CN102836657B - 一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站 - Google Patents
一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102836657B CN102836657B CN201110165269.1A CN201110165269A CN102836657B CN 102836657 B CN102836657 B CN 102836657B CN 201110165269 A CN201110165269 A CN 201110165269A CN 102836657 B CN102836657 B CN 102836657B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mortar
- slurry
- cover plate
- slurry tank
- large cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Crushing And Grinding (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
本发明涉及一种在半导体专用设备和光伏行业中用来实现多线切割机的砂浆供给和回收储备——砂浆站。其包括支架,在支架上装配有砂浆灌,砂浆灌下部设有泄流管,在砂浆灌上部设置有大、小盖板,大、小盖板间为铰接,在大盖板上安装有伸入砂浆灌内部且位于砂浆灌中央的搅拌装置,在大盖板上安装有伸入砂浆灌内部且位于搅拌装置两侧的两个送料电泵,在大盖板上安装有用于实时监控液面高低的电子液位计,在小盖板上安装有伸入砂浆灌内部的回料用过滤器,其采用内置双层不锈钢过滤筒的袋式过滤器;所述砂浆灌整体采用不锈钢焊接结构;砂浆罐底部采用碟形截面封头结构,封头内部高度与内弧面半径之比为0.194,封头内弧面半径与封头封口直径相等;所述搅拌装置的变频电机轴和离心泵轴设为一体结构——即设为为一根轴;所述搅拌装置伸入到砂浆灌底部的搅拌桨采用和砂浆灌底部相配的圆弧形状,侧桨片与底桨片圆弧焊接连接。本发明能够在进行单晶、多晶、太阳能材料的多线切割中,实现砂浆不断供给、回收和重复过滤,能适应不同规格,不同尺寸的晶片切割。
Description
技术领域
本发明涉及一种在半导体专用设备和光伏行业中用来实现多线切割机的砂浆供给和回收储备——砂浆站。
背景技术
随着现代半导体加工工业和光伏产业的迅猛发展,新材料、新技术在半导体制造和光伏产业行业内不断涌现。更多的半导体材料需要快速高质量的切割,砂浆是切割刃料的直接载体,决定保证切割质量和切割效率的关键,而用来实现多线切割机的砂浆供给和回收储备的设备,以前仅依靠进口,其成本高、维修不便。
发明内容
本发明的目的就在于提供一种在半导体专用设备和光伏行业中用来实现多线切割机的砂浆供给和回收储备——砂浆站,其能够在进行单晶、多晶、太阳能材料的多线切割中,实现砂浆不断供给、回收和重复过滤,能适应不同规格,不同尺寸的晶片切割。
本发明的技术方案为:本发明一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站,其包括支架,在支架上装配有砂浆灌,砂浆灌下部设有用来在清洗时才打开用于清理堵塞的泄流管,在砂浆灌上部设置有大、小盖板,大、小盖板间为铰链,在大盖板上安装有伸入砂浆灌内部且位于砂浆灌中央的搅拌装置,在大盖板上安装有伸入砂浆灌内部且位于搅拌装置两侧的两个送料电泵,在大盖板上安装有用于实时监控液面高低的电子液位计,在小盖板上安装有伸入砂浆灌内部的回料用过滤器,其采用内置双层不锈钢过滤筒的袋式过滤器;所述砂浆灌整体采用不锈钢焊接结构;砂浆罐底部采用碟形截面封头结构,封头内部高度与内弧面半径之比为0.194,封头内弧面半径与封头封口直径相等;所述搅拌装置的变频电机轴和离心泵轴设为一体结构——即设为为一根轴;所述搅拌装置伸入到砂浆灌底部的搅拌桨采用和砂浆灌底部相配的圆弧形状,侧桨片与底桨片圆弧焊接连接。
本发明的有益效果为:本发明采用上述结构的有点分别是:1、本发明采用变频电机轴与离心泵轴一体结构,叶轮更换方便,流量大,流速快。2、本发明采用圆弧形搅拌桨,浆片面积增大,搅拌效率高,侧浆片与底浆片圆弧焊接连接,强度高,实现了流体轴向流式和径向流式的结合,有效消除了打旋现象,对处理低、高黏度物料能力明显提高。3、本发明采用专业过滤设备,内置双层不锈钢过滤筒,在压力作用下,过滤效率高。4、砂浆罐底部采用碟形截面封头结构,封头内部高度与内弧面半径之比为0.194,封头内弧面半径与封头封口直径相等。从结构上避免切割微粒沉淀于死角,有利于中心搅拌,提高搅拌效率。5、本发明整体采用不锈钢焊接件结构,结构稳定紧凑,使用方便,成本低。总之本发明能够实现1)不断供给切割刃料;2)不断重复回收、过滤切割刃料,滤掉切割碎片及其他杂质;3)阻止切割刃料沉降,始终处于悬浮状态并且搅拌混合均匀;4)降低材料成本;5)节约人力、物力、财力;6)满足加工不同规格的晶片提供方便、简单、易于操作加工的工作平台。
