CN102794990A - 液体喷射头及液体喷射装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供液体喷射头及液体喷射装置，其能够以非破坏的方式容易地测定独立流道的尺寸。该液体喷射头具备：流道形成基板，其上设置有与喷射液体的喷嘴开口连通的独立流道；第一部件，其被设置在所述流道形成基板的一面侧，且具有使所述独立流道内的液体产生压力变化的压力产生单元；第二部件，其被设置于所述流道形成基板的所述第一部件的相反面侧，所述液体喷射头由所述流道形成基板、所述第一部件及所述第二部件的一体化烧成物来形成，在所述流道形成基板上，以独立于所述独立流道的方式而设置有虚设流道，在所述第一部件及所述第二部件中的至少一方上设置有露出部，所述露出部使形成所述虚设流道的所述流道形成基板的壁面的一部分露出。

Description

液体喷射头及液体喷射装置
技术领域
本发明涉及一种从喷嘴开口喷射液体的液体喷射头及液体喷射装置，尤其涉及一种喷出作为液体的油墨的喷墨式液体喷射头及液体喷射装置。
背景技术
作为液体喷射头的一个示例即喷墨式液体喷射头，例如，存在一种具备致动器单元和流道单元的喷墨式液体喷射头，其中，所述致动器单元中设置有压电元件及压力产生室，所述流道单元具有设置有与压力产生室连通且喷出油墨滴的喷嘴开口的喷嘴板。
致动器单元以层叠流道形成基板、振动板和压力产生室底板的方式而构成，其中，所述流道形成基板上设置有压力产生室，所述振动板被设置于流道形成基板的一面侧，且其上设置有压电元件，所述压力产生室底板被设置在流道形成基板的振动板的相反侧的另一面侧(例如，参照专利文献1)。
虽然这种致动器单元的各个基板由陶瓷等的烧成物形成，但当在流道形成基板、振动板及压力产生室底板上形成流道等，并单独地烧成，且将所烧成的各个基板彼此贴合在一起时，将存在如下的问题，即，由于因烧成而产生的收缩的不均衡，从而产生位置误差或间距误差。
因此，在流道形成基板、振动板及压力产生室底板上形成流道等之后，通过在层叠的状态下进行烧成，从而在无需于这些板之间使用粘合剂的条件下实现一体化。
但是，在通过于流道形成基板上形成了压力产生室等的独立流道之后，对作为振动板的第一部件、作为压力产生室底板的第二部件进行接合，并同时对这些板进行烧成，从而使之一体化的喷墨式液体喷射头中，存在如下的问题，即，无法对烧成后的压力产生室的形状及尺寸进行测定，从而为了测定必须实施对第一部件和第二部件等进行剥离等的破坏。
而且，当无法确认通过烧成而产生了收缩的压力产生室的形状及无法测定其尺寸时，将存在如下的问题，即，无法按照压力产生室的尺寸而搭载于液体喷射装置上，从而油墨喷出特性产生误差，进而印刷品质降低。
并且，这种问题不仅存在于喷墨式液体喷射头中，还同样存在于喷射油墨以外的液体的液体喷射头中。
专利文献1：日本特开2009-166334号公报
发明内容
鉴于上述情况，本发明的目的在于，提供一种能够以非破坏的方式容易地对独立流道的尺寸进行测定的液体喷射头及液体喷射装置。
用于解决上述课题的本发明的方式在于一种液体喷射头，其特征在于，具备：流道形成基板，其上设置有与喷射液体的喷嘴开口连通的独立流道；第一部件，其被设置在所述流道形成基板的一面侧，且具有使所述独立流道内的液体产生压力变化的压力产生单元；第二部件，其被设置于所述流道形成基板的所述第一部件的相反面侧，所述液体喷射头由所述流道形成基板、所述第一部件及所述第二部件被一体化而得到的烧成物形成，在所述流道形成基板上，以独立于所述独立流道的方式而设置有虚设流道，在所述第一部件及所述第二部件中的至少一方上设置有露出部，所述露出部使形成所述虚设流道的所述流道形成基板的壁面的一部分露出。
在所涉及的方式中，由于即使在作为烧成物而形成后，也能够在不剥离第一部件及第二部件的条件下，通过露出部而对虚设流道的尺寸进行测定，因此能够根据虚设流道的尺寸来掌握独立流道的尺寸。
