CN114352500B - 真空系统及其作业控制方法、装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置，属于真空系统技术领域。采用本发明的技术方案，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。

Description

真空系统及其作业控制方法、装置

技术领域

本发明涉及真空系统技术领域，具体涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置。

背景技术

真空系统通常包括以下设备：前级泵、分子泵、分子泵控制器和真空计。其中，前级泵用于保护分子泵；分子泵控制器用于控制分子泵的启动和关闭；真空计用于测量真空度或气压数值。真空系统在应用时，首先通过按压前级泵的启动按钮，启动前级泵，再通过按压真空计，启动真空计，持续监测到分子泵真空度达到真空度阈值时，按压分子泵控制器从而启动分子泵；而在换工件时，需要先触发分子泵停机，直到分子泵安全停机后，再对真空系统放气，放气完成后，才能完成换件工作。

在真空系统的应用过程中，需要多次人为控制，实现对前级泵、真空计以及分子泵的开启及关闭，操作繁琐、耗费时间，影响工作效率。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种真空系统及其作业控制方法、装置，以至少解决现有技术中真空系统应用过程中需要多次人为控制，操作繁琐、耗费时间，影响工作效率的问题。

为实现以上目的，本发明采用如下技术方案：

一方面，提供了一种真空系统，包括：前级泵、分子泵、工件预留口、控制器、真空检测组件和管路控制组件；其中，

所述真空检测组件，用于检测第一位置和第二位置的真空度，在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向所述控制器发送第一触发信号；所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间，第三位置位于所述分子泵与所述工件预留口之间；

所述管路控制组件，用于根据所述控制器的控制指令，控制所述第一位置、第二位置和第三位置的管路开闭状态；

所述控制器，用于在接收到所述第一触发信号时，向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动。

可选的，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第二控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。

可选的，所述真空检测组件，还用于检测第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第二触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第二触发信号时，向所述管路控制组件发送第三控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。

可选的，所述控制器还用于在接收到预抽指令时，向所述管路控制组件发送第四控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；

所述真空检测组件，还用于在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于所述第一真空阈值时，向所述控制器发送第三触发信号；

所述控制器，还用于在接收到所述第三触发信号时，向所述管路控制组件发送第五控制信号，以使当所述第二位置的管路关闭。

可选的，所述真空检测组件，还用于间隔预设换件时长，向所述控制器发送第四触发信号；

所述控制器，还用于在收到所述第四触发信号时，向所述管路控制组件发送第六控制信号，以使所述第二位置的管路打开、第三位置的管路关闭；

所述真空检测组件，还用于在所述第二位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第五触发信号；所述控制器还用于在收到所述第五触发信号时，向所述管路控制组件发送第七控制信号，以使第二位置的管路关闭、第三位置的管路打开。

可选的，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第八控制信号，以使所述第一位置和所述第三位置的管路均关闭。

可选的，所述真空检测组件，还用于检测所述第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第六触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第六触发信号时，向所述管路控制组件发送第九控制信号，以使第一位置和第三位置的管路均关闭。

可选的，所述控制器还用于在接收到预抽指令时，向所述管路控制组件发送第十控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；

所述真空检测组件，还用于在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于所述第一真空阈值时，向所述控制器发送第七触发信号；

所述控制器，还用于在接收到所述第七触发信号时，向所述管路控制组件发送第十一控制信号，以使所述第二位置的管路关闭、第一位置和第三位置的管路均打开。

又一方面，一种真空系统的作业控制方法，应用于上述任一所述的真空系统；所述方法，包括：

接收真空检测组件发送的第一触发信号，所述第一触发信号为所述真空检测组件检测到第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时发送的触发信号，其中，所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间；

向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动。

又一方面，一种真空系统的作业控制装置，应用于上述任一所述的真空系统；所述装置，包括：

接收模块，用于接收真空检测组件发送的第一触发信号，所述第一触发信号为真空检测组件检测到第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时发送的触发信号，其中，所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间；

