CN102766016B - 从六氟丙烯生产工艺中回收八氟丙烷的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种从六氟丙烯生工艺中回收八氟丙烷的方法,属于化工产品循环利用领域,其特征在于:物料气进入脱轻塔,在脱轻塔中把物料气中的八氟丙烷与六氟丙烯的共沸物与其他组分分离开,物料气中的八氟丙烷和六氟丙烯在塔顶聚集;脱轻塔中的塔顶含八氟丙烷与六氟丙烯的物料气进入萃取塔萃取,利用萃取剂将六氟丙烯吸收;萃取塔的塔釜物料进入解析塔解析,解析塔塔顶得纯度较高的六氟丙烯物料气进入六氟丙烯精馏塔精馏;萃取塔的塔顶物料进入八氟丙烷精馏塔精馏,八氟丙烷精馏塔塔顶得八氟丙烷气体。利用常规精馏装置与萃取精馏装置相结合,并且萃取剂循环使用,整个生产过程操作简单,回收的八氟丙烷纯度不低于99.999%。
Description
技术领域
本发明涉及一种从六氟丙烯生产工艺中回收八氟丙烷的方法,属于化工产品循环利用领域。
背景技术
目前,在生产半导体设备的方法中进行气体蚀刻,以便部分除去薄膜材料,从而在各种能构成半导体电路的薄膜材料上形成电路图案,同时用清洁气体除去沉积物,以除去在薄膜形成期间沉积在反应器内的薄膜原料。常用于半导体设备生产工艺的蚀刻或清洁气体之一是八氟丙烷。
六氟丙烯(亦称全氟丙烯)是有机氟化工的基础原料之一,广泛用于氟橡胶、氟塑料、全氟环氧丙烷、七氟丙烷、氟表面活性剂等的生产。目前,工业上生产六氟丙烯主要是高温裂解四氟乙烯或高温裂解四氟乙烯与稀释剂的混合物。本发明涉及到的工艺为四氟乙烯与八氟环丁烷的混合物高温裂解反应,裂解后副产物八氟丙烷占裂解气的1%-5%(体积百分比)。
生产六氟丙烯无论采用高温裂解四氟乙烯还是高温裂解四氟乙烯与稀释剂的混合物的工艺方法,都产生很多副产物。主要的副产物有八氟环丁烷、八氟异丁烯、八氟丙烷、1-八氟丁烯、2-八氟丁烯等。在目前的工艺中,八氟异丁烯、八氟环丁烷都能得到有效地分离,而八氟丙烷由于其沸点与六氟丙烯非常接近(如表1所示),简单的精馏很难将他们分离开,膜分离方法的问题在于还没有具有从杂质中分离八氟丙烷所需的性能适宜和实用的膜,而且纯化到高纯度(即例如使得八氟丙烷中杂质含量为1ppm质量或更小)是困难的。八氟丙烷和六氟丙烯之间几乎没有分子尺寸(在稳态结构下的计算值,如表1所示)的差异,而且八氟丙烷与六氟丙烯在结构上也相似。所以,通过去除六氟丙烯进行纯化而达到高纯度的目的不能采用已知吸附剂例如活性炭、硅胶、沸石(分子筛)和分子筛碳的吸附分离方法实现。
表1
为得到高纯度的六氟丙烯,必须将八氟丙烷分离,在实际工业生产中,若精馏塔中完全从六氟丙烯中分离八氟丙烷,其脱轻塔塔顶除含有八氟丙烷外,还有部分六氟丙烯。如果八氟丙烯在整个系统中含量很低,分离的八氟丙烷可以返回到系统中循环。但是,随着时间的积累,八氟丙烷在系统中的含量会日益增加,影响系统裂解和精馏的质量。为了保证裂解和精馏的质量,当系统中八氟丙烷的含量达到一定程度时,就采用放空的形式来降低系统中的八氟丙烷的含量,这样一部分六氟丙烯也被放空,造成单耗的增加,同时对环境造成了一定的污染。
发明内容
根据现有技术的不足,本发明要解决的技术问题是:提供一种从六氟丙烯生产工艺中回收八氟丙烷的方法。有效回收八氟丙烷,不影响系统裂解和精馏的质量,并且环保无污染。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种从六氟丙烯生产工艺中回收八氟丙烷的方法,其特征在于以下步骤:
1)含有八氟丙烷、六氟丙烯、1-八氟丁烯、2-八氟丁烯、八氟环丁烷的物料气进入脱轻塔,在脱轻塔中把物料气中的八氟丙烷与六氟丙烯的共沸物与其他组分分离开,物料气中的八氟丙烷和六氟丙烯在塔顶聚集,其余组分由塔釜进入六氟丙烯精馏塔精馏;
2)脱轻塔中的塔顶含八氟丙烷与六氟丙烯的物料气进入萃取塔萃取,利用萃取剂将六氟丙烯吸收;
3)萃取塔的塔釜物料进入解析塔解析,解析塔塔顶得纯度较高的六氟丙烯物料气进入六氟丙烯精馏塔精馏;
