CN102798634A

CN102798634A - 光学检测装置以及具有光学检测装置的阵列测试装置

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Publication number: CN102798634A
Application number: CN2011102425642A
Authority: CN
Inventors: 潘俊浩; 郑东贤; 李宁郁
Original assignee: Top Engineering Co Ltd
Current assignee: Top Engineering Co Ltd
Priority date: 2011-05-26
Filing date: 2011-08-23
Publication date: 2012-11-28
Anticipated expiration: 2031-08-23
Also published as: TWI471555B; KR101245530B1; CN102798634B; TW201248139A; KR20120131839A

Abstract

本文公开一种光学检测装置以及一种具有所述光学检测装置的阵列测试装置。本发明可以简化用于调整光学系统放大率的结构，并且防止在调整光学系统放大率时产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板。

Description

光学检测装置以及具有光学检测装置的阵列测试装置

技术领域

本发明涉及一种测试和测量玻璃面板的光学检测装置，以及一种具有所述光学检测装置的阵列测试装置。

背景技术

一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩管(Braun Tube)的电视机或显示器更轻更薄的图像显示设备。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表性实例。

这些FPD中的LCD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式，来显示期望图像的图像显示器。LCD薄且轻，而且还具有包括功耗低和操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛地使用。在典型用在这种LCD中的液晶面板的制造过程中，测试具有薄膜晶体管(TFT)和像素电极的基板(下文中称为“玻璃面板”)是否有缺陷的操作，是通过例如检查栅极线或数据线是否断开或者检查像素单元是否显色不佳来实现的。

典型地，阵列测试装置用于测试玻璃面板。阵列测试装置包括测试玻璃面板的测试单元、将玻璃面板加载到测试单元上的加载单元、以及从测试单元卸载玻璃面板的卸载单元。

此外，测试单元包括光学检测装置，所述光学检测装置检测玻璃面板的外观缺陷，诸如玻璃面板P上所形成的电路图案中的缺陷或表面缺陷。光学检测装置包括具有多个透镜的光学系统、以及拍摄经过光学系统的玻璃面板图像的摄像单元。

优选的是，光学检测装置配置为使得光学系统的放大率可以在尽可能大的范围内变化，以便能够以希望的分辨率检测玻璃面板。具体而言，为了找到待检测玻璃面板整个区域中的希望部分、并放大所述希望部分以便能以高分辨率检测所述希望部分，需要不仅以低放大率而且以高放大率将玻璃面板投射到摄像单元的光学系统。为此，可以利用将面向玻璃面板放置的物镜更换成另一个物镜的方法、或利用将放置在物镜与摄像单元之间的镜筒透镜更换成另一个镜筒透镜的方法。然而，这些方法具有的缺点是连接至物镜或镜筒透镜的驱动单元的结构复杂。此外，驱动单元操作时会产生外来杂质，污染光学系统或玻璃面板。

发明内容

因此，本发明针对以上在现有技术中产生的问题，并且本发明的目的是提供一种光学检测装置，所述光学检测装置可以简化用于调整光学系统放大率的结构，并且防止在调整光学系统放大率时产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板；以及本发明还提供一种具有所述光学检测装置的阵列测试装置。

为了实现以上的目的，一方面，本发明提供一种光学检测装置，包括：物镜，其设置为面向玻璃面板；多个镜筒透镜，经过物镜的光进入所述镜筒透镜，所述镜筒透镜具有不同的放大率；摄像单元，其拍摄经过镜筒透镜之一的光的图像；以及切换单元，其在光进入镜筒透镜所沿的路径之间选择性地切换光的路径，以使经过物镜的光进入镜筒透镜中选定的一个。

另一方面，本发明提供一种光学检测装置，包括；物镜，其设置为面向玻璃面板；多个镜筒透镜，经过物镜的光进入所述多个镜筒透镜，所述镜筒透镜具有不同的放大率；摄像单元，其拍摄经过镜筒透镜的多条光线中的一条光线的图像；以及切换单元，其在所述多条光线进入摄像单元所沿的路径之间切换光的路径，以使经过镜筒透镜中选定的一个镜筒透镜的光进入摄像单元。

在根据本发明的光学检测装置中，可以通过移动阻光构件的简单操作来控制进入摄像单元的光的放大率。因此，与被迫使用另一个物镜或镜筒透镜替换原物镜或镜筒透镜来控制图像放大率的常规光学检测装置相比，可以简化光学检测装置的构造，并且可以为控制图像放大率的操作提供便利。