发送模块，用于在接收到所述第一触发信号时，向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动。

一种真空系统及其作业控制方法、装置，采用本发明的技术方案，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。

附图说明

通过结合附图对本申请实施例进行更详细的描述，本申请的上述以及其他目的、特征和优势将变得更加明显。附图用来提供对本申请实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请实施例一起用于解释本申请，并不构成对本申请的限制。在附图中，相同的参考标号通常代表相同部件或步骤。

图1为本发明一实施例提供的一种真空系统的电路原理连接结构示意图。

图2为本发明又一实施例提供的一种真空系统的气路结构示意图。

图3为本发明又一实施例提供的一种真空系统的气路结构示意图。

图4为本发明又一实施例提供的一种真空系统的控制电路示意图。

图5为本发明又一实施例提供的一种真空系统的作业控制方法的流程示意图。

图6为本发明又一实施例提供的一种真空系统的作业控制装置的结构示意图。

图7为本发明又一实施例提供一种真空系统的作业控制设的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本发明所保护的范围。

真空系统通常包括以下设备：前级泵、分子泵、分子泵控制器和真空计。其中，前级泵用于保护分子泵；分子泵控制器用于控制分子泵的启动和关闭；真空计用于测量真空度或气压数值。真空系统在应用时，首先通过按压前级泵的启动按钮，启动前级泵，再通过按压真空计，启动真空计，持续监测到分子泵真空度达到真空度阈值时，按压分子泵控制器从而启动分子泵；而在换工件时，需要先触发分子泵停机，直到分子泵安全停机后，再对真空系统放气，放气完成后，才能完成换件工作。

在真空系统的应用过程中，需要多次人为控制，实现对前级泵、真空计一级分子泵的开启及关闭，且，在更换工件时，需要人为判断分子泵是否能开启，人为判断存在误入空气，使得分子泵可能存在故障风险，操作繁琐、耗费时间，影响工作效率。

基于此，本发明实施例提供一种真空系统及其作业控制方法、装置。

示例性系统：

图1为本发明一实施例提供的一种真空系统的电路原理连接结构示意图，图2为本发明又一实施例提供的一种真空系统的气路结构示意图。本申请提供的真空系统，可以应用于对工件的抽真空作业，例如，工件可以为铝合金结构件压铸工艺中的待抽真空工件，本申请中不做具体限定。

参阅图1、图2，本发明实施例提供的真空系统，可以包括：前级泵1、分子泵2、工件预留口3、控制器A、真空检测组件4和管路控制组件5。其中，真空检测组件，用于检测第一位置和第二位置的真空度，在当第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送第一触发信号；第一位置位于前级泵与分子泵之间，第二位置位于前级泵与工件预留口之间，第三位置位于分子泵与工件预留口之间。管路控制组件，用于根据控制器的控制指令，控制第一位置、第三位置和第二位置的管路开闭状态。控制器，用于在接收到第一触发信号时，向管路控制组件和分子泵发送第一控制信号，以使在当第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动。

其中，前级泵、分子泵和工件预留口通过管路两两相连，为了实现抽真空效果，需要保证管路的气密性。

进行工件抽真空作业时，可以将待抽真空的工件通过工件预留口接入真空系统，在真空系统初始时，第一位置、第二位置和第三位置的管路均开启，通过用户触发或真空系统开机自启动，触发前级泵开启，从而对整个管路及工件进行抽真空作业。真空检测组件可以检测第一位置(即前级泵与分子泵之间管路)和第二位置(即前级泵与工件预留口之间管路)的真空度，当检测到第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，则说明管路中的真空度已达到分子泵开启的条件，向控制器发送第一触发信号。控制器在收到第一触发信号时，向管路控制组件和分子泵发送第一控制信号，从而使得管路控制组件控制第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路维持开启，分子泵根据第一控制信号启动，高速运转，从而快速对工件进行抽真空作业。

