆有透明电极材料的所述膜材料;
通过来自所述红外线加热模块的加热红外线对所述膜材料的上部进行退火处理;以及
绕第二卷绕辊卷绕所述膜材料。
11.如权利要求10所述的方法,其中,从所述展开装置向所述红外线加热模块供给所述膜材料的步骤将所述膜材料吸附于设置在所述展开装置与所述红外线加热模块之间的第一真空吸附滚筒,从而通过无张紧力传送方法将所述膜材料传送至所述红外线加热模块。
12.如权利要求11所述的方法,其中,
通过加热红外线进行所述退火处理的步骤将所述膜材料通过所述真空吸附滚筒供给至封闭环形带式传送模块上的传送带的上部,并且
随着所述传送带的旋转而移动置于所述传送带上的所述膜材料,并且利用所述红外线加热进行加热。
13.如权利要求12所述的方法,其中,绕所述第二卷绕辊卷绕所述膜材料是这样的过程:将所述膜材料吸附于设置在所述红外线加热模块与所述第二卷绕辊之间的第二真空吸附滚筒,并且通过无张紧力传送方法传送并绕所述第二卷绕辊卷绕所述膜材料。
14.如权利要求13所述的方法,其中,所述第一真空吸附滚筒或者所述第二真空吸附滚筒形成在滚筒的表面上的多个吸附孔上,以便通过所述滚筒中形成的真空吸附力吸附所述膜材料。
15.如权利要求13所述的方法,其中,所述第一真空吸附滚筒和所述第二真空吸附滚筒借助于吸气装置或者真空泵在所述滚筒内形成所述真空吸附力。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130130 |