此外，根据本发明的光学检测装置可以包括多个透光变换单元，每个透光变换单元在被供电时进入能够使光透过所述透光转换单元的第一状态，而在供电中断时进入阻止光透过所述透光变换单元的第二状态。在此情况下，可以通过为从这些透光变换单元中选定的一个透光变换单元供电而中断对其余透光变换单元的供电，容易地控制摄像单元所拍摄的图像的放大率。因此，不需要必需移动部件来控制摄像单元所拍摄的图像的放大率的结构，因此，防止由于部件的移动或用于移动部件的装置的操作而产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板。

附图说明

由以下结合附图的详细描述，可以更加清晰地理解本发明前述的和其它的目的、特征和优点，其中：

图1是示出根据本发明的具有光学检测装置的阵列测试装置的立体图；

图2是示出根据本发明第一实施方式的光学检测装置的立体图；

图3是图2的光学检测装置的示意图；

图4是示出图2的光学检测装置的切换单元的立体图；

图5和图6是示出图2的光学检测装置的操作的视图；

图7和图8是示出根据本发明第二实施方式的光学检测装置的示意图；

图9是示出根据本发明第三实施方式的光学检测装置的示意图；

图10和图11是示出图9的光学检测装置的透光变换单元的示例的示意图；以及

图12是示出根据本发明第四实施方式的光学检测装置的示意图。

具体实施方式

下文，将结合附图详细描述根据本发明的光学检测装置以及具有光学检测装置的阵列测试装置的优选实施方式。

根据本发明的阵列测试装置包括底座框架10、加载玻璃面板P的加载单元30、测试由加载单元30加载的玻璃面板P的测试单元20、以及将已经由测试单元20测试的玻璃面板P从加载单元30卸载的卸载单元40。

测试单元20测试玻璃面板P的电缺陷。测试单元20包括透光支撑件21、测试模块22、探针组件23和控制单元(未示出)。由加载单元30加载的玻璃面板P放置在透光支撑件21上。测试模块22测试放置在透光支撑件21上的玻璃面板P的电缺陷。探针组件23向放置在透光支撑件21上的玻璃面板P的电极施加电信号。控制单元控制测试模块22和探针组件23。

此外，测试模块支撑框架223设置在透光支撑件21的上方，并且沿Y轴方向延伸预定长度。测试模块22设置在测试模块支撑框架223上，以便能够沿Y轴方向移动。测试模块22可以包括多个测试模块，这些测试模块沿着测试模块支撑框架223延伸的方向(Y轴方向)设置在测试模块支撑框架223上。这些测试模块22设置在置于透光支撑件21上的玻璃面板P的上方，并且测试玻璃面板P的电缺陷。每个测试模块22包括靠近放置在透光支撑件21上的玻璃面板P的调制器221、以及拍摄调制器221的图像的摄像单元222。

阵列测试装置分类为光反射型和光透射型。在反射型中，光源与测试模块22设置在一起，并且测试模块22的调制器221上设置有反射层(未示出)。这样，通过在光源发出的光进入调制器221之后测量由调制器221的反射层所反射的光量，来确定玻璃面板P是否有缺陷。

测试单元20分类为包括光反射型和光透射型这两种类型。在反射型中，光源与测试模块22设置在一起，并且透光支撑件21上设置有反射层。这样，通过在光源发出的光被透光支撑件21的反射层反射之后测量透过调制器221的光量，来确定玻璃面板P是否有缺陷。在透射型中，光源设置在透光支撑件21下方。通过在光从光源发出之后测量透过调制器221的光量，来确定玻璃面板P是否有缺陷。根据本发明的阵列测试装置或可采用光反射型或可采用光透射型。

此外，测试单元20可以进一步包括光学检测装置70，光学检测装置70检测玻璃面板P是否有外观缺陷，例如玻璃面板P上所形成的电路图案的缺陷或表面缺陷。光学检测装置70设置在测试模块22上，并且与测试模块22一起沿Y轴方向移动，以检测玻璃面板P的外观缺陷。光学检测装置70可以设置在每个测试模块22上，或替代地，光学检测装置70可以仅设置在测试模块22中的某些上。

