CN102736407A - 图案转印装置以及图案转印方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供可以使在被转印材料上转印图案得到的产品(装置)的性能稳定的图案转印装置以及图案转印方法。本发明的图案转印装置(1A)的特征在于具备：在进行微小凹凸图案的图案转印之前对模(2)或者被转印材料(3)实施规定表面处理的前处理机构(脱模剂供给机构(7))；把与由所述前处理机构实施的所述表面处理相关的信息记录到与所述被转印材料(3)的进行了图案转印的区域有关联的位置上的信息记录机构(12)；读取所记录的所述信息的识读机构(13)；根据由所述识读机构(13)识读出的所述信息对所述进行了图案转印的区域的所述被转印材料(3)实施规定后处理的后处理机构(14)。

Description

图案转印装置以及图案转印方法

技术领域

本发明涉及利用纳米压印法将微小凹凸图案转印到被转印材料上的图案转印装置以及图案转印方法。

背景技术

近年来，在液晶显示器的防反射薄膜、导光板等光学部件、细胞培养片等生物装置、太阳能电池、发光装置等电子装置中，为了提高其性能并显现所希望的作用，使用着在各种材料的表面形成了微小凹凸图案的部件。

以往，作为形成微小的凹凸图案的技术，已知有纳米压印技术(例如，参照专利文献1、专利文献2及非专利文献1)。

该纳米压印技术，是指把具有纳米尺寸的微小凹凸图案的模、模压到涂敷于基板表面的树脂、从而进行转印的技术。顺便提及，专利文献1、专利文献2及非专利文献1的转印技术，是在树脂上按压花式按压平板状模的技术。

另外，还已知使用了滚筒型模的转印技术(例如，参照专利文献3及非专利文献2)。根据该转印技术，由于可以连续地向连续旋转的模供给被转印材料，故与使用平板状模的压花式的转印技术(例如，参照专利文献1、专利文献2及非专利文献1)相比，可以使转印工序高速化。

另外，本发明者公开了使用带型模的转印技术(参照专利文献4及专利文献5)。根据该转印技术，通过对被转印材料供给带型模，与使用平板状模的压花式的转印技术(例如，参照专利文献1、专利文献2及非专利文献1)相比，可以使转印工序高速化，同时能进一步提高图案转印精度。

可是，在纳米压印技术中，一般来讲，为了防止模和被转印材料附着在一起，预先在整个模上形成由与模表面的化学种态进行共价键结合那样的氟系材料等组成的脱模层。这样的脱模层随着反复进行图案转印，构成脱模层的材料发生脱落，脱模性逐渐降低。因此，当模的转印不良或在模上发生孔眼堵塞时，需要把模更换成新的模，或是进行在模表面上新形成出脱模层的再生处理。

与此相对的是，在专利文献4及专利文献5的转印技术中，在反复进行了多次图案转印后的模表面上，逐次供给不与该模表面的化学种态发生共价键结合而是吸附在模表面上的非反应型脱模剂。因此，根据该转印技术，可以防止模的脱模性降低，同时可以防止模的转印不良、孔眼堵塞。

先前技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第5259926号说明书

专利文献2：美国专利第5772905号说明书

专利文献3：日本特开2006-326948号公报

专利文献4：日本特开2009-158731号公报

专利文献5：日本特开2009-078521号公报

非专利文献

非专利文献1：S.Y.Chou et al.，Appl.Phys.Lett.，vol.67，p.3114(1995)

非专利文献2：Hua Tan et al.，J.Vac.Sci.Technol.B16(6)，p.3926(1998)

发明内容

发明要解决的问题

但是，在对模表面逐次供给非反应型脱模剂的脱模处理(参照专利文献4及专利文献5)中，每当进行图案转印时，模表面的非反应型脱模剂都向被转印材料的表面移动。另外，该非反应型脱模剂的移动量，换言之是非反应型脱模剂向被转印材料表面的附着量，在把非反应型脱模剂刚供给到模表面之后和反复进行了多次图案转印之后是不同的。因此，担心在被转印材料上进行图案转印而得到的产品(装置)的性能会出现偏差。