本发明是多线切割机设备的集刃料供给、回收、过滤、搅拌功能于一体的分系统单元,必须跟其他分系统单元协调配合工作,但又有相对独立性,在行业中具有很高的推广价值。由于其结构紧凑,功能完备,效率高,在整台设备中占有核心地位,对提高切割效率,提高切片质量非常重要,单台设备该分系统单元每天能贡献数万元的经济效益,每年可创造上千万的经济效益。它的发明,标志着国产多线切割机的切割刃料供给、回收、过滤关键部件实现国产化和拥有自主知识产权。
附图说明
图1为本发明实施例结构示意图;
图2为本发明实施例图1的D-D向剖视示意;
图3为本发明实施例俯视结构示意图;
图4为本发明实施例中送料电泵的结构示意图;
图5为本发明实施例中搅拌棒连接搅拌桨片的示意图。
图中1. 泻流管2. 固定板 3.砂浆罐 4.由任 5.快速接头(一) 6.软管用接头(一) 7. 快速接头(二) 8. 搅拌浆片 9. 键(一) 10.滚动轴承 11. 圆螺母 12. 键(二) 13. 连接轴 14. 搅拌器锁母 15. 连接支套 16. 搅拌棒 17. 快速接头(三) 18. 快速接头(四) 19. 外方管堵 20. 三通 21. 袋式过滤器 22. 夹板 23. 小盖板 24. 进料电泵 25. 大盖板 26. 齿轮马达 27. 电子液位计 28软管用接头(二) 29.支架 30. 变频电机 31.一体轴。
具体实施方式
如附图1、2、3、4、5所示本发明为用来实现多线切割机的砂浆供给和回收储备——砂浆站,其包括支架29,在支架29上装配有砂浆灌3,所述砂浆罐3底部采用碟形截面封头结构,封头内部高度与内弧面半径之比为0.194,封头内弧面半径与封头封口直径相等,砂浆罐上部采用t4不锈钢板卷制而成圆桶并连续焊接成一体;砂浆灌3下部设有用来在清洗时才打开用于清理堵塞的泄流管1;在砂浆灌3上部设置有大、小盖板25、23,在支架29上还设有辅助支撑大、小盖板的固定板2,大、小盖板25、23间为铰接,在大盖板25上安装有伸入砂浆灌3内部且位于砂浆灌中央的搅拌装置,所述搅拌装置伸入到砂浆灌3底部的搅拌桨的搅拌桨片8采用和砂浆灌底部相配的圆弧形状,侧桨片与底桨片圆弧焊接连接,所述搅拌装置还包括装配部件键(一) 9、滚动轴承10、圆螺母11、键(二) 12、连接轴13、搅拌器锁母14、连接支套15、搅拌棒16、齿轮马达26等,其中齿轮马达26通过涡轮蜗杆传动、键连接直接驱动搅拌棒16带动搅拌桨片8搅动砂浆达到混合搅拌的目的;在大盖板25上位于搅拌装置两侧安装有伸入砂浆灌3内部的两个送料电泵24,所述送料电泵24上配装有外接软管的由任4、快速接头(一)5、软管用接头(一) 6、快速接头(二) 7;所述送料电泵24的变频电机30的轴和离心泵轴设为一体结构——即变频电机的轴和离心泵轴为一根一体轴31;在大盖板25上还安装有用于实时监控液面高低的电子液位计27,其通过测杆感应液面位置变化输出模拟信号至中央控制单元达到检测液面高低的目的,精密测杆实时检测液位,变频控制进料电泵24的电机转速使泵输出砂浆流量按设定的要求来完成;在小盖板23上安装有伸入砂浆灌内部的袋式过滤器21,在袋式过滤器21上配接有外接软管用的快速接头(三) 17、快速接头(四)18、外方管堵19、三通20等,切割室回流砂浆二次汲取通过袋式过滤器21进行精密过滤,过滤后的砂浆通过袋式过滤器21下面开口处流回砂浆罐3;本发明实施例所述砂浆灌3整体采用不锈钢焊接结构。
本发明是多线切割机设备的集刃料供给、回收、过滤、搅拌功能于一体的分系统单元,必须跟其他分系统单元协调配合工作,但又有相对独立性,在行业中具有很高的推广价值。由于其结构紧凑,功能完备,效率高,在整台设备中占有核心地位,对提高切割效率,提高切片质量非常重要,单台设备该分系统单元每天能贡献数万元的经济效益,每年可创造上千万的经济效益。
Claims (1)