其中，第一触发信号和第一控制信号均可以为电平信号，本发明实施例中不做具体限定。第一控制信号可以包括第一子控制信号和第二子控制信号，其中，第一子控制信号用于控制管路控制组件的动作，第二子控制信号用于控制分子泵的动作。一些实施例中，真空系统还可以包括分子泵控制器，分子泵控制器连接分子泵，控制器连接分子泵控制器，控制器通过第二子控制信号控制分子泵控制器，以使分子泵控制器控制分子泵开启。

其中，第一真空阈值，可以为10Pa大气压对应的真空阈值，本发明实施例中不做具体限定。

其中，控制器可以为控制电源装置，控制电源装置上可以设置电源指示灯，在接通电源时，控制电源装置上的电源指示灯亮，显示总电源已接入。

本发明实施例提供的真空系统，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。

图3为本发明又一实施例提供的一种真空系统的气路结构示意图。

一些实施例中，参阅图3，管路控制组件可以包括第一电磁阀V1、第二电磁阀V2和第三电磁阀V3。其中，第一电磁阀可以设置在第一位置，即，前级泵与分子泵之间的管路中，用于控制第一位置的管路开闭；第二电磁阀可以设置在第二位置，即，前级泵与工件预留口之间的管路中，用于控制第二位置的管路开闭；第三电磁阀可以设置在第三位置，即，分子泵与工件预留孔之间的管路中，用于控制第三位置的管路开闭。

一些实施例中，真空检测组件可以为真空计，参阅图3，可以在真空计中配备第一真空规A1和第二真空规A2。其中，第一真空规可以设置在第一位置，优选第一电磁阀与分子泵之间的管路中，用于检测第一位置的真空度；第二真空规可以设置在第二位置，优选第二电磁阀和工件预留口之间的管路中，用于检测第二位置的真空度。一些实施例中，还可以在真空计中配备电离规A3，电离规可以设置在第三位置，优选第三电磁阀与分子泵之间，用于检测第三位置的真空度。

参阅图3，在真空系统的初始状态，工件预留口用于接入工件。

在一些实施例中，控制器还用于在接收到换件指令时，向管路控制组件发送第二控制信号，以使第三位置的管路关闭。

具体地，在需要换另一个工件进行抽真空时，可以通过用户触发，向控制器发送换件指令，在控制器收到换件指令后，可以向管路控制组件发送第二控制信号，从而使得第三位置的管控关闭，以使用户对工件预留口接入的工件进行更换。

例如，在工件抽真空完成后，用户可以对工件进行更换，参阅图3，在对工件进行更换时，根据换件指令，控制第三电磁阀V3关闭，维持第一电磁阀V1开启，第二电磁阀V2关闭，从而使得工件预留口在进行更换工件时，无需关闭分子泵，且不会将大气进入到分子泵中，实现了对分子泵的保护，且提升了工作效率。

在一些实施例中，真空检测组件，还用于检测第三位置的真空度，在当第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向控制器发送第二触发信号；控制器，还用于在接收到第二触发信号时，向管路控制组件发送第三控制信号，以使第三位置的管路关闭。

具体地，在进行工件更换时，也可以进行自动更换。真空检测组件检测到第三位置的真空度小于所述第二真空阈值时，说明对工件预留口接入的工件抽真空已完成，可以进行工件更换。真空检测组件向控制器发送第二触发信号，控制器收到第二触发信号后，向控制管路发送第三控制信号，从而使得第三位置的管路关闭。

例如，参阅图3，在对工件进行自动更换时，电离规A3检测到真空度小于第二真空阈值时，通过控制器触发第三电磁阀V3关闭，维持第一电磁阀V1开启，第二电磁阀V2关闭，从而使得工件预留口在进行更换工件时，不会将大气进入到分子泵中，实现了对分子泵的保护。通过自动检测更换，提升了真空系统的使用便捷性，提升用户的工作效率。

在一些实施例中，控制器还用于在接收到预抽指令时，向管路控制组件发送第四控制信号，以使第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；真空检测组件，还用于在当第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送第三触发信号；控制器，还用于在接收到第三触发信号时，向管路控制组件发送第五控制信号，以使在当第二位置的管路关闭。