另外，不限于对这样的模表面的脱模处理，在连续进行图案转印同时在模或者被转印材料上实施规定处理的情况下，也与其同样，担心所得到的产品(装置)的性能会出现偏差。

因此，本发明的课题在于提供可以使对被转印材料进行图案转印而得到的产品(装置)的性能稳定的图案转印装置以及图案转印方法。

用于解决问题的手段

解决上述问题的本发明的图案转印装置，通过在将具有微小的凹凸图案的模按压在被转印材料上之后从所述被转印材料剥离所述模，向所述被转印材料的表面转印所述凹凸图案，其特征在于，具备：前处理机构，该前处理机构在进行图案转印之前对所述模或者所述被转印材料实施规定的表面处理；信息记录机构，该信息记录机构将与由所述前处理机构实施的所述表面处理相关的信息，记录到与所述被转印材料的进行了图案转印的区域有关联的位置上；识读机构，该识读机构读取被记录的所述信息；和后处理机构，该后处理机构基于由所述识读机构识读出的所述信息，对所述进行了图案转印的区域的所述被转印材料实施规定的后处理。

另外，解决上述问题的本发明的图案转印方法，通过在将具有微小的凹凸图案的模按压在被转印材料上之后从所述被转印材料剥离所述模，向所述被转印材料的表面转印所述凹凸图案，其特征在于，具有：前处理工序，在进行图案转印之前对所述模或者所述被转印材料实施规定的表面处理；信息记录工序，将与由所述前处理工序实施的所述表面处理相关的信息作为识别标记，记录到与所述被转印材料的进行了图案转印的区域有关联的位置上；将与由所述前处理工序实施的所述表面处理相关的信息，记录到与所述被转印材料的进行了图案转印的区域有关联的位置上；识读工序，读取所述信息；和后处理工序，基于由所述识读工序识读出的所述信息，对所述进行了图案转印的区域的所述被转印材料实施规定的后处理。

发明的效果

根据本发明，可以提供能使对被转印材料进行图案转印而得到的产品(装置)的性能稳定的图案转印装置以及图案转印方法。

附图说明

图1是模式化地表示本发明的第一实施方式的图案转印装置的构成说明图。

图2是表示图1的图案转印装置的信息记录机构周边的局部立体图。

图3是表示图2所示的信息记录机构的变型例的图案转印装置的局部立体图。

图4是模式化地表示本发明的第二实施方式的图案转印装置的构成说明图。

图5是表示图4的图案转印装置的信息记录机构周边的局部立体图。

图6是表示图5所示的信息记录机构的变型例的图案转印装置的局部立体图。

图7是模式化地表示本发明的第三实施方式的图案转印装置的构成说明图。

具体实施方式

下面，适当参照附图来详细说明本发明的第一实施方式到第三实施方式。

(第一实施方式)

如作为构成说明图的图1所示，本实施方式的图案转印装置1A具备：沿预先确定的模输送路径15输送模2的模输送机构10；沿预先确定的被转印材料输送路径16输送被转印材料3的被转印材料输送机构11；用于相互按压模2和被转印材料3的按压机构4A；对模2供给脱模剂的脱模剂供给机构7；信息记录机构12；识读机构13；后处理机构14。

另外，本实施方式中的脱模剂供给机构7配置成，在从辊8d向着辊8a的区间的模输送路径15上把脱模剂供给至模2，但脱模剂供给机构7的配置位置不限于此，也可以配置成，在从辊8c向着辊8d的区间或者从辊8a向着辊8b的区间的模输送路径15上供给脱模剂。另外，脱模剂供给机构7也可以在模输送路径15上配置在多处。另外，作为脱模剂供给机构7，若能在模2的凹凸图案的表面上赋予脱模剂而形成脱模层，则任何构成都可以，例如可以举出把模2浸渍在脱模剂中或者在模2上涂敷脱模剂的构成。顺便提及，作为涂敷方式，例如可为喷雾式、喷墨式、分配式、刷式等任意方式。另外，对于在常温下为固体的脱模剂，可以通过利用适当的溶媒或者分散介质来调制溶液或者分散液，从而加以使用。