在此，优选为，所述露出部使形成所述虚设流道的所述流道形成基板的壁面中相对置的两个面露出。由此，能够容易且准确地对虚设流道的尺寸进行测定。
另外，优选为，所述露出部被设置在，与所述虚设流道和所述独立流道的并排设置方向即第一方向交叉的、第二方向上的至少两端部处。由此，能够对虚设流道的第一方向及第二方向上的尺寸进行测定。
此外，优选为，所述露出部以与连通于所述虚设流道的所述喷嘴开口的、第二部件侧的开口相对置的方式而设置。由此，能够通过露出部而对第二部件的开口的独立流道侧的形状及尺寸进行测定。
此外，优选为，所述虚设流道以贯穿所述流道形成基板的方式而设置。由此，仅通过将露出部设置于第一部件及第二部件中的某一方上，便能够通过露出部而可靠地对虚设流道的尺寸进行测定。
而且，本发明的其他方式在于一种液体喷射装置，其特征在于，具备上述方式的液体喷射头。
在所述的方式中，通过将使独立流道的尺寸一致的液体喷射头搭载于液体喷射装置上，从而能够使液体的喷射特性一致。
附图说明
图1为实施方式1所涉及的液体喷射头的分解立体图。
图2为实施方式1所涉及的致动器单元的俯视图。
图3为实施方式1所涉及的液体喷射头的剖视图。
图4为表示实施方式1所涉及的液体喷射头的制造方法的剖视图。
图5为其他实施方式所涉及的致动器单元的俯视图。
图6为其他实施方式所涉及的液体喷射头的剖视图。
图7为本发明的一个实施方式所涉及的液体喷射装置的概要图。
具体实施方式
以下，根据实施方式对本发明进行详细说明。
实施方式1
图1为作为本发明的实施方式1所涉及的液体喷射头的一个示例的喷墨式液体喷射头的分解立体图，图2为喷墨式液体喷射头的致动器单元的俯视图，图3为沿图2中的A-A′线的剖视图及B-B′线的剖视图。
如图所示，本实施方式的喷墨式液体喷射头10具备致动器单元20、固定有致动器单元20的一个流道单元30、和与致动器单元20相连接的布线基板50。
致动器单元20为，具备压电致动器40以作为压力产生单元的致动器装置，且具有形成有压力产生室21的流道形成基板22、被设置在流道形成基板22的一面侧的振动板23、和被设置在流道形成基板22的另一面侧的压力产生室底板24。
流道形成基板22是由通过烧成而形成的烧成物构成的。在本实施方式中，作为流道形成基板22，例如，是由具有150μm左右的厚度的氧化铝(Al2O3)、或氧化锆(ZrO2)等的陶瓷板构成的。
另外，在流道形成基板22上，沿着喷出相同颜色的油墨的多个喷嘴开口34被并排设置的方向，而并排设置有作为独立流道的压力产生室21。在后文中，将该方向称为压力产生室21的并排设置方向、或第一方向。另外，在流道形成基板22上，设置有多列，在本实施方式中，设置有两列由压力产生室21在第一方向上并排设置而成的列。在后文中，将压力产生室21的列被成列设置为多列的成列设置方向称为第二方向，所述压力产生室21的列由压力产生室21沿着第一方向而形成。并且，在本实施方式中，压力产生室21以在厚度方向(第一部件23、流道形成基板22及第二部件24的层叠方向)上贯穿流道形成基板22的方式而设置。
而且，在流道形成基板22上，于由压力产生室21在第一方向上并排设置而成的各个列的两端部侧，形成有以独立于压力产生室21的方式而设置的虚设流道21A。虚设流道21A以与多个压力产生室21在第一方向上并排设置的间隔(间距)相同的间隔、且以与压力产生室21相同的形状而形成。并且，虚设流道21A以独立于压力产生室21的方式而设置是指，虚设流道21A不与压力产生室21连通。即，当虚设流道21A连通于，后文叙述的以由多个压力产生室21共用的方式与多个压力产生室相连接的歧管32时，虚设流道21A将通过歧管32而与压力产生室21连通。因此，在本实施方式中，通过不使虚设流道21A与歧管32连通，从而使虚设流道21A处于不与压力产生室21连通的独立的状态。在本实施方式中，虽然在后文进行详细叙述，但是可以采用如下方式，即，通过在压力产生室底板24的与虚设流道21A相互对置的位置上，不设置用于与歧管32连通的供给连通孔25，从而使虚设流道21A不与歧管32连通。