4)萃取塔的塔顶物料进入八氟丙烷精馏塔精馏,八氟丙烷精馏塔塔顶得八氟丙烷气体。
步骤1)中所述的脱轻塔的塔压为0.5—1.0MPa,回流比为2—15:1,塔顶温度为-5-25℃。
步骤2)中所述的萃取剂为极性萃取剂,选自二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮、乙腈、丙酸乙酯、甲醇、丙酮、甲苯的一种或几种,乙腈的水溶液或加盐的二甲基甲酰胺溶液。
所述的加盐的二甲基甲酰胺溶液中的盐为氯化钠或硫酸钠。
步骤3)中所述的萃取塔的塔压为0.4-0.8MPa,液气比为5-15:1,塔顶温度为-10-30℃。
步骤3)中所述的解析塔的塔压为0.1-0.4MPa,塔釜温度为10-80℃。
步骤4)中所述的八氟丙烷精馏塔的塔压为0.30-0.7MPa,回流比为2-8:1,塔顶温度为-10-35℃。
所述的脱轻塔塔釜进入六氟丙烯精馏塔精馏
所述的解析塔塔釜的萃取剂由萃取剂循环泵打入萃取塔循环使用。
所述的八氟丙烷气体经冷凝储存于八氟丙烷储槽,八氟丙烷精馏塔塔釜由循环泵打入萃取塔再次萃取。
本发明所选用的为四氟乙烯与八氟环丁烷混合裂解后经过普通精馏分离出八氟异丁烯、八氟环丁烷、1-八氟丁烯、2-八氟丁烯、四氟乙烯后的物料气。物料气中含有八氟丙烷和六氟丙烯,同时还含有少量的八氟环丁烷、1-八氟丁烯和2-八氟丁烯,其中六氟丙烯含量为70%--94%(体积百分数),物料气组分及沸点见表2。
表2
上述所选用的物料气中八氟环丁烷、1-八氟丁烯和2-八氟丁烯很容易与八氟丙烷和六氟丙烯分离,并且分离后回到系统可以重新精馏分离。难点在于八氟丙烷与六氟丙烯的分离。经过多次试验与论证,采用了一种常规精馏与萃取精馏相结合的方法。其方法为:物料气进入脱轻塔,把物料气中沸点低的的八氟丙烷与六氟丙烯的共沸物与其他组分分离开。物料气中的八氟丙烷和六氟丙烯在塔顶聚集,塔釜进入系统中六氟丙烯精馏塔精馏。八氟丙烷与六氟丙烯物料气进入萃取塔萃取,利用萃取剂将六氟丙烯吸收。萃取塔塔顶进入八氟丙烷精馏塔精馏,最终得到纯度不低于99.999%(体积百分数)的八氟丙烷。萃取塔的塔釜进入解析塔解析,塔顶得高纯度的六氟丙烯进入系统中的六氟丙烯精馏塔精馏。
本发明的有益效果是:利用常规精馏装置与萃取精馏装置相结合,并且萃取剂循环使用,整个生产过程操作简单,运行成本低,回收的八氟丙烷纯度不低于99.999%(体积百分数),能够作为产品销售,并且系统中几乎没有八氟丙烷累计,避免了放空对造成的环境污染,降低了单耗,保证了六氟丙烯生产工艺中裂解和精馏的质量。
附图说明
图1为本发明的流程结构示意图;
其中:1为脱轻塔;2为萃取塔;3为八氟丙烷精馏塔;4为解析塔;5为冷凝器;6为八氟丙烷储槽;7为循环泵;8为萃取剂循环泵;9为精馏塔。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步描述:
实施例1
如图1所示,将含有八氟丙烷、六氟丙烯、1-八氟丁烯、2-八氟丁烯、八氟环丁烷的物料气进入脱轻塔,控制脱轻塔塔顶压力为0.75MPa,回流比为9:1,塔顶温度为15℃,使八氟丙烷和六氟丙烯的共沸物与其他组分分离,塔顶得八氟丙烷纯度83.3%(体积百分比),六氟丙烯16.7%(体积百分比),塔釜返回系统六氟丙烯精馏塔精馏,塔顶进入萃取塔,N-甲基吡咯烷酮为萃取剂,控制塔顶压力为0.6MPa,液气比为8:1,塔顶温度为14℃。塔顶得八氟丙烷,八氟丙烷回收率达93.5%,纯度为99.6%(体积百分数);萃取塔塔顶进入八氟丙烷精馏塔精馏,控制八氟丙烷精馏塔的塔顶压力为0.45MPa,回流比为5:1,塔顶温度为11℃,塔顶得八氟丙烷,纯度为99.999%(体积百分比),塔釜进入萃取塔再次萃取。萃取塔的塔釜进入由循环泵打入解析塔,控制塔顶压力为0.2MPa,控制塔釜温度为70℃,塔顶得六氟丙烯纯度为99.3%(体积百分数)进入系统六氟丙烯精馏塔进一步提纯;解析塔塔釜的萃取剂由萃取剂循环泵打入萃取塔循环使用。
实施例2
