CN102829004B - 一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，还包括控制系统，控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，控制系统设有临界压力P_q和防爆压力P_fb，控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。本发明通过控制系统实时监控油扩散泵的油温、前级压力和真空室压力，并与设定的临界压力和防爆压力进行比较，若检测到危险做出相应的处理，避免油扩散泵发生爆炸。

Description

一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，尤其是一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法。

背景技术

油扩散泵真空技术具有抽气速率高、结构简单、无机械传动、无摩擦以及对被抽气体选择性不强等诸多优点，被广泛应用于真空冶炼、真空镀膜、原子能、空间模拟等工业领域和科学技术研究中,油扩散泵真空系统是一种重要的真空获得系统，是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，在科学研究和国民经济发展中起着重要的作用。

油扩散泵主要性能指标与泵尺寸、极限压力、油温、油品等有关。各种油扩散泵其基本的工作原理是一样的，工作时采用加热器将泵腔底部的油加热至沸腾，被抽气体与高速运动、喷射的油蒸汽流混合后，进行能量交换而达到抽气作用的。油扩散泵工作条件是必须和前级泵一起构成真空系统进行工作，前级泵的抽速必须使油扩散泵的前级压力小于其前级临界压力，并且油扩散泵工作前被抽的真空室压力必须小于10Pa左右，即首先对真空室进行粗抽真空，否则油扩散泵就不能有效地发挥抽气能力。一般油扩散泵的前级泵采用机械泵，同时给扩散泵机组还单独配备维持泵来保证扩散泵正常工作时前级压力。

目前大部分采用油扩散泵构成的真空机组系统如图1所示。图中V1为主阀，K1为油扩散泵，扩散泵机组通过V1阀对真空室进行抽取真空；V2为前级阀，M1和M3组成油扩散泵的前级泵组，维持泵M2通过维持阀V4对油扩散泵前级抽真空，V5为充大气阀，工作结束后通过打开V5可以向真空室填充大气。

图1中所述的系统中，油扩散泵正常工作的流程是，前级机组M1和M3通过阀V2、V3对油扩散泵前级抽气，当前级机组通过粗抽阀V6使得真空室中压力达到油扩散泵K1可以抽气的压力之后，关闭粗抽阀V6，并打开阀V1，油扩散泵才能开始对真空室进行抽气。工作结束后，关闭主阀V1、前级阀V2，关闭前级机组M3和M1，维持泵M2一直工作保持油扩散泵腔内真空状态，大气阀V5打开后向真空室填充大气。

上述通用控制技术方案中，如果发生油扩散泵的前级压力超过其临界压力，则证明油扩散泵发生漏气，采取的措施是关闭油扩散泵的加热电源，使油扩散泵降温，待油温足够低之后在进行检漏排除故障。

由于在油扩散泵工作时，泵中的油处于高温状态(200-300℃)，现有技术方案中，如果发生的漏气量不大，维持泵能够及时排除进入油扩散泵的空气而保持油扩散泵前期压力在临界压力之下，则不会发生爆炸问题。但是在向真空室填充大气的过程中，如图2所示，当在A处有异物卡住密封阀板造成油扩散泵进气口阀密封不良时，空气将会通过阀进入真空室，然后通过进入油扩散泵腔，空气与油扩散泵中高温油混合，此时因为维持泵的抽气能力一般很低不能排空大量进入的空气，当进入的空气流量较大且在泵腔空气量达一定比例之后，发生爆炸的可能性非常大。在大型油扩散泵机组工作期间，如果发生爆炸，在巨大的冲击压力下会将真空室门等迅速冲开，其危害性非常大。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：克服现有技术中之油扩散泵易发生爆炸的技术问题，提供一种防爆油扩散泵真空系统，通过控制系统实时监控油扩散泵的油温、前级压力和真空室压力，并与设定的临界压力和防爆压力进行比较，若检测到危险做出相应的处理，避免油扩散泵发生爆炸。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，还包括控制系统，所述的控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，所述的控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb，所述的控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。

具体的作为优选，所述的油扩散泵系统还具有对油扩散泵前级抽气的前级泵组和维持油扩散泵腔内真空度的维持泵组，前级泵组通过管路与油扩散泵的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，维持泵组通过管路与油扩散泵的前级排气口连通。