测试模块22的调制器221具有电光材料层，所述电光材料层根据玻璃面板P与调制器221之间产生的电场强度而改变光反射率(在光反射型的情况中)或光透射率(在光透射型的情况中)。电光材料层由如下材料制成，所述材料具有根据当电施加到玻璃面板P和调制器221时所产生的电场而变化的特定物理特性，从而使进入调制器221的光的反射率或透射率可变化。

探针组件23包括探针组件支撑框架231和多个探针头233，探针组件支撑框架231沿Y轴方向延伸预定长度，多个探针头233沿探针组件支撑框架231的纵向(Y轴方向)以规则间距设置。每个探针头233具有多个探针引脚(未示出)。

探针组件支撑框架231连接至X轴驱动单元235，以使探针组件支撑框架231能够沿水平地垂直于探针组件支撑框架231的纵向(Y轴方向)的方向(X轴方向)由X轴驱动单元235移动。此外，探针组件支撑框架231与探针头233之间设置有Y轴驱动单元236。Y轴驱动单元236沿探针组件支撑框架231的纵向(Y轴方向)移动探针头233。可以使用诸如线性马达、滚珠丝杠等多种线性驱动装置作为X轴驱动单元235和/或Y轴驱动单元236。

加载单元30支撑待测玻璃面板P，并将玻璃面板P运送至测试单元20。卸载单元40支撑已经过测试的玻璃面板P，并将玻璃面板P从测试单元20运送出阵列测试装置。加载单元30和卸载单元40中的每个包括多个支撑板50和玻璃面板输送单元60，上述多个支撑板50设置在以规则间距彼此间隔的位置处并将玻璃面板P支撑在其上，上述玻璃面板输送单元60运送玻璃面板P。

每个支撑板50可以具有吹气孔51，吹气孔51吹气以使玻璃面板P悬浮。吹气孔51连接至为吹气孔51供应空气的供气装置(未示出)。

下文将参考图2至图6详细说明根据本发明第一实施方式的光学检测装置。

如图2和图3所示，根据本发明第一实施方式的光学检测装置70包括物镜71、照明单元72、多个镜筒透镜(tube lens)73、摄像单元74、分光单元75、导光单元76、切换单元77以及壳体80。物镜71设置为面向玻璃面板P。照明单元72为物镜71提供光。上述多个镜筒透镜73具有不同的放大率，并且设置在分开的位置处，在每个分开的位置处，经过物镜71的光进入相应的镜筒透镜73。摄像单元74拍摄经过镜筒透镜73中任一个的光的图像。分光单元75设置在物镜71与镜筒透镜73之间，以将经过物镜71的光分配给镜筒透镜73。导光单元76将经过镜筒透镜73中任一个的光导引向摄像单元74。切换单元77在光进入镜筒透镜73所沿的多个路径之间选择性地切换光的路径，以使经过物镜71的光只进入镜筒透镜73中的任一个。壳体80容纳并支撑位于壳体80内的包括镜筒透镜73在内的多个部件。

镜筒透镜73可以包括第一镜筒透镜731和第二镜筒透镜732，第二镜筒透镜732邻近第一镜筒透镜731设置。虽然镜筒透镜73图示为包括两个镜筒透镜731和732，但本发明并不局限于此结构，例如，镜筒透镜73可以包括三个或更多个镜筒透镜。这些镜筒透镜73具有不同的放大率。每个镜筒透镜73优选地配置为使得多个光学透镜排列成一条直线。

摄像单元74可以包括具有CCD(电荷耦合器件)的照相机。

分光单元75包括第一半反射镜(half mirror)751和第一反射镜752，第一半反射镜751设置在物镜71与第一镜筒透镜731之间，第一反射镜752邻近第一半反射镜751设置，并且朝向第二镜筒透镜732反射由第一半反射镜751反射的光。在上述构造中，经过物镜71的光中的一些光经由第一半反射镜751进入第一镜筒透镜731。经过物镜71的光中的其余部分由第一半反射镜751和第一反射镜752反射，然后进入第二镜筒透镜732。

导光单元76包括第二半反射镜761和第二反射镜762，第二半反射镜761设置在摄像单元74与第二镜筒透镜732之间，第二反射镜762邻近第二半反射镜761设置，并且朝向第二半反射镜761反射经过第一镜筒透镜731的光。在此构造中，经过第一镜筒透镜731的光被第二反射镜762和第二半反射镜761反射，然后进入摄像单元74。经过第二镜筒透镜732的光经由第二半反射镜761进入摄像单元74。