在这种流道形成基板22的一个面上，作为第一部件，设置有由通过烧成而形成的烧成物所构成的振动板23。在本实施方式中，作为振动板23，例如，是由具有10μm左右的厚度的氧化铝(Al2O3)、或氧化锆(ZrO2)等的陶瓷板构成的。通过该振动板23，从而使压力产生室21的一面侧被封闭。
另外，在振动板23上，于与虚设流道21A的第二方向上的两端部相对置的位置上，设置有在厚度方向上贯穿的露出部60。即，对于一个虚设流道21A，设置有两个露出部60。
该露出部60使形成虚设流道21A的流道形成基板22的壁面的一部分露出。
在本实施方式中，露出部60使虚设流道21A的第二方向上的两端部中的每一个，露出虚设流道21A的在第一方向上相对置的两个壁面、和第二方向上的一个壁面共计三个面。由此，通过一个露出部60，从而能够对虚设流道21A在第一方向上的宽度进行测定，并且通过两个露出部60，从而能够对虚设流道21A在第二方向上的长度进行测定。
并且，在本实施方式中，露出部60具有矩形形状的开口形状。但是，露出部60的开口形状只要能够使形成虚设流道21A的流道形成基板22的壁面露出，则其形状并不被特别限定，既可以是圆形形状、椭圆形形状，也可以是三角形形状、五角形形状等的多角形形状。
另外，当通过露出部60而露出的虚设流道21A未被振动板23及压力产生室底板24覆盖时，则可以由其他部件覆盖。即，虽然将在后文中进行详细说明，但当露出部60在将流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24层叠并进行了烧成的状态下，使形成虚设流道21A的流道形成基板22的壁面的一部分露出时，可以在之后，形成了压电致动器40或布线(独立端子部46及共用端子部47)等的其他部件时，由其他部件来覆盖所述虚设流道21A。
以此种方式，通过设置露出部60，而使形成虚设流道21A的流道形成基板22的壁面的一部分露出，从而能够在将流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24层叠并进行了烧成之后，在不剥离振动板23等的条件下，以非破坏的方式对虚设流道21A的尺寸进行测定。尤其是，由于在本实施方式中，以使该虚设流道21A的在第一方向上相对置的两个壁面、和第二方向上的一个壁面露出的方式，将露出部60设置在虚设流道21A的第二方向上的两端部处，因此，能够通过两个露出部60，而容易且准确地对虚设流道21A在第一方向及第二方向上这两个方向上的尺寸进行测定。即，虽然露出部60使形成虚设流道21A的流道形成基板22的壁面的一部分露出，但优选为，该露出的、形成虚设流道21A的流道形成基板22的壁面为相对置的两个壁面。
另外，由于在本实施方式中采用了如下方式，即，在由压力产生室21于第一方向上并排设置而成的各个列的第一方向上的两侧，设置虚设流道21A，并在针对每列而设置的两个虚设流道21A的双方设置露出部60，因此能够对针对每列而设置的两个虚设流道21A的尺寸进行测定。因此，能够掌握并排设置于第一方向上的压力产生室21的尺寸的误差(斜率)，从而能够掌握从并排设置于第一方向上的喷嘴开口喷出的油墨滴的喷出特性的误差。另外，由于在本实施方式中采用了如下方式，即，在流道形成基板22上，于第二方向上设置有两列由压力产生室21在第一方向上并排设置而成的列，并针对每列而设置虚设流道21A，因此能够掌握列与列之间的压力产生室21的尺寸的误差。
在流道形成基板22的振动板23的相反侧的另一面侧，作为第二部件，设置有由通过烧成而形成的烧成物所构成的压力产生室底板24。在本实施方式中，压力产生室底板24是由氧化铝(Al2O3)、或氧化锆(ZrO2)等的陶瓷板构成的。
压力产生室底板24被固定在流道形成基板22的另一面侧并对压力产生室21的另一面进行密封，且具有供给连通孔25和喷嘴连通孔26，其中，所述供给连通孔25被设置于压力产生室21的长度方向一个端部附近，并对压力产生室21和后文所述的歧管32进行连通，所述喷嘴连通孔26被设置在压力产生室21的长度方向另一个端部附近，并与后文所述的喷嘴开口34连通。