1.一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站,其包括支架,在支架上装配有砂浆灌,砂浆灌下部设有泄流管,其特征在于:在砂浆灌上部设置有大、小盖板,大、小盖板间为铰接,在大盖板上安装有伸入砂浆灌内部且位于砂浆灌中央的搅拌装置,在大盖板上安装有伸入砂浆灌内部且位于搅拌装置两侧的两个送料电泵,在大盖板上安装有用于实时监控液面高低的电子液位计,在小盖板上安装有伸入砂浆灌内部的回料用过滤器,其采用内置双层不锈钢过滤筒的袋式过滤器;所述砂浆灌整体采用不锈钢焊接结构;砂浆罐底部采用碟形截面封头结构,封头内部高度与内弧面半径之比为0.194,封头内弧面半径与封头封口直径相等;所述搅拌装置的变频电机轴和离心泵轴设为一体结构——即设为为一根轴;所述搅拌装置伸入到砂浆灌底部的搅拌桨采用和砂浆灌底部相配的圆弧形状,侧桨片与底桨片圆弧焊接连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110165269.1A CN102836657B (zh) | 2011-06-20 | 2011-06-20 | 一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110165269.1A CN102836657B (zh) | 2011-06-20 | 2011-06-20 | 一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102836657A CN102836657A (zh) | 2012-12-26 |
CN102836657B true CN102836657B (zh) | 2015-01-14 |
Family
ID=47364539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201110165269.1A Expired - Fee Related CN102836657B (zh) | 2011-06-20 | 2011-06-20 | 一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102836657B (zh) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4238322A (en) * | 1978-01-18 | 1980-12-09 | Deutsche Gold- Und Silber-Scheideanstalt Vormals Roessler | Apparatus for preparation of a sprayable precipitated silicic acid suspension |
CN2140295Y (zh) * | 1992-11-13 | 1993-08-18 | 湖南省水利水电勘测设计院 | 双桶式连续制浆机 |
KR20040066539A (ko) * | 2003-01-20 | 2004-07-27 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조용 슬러리 교반 장치 |
CN201329262Y (zh) * | 2008-12-25 | 2009-10-21 | 锦州日鑫硅材料有限公司 | 浆料搅拌罐 |
CN201376317Y (zh) * | 2009-03-22 | 2010-01-06 | 刘兴才 | 砂浆搅拌机 |
CN201613119U (zh) * | 2010-01-15 | 2010-10-27 | 高佳太阳能股份有限公司 | 带有砂浆阻流器的砂浆搅拌桶 |
CN201720011U (zh) * | 2010-04-13 | 2011-01-26 | 上海超日(洛阳)太阳能有限公司 | 一种砂浆搅拌罐匀拌装置 |
CN102059068A (zh) * | 2011-01-17 | 2011-05-18 | 西安华晶电子技术有限公司 | 轴向紊流流型多线切割机用砂浆及高粘流体单轴搅拌器 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH117562A (de) * | 1926-02-27 | 1927-04-01 | Buss Ag | Stehender Rührwerkskessel mit elektrischem Einzelantrieb. |
JPH10165796A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-23 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 攪拌機及び研削装置 |
JP2001038187A (ja) * | 1999-07-29 | 2001-02-13 | Tokico Ltd | 混合装置 |
-
2011
- 2011-06-20 CN CN201110165269.1A patent/CN102836657B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4238322A (en) * | 1978-01-18 | 1980-12-09 | Deutsche Gold- Und Silber-Scheideanstalt Vormals Roessler | Apparatus for preparation of a sprayable precipitated silicic acid suspension |