具体地，在换工件后，可以对管路及已换工件进行预抽。其中，预抽是通过管路对更换后的工件进行初步的抽真空。其中，预抽指令可以由用户触发发送，控制器在收到预抽指令后，可以向管路控制组件发送第四控制信号，控制第二位置的管路打开，维持第三位置的管路关闭，第一位置的管路开启，从而使得前级泵通过第二位置对第二位置的管理及更换后的工件进行预抽。当真空检测组件检测到第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，说明预抽完成，通过第三触发信号触发控制管路控制组件，以使第二位置的管路关闭，使得前级泵与分子泵通过第三位置的管路对更换后的工件进行抽真空作业。工作过程中，无需关闭分子泵，节约了操作步骤，提升工作效率。

例如，参阅图3，在对第二位置的管路及已更换的工件进行预抽时，可以根据预抽指令，使得控制器控制第二电磁阀V2打开，维持第三电磁阀V3关闭，第一电磁阀V1开启，从而使得前级泵通过第二电磁阀V2及管路进行预抽。在真空规A1和/或真空规A2检测到真空度至少小于第一真空阈值时，说明预抽完成，通过控制器控制第二电磁阀V2关闭，从而使得前级泵和分子泵对更换后的工件进行抽真空作业。

可选的，真空检测组件，还用于间隔预设换件时长，向控制器发送第四触发信号；控制器，还用于在收到第四触发信号时，向管路控制组件发送第六控制信号，以使第二位置的管路打开、第三位置的管路关闭；真空检测组件，还用于在第二位置的真空度小于所述第二真空阈值时，向控制器发送第五触发信号；控制器还用于在收到第五触发信号时，向管路控制组件发送第七控制信号，以使第二位置的管路关闭、第三位置的管路打开。

具体地，可以设置计时功能，在真空系统对工件抽真空作业后，可以通过计时器设置预设换件时长，使得在预设换件时长内，工件可以抽真空完毕且用户可以完成换件。其中，预设换件时长，本申请中不做具体限定，例如，可以为50s、55s等。在预设换件时长后，触发控制器控制管路控制组件，以使第二位置的管路打开、第三位置的管路关闭，维持第一位置的管路开启，以对更换后的工件与前级泵之间的管路进行真空预抽。在真空检测组件在确定到第二位置的真空度小于所述第二真空阈值时，触发控制器控制管路控制组件，以使第二位置的管路关闭、第三位置的管路打开，以再次使真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作。

例如，参阅图3，在真空系统对工件抽真空作业后，间隔预设换件时长，触发控制器控制第二电磁阀打开、第三电磁阀关闭，维持第一电磁阀开启，以对更换后的工件与前级泵之间的管路进行真空预抽。在电离规A3检测到真空度小于所述第二真空阈值时，触发控制器控制第二电磁阀V2关闭、第三电磁阀V3打开，以再次使真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作。

在一些实施例中，控制器还用于在接收到换件指令时，向管路控制组件发送第八控制信号，以使第一位置和第三位置的管路均关闭。

具体地，在需要换另一个工件进行抽真空时，可以通过用户触发，向控制器发送换件指令，在控制器收到换件指令后，可以向管路控制组件发送第八控制信号，从而使得第一位置和第三位置的管控关闭，以使用户对工件预留口接入的工件进行更换。

例如，在工件抽真空完成后，用户可以对工件进行更换，参阅图3，在对工件进行更换时，根据换件指令，控制第三电磁阀V3关闭，和第一电磁阀V1关闭，维持第二电磁阀V2关闭，从而使得工件预留口在进行更换工件时，不会将大气进入到分子泵中，实现了对分子泵的保护。

在一些实施例中，真空检测组件，还用于检测第三位置的真空度，在当第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向控制器发送第六触发信号；控制器，还用于在接收到第六触发信号时，向管路控制组件发送第九控制信号，以使第一位置和第三位置的管路均关闭。