供给连通孔25及喷嘴连通孔26以与压力产生室21的第二方向上的两端部相比更靠内侧的方式而配置。这是为了避免如下情况，即，当将流道形成基板22和压力产生室底板24贴合在一起时，由于公差或位置偏移等，供给连通孔25及喷嘴连通孔26的一部分位于压力产生室21的外侧，从而压力产生室21的壁未被配置在供给连通孔25及喷嘴连通孔26的内部的情况。
并且，在压力产生室底板24上，于与虚设流道21A相对置的位置处，仅形成有喷嘴连通孔26。如上文所述，这是为了不使虚设流道21A与歧管32连通。当然，也可以采用如下方式，即，在压力产生室底板24的与虚设流道21A相对置的位置处设置供给连通孔25，而不设置对供给连通孔25和歧管32进行连通的油墨供给口37。
而且，压电致动器40被设置在振动板23上的与各个压力产生室21对置的各个区域内。在本实施方式中，由于由压力产生室21在第一方向上并排设置而成的列于第二方向上设置有两列，因此压电致动器40的列也设置有两列。
在此，各个压电致动器40由被设置于振动板23上的下电极膜43、针对各个压力产生室21中的每一个而独立设置的压电体层44、和被设置于各个压电体层44上的上电极膜45构成。压电体层44通过粘贴或印刷由压电材料构成的印刷电路基板而形成。另外，下电极膜43以横跨并排设置的压电体层44的方式被设置，并成为多个压电致动器40的共用电极，且作为振动板的一部分而发挥功能。当然，也可以针对各个压电体层44中的每一个而设置下电极膜43。而且，上电极膜45针对各个压电体层44中的每一个而被独立设置，从而成为各个压电致动器40的独立电极。并且，虽然在本实施方式中，将下电极膜43设定为多个压电致动器40的共用电极，将上电极膜45设定为压电致动器40的独立电极，但是即使由于驱动电路或布线的原因而采用与上述相反的配置也不会存在障碍。
构成这种致动器单元20的各个层通过以下的制造方法而被一体化。并且，图4为表示本发明的实施方式1所涉及的喷墨式液体喷射头的制造方法的剖视图。
首先，如图4(a)所示，流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24使粘土状的陶瓷材料、所谓的印刷电路基板成形为预定的厚度，例如，在贯穿设置了压力产生室21等后，进行层叠。
接下来，如图4(b)所示，对层叠在一起的流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24进行烧成。由此，构成致动器单元20的各个层、即流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24可在不需要粘合剂的条件下被一体化。此时，流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24通过烧成而产生收缩。
而且，由于形成压力产生室21的流道形成基板22的壁面被振动板23及压力产生室底板24覆盖，因此无法确认收缩后的压力产生室21的第一方向及第二方向上的尺寸。并且，流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24的收缩度根据烧成温度、烧成时间、环境温度、湿度等而发生变化。而且，由于构成致动器单元的各个层的层叠体同时烧成并形成多个，因此根据加热装置内的配置，会产生温度不均，从而收缩量产生偏差。因此，虽然压力产生室21的尺寸需要进行直接测定，但是为了对压力产生室21进行直接测定，而需要对振动板23或压力产生室底板24进行剥离等的破坏，从而产生由于破坏而无法作为喷墨式液体喷射头来使用等的不良情况。