具体的，所述的前级泵组与油扩散泵的前级排气口之间的管路上设有前级阀，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀，所述的维持泵组与油扩散泵的前级排气口之间的管路上设有维持阀。

进一步的，为提供前级抽气效果，所述的前级泵组具有串联设置的第一前级泵和第二前级泵，所述的第一、第二前级泵之间管路上设有选择阀，可根据实际需要进行选择单台工作还是两台同时工作。

进一步的，为提高真空室的真空度，本发明的另一个实施例，所述的油扩散泵系统具有并联设置的第一油扩散泵和第二油扩散泵，第一、第二油扩散泵的抽气口分别与真空室的出气口连通，第一油扩散泵与真空室的管路上设有第一主阀，第一油扩散泵的前级排气口管路上设有第一压力检测装置，第二油扩散泵与真空室的管路上设有第二主阀，第二油扩散泵的前级排气口管路上设有第二压力检测装置。采用两套油扩散泵对真空室进行抽真空，真空度更高，且效率提高。

进一步的，所述的油扩散泵系统还具有前级泵组和维持泵组，前级泵组通过管路与第一、第二油扩散泵的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，前级泵组与与第一、第二油扩散泵的前级排气口之间的管路上分别设有第一前级阀和第二前级阀，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀，所述的维持泵组通过管路与第一、第二油扩散泵的前级排气口连通，维持泵组与第一、第二油扩散泵的前级排气口的管路上分别设有第一维持阀和第二维持阀。第一、第二油扩散泵共用一套前级泵组和维持泵组，简化设备，减少设备投入，减少占地面积。

进一步的，所述的前级泵组包括一台主前级泵和两台副前级泵，所述的两台副前级泵通过管路并联设置在主前级泵出气端，两台副前级泵与主前级泵之间的管路上分别设有第一选择阀和第二选择阀。通过这样设置三台前级泵提高工作效率，达到同时对两台油扩散泵进行前级抽真空的要求。

具体的，所述的真空室的壳体上设有大气进口，大气进口上设有大气阀，真空室上的测压装置包括电离真空计和电阻真空计。

所述的控制系统还具有报警器，所述的报警器为声光报警器。

一种防爆油扩散泵真空系统的防爆控制方法，通过控制系统控制各泵组和各阀组工作，其步骤如下：

a、启动防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空；

b、启动控制系统，设定临界压力P_q和防爆压力P_fb，通过测温装置、第一压力检测装置P1和第二压力检测装置P2分别实时监测油扩散泵油温、前级压力和真空室压力；

c、根据真空室在低真空或高真空下的工艺过程之后的临界压力P_q和防爆压力P_fb，判断是否向真空室填充大气，若不需要填充大气则维持防爆油扩散泵真空系统的各泵组继续工作；

d、若需要填充大气则关闭主阀、前级阀和粗抽阀，并打开大气阀进行填充大气，所述大气阀设于大气进口上，所述大气进口设于真空室的壳体上；

e、在填充大气过程中进行预充气检测，若压力检测装置测得的当前压力值小于临界压力P_q，则继续充大气；

f、若压力检测装置测得的当前压力大于临界压力P_q，则开启报警器进行提示，可继续进行充大气；

g、在继续充大气时压力检测装置仍实时监控油扩散泵的前级压力值，若当前压力值小于防爆压力P_fb，则继续充气，并反馈至步骤c判断是否需要继续充大气，直至完成充大气，完成充大气后保存参数并修正临界压力P_q；

h、若在步骤f中继续充大气时压力检测装置测得的当前压力值大于防爆压力P_fb，则开启报警器进行提示，并启动防爆控制程序；

i、步骤h中启动防爆控制程序，关闭大气阀和前级阀，关闭油扩散泵，开启粗抽阀、启动前级泵组对真空室进行快速抽真空，形成一个由真空室和油扩散泵腔构成的封闭真空环境；

j、完成步骤i后锁闭防爆油扩散泵真空系统，禁止非法操作，设备进入关机保护状态；

k、控制系统持续监控油扩散泵油温、前级压力和真空室压力，等待油扩散泵油温降到安全温度状态后，关闭主阀、粗抽阀、前级阀和维持阀,关闭前级泵组和维持泵组，解除防爆油扩散泵真空系统锁闭状态，并保存参数并修正临界压力P_q；