作为由脱模剂供给机构7供给的脱模剂，理想的是不与模2的表面的化学种态发生共价键结合的所谓非反应型脱模剂，具体来讲理想的是氟系脱模剂。其中，理想的是在分子末端具有极性基的氟系脱模剂，特别理想的是在分子末端具有羟基、醚基及酯基中的至少一种的氟系脱模剂。

本实施方式中的模2形成为带状且呈环状，成为环形带状的模2。该模2在成为与被转印材料3相接的环状的外侧的面上具有转印到被转印材料3上的微小的凹凸图案(省略图示)。该凹凸图案是其凹部和凸部反复连续形成的图案，凹部的深度(或者凸部的高度、凹部的宽度(或者凸部的宽度)、凹部彼此的间隔(或者凸部彼此的间隔)按纳米级别形成。

顺便提及，其凹凸形状可以根据由该图案转印装置1A得到的微小结构体的用途来适当设定，例如可举出柱状、孔状、层状(褶裥状)等。另外，凹凸图案可以跨模2的整周形成，也可以在模2的一部分上形成。

作为本实施方式中的模2的材质，只要具有可挠性且可以实现所要求的强度和加工精度，就没有特别的限制。例如可以举出各种金属、各种树脂等。作为金属，镍是理想的，作为树脂，聚酰亚胺树脂及光硬化性树脂是理想的。另外，这样的模2可以是形成所述凹凸图案的镍等金属或聚酰亚胺树脂等树脂、与支承它们的例如不锈钢、芳香族聚酰胺树脂(例如凯夫拉(注册商标)树脂)等的基础部件形成一体的复合层积体。

本实施方式中的模输送机构10由挂设环状的模2的多个辊8a、8b、8c、8d、和按每个预先设定的旋转角度间歇地驱动这些辊8a、8b、8c、8d旋转的步进电机等驱动机构(省略图示)构成。本实施方式中的辊8a、8b、8c、8d配置成与环状的模2的内侧相接。

所述的驱动机构通过使各辊8a、8b、8c、8d逆时针间歇地旋转(左旋转)，使模2间歇地向左旋转，按每个规定长度间歇地向后述的按压机构4A且呈环状地送入模2。辊8a、8b、8c、8d的驱动机构(省略图示)的旋转角度例如设定成，被送入按压机构4A的模2的长度成为预定的长度。另外，图1中附加了符号X的箭头表示模2的输送方向。

在四个辊8a、8b、8c、8d之中，配置成将模2压接在由后述的被转印材料输送机构11输送的被转印材料3上的两个辊8b、8c发挥作用，以便由被输送的模2的上游侧的辊8b送入模2并使其与被转印材料3接触，由下游侧的辊8c使模2从被转印材料3分离。另外，这些辊8a、8b、8c、8d不限于这四个，只要至少设有具有所述辊8b、8c的作用的辊，则三个或者五个以上都可以。

本实施方式中的被转印材料3是形成为长尺寸带状的材料，由热塑性树脂制的薄膜材料形成。作为该热塑性树脂，可以根据由该图案转印装置1A得到的微小结构体的用途来适当选择，其中玻璃转变温度Tg为100℃到160℃左右的类型是理想的，具体地可以列举例如聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚甲烯酸甲酯等。该被转印材料3被卷绕地收纳在下面将要说明的被转印材料输送机构11的输出卷轴9a上。另外，本实施方式中的被转印材料3设想了为由热塑性树脂形成的由单一层组成的薄膜材料，但也可以是至少一方的最外层由热塑性树脂形成的多层构成。

本实施方式中的被转印材料输送机构11具备：卷绕并收纳所述的被转印材料3的输出卷轴9a；缠绕从该输出卷轴9a被送出的被转印材料3的缠绕卷轴9b；至少以缠绕被转印材料3的方式按每个预定的旋转角度间歇地驱动卷轴9b旋转的步进电机等驱动机构(省略图示)。该驱动机构构成为，通过按每个预定的旋转角度间歇地使缠绕卷轴9b旋转，按每个预定的规定长度间歇地缠绕被转印材料3。换言之，缠绕卷轴9b由驱动机构按每个预定的长度从输出卷轴9a拉出被转印材料3，向后述的按压机构4A送入。另外，图1中附加了符号Y的箭头表示被转印材料3的输送方向。