照明单元72包括光源721、第三反射镜722和第三半反射镜723，第三反射镜722反射从光源721发出的光，第三半反射镜723朝向物镜71反射被第三反射镜722反射的光。

如图2至图4所示，切换单元77包括阻光构件771和驱动单元772。阻光构件771设置为在物镜71和第一镜筒透镜731之间的区域与物镜71和第二镜筒透镜732之间的区域之间是可滑动的，以阻止光进入除了从第一镜筒透镜731与第二镜筒透镜732之间选定的一个镜筒透镜之外的其余镜筒透镜73。驱动单元772移动阻光构件771。

具体地，阻光构件771可以选择性地定位在第一半反射镜751和第一镜筒透镜731之间的区域与第一反射镜752和第二镜筒透镜732之间的区域之间处。因此，如图5所示，当阻光构件771定位在第一反射镜752与第二镜筒透镜732之间的区域时，经过物镜71的光进入第一镜筒透镜731，而被阻止进入第二镜筒透镜732。另一方面，如图6所示，当阻光构件771定位在第一半反射镜751与第一镜筒透镜731之间的区域时，经过物镜71的光进入第二镜筒透镜732，而被阻止进入第一镜筒透镜731。这样，可以调整阻光构件771的位置，以使光只进入从具有不同放大率的第一镜筒透镜731与第二镜筒透镜732之间选定的一个镜筒透镜。因此，可以通过调整阻光构件771的位置的简单操作来控制摄像单元74所拍摄的图像的放大率。

如图4所示，驱动单元772包括致动器773、连接构件774、移动块775、连接杆776以及导轨777。致动器773设置在容纳镜筒透镜73的壳体80的外表面。壳体80的外表面中形成有缝隙81。连接构件774穿过壳体80的缝隙81放置，并且连接至阻光构件771。移动块775连接至连接构件774。连接杆776将移动块775连接至致动器773。导轨777设置在壳体80的外表面上，以导引移动块775的运动。致动器773可以包括借助于气压或液压操作的缸体。在本发明中，因为致动器773设置在壳体80外面，所以即使由于致动器773的操作产生了外来杂质，也可以防止外来杂质进入壳体80。因此，可以防止外来杂质污染光的路径。同时，本发明不限于这种构造，而是诸如线性马达、滚珠丝杠等的多种线性驱动装置都可用作驱动单元772，只要它们可以线性地移动阻光构件771即可。

如上所述，在根据本发明第一实施方式的光学检测装置70中，可以通过移动阻光构件771的简单操作来控制进入摄像单元74的光的放大率。因此，与需要用另一个物镜或镜筒透镜替换原物镜或镜筒透镜来控制图像放大率的常规光学检测装置相比，光学检测装置70的构造可以被简化，并且可以为控制图像放大率的操作提供便利。

此外，在根据本发明第一实施方式的光学检测装置70中，移动阻光构件771的驱动单元772设置在壳体80外部。因此，即使由于驱动单元772的操作而产生外来杂质，也可以防止外来杂质进入壳体80。因此，可以防止外来杂质污染光学系统。

下文，将参考图7和图8具体说明根据本发明第二实施方式的光学检测装置。在第二实施方式的说明中，相同的参考标记将用来标示与第一实施方式中相同的部件，并省略对其不必要的进一步说明。

如图7和图8所示，根据本发明第二实施方式的光学检测装置70包括物镜71、照明单元72、多个镜筒透镜73、摄像单元74、分光单元75、导光单元76、切换单元77以及壳体80。物镜71设置为面向玻璃面板P。照明单元72为物镜71提供光。上述多个镜筒透镜73具有不同的放大率，并且放置在分开的位置处，在每个分开的位置处，经过物镜71的光可以进入相应的镜筒透镜73。摄像单元74拍摄经过镜筒透镜73中任一个的光的图像。分光单元75设置在物镜71与镜筒透镜73之间，以将经过物镜71的光分配给镜筒透镜73。导光单元76将经过镜筒透镜73的光线导引向摄像单元74。切换单元77在光线进入摄像单元74所沿的多个路径之间选择性地切换光的路径，以使经过镜筒透镜73的多条光线中只有一条光线可以进入摄像单元74。壳体80容纳并支撑位于壳体80中的包括镜筒透镜73在内的多个部件。

镜筒透镜73可以包括第一镜筒透镜731和第二镜筒透镜732，第二镜筒透镜732邻近第一镜筒透镜731设置。虽然镜筒透镜73图示为包括两个镜筒透镜731和732，但本发明并不局限于此结构，例如，镜筒透镜73可以包括三个或更多个镜筒透镜。