如图1所示,将含有八氟丙烷、六氟丙烯、1-八氟丁烯、2-八氟丁烯、八氟环丁烷的物料气进入脱轻塔,控制脱轻塔塔顶压力为0.7MPa,回流比为10:1,塔顶温度为14℃。使八氟丙烷和六氟丙烯的共沸物与其他组分分离,塔顶得八氟丙烷纯度89.6%(体积百分比),六氟丙烯10.4%(体积百分比),塔釜返回系统六氟丙烯精馏塔精馏,塔顶进入萃取塔,萃取剂为加入氯化钠的DMF溶液,氯化钠的质量为DMF的3%。控制塔顶压力为0.55MPa,液气比为10:1,塔顶温度为12℃。塔顶得八氟丙烷,八氟丙烷回收率达94.7%,纯度为99.8%(体积百分比);萃取塔塔顶进入八氟丙烷精馏塔精馏,控制八氟丙烷精馏塔的塔顶压力为0.4MPa,回流比为6:1,塔顶温度为9℃。塔顶得八氟丙烷,纯度为99.999%(体积百分比),塔釜由循环泵打入萃取塔再次萃取。萃取塔的塔釜进入解析塔,控制塔顶压力为0.15MPa,控制塔釜温度为75℃,塔顶得六氟丙烯纯度为99.6%(体积百分比)进入系统六氟丙烯精馏塔进一步提纯;解析塔塔釜的萃取剂由催化剂循环泵打入萃取塔循环使用。
实施例3
如图1所示,将含有八氟丙烷、六氟丙烯、1-八氟丁烯、2-八氟丁烯、八氟环丁烷的物料气进入脱轻塔,控制脱轻塔塔顶压力为0.65MPa,回流比为11:1,塔顶温度为15℃。使八氟丙烷和六氟丙烯的共沸物与其他组分分离,塔顶得八氟丙烷纯度84.6%(体积百分比),六氟丙烯15.4%(体积百分比),塔釜返回系统六氟丙烯精馏塔精馏,塔顶进入萃取塔,甲苯甲苯和甲醇的混合溶剂(体积比3:1)为萃取剂,控制塔顶压力为0.5MPa,液气比为9:1,塔顶温度为13℃。塔顶得八氟丙烷,八氟丙烷回收率达92.9%,纯度为99.3%(体积百分比);萃取塔塔顶进入八氟丙烷精馏塔精馏,控制八氟丙烷精馏塔的塔顶压力为0.35MPa,回流比为7:1,塔顶温度为7.8℃。塔顶得八氟丙烷,纯度为99.999%(体积百分比),塔釜进入萃取塔再次萃取。萃取塔的塔釜进入解析塔,控制塔顶压力为0.2MPa,控制塔釜温度为60℃,塔顶得六氟丙烯纯度为99.4%(体积百分比)进入系统六氟丙烯精馏塔进一步提纯;解析塔塔釜的萃取剂返回萃取塔循环使用。
Claims (3)
1.一种从六氟丙烯生产工艺中回收八氟丙烷的方法,其特征在于以下步骤:
1)含有八氟丙烷、六氟丙烯、1-八氟丁烯、2-八氟丁烯、八氟环丁烷的物料气进入脱轻塔,在脱轻塔中把物料气中的八氟丙烷与六氟丙烯的共沸物与其他组分分离开,物料气中的八氟丙烷和六氟丙烯在塔顶聚集,其余组分由塔釜进入六氟丙烯精馏塔精馏;
2)脱轻塔中的塔顶含八氟丙烷与六氟丙烯的物料气进入萃取塔萃取,利用萃取剂将六氟丙烯吸收;
3)萃取塔的塔釜物料进入解析塔解析,解析塔塔顶得纯度较高的六氟丙烯物料气进入六氟丙烯精馏塔精馏;
4)萃取塔的塔顶物料进入八氟丙烷精馏塔精馏,八氟丙烷精馏塔塔顶得八氟丙烷气体;
所述的脱轻塔的塔压为0.5—1.0MPa,回流比为2—15:1,塔顶温度为-5—25℃;
所述的萃取剂为极性萃取剂,选自二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮、乙腈、丙酸乙酯、甲醇、丙酮、甲苯的一种或几种,乙腈的水溶液或加盐的二甲基甲酰胺溶液;
所述的加盐的二甲基甲酰胺溶液中的盐为氯化钠或硫酸钠;
步骤3)中所述的萃取塔的塔压为0.4—0.8MPa,液气比为5—15:1,塔顶温度为-10—30℃;
所述的解析塔的塔压为0.1—0.4MPa,塔釜温度为10—80℃;
所述的八氟丙烷精馏塔的塔压为0.3—0.7MPa,回流比为2—8:1,塔顶温度为-10—35℃。
2.根据权利要求1所述的从六氟丙烯生产工艺中回收八氟丙烷的方法,其特征在于所述的解析塔塔釜的萃取剂由萃取剂循环泵打入萃取塔循环使用。
3.根据权利要求1所述的从六氟丙烯生产工艺中回收八氟丙烷的方法,其特征在于所述的八氟丙烷气体经冷凝储存于八氟丙烷储槽,八氟丙烷精馏塔塔釜物料由循环泵打入萃取塔再次萃取。
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