本实施方式中的缠绕卷轴9b的驱动机构与所述的辊8a、8b、8c、8d的驱动机构同步，使得向按压机构4A送入被转印材料3的定时与向按压机构4A送入模2的定时一致，而且，使向按压机构4A送入的被转印材料3的长度与向按压机构4A送入的模2的长度一致。

即，本实施方式的图案转印装置1A将模2和被转印材料3以重叠的状态向按压机构4A送入。另外，在本实施方式中，只在缠绕卷轴9b上设置驱动机构，但也可以具备与缠绕卷轴9b的旋转同步地使输出卷轴9a旋转的驱动机构。

另外，在模2和被转印材料3紧贴的情况下，即使不在被转印材料输送机构11设置所述驱动机构，也可以通过驱动模输送机构10把模2送向按压机构4A，由此同时输送模2和被转印材料3。另外，也可以在被转印材料输送机构11中具备不使被转印材料3产生松驰的张力调整机构(省略图示)。

本实施方式中的按压机构4A构成为，夹入并按压在辊8b和辊8c之间被输送的模2和与该输送区间的模2重叠地被输送的被转印材料3。该按压机构4A具备：在辊8b和辊8c之间的区间相向地配置成夹入模2及被转印材料3的上侧按压部件6a和下侧按压部件6b；把上侧按压部件6a及下侧按压部件6b按压到模2及被转印材料3上或使其由此离开地移动的驱动装置(省略图示)。顺便提及，在模2及被转印材料3的输送停止时，进行该驱动装置的按压和离开的动作。

另外，在上侧按压部件6a中内置加热器(省略图示)。该加热器通过隔着被按压在被转印材料3上的模2加热被转印材料3，从而使被转印材料3(热塑性树脂)升温到其玻璃转变温度Tg以上。另外，在本实施方式中设想了只在上侧按压部件6a配置加热器，但也可以构成为只在下侧按压部件6b配置加热器，还可以构成为在上侧按压部件6a及下侧按压部件6b双方配置加热器。

根据这样的按压机构4A，可以把模2的微小的凹凸图案转印到被转印材料3上。

本实施方式中的信息记录机构12具备与按压机构4A的上侧按压部件6a及下侧按压部件6b横向排列配置的上侧按压部件19a和下侧按压部件19b。

接下来所参照的图2是表示图1的图案转印装置的信息记录机构周边的局部立体图。

如图2所示，上侧按压部件19a和下侧按压部件19b构成为，夹持并按压与模2并进地重叠在被转印材料3上的信息记录用模20和被转印材料3。另外，在上侧按压部件19a及下侧按压部件19b中的至少任意一方配置加热器。并且，通过按规定的定时夹持并按压信息记录用模20和被转印材料3，在与被转印材料3的进行了图案转印的区域有关联的位置，通过刻印来记录文字、记号等信息。

另外，本发明中的信息记录机构12不限于这样的上侧按压部件19a及下侧按压部件19b的构成，例如，除了依靠喷墨的印字、依靠印章的刻印、依靠操作型激光的直接描画之外，也可以通过粘贴记录有所希望的文字或记号、磁信息等的封印等的方法，把信息记录到被转印材料3的表面上。

关于这样的信息记录机构12的位置也不限于与按压机构4A横向排列的位置，可以配置在被转印材料输送路径16上的任意位置。

本实施方式中的识读机构13配置在输送由所述信息记录机构12记录了规定信息的被转印材料3的方向上。该识读机构13是为了读取被记录在被转印材料3上的文字或记号等信息而设置的，例如，利用照相机等摄像装置或磁信息的读取装置来读取所述的文字或记号。