切换单元77包括阻光构件771和驱动单元772。阻光构件771设置为在摄像单元74和第一镜筒透镜731之间的区域与摄像单元74和第二镜筒透镜732之间的区域之间是可滑动的，以阻止经过除第一镜筒透镜731与第二镜筒透镜732之中选定的一个镜筒透镜之外的其余镜筒透镜73的光，使其不进入摄像单元74。驱动单元772移动阻光构件771。

具体地，阻光构件771可以选择性地定位在第二半反射镜761和第二镜筒透镜732之间的区域与第二反射镜762和第一镜筒透镜731之间的区域之间处。因此，如图7所示，当阻光构件771定位在第二反射镜762与第一镜筒透镜731之间的区域时，经过第二镜筒透镜732的光进入摄像单元74，而经过第一镜筒透镜731的光被阻止进入摄像单元74。另一方面，如图8所示，当阻光构件771定位在第二半反射镜761与第二镜筒透镜732之间的区域时，经过第一镜筒透镜731的光进入摄像单元74，而经过第二镜筒透镜732的光被阻止进入摄像单元74。这样，可以调整阻光构件771的位置，以使经过具有不同放大率的第一镜筒透镜731与第二镜筒透镜732的多条光线之中仅选定的一条光线可以进入摄像单元74。因此，可以通过调整阻光构件771位置的简单操作来控制摄像单元74所拍摄的图像的放大率。

第二实施方式的驱动单元772可以与第一实施方式的驱动单元772相同。

如上所述，在根据本发明第二实施方式的光学检测装置70中，可以通过移动阻光构件771的简单操作来控制进入摄像单元74的光的放大率。因此，与需要用另一个物镜或镜筒透镜替换原物镜或镜筒透镜来控制图像放大率的常规光学检测装置相比，光学检测装置70的构造可以被简化，并且可以为控制图像放大率的操作提供便利。

下文，将参考图9至图11具体说明根据本发明第三实施方式的光学检测装置。在第三实施方式的说明中，相同的附图标记将用来标示与第一或第二实施方式中相同的部件，并省略对其不必要的进一步说明。

如图9所示，根据本发明第三实施方式的光学检测装置70包括物镜71、照明单元72、多个镜筒透镜73、摄像单元74、分光单元75、导光单元76以及切换单元90。物镜71设置为面向玻璃面板P。照明单元72为物镜71提供光。上述多个镜筒透镜73具有不同的放大率，并且设置在分开的位置处，在每个分开的位置处，经过物镜71的光可以进入相应的镜筒透镜73。摄像单元74拍摄经过镜筒透镜73中任一个的光的图像。分光单元75设置在物镜71与镜筒透镜73之间，以将经过物镜71的光分配给镜筒透镜73。导光单元76将经过镜筒透镜73中任一个的光导引向摄像单元74。切换单元90在光进入镜筒透镜73所沿的多个路径之间选择性地切换光的路径，以使经过物镜71的光只进入镜筒透镜73中的任一个。

切换单元90可以包括多个透光变换单元91和92，上述多个透光变换单元91和92分别设置在光线进入相应的镜筒透镜73所沿的路径上。具体地，在这种实施方式中，切换单元90包括第一透光变换单元91、第二透光变换单元92以及供电装置93，第一透光变换单元91设置在第一半反射镜751与第一镜筒透镜731之间，第二透光变换单元92设置在第一反射镜752与第二镜筒透镜732之间，供电装置93选择性地为第一透光变换单元91和第二透光变换单元92供电。

供电装置93包括电源931、连接线932以及开关933，连接线932将电源931连接至第一透光变换单元91和第二透光变换单元92，开关933设置在连接线932上并且选择性地为第一透光变换单元91和第二透光变换单元92供电。

如图10和图11所示，第一透光变换单元91和第二透光变换单元92中的每个包括一对玻璃件97、介于上述玻璃件97之间的透光变换元件99、以及介于透光变换元件99与各玻璃件97之间的电极层98。透光变换元件99可以包括聚合物分散液晶(PDLC)。PDLC配置为使得液晶均匀地分散在聚合物基体中。