具体地，在进行工件更换时，也可以进行自动更换。真空检测组件检测到第三位置的真空度小于所述第二真空阈值时，说明对工件预留口接入的工件抽真空已完成，可以进行工件更换。真空检测组件向控制器发送第六触发信号，控制器收到第六触发信号后，向控制管路发送第九控制信号，从而使得第一位置和第三位置的管路关闭。

例如，参阅图3，在对工件进行自动更换时，电离规A3检测到真空度小于第二真空阈值时，通过控制器触发第三电磁阀V3关闭，第一电磁阀V1关闭，维持第二电磁阀V2关闭，从而使得工件预留口在进行更换工件时，不会将大气进入到分子泵中，实现了对分子泵的保护。通过自动检测更换，提升了真空系统的使用便捷性，提升用户的工作效率。

在一些实施例中，控制器还用于在接收到预抽指令时，向管路控制组件发送第十控制信号，以使第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；真空检测组件，还用于在当第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送第七触发信号；控制器，还用于在接收到第三触发信号时，向管路控制组件发送第十一控制信号，以使第二位置的管路关闭、第一位置和第三位置的管路均打开。

具体地，在换工件之后，可以对管路及已换工件进行预抽。其中，预抽指令可以由用户触发发送，控制器在收到预抽指令后，可以向管路控制组件发送第九控制信号，控制第二位置的管路打开，维持第三位置的管路关闭，第一位置的管路关闭，从而使得前级泵通过第二位置对第二位置的管理及更换后的工件进行预抽。当真空检测组件检测到第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，说明预抽完成，通过第七触发信号触发控制管路控制组件，以使第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路均打开，使得前级泵与分子泵通过第三位置的管路对更换后的工件进行抽真空作业。工作过程中，无需关闭分子泵，节约了操作步骤，提升工作效率。

例如，参阅图3，在对第二位置的管路及已更换的工件进行预抽时，可以根据预抽指令，使得控制器控制第二电磁阀V2打开，维持第三电磁阀V3关闭，第一电磁阀V1关闭，从而使得前级泵通过V2及管路进行预抽。在真空规A1和/或真空规A2检测到真空度至少小于第一真空阈值时，说明预抽完成，通过控制器控制第二电磁阀V2关闭，第一电磁阀V1和第三电磁阀V3开启，从而使得前级泵和分子泵对更换后的工件进行抽真空作业。

值得说明的是，在上述任一实施例中，控制信号和触发信号，均可以为电平信号，本发明实施例中不做具体限定。

一些实施例中，可选的参阅图3，还可以设置真空过渡腔6在分子泵和电离规之间，提升管路的真空稳定度。

本发明实施例提供的真空系统，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。

图4为本发明又一实施例提供的一种真空系统的控制电路示意图。

在本实施例中，控制器可以为控制电源装置，参阅图4，本发明提供一具体控制电路，对控制过程进行说明。其中，控制电源装置通过分子泵控制器DB15，控制分子泵动作。本实施例中，可以设定分子泵可高速运转在10Pa以内的高真空状态。在真空系统的真空计内配置真空规A1、真空规A2，将真空计的开关量输出端子J1和J2由真空规A1的值控制，真空计的开关量输出端子J3和J4由真空规A2控制，J1可以设定100Pa，J2设定10Pa，J3设定10Pa，J4设定10Pa。大气压越低，则真空度越高。

接通总电源插座供电，总电源灯L亮，真空管路处于大气压状态，真空计未供电，此时真空计输出端子J1常开，J2常闭，J3常闭，J4常闭，电磁阀V1、V2、V3处于供电状态，电磁阀V1、V2、V3打开，KM1继电器线圈供电，KM1-1动作，KM1-1的6脚接通。