在本实施方式中，由于在流道形成基板22上设置了具有与压力产生室21相同形状的虚设流道21A，并在振动板23上相对于一个虚设流道21A而设置了两个露出部60，该两个露出部60使该一个虚设流道21A露出在第一方向上相互对置的两个壁面、和在第二方向相互对置的两个壁面，因此即使在对流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24进行烧成而使之一体化之后，虚设流道21A在第一方向及第二方向上的两侧的壁面也会露出于外部。因此，能够在无需实施对振动板23或压力产生室底板24进行剥离等的破坏的条件下，对通过露出部60而露出的虚设流道21A在第一方向及第二方向上的尺寸进行测定。而且，由于以这种方式进行了测定的虚设流道21A与并排设置于第一方向上的压力产生室21具有相同的间距，且与压力产生室21具有相同的形状，因此能够通过对烧成后的虚设流道21A的尺寸进行测定，从而测定压力产生室21的烧成后的压力产生室21的尺寸。
另外，由于在本实施方式中采用了如下方式，即，在由压力产生室21于第一方向上并排设置而成的各个列的、第一方向上的两端部的外侧设置虚设流道21A，并在针对每列而设置的两个虚设流道21A的双方设置露出部60，因此能够对针对每列而设置的两个虚设流道21A的尺寸进行测定。通过以此种方式，对在压力产生室21的列的第一方向上的两侧所设置的虚设流道21A的尺寸进行测定，从而能够掌握并排设置于第一方向上的压力产生室21的尺寸的误差趋势，从而能够掌握从并排设置于第一方向上的喷嘴开口喷出的油墨滴的喷出特性的误差。另外，由于在本实施方式中采用了如下方式，即，在流道形成基板22上，于第二方向上设置两列由压力产生室21在第一方向上并排设置而成的列，并针对每列而设置虚设流道21A，因此能够掌握在第二方向上并排设置的压力产生室21的列之间的、压力产生室21的尺寸的误差，从而能够针对压力产生室21的每列而掌握油墨滴的喷出特性的误差。
而且，通过以这种方式掌握压力产生室21的尺寸，从而能够在将多个喷墨式液体喷射头搭载于液体喷射装置上时，将压力产生室21的尺寸相同或近似的多个喷墨式液体喷射头搭载在液体喷射装置上。在此，由于使压力产生室21的尺寸一致是指，使油墨喷出特性一致，因此，通过将使油墨喷出特性一致的喷墨式液体喷射头搭载于液体喷射装置上，从而能够提高印刷品质。另外，也可以采用如下方式，即，根据压力产生室21的尺寸，来对喷墨式液体喷射头进行分级，并对每一级进行组合。
在以此方式同时对流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24进行一体化烧成之后，在振动板23上形成压电致动器40。
另一方面，如图1及图3所示，流道单元30由油墨供给口形成基板31、歧管形成基板33和喷嘴板35构成，其中，所述油墨供给口形成基板31与致动器单元20的压力产生室底板24相接合，所述歧管形成基板33上形成有成为多个压力产生室21的共用油墨室的歧管32，所述喷嘴板35上形成有喷嘴开口34。
油墨供给口形成基板31由厚度150μm的氧化锆的薄板构成，并以贯穿设置喷嘴连通孔36和油墨供给口37的方式而构成，其中，所述喷嘴连通孔36对喷嘴开口34和压力产生室21进行连接，所述油墨供给口37与所述供给连通孔25一起对歧管32和压力产生室21进行连接，另外，所述油墨供给口形成基板31上设置有，与各个歧管32连通且供给来自外部的油墨罐的油墨的油墨导入口38。
歧管形成基板33在适于构成油墨流道的、例如，150μm的不锈钢等的具备耐腐蚀性的板材上，具有歧管32和喷嘴连通孔39，其中，所述歧管32从外部的油墨罐(未图示)接受油墨的供给并向压力产生室21供给油墨，所述喷嘴连通孔39对压力产生室21和喷嘴开口34进行连通。
喷嘴板35通过在例如由不锈钢构成的薄板上，以与压力产生室21相同的配置间距贯穿设置有喷嘴开口34的方式而形成。例如，在本实施方式中，由于在流道单元30中，设置有两列压力产生室21的列，因此在喷嘴板35上也形成有两列喷嘴开口34的列。另外，该喷嘴板35被接合在歧管形成基板33的流道形成基板22的相反面上，从而对歧管32的一个面进行密封。