如图11所示，在透光变换元件99中，当向电极层98供电时，液晶由于电场作用而沿与聚合物基体的折射率设置相对应的方向取向，因此进入第一状态，所述第一状态允许包含物体形状的光透射过透光变换元件99。如图10所示，当中断对电极层98的供电时，透光变换元件99进入第二状态，在所述第二状态下，光被阻止透射过透光变换元件99。

然而，本发明的各个透光变换单元91、92不限于PDLC用作透光变换元件99的这种实施方式中所例示的结构。例如，液晶(LC)可以用作透光变换元件99。

此外，各个透光变换单元91、91可以具有多种结构，这些结构包括诸如KDP(KH₂PO₄)、ADP(NH₄H₂PO₄)、BSO(Bi₁₂SiO₂₀)、BTO(Bi₁₂TiO₂₀)或LiNbO₃等的晶体，并且因此配置为使得根据是否满足特定条件，例如供电或形成电场，来确定是否允许光的透射。

因此，当第一透光变换单元91响应于对第一透光变换单元91的供电而进入第一状态、且第二透光变换单元92响应于供电的中断而进入第二状态时，经过物镜71的光进入第一镜筒透镜731，而被阻止进入第二镜筒透镜732。在此情况下，光的路径与图9中的路径A相同。另一方面，当第一透光变换单元91响应于供电的中断而进入第二状态、且第二透光变换单元92响应于对第二透光变换单元92的供电而进入第一状态时，经过物镜71的光进入第二镜筒透镜732，而被阻止进入第一镜筒透镜731。在此情况下，光的路径与图9中的路径B相同。

如上所述，在根据本发明第三实施方式的光学检测装置70中，通过给第一透光变换单元91和第二透光变换单元92中相应的一个供电并中断对另一个的供电的简单操作，允许光进入具有不同放大率的第一镜筒透镜731与第二镜筒透镜732之中仅选定的一个镜筒透镜。因此，可以容易地控制摄像单元74所拍摄的图像的放大率。

此外，根据本发明第三实施方式的光学检测装置70不需要移动部件以控制摄像单元74所拍摄的图像放大率的结构，因此，防止了由于部件的运动或用于移动部件的装置的操作而产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板P。

下文将参考图12具体说明根据本发明第四实施方式的光学检测装置。在第四实施方式的说明中，相同的附图标记将用于标示与第一、第二或第三实施方式中相同的部件，并省略对其不必要的进一步说明。

如图12所示，根据本发明第四实施方式的光学检测装置70包括物镜71、照明单元72、多个镜筒透镜73、摄像单元74、分光单元75、导光单元76以及切换单元90。物镜71设置为面向玻璃面板P。照明单元72为物镜71提供光。上述多个镜筒透镜73具有不同的放大率，并且放置在分开的位置处，在每个分开的位置处，经过物镜71的光可以进入相应的镜筒透镜73。摄像单元74拍摄经过镜筒透镜73中任一个的光的图像。分光单元75设置在物镜71与镜筒透镜73之间，以将经过物镜71的光分配给镜筒透镜73。导光单元76将经过镜筒透镜73的多条光线中的任一光线导引向摄像单元74。切换单元90在光线进入摄像单元74所沿的多个路径之间选择性地切换光的路径，以使经过镜筒透镜73的光线中只有一条光线可以进入摄像单元74。

切换单元90可以包括多个透光变换单元91和92，上述多个透光变换单元91和92分别设置在经过镜筒透镜73的光线的路径上。具体地，在该实施方式中，切换单元90包括第一透光变换单元91、第二透光变换单元92以及供电装置93，第一透光变换单元91设置在第二反射镜762与第一镜筒透镜731之间，第二透光变换单元92设置在第二半反射镜761与第二镜筒透镜732之间，供电装置93选择性地为第一透光变换单元91和第二透光变换单元92供电。第一透光变换单元91、第二透光变换单元92和供电装置93的构造可以与本发明第三实施方式中的那些构造相同。

因此，当第一透光变换单元91响应于对第一透光变换单元91的供电而进入第一状态、且第二透光变换单元92响应于供电的中断而进入第二状态时，经过第一镜筒透镜731的光进入摄像单元74，而经过第二镜筒透镜732的光被阻止进入摄像单元74。在此情况下，光的路径与图12中的路径A相同。另一方面，当第一透光变换单元91响应于供电的中断而进入第二状态、且第二透光变换单元92响应于对第二透光变换单元92的供电而进入第一状态时，经过第二镜筒透镜732的光进入摄像单元74，而经过第一镜筒透镜732的光被阻止进入摄像单元74。在此情况下，光的路径与图12中的路径B相同。