前级泵启动时，可以供电自启动，也可以由用户按下控制电源装置上的前级泵开关，前级泵启动，真空计、分子泵控制器供电，真空系统开启对整个管路及工件抽真空。

当真空度抽至100Pa时，可以触发真空计J1开关量切换，J1的1脚接通电磁阀的供电状态不变，抽真空状态不变。真空规A1检测到第一位置的真空度和/或真空规A2检测到第二位置的真空度至少小于第一真空阈值(例如，本实施例中设定第一真空阈值为大气压在10Pa内)时，向真空计J2、J3、J4开关量输出端子发送第一触发信号，使得J2、J3、J4开关量输出端子切换，J2接通1脚，给V1和V3阀供电，电磁阀V2关闭。J3接通1脚，分子泵控制器供电，分子泵启动。J4接通1脚，电磁阀V1断电，V1阀关闭，继电器KM线圈断电，KM-1的2脚接通。V2、V3阀通过J2的1脚连接KM2-1的1脚供电，V2、V3阀继续保持打开状态。分子泵启动，整个系统进入对接入的工件进行抽真空，并对抽真空后的真空状态进行检测，检测过程本申请过程不做赘述。

当需要换工件时，用户可以按下控制电源装置的工件按键K1，继电器KM2线圈供电，KM2-2的6脚接通，KM2-1的5脚接通，电磁阀V2、V3断电，V2、V3阀关闭，此时，V1阀继续处于关闭状态，工件处可自由放气达到更换工件的目的。

放气换工件后，前级泵与工件真空管路处于大气压状态，真空计J1、J2开关量切换为初始状态，J1接通3脚，J2接通3脚，继电器KM2线圈断电，触发KM2-2接通2脚，KM2-1接通3脚。此时可以按下预抽按键K2，KM1线圈供电，触发KM1-1的6脚接通，V1阀供电，V1阀打开，此时进入前级泵对前级泵与工件间连接的真空管路抽真空状态。当前级泵对前级泵与工件间连接的真空管路的真空度达到100Pa时，真空计J1开关量切换，J1接通1脚，电磁阀供电状态不变。当前级泵对前级泵与工件间连接的真空管路真空度达到10Pa时，真空计J2开关量切换，J2的1脚接通，V2、V3阀供电，V2、V3阀打开，KM1线圈断电，KM1-1接通2脚。V1阀断电，V1阀关闭。分子泵正常高速运转在预设的10Pa以上的高真空状态，整个系统进入对工件真空检测状态。

值得说明的是，上述实施例仅仅为对本申请真空系统控制过程的列举，并不是限定。

示例性方法：

基于一个总的发明构思，本发明又一实施例还提供一种真空系统的作业控制方法。

图5为本发明又一实施例提供的一种真空系统的作业控制方法的流程示意图。本申请提供的方法，应用于上述任一实施例记载的真空系统，其执行主体可以为控制器，控制器可以为任一型号单片机，方法可以包括以下步骤：

S51、接收真空检测组件发送的第一触发信号，第一触发信号为真空检测组件检测到第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时发送的触发信号，其中，第一位置位于前级泵与分子泵之间，第二位置位于前级泵与工件预留口之间。

S52、向管路控制组件和分子泵发送第一控制信号，以使在当第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动。

一些实施例中，还包括：在接收到换件指令时，向管路控制组件发送第二控制信号，以使第三位置的管路关闭。

一些实施例中，还包括：在接收到第二触发信号时，向管路控制组件发送第三控制信号，以使第三位置的管路关闭；其中，第二触发信号为真空检测组件，检测到第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送的触发信号。

一些实施例中，还包括：在接收到预抽指令时，向管路控制组件发送第四控制信号，以使第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；

在接收到第三触发信号时，向管路控制组件发送第五控制信号，以使当第二位置的管路关闭；第三触发信号为真空检测组件在第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送。

一些实施例中，还包括：在收到第四触发信号时，向管路控制组件发送第六控制信号，以使第二位置的管路打开、第三位置的管路关闭；第四触发信号为真空检测组件间隔预设换件时长，向控制器发送；

在收到第五触发信号时，向管路控制组件发送第七控制信号，以使第二位置的管路关闭、第三位置的管路打开；第五触发信号为真空检测组件，在第二位置的真空度小于所述第二真空阈值时，向控制器发送。