这种流道单元30通过利用粘合剂或热熔敷薄膜等来对这些油墨供给口形成基板31、歧管形成基板33及喷嘴板35进行固定，从而被形成。并且，虽然在本实施方式中，通过不锈钢来形成歧管形成基板33及喷嘴板35，但例如，还能够使用陶瓷而形成，并与致动器单元20同样地，一体地形成流道单元30。
而且，这种流道单元30和致动器单元20通过粘合剂或热熔敷薄膜而被接合并固定。
另外，如图2所示，在各个压电致动器40的第二方向上的一端部的、与压力产生室21的周壁相对置的区域内，作为与压电致动器40导通的端子部，设置有独立端子部46和共用端子部47。独立端子部46针对每个压电致动器40而被设置，且与压电致动器40的上电极膜45导通。另外，共用端子部47向压电致动器40的并排设置方向两端部侧被引出，且与下电极膜43导通。在本实施方式中，在由压电致动器40并排设置而成的列与列之间，设置有两列由独立端子部46并排设置而成的列，并在独立端子部46被并排设置的两侧，分别设置共用端子部47。另外，共用端子部47以由两列压电致动器40的下电极膜43共用的方式而设置。即，两列压电致动器40的下电极膜43在压电致动器40的并排设置方向(第一方向)两端部侧连续，并在该连续的区域内设置有共用端子部47。
并且，这种独立端子部46及共用端子部47使用例如银(Ag)等的导电性较高的金属材料，从而例如能够通过丝网印刷而形成。
而且，在与压电致动器40的各个上电极膜45及下电极膜43导通的独立端子部46及共用端子部47上，电连接有被设置于布线基板50上的布线层51。在各个压电致动器40中，经由该布线基板50而供给有来自未图示的驱动电路的驱动信号。并且，虽然未特别图示驱动电路，但是既可以安装在布线基板50上，另外，也可以安装在布线基板50之外。
布线基板50由横跨两列压电致动器40而设置了一个的、例如柔性印刷电路板(FPC)或薄膜封装件(TCP)等构成。详细而言，布线基板50例如在聚酰亚胺等的基底薄膜52的表面上，形成以铜箔为基底而实施了镀锡等的预定图案的布线层51，并通过抗蚀剂等的绝缘材料53来覆盖，布线层51中的与独立端子部46及共用端子部47相连接的连接端子部以外的区域。
另外，在布线基板50上，在与由压电致动器40并排设置而成的列与列之间对置的区域内设置有贯穿孔54，布线层51在贯穿孔54侧的端部与独立端子部46相连接。并且，布线基板50的贯穿孔54通过如下方式形成，即，在未设置有贯穿孔54的基底薄膜52的表面上，以连续的方式形成与一列的压电致动器40相连接的布线层51、和与另一列的压电致动器40相连接的布线层51之后，切断与两列压电致动器40连接的、被导通了的布线层51。
而且，布线基板50的布线层51和与压电致动器40导通的独立端子部46及共用端子部47电连接。在此，布线层51和独立端子部46及共用端子部47之间的连接，例如能够使用各向异性导电膜(ACF)或各向异性导电膏(ACP)等的各向异性导电材料。并且，作为各向异性导电材料，例如能够使用环氧类树脂和对树脂球实施了镀镍而得到的材料等、现有的众所周知的材料。在本实施方式中，独立端子部46及共用端子部47与布线基板50的布线层51，通过由各向异性导电粘合剂构成的粘合层55而进行机械连接及电连接。另外，粘合层55以横跨并排设置的多个独立端子部46、及共用端子部47的方式而设置，并且，通过在独立端子部46及共用端子部47与布线层51之间设置的粘合层55，而对独立端子部46及共用端子部47与布线层51进行电连接，且通过在相邻的独立端子部46之间、和独立端子部46与共用端子部47之间等设置的粘合层55，而对流道形成基板22和布线基板50进行机械连接。
在这种结构的喷墨式液体喷射头10中，通过使油墨从油墨盒(贮留单元)经由油墨导入口38而进入至歧管32内，并在由油墨充满了从歧管32到喷嘴开口34为止的液体流道内之后，经由布线基板50而将来自未图示的驱动电路的记录信号向压电致动器40供给，从而对与各个压力产生室21相对应的各个压电致动器40施加电压，以使振动板23与压电致动器40一起产生挠曲变形，由此各个压力产生室21内的压力增高，进而油墨滴从各个喷嘴开口34被喷射。