l、进行系统检查，排除故障，恢复生产。

进一步，步骤k所述的安全温度为80℃以下。

本发明的有益效果是，采用本发明的防爆油扩散泵真空系统后，由计算机通过不断优化，可以修正并存储防爆压力P_fb，实践证明防爆压力设置在500-1000Pa的范围时，即可在爆炸前有足够的预留空间，同时对前级压力点的监控采用第一压力检测装置P1和第二压力检测装置P2双重监控，冗余备份信息，保证控制的可靠性。具体实施过程中，计算机控制软件实时采集当前前级压力P_y，经过多次可靠性计算确认后，如果临界压力P_q>当前前级压力P_y，将启动防护控制程序，启动前级机组和粗抽阀，使油扩散泵处在真空负压状态下，即可以有效防止油扩散泵异常进气之后发生爆炸问题，这也是传统的控制方式无法达到的控制效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是现有技术的结构框图；

图2是现有技术中油扩散泵上异物卡住密封阀板的结构示意图；

图中：K1.油扩散泵，V1.主阀，V2.前级阀，V3.选择阀，V4.维持阀，V5.大气阀，V6.粗抽阀，M1.第一前级泵，M3.第二前级泵，M2.维持泵。

图3是本发明的防爆油扩散泵真空系统的第一个实施例的结构框图；

图中：K1.油扩散泵，V1.主阀，V3.粗抽阀，V4.前级阀，V6.维持阀，V8.选择阀，V10.大气阀，M0.维持泵组，M1.第二前级泵，M3.第一前级泵，P1.压力检测装置，G1.电离真空计，G2.电阻真空计。

图4是本发明的防爆油扩散泵真空系统的第二个实施例的结构框图。

图中：K1.第一油扩散泵，K2.第二油扩散泵，V1.第一主阀，V2.第二主阀，V3.粗抽阀，V4.第一前级阀，V5.第二前级阀，V6.第一维持阀，V7.第二维持阀，V8.第一选择阀，V9.第二选择阀，V10.大气阀，M0.维持泵组，M1/M2.副前级泵，M3.主前级泵，P1.第一压力检测装置，P2.第二压力检测装置，G1.电离真空计，G2.电阻真空计。

图5是本发明的防爆油扩散泵真空系统流程图。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

如图3所示，本发明的防爆油扩散泵真空系统的第一个实施例，对真空室进行抽真空，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵K1，油扩散泵K1的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，管路上设有主阀V1，油扩散泵K1系统具有油扩散泵K1，还包括控制系统，控制系统包括设置在油扩散泵K1的前级排气口管路上的第一压力检测装置P1、设置在油扩散泵K1内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，控制系统设有临界压力P_q和防爆压力P_fb，控制系统通过采集第一压力检测装置P1、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。

油扩散泵K1系统还具有对油扩散泵K1前级抽气的前级泵组和维持油扩散泵K1腔内真空度的维持泵组M0，前级泵组通过管路与油扩散泵K1的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，维持泵组M0通过管路与油扩散泵K1的前级排气口连通。

前级泵组与油扩散泵K1的前级排气口之间的管路上设有前级阀V4，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀V3，维持泵M0组与油扩散泵K1的前级排气口之间的管路上设有维持阀V6。

所述的前级泵组具有串联设置的第一前级泵M3和第二前级泵M1，所述的第一、第二前级泵之间管路上设有选择阀V8。

真空室的壳体上设有大气进口，大气进口上设有大气阀V10，真空室上的测压装置包括电离真空计G1和电阻真空计G2。所述的控制系统还具有报警器，所述的报警器为声光报警器。