一些实施例中，还包括：在接收到换件指令时，向管路控制组件发送第八控制信号，以使第一位置和第三位置的管路均关闭。

一些实施例中，还包括：在接收到第六触发信号时，向管路控制组件发送第九控制信号，以使第一位置和第三位置的管路均关闭；第六触发信号为真空检测组件，检测第三位置的真空度，在当第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向控制器发送的触发信号。

一些实施例中，还包括：在接收到预抽指令时，向管路控制组件发送第十控制信号，以使第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；在接收到第七触发信号时，向管路控制组件发送第十一控制信号，以使第二位置的管路关闭、第一位置和第三位置的管路均打开；第七触发信号为真空检测组件，于在当第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送的控制信号。

关于上述实施例中的方法，其中各个步骤执行操作的具体方式已经在有关该真空系统的实施例中进行了详细描述，此处将不做详细阐述说明。

本发明实施例提供的真空系统作业控制方法，在真空系统设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。

示例性装置：

基于一个总的发明构思，本发明又一实施例提供一种真空系统的作业控制装置。

图6为本发明又一实施例提供的一种真空系统的作业控制装置的结构示意图，本申请提供的装置，应用于上述任一实施例记载的真空系统，装置可以包括以下结构：

接收模块61，用于接收真空检测组件发送的第一触发信号，所述第一触发信号为真空检测组件检测到第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时发送的触发信号，其中，所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间；

发送模块62，用于在接收到所述第一触发信号时，向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动。

关于上述实施例中的装置，其中各个模块执行操作的具体方式已经在有关该真空系统的实施例中进行了详细描述，此处将不做详细阐述说明。

本发明实施例提供的真空系统的作业控制装置，在真空系统设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。

示例性设备：

基于一个总的发明构思，本发明又一实施例提供一种真空系统的作业控制设备。

图7为本发明又一实施例提供一种真空系统的作业控制设备的结构示意图，参阅图7，本发明实施例提供的物联网数据服务平台，可以包括：一个或多个处理器71和存储器72。

处理器71可以是中央处理单元(CPU)或者具有数据处理能力和/或指令执行能力的其他形式的处理单元，并且可以控制电子设备中的其他组件以执行期望的功能。

存储器72可以包括一个或多个计算机程序产品，计算机程序产品可以包括各种形式的计算机可读存储介质，例如易失性存储器和/或非易失性存储器。易失性存储器例如可以包括随机存取存储器(RAM)和/或高速缓冲存储器(cache)等。非易失性存储器例如可以包括只读存储器(ROM)、硬盘、闪存等。在计算机可读存储介质上可以存储一个或多个计算机程序指令，处理器71可以运行程序指令，以实现上文的本申请的各个实施例的基于DHCP集群服务系统的租约管理方法以及/或者其他期望的功能。在计算机可读存储介质中还可以存储诸如类别对应关系等各种内容。

在一个示例中，计算机设备还可以包括：输入装置73和输出装置74，这些组件通过总线系统和/或其他形式的连接机构(未示出)互连。

此外，该输入装置73还可以包括例如键盘、鼠标等等。该输出装置74可以向外部输出各种信息。该输出装置74可以包括例如显示器、扬声器、打印机、以及通信网络及其所连接的远程输出设备等等。

当然，为了简化，图7中仅示出了该计算机设备中与本申请有关的组件中的一些，省略了诸如总线、输入/输出接口等等的组件。除此之外，根据具体应用情况，电子设备还可以包括任何其他适当的组件。

基于一个总的发明构思，本发明实施例还提供一种计算机可读存储介质。

除了上述方法和设备以外，本申请的实施例还可以是计算机程序产品，其包括计算机程序指令，计算机程序指令在被处理器运行时使得处理器执行本说明书上述示例性方法部分中描述的根据本申请各种实施例的真空系统的作业控制方法中的步骤。

此外，本申请的实施例还可以是计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，计算机程序指令在被处理器运行时使得处理器执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本申请各种实施例的基于DHCP集群服务系统的租约管理方法中的步骤。

计算机可读存储介质可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以包括但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。