CN2140295Y (zh) * | 1992-11-13 | 1993-08-18 | 湖南省水利水电勘测设计院 | 双桶式连续制浆机 |
KR20040066539A (ko) * | 2003-01-20 | 2004-07-27 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조용 슬러리 교반 장치 |
CN201329262Y (zh) * | 2008-12-25 | 2009-10-21 | 锦州日鑫硅材料有限公司 | 浆料搅拌罐 |
CN201376317Y (zh) * | 2009-03-22 | 2010-01-06 | 刘兴才 | 砂浆搅拌机 |
CN201613119U (zh) * | 2010-01-15 | 2010-10-27 | 高佳太阳能股份有限公司 | 带有砂浆阻流器的砂浆搅拌桶 |
CN201720011U (zh) * | 2010-04-13 | 2011-01-26 | 上海超日(洛阳)太阳能有限公司 | 一种砂浆搅拌罐匀拌装置 |
CN102059068A (zh) * | 2011-01-17 | 2011-05-18 | 西安华晶电子技术有限公司 | 轴向紊流流型多线切割机用砂浆及高粘流体单轴搅拌器 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JP特开2001-38187A 2001.02.13 * |
JP特开平10-165796A 1998.06.23 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102836657A (zh) | 2012-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN203990429U (zh) | 一种搅拌装置 | |
CN112169679B (zh) | 一种化工液体物料配比混合处理设备用密封防泼溅机构 | |
CN108176100A (zh) | 一种用于污水处理的初级过滤装置 | |
CN204295876U (zh) | 发泡混凝土搅拌机 | |
CN205990269U (zh) | 絮凝沉淀污水处理装置 | |
CN102836657B (zh) | 一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站 | |
CN209161966U (zh) | 一种煤焦油加氢工艺中的煤焦油预处理设备 | |
CN207169708U (zh) | 一种化工反应釜的混合装置 | |
CN214192805U (zh) | 一种铝合金电缆加工用废水处理装置 | |
CN212491848U (zh) | 一种化工用具有防堵塞功能的废水处理设备 | |
CN211362872U (zh) | 一种水利工程混凝土搅拌设备 | |
CN204572638U (zh) | 一种外动力螺旋气液分离装置 | |
CN209014355U (zh) | 一种新型环境检测用水样本处理装置 | |
CN214653733U (zh) | 一种浆水回收用搅拌罐 | |
CN212092122U (zh) | 一种油田酸化压裂助排剂生产用配比装置 | |
CN221131094U (zh) | 一种一体化污水处理沉淀罐 | |
CN215589559U (zh) | 一种水泥预制成品生产用具有防飞溅功能的搅拌设备 | |
CN216458208U (zh) | 一种润滑油生产用搅拌装置 | |
CN212974796U (zh) | 一种选矿絮凝剂溶液的配置装置 | |
CN211026286U (zh) | 大型反应釜 | |
CN219905027U (zh) | 一种金刚石微粉包装物料袋清洗装置 | |
CN214570841U (zh) | 一种防堵塞的污水处理用排泥装置 | |
CN218250699U (zh) | 一种新型植物提取罐的进料口结构 | |
CN203742449U (zh) | 粒子立式注入装置 | |
CN220755510U (zh) | 一种灌溉设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150114 Termination date: 20150620 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |