CN102825027A - 一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，其特征在于步骤如下：在室温下，将衬底用洗洁精溶液浸泡、用去离子水浸泡、采用V水：V盐酸=n：1的稀盐酸溶液浸泡、采用丙酮浸泡以及酒精浸泡，再配合超声清洗7-15分钟，溶解吸附丙酮后倒掉溶剂。本发明提出的一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，针对衬底可能吸附的各种杂质，采用不同的溶剂清洗，从而对衬底进行彻底的清洗。本发明考虑了衬底可能吸附的各种杂质，针对每种杂质采用不同的溶剂从而可以彻底洗净衬底，从而保证随后沉积过程顺利进行。

Description

一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法
技术领域
本发明涉及一种透明导电薄膜的制备领域，具体涉及用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法。
背景技术
随着透明导电薄膜的技术越来越成熟，特别是ITO玻璃等在光学显示、太阳能电池、特种玻璃的应用越来越广泛。但不管何种应用，衬底的清洗始终是第一步。目前的衬底种类有很多，不同的衬底清洗方法也不同。普通的硅酸盐玻璃由于其价格便宜等各种优点广泛被人们使用，目前的衬底清洗方法步骤较少，可能衬底上仍会附着一些杂质，从而在沉积成膜的时候对膜最后的质量会有很大的影响。因此研究玻璃衬底清洗是薄膜制备的第一步。
发明内容
要解决的技术问题
为了避免现有技术的不足之处，本发明提出一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，以满足溶胶凝胶法提拉制膜的要求。
技术方案
一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，其特征在于步骤如下：
步骤1：在室温下，将衬底用洗洁精溶液浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，去除衬底上附着油污后倒掉溶剂；
步骤2：将上一步衬底采用去离子水冲洗两遍去除泡沫后再用去离子水浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，去除衬底上的吸附离子后倒掉溶剂；
步骤3：将衬底采用V水：V盐酸=n：1的稀盐酸溶液浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，溶解并去除某些难溶杂质后倒掉溶剂；所述10>n>4；
步骤4：将衬底采用丙酮浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，溶解并吸附的有机物后倒掉溶剂；
步骤5：将衬底用酒精浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，溶解吸附丙酮后倒掉溶剂。
将得到的衬底在酒精溶液中密封保存。
有益效果
本发明提出的一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，针对衬底可能吸附的各种杂质，采用不同的溶剂清洗，从而对衬底进行彻底的清洗。与现有方法相比，该方法具有以下优点：
本发明考虑了衬底可能吸附的各种杂质，针对每种杂质采用不同的溶剂从而可以彻底洗净衬底，从而保证随后沉积过程顺利进行。
另外，本发明中盐酸清洗为首创，以前的衬底清洗均没有考虑衬底吸附的难溶杂质，实验证明盐酸清洗对难溶物质的作用很大。
附图说明
图1是清洗之前玻璃衬底在100倍显微镜下的图片
图2是清洗之后玻璃衬底在100倍显微镜下的图片
其中a是浸泡0.6小时并配合超声10分钟清洗之后玻璃衬底的图片，
b是浸泡0.6小时并配合超声15分钟清洗之后玻璃衬底的图片，
c是浸泡0.6小时且用V水：V盐酸=7：1的稀盐酸溶液清洗之后玻璃衬底的图片
具体实施方式
现结合实施例、附图对本发明作进一步描述：
实施案例1
首先，由于手持等因素，衬底难免会有油污，针对这一点，采用洗洁精溶液浸泡0.6小时并配合超声10分钟，以去除油污；
第二步，衬底上可能会吸附各种离子杂质，采用去离子水浸泡0.6小时并配合超声10分钟，以去除离子杂质；
第三步，衬底吸附的某些难溶杂质，仅前两步可能无法清洗，再用V水：V盐酸=6：1的稀盐酸溶液浸泡0.6小时并配合超声10分钟，以去除难溶杂质；
第四步，考虑到某些有机物杂质，用丙酮浸泡0.6小时溶解并配合超声清洗10分钟，以去除有机杂质；
第五步，对以上步骤中的丙酮，由于其为有毒物质，再用酒精浸泡0.6小时溶解并配合超声清洗10分钟，以去除丙酮；
最后将衬底至于酒精中保存。
实施案例2
首先，由于手持等因素，衬底难免会有油污，针对这一点，采用洗洁精溶液浸泡1小时并配合超声15分钟，以去除油污；
第二步，衬底上可能会吸附各种离子杂质，采用去离子水浸泡1小时并配合超声15分钟，以去除离子杂质；
第三步，衬底吸附的某些难溶杂质，仅前两步可能无法清洗，再用V水：V盐酸=6：1的稀盐酸溶液浸泡1小时并配合超声15分钟，以去除难溶杂质；
第四步，考虑到某些有机物杂质，用丙酮浸泡1小时溶解并配合超声清洗15分钟，以去除有机杂质；
第五步，对以上步骤中的丙酮，由于其为有毒物质，再用酒精浸泡1小时溶解并配合超声清洗15分钟，以去除丙酮；
最后将衬底至于酒精中保存。
实施案例3
首先，由于手持等因素，衬底难免会有油污，针对这一点，采用洗洁精溶液浸泡1小时并配合超声10分钟，以去除油污；
第二步，衬底上可能会吸附各种离子杂质，采用去离子水浸泡1小时并配合超声10分钟，以去除离子杂质；
第三步，衬底吸附的某些难溶杂质，仅前两步可能无法清洗，再用V水：V盐酸=7：1的稀盐酸溶液浸泡1小时并配合超声10分钟，以去除难溶杂质；
第四步，考虑到某些有机物杂质，用丙酮浸泡1小时溶解并配合超声清洗10分钟，以去除有机杂质；
第五步，对以上步骤中的丙酮，由于其为有毒物质，再用酒精浸泡1小时溶解并配合超声清洗10分钟，以去除丙酮
最后将衬底至于酒精中保存。

Claims (2)

1.一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，其特征在于步骤如下：
步骤1：在室温下，将衬底用洗洁精溶液浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，去除衬底上附着油污后倒掉溶剂；
步骤2：将上一步衬底采用去离子水冲洗两遍去除泡沫后再用去离子水浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，去除衬底上的吸附离子后倒掉溶剂；
步骤3：将衬底采用V水：V盐酸=n：1的稀盐酸溶液浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，溶解并去除某些难溶杂质后倒掉溶剂；所述10>n>4；
步骤4：将衬底采用丙酮浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，溶解并吸附的有机物后倒掉溶剂；
步骤5：将衬底用酒精浸泡0.5-1小时，再配合超声清洗7-15分钟，溶解吸附丙酮后倒掉溶剂。
2.根据权利要求1所述用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，其特征在于：将得到的衬底在酒精溶液中密封保存。
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