为了例示和描述的目的已经给出了以上描述。此外，此描述不意图将本申请的实施例限制到在此公开的形式。尽管以上已经讨论了多个示例方面和实施例，但是本领域技术人员将认识到其某些变型、修改、改变、添加和子组合。

Claims (9)

1.一种真空系统，其特征在于，包括：前级泵、分子泵、工件预留口、控制器、真空检测组件和管路控制组件；其中，

所述真空检测组件，用于检测第一位置和第二位置的真空度，在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向所述控制器发送第一触发信号；所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间，第三位置位于所述分子泵与所述工件预留口之间；

所述管路控制组件，用于根据所述控制器的控制指令，控制所述第一位置、第二位置和第三位置的管路开闭状态；

所述控制器，用于在接收到所述第一触发信号时，向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动；

所述真空检测组件，还用于间隔预设换件时长，向所述控制器发送第四触发信号；

所述控制器，还用于在收到所述第四触发信号时，向所述管路控制组件发送第六控制信号，以使所述第二位置的管路打开、第三位置的管路关闭；

所述真空检测组件，还用于在所述第二位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第五触发信号；所述控制器还用于在收到所述第五触发信号时，向所述管路控制组件发送第七控制信号，以使第二位置的管路关闭、第三位置的管路打开。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第二控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空检测组件，还用于检测第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第二触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第二触发信号时，向所述管路控制组件发送第三控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。

4.根据权利要求2-3任一所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到预抽指令时，向所述管路控制组件发送第四控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；

所述真空检测组件，还用于在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于所述第一真空阈值时，向所述控制器发送第三触发信号；

所述控制器，还用于在接收到所述第三触发信号时，向所述管路控制组件发送第五控制信号，以使当所述第二位置的管路关闭。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第八控制信号，以使所述第一位置和所述第三位置的管路均关闭。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空检测组件，还用于检测所述第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第六触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第六触发信号时，向所述管路控制组件发送第九控制信号，以使第一位置和第三位置的管路均关闭。

7.根据权利要求5-6任一所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到预抽指令时，向所述管路控制组件发送第十控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；

所述真空检测组件，还用于在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于所述第一真空阈值时，向所述控制器发送第七触发信号；

所述控制器，还用于在接收到所述第七触发信号时，向所述管路控制组件发送第十一控制信号，以使所述第二位置的管路关闭、第一位置和第三位置的管路均打开。

8.一种真空系统的作业控制方法，其特征在于，应用于权利要求1-7任一所述的真空系统；所述方法，包括：

接收真空检测组件发送的第一触发信号，所述第一触发信号为所述真空检测组件检测到第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时发送的触发信号，其中，所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间；

向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动；

在收到第四触发信号时，向所述管路控制组件发送第六控制信号，以使所述第二位置的管路打开、所述第三位置的管路关闭；所述第四触发信号为所述真空检测组件间隔预设换件时长，向控制器发送；

在收到第五触发信号时，向所述管路控制组件发送第七控制信号，以使所述第二位置的管路关闭、所述第三位置的管路打开；所述第五触发信号为真空检测组件，在第二位置的真空度小于所述第二真空阈值时，向控制器发送。

9.一种真空系统的作业控制装置，其特征在于，应用于权利要求1-7任一所述的真空系统；所述装置，包括：

接收模块，用于接收真空检测组件发送的第一触发信号，所述第一触发信号为真空检测组件检测到第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时发送的触发信号，其中，所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间；

发送模块，用于在接收到所述第一触发信号时，向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动；在收到第四触发信号时，向所述管路控制组件发送第六控制信号，以使所述第二位置的管路打开、所述第三位置的管路关闭；所述第四触发信号为所述真空检测组件间隔预设换件时长，向控制器发送；在收到第五触发信号时，向所述管路控制组件发送第七控制信号，以使所述第二位置的管路关闭、所述第三位置的管路打开；所述第五触发信号为真空检测组件，在第二位置的真空度小于所述第二真空阈值时，向控制器发送。

Images