一种对于上述防爆油扩散泵真空系统的防爆控制方法，通过控制系统控制各泵组和各阀组工作，其步骤如下：

a、启动防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空；

b、启动控制系统，设定临界压力P_q和防爆压力P_fb，通过测温装置、第一压力检测装置P1和第二压力检测装置P2分别实时监测油扩散泵油温、前级压力和真空室压力；

c、根据真空室在低真空或高真空下的工艺过程之后，判断是否向真空室填充大气，若不需要填充大气则维持防爆油扩散泵真空系统的各泵组继续工作；

d、若需要填充大气则关闭主阀V1、前级阀V4和粗抽阀V3，并打开大气阀V10进行填充大气；

e、在填充大气过程中进行预充气检测，若第一压力检测装置P1测得的当前压力值小于临界压力P_q，则继续充大气；

f、若第一压力检测装置P1测得的当前压力大于临界压力P_q，则开启报警器进行提示,报警器为声光报警器，可继续进行充大气；

g、在继续充大气时第一压力检测装置P1仍实时监控油扩散泵K1的前级压力值，若当前压力值小于防爆压力P_fb，则继续充气，并反馈至步骤c判断是否需要继续充大气，直至完成充大气，完成充大气后保存参数并修正临界压力P_q；

h、若在步骤f中继续充大气时第一压力检测装置P1测得的当前压力值大于防爆压力P_fb，则开启报警器进行提示，并启动防爆控制程序；

i、步骤h中启动防爆控制程序，关闭大气阀V10和前级阀V4，关闭油扩散泵K1，开启粗抽阀V3、启动前级泵组的第一前级泵M3和第二前级泵M1对真空室进行快速抽真空，形成一个由真空室和油扩散泵K1腔构成的封闭真空环境；

j、完成步骤i后锁闭防爆油扩散泵真空系统，禁止非法操作，设备进入关机保护状态；

k、控制系统持续监控油扩散泵K1油温、前级压力和真空室压力，等待油扩散泵K1油温降到安全温度80℃以下后，关闭主阀V1、粗抽阀V3、前级阀V4和维持阀V6，关闭前级泵组和维持泵组的第一前级泵M3和第二前级泵M1，解除防爆油扩散泵真空系统锁闭状态，并保存参数并修正临界压力P_q；

l、进行系统检查，排除故障，恢复生产。

图4所示，本发明的防爆油扩散泵真空系统的第二个实施例，对真空室进行抽真空，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵系统具有并联设置的第一油扩散泵K1和第二油扩散泵K2，第一、第二油扩散泵K1、K2的抽气口分别与真空室的出气口连通，第一油扩散泵K1与真空室的管路上设有第一主阀V1，第二油扩散泵K2与真空室的管路上设有第二主阀V2，还包括控制系统，控制系统包括设置在第一油扩散泵K1的前级排气口管路上的第一压力检测装置P1、第二油扩散泵K2的前级排气口管路上设有第二压力检测装置P2、设置在第一、第二油扩散泵K1、K2内内实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，控制系统设有临界压力P_q和防爆压力P_fb，控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组的启停。

油扩散泵系统还具有前级泵组和维持泵组M0，前级泵组通过管路与第一、第二油扩散泵K1、K2的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，前级泵组与与第一、第二油扩散泵K1、K2的前级排气口之间的管路上分别设有第一前级阀V4和第二前级阀V5，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀V3，维持泵组M0通过管路与第一、第二油扩散泵K1、K2的前级排气口连通，维持泵组M0与第一、第二油扩散泵K1、K2的前级排气口的管路上分别设有第一维持阀V6和第二维持阀V7。

前级泵组包括一台主前级泵M3和两台副前级泵M1、M2，两台副前级泵M1、M2通过管路并联设置在主前级泵M3出气端，两台副前级泵M1、M2与主前级泵M3之间的管路上分别设有第一选择阀V8和第二选择阀V9。

真空室的壳体上设有大气进口，大气进口上设有大气阀V10，真空室上的测压装置包括电离真空计G1和电阻真空计G2。所述的控制系统还具有报警器，所述的报警器为声光报警器。