如上所述，在根据本发明第四实施方式的光学检测装置70中，通过给第一透光变换单元91和第二透光变换单元92中相应的一个供电并中断对另一个供电的简单操作，可以允许经过具有不同放大率的第一镜筒透镜731和第二镜筒透镜732的多条光线中仅一条光线进入摄像单元74。因此，可以容易地控制摄像单元74所拍摄的图像的放大率。

此外，根据本发明第四实施方式的光学检测装置70不需要移动部件以控制摄像单元74所拍摄的图像的放大率的结构，因此，防止由于部件的移动或用于移动部件的装置的操作而产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板P。

本发明实施方式中所描述的技术主旨可以独立地实施，或者它们也可以结合。另外，根据本发明的光学检测装置可以应用到多种装置，这些装置不但包括用于测试制造液晶显示器的玻璃面板的装置，还包括用于测试半导体基板的装置。

Claims

1.一种光学检测装置，包括：

物镜，所述物镜设置为面向玻璃面板；

多个镜筒透镜，经过所述物镜的光进入所述镜筒透镜，所述镜筒透镜具有不同的放大率；

摄像单元，所述摄像单元拍摄经过所述镜筒透镜之一的光的图像；以及

切换单元，所述切换单元在光进入所述镜筒透镜所沿的路径之间选择性地切换光的路径，以使经过所述物镜的光进入所述镜筒透镜中选定的一个。

2.如权利要求1所述的光学检测装置，其中，所述切换单元包括：

阻光构件，所述阻光构件设置为在所述物镜与所述镜筒透镜之间是可滑动的，所述阻光构件阻止经过所述物镜的光进入除所述镜筒透镜中选定的一个之外的其余镜筒透镜；以及

驱动单元，所述驱动单元移动所述阻光构件。

3.如权利要求2所述的光学检测装置，其中，所述驱动单元包括：

致动器，所述致动器设置在壳体的外表面，所述镜筒透镜容纳在所述壳体中；

连接构件，所述连接构件穿过形成在所述壳体的外表面中的缝隙放置，所述连接构件连接至所述阻光构件；

移动块，所述移动块连接至所述连接构件；以及

连接杆，所述连接杆将所述移动块连接至所述致动器。

4.如权利要求1所述的光学检测装置，其中，所述切换单元包括：

多个透光变换单元，所述多个透光变换单元设置在所述物镜与所述镜筒透镜之间，并且设置在光进入所述镜筒透镜的相应路径上，每个透光变换单元在被供电时进入允许光透过的第一状态，而在供电中断时进入阻止光透过的第二状态；以及

供电装置，所述供电装置选择性地为多个所述透光变换单元中选定的一个供电。

5.一种光学检测装置，包括：

物镜，所述物镜设置为面向玻璃面板；

摄像单元，所述摄像单元拍摄经过所述镜筒透镜的多条光线中的一条光线的图像；以及

切换单元，所述切换单元在所述多条光线进入所述摄像单元所沿的路径之间切换光的路径，以使经过所述镜筒透镜中选定的一个镜筒透镜的光进入所述摄像单元。

6.如权利要求5所述的光学检测装置，其中，所述切换单元包括：

阻光构件，所述阻光构件设置为在所述镜筒透镜与所述摄像单元之间是可滑动的，所述阻光构件阻止经过除所述镜筒透镜中选定的一个之外的其余镜筒透镜的光进入所述摄像单元；以及

驱动单元，所述驱动单元移动所述阻光构件。

7.如权利要求6所述的光学检测装置，其中，所述驱动单元包括：

移动块，所述移动块连接至所述连接构件；以及

连接杆，所述连接杆将所述移动块连接至所述致动器。

8.如权利要求5所述的光学检测装置，其中，所述切换单元包括：

多个透光变换单元，所述多个透光变换单元设置在所述镜筒透镜与所述摄像单元之间，并且设置在经过所述镜筒透镜的所述多条光线的相应路径上，每个透光变换单元在被供电时进入允许光透过的第一状态，而在供电中断时进入阻止光透过的第二状态；以及

供电装置，所述供电装置选择性地为所述透光变换单元中选定的一个供电。

9.一种阵列测试装置，包括设置为面向玻璃面板以测试所述玻璃面板的缺陷的测试模块，所述测试模块包括根据权利要求1至8中任一项所述的光学检测装置。