其他实施方式
虽然以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明的基本结构并不限定于上述的实施方式。
例如，虽然在上述的实施方式1中采用了如下方式，即，在振动板23上，相对于一个虚设流道21A，而独立设置了使该虚设流道21A的第二方向上的两端部分别露出的两个露出部60，但是并不特别限定于此。在此，图5中图示了露出部60的其他示例。并且，图5为，表示其他实施方式所涉及的露出部的其他示例的致动器单元的俯视图。
如图5所示，露出部60A以使虚设流道21A的振动板23侧的壁面全部露出的大小而被设置。由此，能够容易地对虚设流道21A在第一方向及第二方向上的尺寸进行测定。并且，当露出部60A使虚设流道21A全部露出时，下电极膜43可以以横跨虚设流道21A的内表面的方式而形成，另外，也可以将下电极膜43形成在与虚设流道21A的周壁相对置的区域内。
另外，虽然在上述的示例中，将露出部60、60A设置在振动板23上，但是并不特别限定于此，露出部只需设置在振动板23及压力产生室底板24中的至少一方上即可。在此，图6中图示了将露出部设置在压力产生室底板24上的示例。并且，图6为表示其他实施方式所涉及的露出部的其他示例的喷墨式液体喷射头的剖视图。
如图6所示，在压力产生室底板24上，于与虚设流道21A相对置的区域内设置有露出部60B，所述露出部60B具有与虚设流道21A的压力产生室底板24侧的开口相比较大的开口面积。另外，在油墨供给口形成基板31上，未设置油墨供给口37，而虚设流道21A以不与歧管32连通的方式被独立设置。以此种方式，即使在压力产生室底板24侧设置露出部60B，也能够在对流道形成基板22、振动板23及压力产生室底板24进行烧成并使之一体化后，对虚设流道21A的尺寸进行测定。当然，也可以与上述的实施方式1相同地，在压力产生室底板24上设置与仅使虚设流道21A的第二方向上的两端部露出的两个露出部60等效的部位。另外，也可以将露出部60、60A、60B等设置在振动板23和压力产生室底板24双方上。并且，当在压力产生室底板24上设置露出部60B时，也可以在振动板23上设置压电致动器40。
而且，虽然在上述的实施方式1中，设置了压力产生室底板24，以作为设置于流道形成基板22的另一面侧的第二部件，但第二部件并不限定于压力产生室底板24。例如，作为第二部件，也可以设置喷嘴板35以取代压力产生室底板24，其中，所述喷嘴板35上设置有喷嘴开口34。以此种方式，当第二部件为喷嘴板35时，优选为，在振动板23上设置露出部60、60A，并且将露出部60、60A设置在与喷嘴开口34相对置的位置处。由此，能够在烧成后对喷嘴开口34的压力产生室21侧的开口形状和开口尺寸进行确认，从而能够提高成品率。并且，由于喷嘴开口34具有越靠压力产生室21侧开口面积越逐渐增大的锥形形状，因此当不设置露出部时，将无法确认烧成后的开口形状、尤其是无法确认压力产生室21侧的开口形状。
另外，虽然在上述的实施方式1中，例示了厚膜型的压电致动器40以作为压力产生单元，但是并不特别限定于此。作为压力产生单元，例如，可以使用如下单元，即，通过成膜及光刻法而依次层叠下电极、压电体层及上电极的薄膜型的压电致动器、或使压电材料和电极形成材料交替层叠并在轴向上进行伸缩的纵向振动型的压电致动器等。
另外，这些实施方式的喷墨式液体喷射头构成具备与油墨盒等连通的油墨流道的液体喷射头单元的一部分，而被搭载于液体喷射装置上。图7为表示该液体喷射装置的一个示例的概要图。
如图7所示，在具有喷墨式液体喷射头10的液体喷射头单元1A及1B中，以可拆装的方式设置有构成油墨供给单元的盒2A及2B，搭载了该液体喷射头单元1A及1B的滑架3以沿轴向移动自如的方式被设置在，安装于装置主体4上的滑架轴5上。将该液体喷射头单元1A及1B设定为，例如分别喷出黑色油墨组合物及彩色油墨组合物的液体喷射头单元。