一种对上述防爆油扩散泵真空系统的防爆控制方法，通过控制系统控制各泵组和各阀组工作，其步骤如下：

a、启动防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空；

b、启动控制系统，设定临界压力P_q和防爆压力P_fb，通过测温装置、第一压力检测装置P1、第二压力检测装置P2和测压装置分别实时监测油扩散泵油温、前级压力和真空室压力；

c、根据真空室在低真空或高真空下的工艺过程之后的临界压力P_q和防爆压力P_fb，判断是否向真空室填充大气，若不需要填充大气则维持防爆油扩散泵真空系统的各泵组继续工作；

d、若需要填充大气则关闭第一主阀V1、第二主阀V2、第一前级阀V4、第二前级阀V5和粗抽阀V3，并打开大气阀V10进行填充大气；

e、在填充大气过程中进行预充气检测，若第一、第二压力检测装置P1、P2测得的当前压力值小于临界压力Pq，则继续充大气；

f、若第一、第二压力检测装置P1、P2测得的当前压力大于临界压力P_q，则开启报警器进行提示，报警器为声光报警器，可继续进行充大气；

g、在继续充大气时第一、第二压力检测装置P1、P2仍实时监控第一、第二油扩散泵K1、K2的前级压力值，若当前压力值小于防爆压力P_fb，则继续充气，并反馈至步骤c判断是否需要继续充大气，直至完成充大气，完成充大气后保存参数并修正临界压力P_q；

h、若在步骤f中继续充大气时第一、第二压力检测装置P1、P2测得的当前压力值大于防爆压力P_fb，则开启报警器进行提示，并启动防爆控制程序；

i、步骤h中启动防爆控制程序，关闭大气阀V10、第一前级阀V4和第二前级阀V5，关闭第一油扩散泵K1和第二油扩散泵K2，开启粗抽阀V3、启动前级泵组的主前级泵M3和两台副前级泵M1、M2对真空室进行快速抽真空，形成一个由真空室和油扩散泵腔构成的封闭真空环境；

j、完成步骤i后锁闭防爆油扩散泵真空系统，禁止非法操作，设备进入关机保护状态；

k、控制系统持续监控第一油扩散泵K1和第二油扩散泵K2油温、前级压力和真空室压力，等待第一油扩散泵K1和第二油扩散泵K2油温降到安全温度80℃以下后，关闭第一主阀V1、第二主阀V2、粗抽阀V3、第一前级阀V4、第二前级阀V5、第一维持阀V6和第二维持阀V7,关闭前级泵组和维持泵组MO，解除防爆油扩散泵真空系统锁闭状态，并保存参数并修正临界压力P_q；

l、进行系统检查，排除故障，恢复生产。

本发明采用计算机系统作为控制系统，通过控制系统的控制软件实时监控油扩散泵K1/K2油温、前级压力等关键数据，并控制所有真空机组启停。在油扩散泵K1/K2的前级排气口安装第一、第二压力检测装置P1、P2，计算机系统实时监控前级压力P1、P2的变化情况，并将前级压力的监控压力参数保存在计算机中，设定两个关键压力点，一个为临界压力P_q，另一个为防爆压力P_fb。正常情况下其工作原理与图1所表述的原理相同。在向真空室填充气过程中，计算机系统通过“预充气”测试功能检测油扩散泵K1/K2压力，如果检测到前级压力超过临界压力P_q，则进行报警提示，如果前级压力点进一步上升至P_fb，即发生危险性超压时，计算机系统控制首先关闭大气阀V10、前级阀V4和V5，并且启动前级泵M1(M2)和M3，打开粗抽阀V3对真空室进行快速抽真空，形成一个由真空室和油扩散泵K1/K2腔构成的封闭真空环境，前级泵M1(M2)和M3的工作保持真空室体内和油扩散泵腔K1/K2的压力在一定真空度下的负压状态，这样就可以完全避油扩散泵K1/K2发生爆炸。计算机系统锁闭其他非法操作，设备进入关机保护状态，等待油扩散泵K1/K2油温降到低温状态后(低于80℃)，自动解锁防爆控制程序，即可排除故障，恢复生产。

以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。

Claims (9)

1.一种防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，其特征是：还包括控制系统，所述的控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，所述的控制系统设有临界压力P_q和防爆压力P_fb，所述的控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。

2.如权利要求1所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的油扩散泵系统还具有对油扩散泵前级抽气的前级泵组和维持油扩散泵腔内真空度的维持泵组，前级泵组通过管路与油扩散泵的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，维持泵组通过管路与油扩散泵的前级排气口连通。