而且，由于驱动电机6的驱动力通过未图示的多个齿轮及正时带7而被向滑架3传递，因此搭载了液体喷射头单元1A及1B的滑架3沿着滑架轴5而进行移动。另一方面，在装置主体4上，沿着滑架轴5而设置有压纸卷筒8，由未图示的供纸辊等供给的纸张等的记录介质即记录薄片S被卷绕在压纸卷筒8上而被输送。
并且，虽然在上述的液体喷射装置I中，例示了喷墨式液体喷射头10(头单元1A、1B)被搭载在滑架3上并在主扫描方向上进行移动的装置，但是并不特别限定于此，例如，也能够将本发明应用于，喷墨式液体喷射头10被固定，而仅通过使纸张等的记录薄膜S在副扫描方向上进行移动来实施印刷的、所谓的行式记录装置中。
另外，虽然在上述的实施方式1中，作为液体喷射头的一个示例，列举了喷墨式液体喷射头10而进行了说明，另外，作为液体喷射装置的一个示例，列举了液体喷射装置I而进行了说明，但是本发明为广泛地以液体喷射头及液体喷射装置整体作为对象的发明，当然也能够应用于喷射油墨以外的液体的液体喷射头或液体喷射装置中。作为其他的液体喷射头，可以列举如下的液体喷射头，例如，用于打印机等图像记录装置的各种液体喷射头、用于液晶显示器等彩色过滤片的制造的颜色材料喷射头、用于有机EL(电致发光)显示器、FED(面发光显示器)等的电极形成的电极材料喷射头、用于生物芯片（biochip）制造的生体有机物喷射头等，并且还能够应用于具备上述液体喷射头的液体喷射装置中。
符号说明
I  液体喷射装置
10喷墨式液体喷射头(液体喷射装置)；
20致动器单元，
21压力产生室(独立流道)；
21A虚设流道；
22流道形成基板；
23振动板(第一部件)；
24压力产生室底板(第二部件)；
30流道单元；
31油墨供给口形成基板；
32歧管；
33歧管形成基板；
34喷嘴开口；
35喷嘴板；
40压电致动器(压力产生单元)；
43下电极膜(共用电极)；
44压电体层；
45上电极膜(独立电极)；
46独立端子部；
47共用端子部；
50布线基板；
51布线层；
52基底薄膜；
53绝缘材料；
54贯穿孔；
55粘合层；
60、60A、60B露出部。

Claims (6)

1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：
流道形成基板，其上设置有与喷射液体的喷嘴开口连通的独立流道；
第一部件，其被设置在所述流道形成基板的一面侧，且具有使所述独立流道内的液体产生压力变化的压力产生单元；
第二部件，其被设置于所述流道形成基板的所述第一部件的相反面侧，
所述液体喷射头由所述流道形成基板、所述第一部件及所述第二部件被一体化而得到的烧成物形成，
在所述流道形成基板上，以独立于所述独立流道的方式而设置有虚设流道，
在所述第一部件及所述第二部件中的至少一方上设置有露出部，所述露出部使形成所述虚设流道的所述流道形成基板的壁面的一部分露出。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
所述露出部使形成所述虚设流道的所述流道形成基板的壁面中相对置的两个面露出。
3.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，
所述露出部被设置在，与所述虚设流道和所述独立流道的并排设置方向即第一方向交叉的、第二方向上的至少两端部处。
4.如权利要求1至3中任一项所述的液体喷射头，其特征在于，
所述露出部以与连通于所述虚设流道的所述喷嘴开口的、第二部件侧的开口相对置的方式而设置。
5.如权利要求1至4中任一项所述的液体喷射头，其特征在于，
所述虚设流道以贯穿所述流道形成基板的方式而设置。
6.一种液体喷射装置，其特征在于，
具备权利要求1至5中任一项所述的液体喷射头。
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