3.如权利要求2所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的前级泵组与油扩散泵的前级排气口之间的管路上设有前级阀，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀，所述的维持泵组与油扩散泵的前级排气口之间的管路上设有维持阀；所述的前级泵组具有串联设置的第一前级泵和第二前级泵，所述的第一、第二前级泵之间管路上设有选择阀。

4.如权利要求1所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的油扩散泵系统具有并联设置的第一油扩散泵和第二油扩散泵，第一、第二油扩散泵的抽气口分别与真空室的出气口连通，第一油扩散泵与真空室的管路上设有第一主阀，第一油扩散泵的前级排气口管路上设有第一压力检测装置，第二油扩散泵与真空室的管路上设有第二主阀，第二油扩散泵的前级排气口管路上设有第二压力检测装置。

5.如权利要求4所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的油扩散泵系统还具有前级泵组和维持泵组，前级泵组通过管路与第一、第二油扩散泵的前级排气口和真空室的粗级抽真空口连通，前级泵组与与第一、第二油扩散泵的前级排气口之间的管路上分别设有第一前级阀和第二前级阀，前级泵组与真空室的粗级抽真空口之间的管路上设有粗抽阀，所述的维持泵组通过管路与第一、第二油扩散泵的前级排气口连通，维持泵组与第一、第二油扩散泵的前级排气口的管路上分别设有第一维持阀和第二维持阀；所述的前级泵组包括一台主前级泵和两台副前级泵，所述的两台副前级泵通过管路并联设置在主前级泵出气端，两台副前级泵与主前级泵之间的管路上分别设有第一选择阀和第二选择阀。

6.如权利要求1所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的真空室的壳体上设有大气进口，大气进口上设有大气阀，真空室上的测压装置包括电离真空计和电阻真空计。

7.如权利要求1所述的防爆油扩散泵真空系统，其特征是：所述的控制系统还具有报警器，所述的报警器为声光报警器。

8.如权利要求5所述的防爆油扩散泵真空系统的防爆控制方法，通过控制系统控制各泵组和各阀组工作，其步骤如下：

a、启动防爆油扩散泵真空系统，对真空室进行抽真空；

b、启动控制系统，设定临界压力P_q和防爆压力P_fb，通过测温装置、第一压力检测装置P1和第二压力检测装置P2分别实时监测油扩散泵油温、前级压力和真空室压力；

c、根据真空室在低真空或高真空下的工艺过程之后的临界压力P_q和防爆压力P_fb，判断是否向真空室填充大气，若不需要填充大气则维持防爆油扩散泵真空系统的各泵组继续工作；

d、若需要填充大气则关闭主阀、前级阀和粗抽阀，并打开大气阀进行填充大气，所述大气阀设于大气进口上，所述大气进口设于真空室的壳体上；

e、在填充大气过程中进行预充气检测，若压力检测装置测得的当前压力值小于临界压力P_q，则继续充大气；

f、若压力检测装置测得的当前压力大于临界压力P_q，则开启报警器进行提示，可继续进行充大气；

g、在继续充大气时压力检测装置仍实时监控油扩散泵的前级压力值，若当前压力值小于防爆压力P_fb，则继续充气，并反馈至步骤c判断是否需要继续充大气，直至完成充大气，完成充大气后保存参数并修正临界压力P_q；

h、若在步骤f中继续充大气时压力检测装置测得的当前压力值大于防爆压力P_fb，则开启报警器进行提示，并启动防爆控制程序；

i、步骤h中启动防爆控制程序，关闭大气阀和前级阀，关闭油扩散泵，开启粗抽阀、启动前级泵组对真空室进行快速抽真空，形成一个由真空室和油扩散泵腔构成的封闭真空环境；

j、完成步骤i后锁闭防爆油扩散泵真空系统，禁止非法操作，设备进入关机保护状态；

k、控制系统持续监控油扩散泵油温、前级压力和真空室压力，等待油扩散泵油温降到安全温度状态后，关闭主阀、粗抽阀、前级阀和维持阀,关闭前级泵组和维持泵组，解除防爆油扩散泵真空系统锁闭状态，并保存参数并修正临界压力P_q；

l、进行系统检查，排除故障，恢复生产。

9.如权利要求8所述的防爆控制方法，其特征是：步骤k所述的安全温度为80℃以下。