本实施方式中的后处理机构14配置在输送由所述识读机构13读取了规定信息的被转印材料3的方向上。该后处理机构14例如除了用于对被转印材料3的进行了图案转印的区域进行冲裁的冲裁机之外，还有照射规定波长的光的灯、加热用加热器、向被转印材料3的表面供给规定的气体或液体材料的机构等。另外，这些后处理机构14基于由所述的识读机构13读取出的文字或记号信息而得到控制，以便决定动作内容。例如，若本实施方式的后处理机构14是冲裁机，则可以根据由识读机构13读取的信息来改变被转印材料3的冲裁位置，或是根据所读取的信息来分选冲裁得到的被转印材料3的单片部。例如，如上所述，有每隔一定次数的图案转印就实施脱模处理的情况、由脱模处理后经过的图案转印次数导致附着在被转印材料3的表面上的脱模剂的量不同的情况。因此，可以利用信息记录机构12记录在所述的脱模处理后经过的图案转印次数，由识读机构13读取该记录信息，利用后处理机构14(冲裁机)进行分选，回收被转印材料3的单片部。此时，若只回收记录了满足产品(装置)要求规格的条件的单片部，就可以自动地选择而仅得到特性一致的产品，可以使在被转印材料3上进行图案转印而得到的产品(装置)的性能稳定。

另外，后处理机构14不限于这样的冲裁机，例如也可以是用于在被转印材料3的进行了图案转印的区域进行实施保护涂层的后处理的机构。

另外，在信息记录用模20上，预先排列配置多个地形成转印到被转印材料3上的记录信息，能够以在转印图案时把信息记录用模20的设有所希望的记录信息的区域利用上侧按压部件19a和下侧按压部件19b按压在被转印材料3上的方式，由未图示的移动机构来移动信息记录用模20，转印记录信息。

另外，如图2所示，模2和信息记录用模20配置在被转印材料3的同一平面上，但也可以相互地分别配置在被转印材料3的相对的表面上。另外，模2和信息记录用模20只配置在被转印材料3的同一平面上，但也可以使模2和信息记录用模20中的一方或者两方配置在被转印材料3的两面上。此外，也可以不使用信息记录用模20，例如以配置在上侧按压部件19a和下侧按压部件19b中的至少任意一方的与被转印材料3相接的表面上的方式，预先内置可变更记录信息的印章部件，通过利用该印章部件在被转印材料3上进行刻印，也可以记录信息。

另外，在图2中表示了信息记录机构12由按压部件组成、与转印图案用的按压机构4A独立地进行控制的情况的实例，但如作为信息记录机构变型例的局部立体图的图3所示，通过使按压机构4A的上侧按压部件6a和下侧按压部件6b扩张，对信息记录用模20统一加压，也可以记录必要的信息。另外，也可以不使用信息记录用模20，在与其相当位置的上侧按压部件6a和下侧按压部件6b中的至少任意一方预先内置所述的印章部件，同时实施依靠模2进行的图案转印和依靠内置的印章部件进行的刻印。

(第二实施方式)

接着，适当参照附图对本发明的第二实施方式进行详细说明。另外，在本实施方式中，对与所述第一实施方式同样的构成要素赋予相同的符号，省略其详细说明。

如作为构成说明图的图4所示，本实施方式的图案转印装置1B，取代图1所示的由上侧按压部件6a及下侧按压部件6b构成的按压机构4A，而具备由上侧辊5a及下侧辊5b构成的按压机构4B，取代图1所示的由上侧按压部件19a和下侧按压部件19b构成的信息记录机构12，而具备由后述的上侧辊21a和下侧辊21b构成的信息记录机构12，除此之外，与第一实施方式同样地构成。顺便提及，设想加热器配置在上侧辊5a侧，但加热器只要配置在上侧辊5a及下侧辊5b中的至少任意一方即可。

在该图案转印装置1B中，在逆时针旋转(左旋转)的上侧辊5a和顺时针旋转(右旋转)的下侧辊5b之间，供给并按压重叠在一起的模2及被转印材料3。

该图案转印装置1B可以收到与第一实施方式的图案转印装置1A同样的作用效果，同时还可以收到如下的作用效果。

根据这样的图案转印装置1B，可以把模2及被转印材料3连续地送入按压机构4B，在被转印材料3上形成凹凸图案。因此，该图案转印装置1B与具备压花式的按压机构4A的第一实施方式的图案转印装置1A(参照图1)相比，可以提高凹凸图案的转印速度。

在图4中，符号21a及符号21b是作为下面将要说明的信息记录机构12的上侧辊及下侧辊。

接着将要参照的图5是表示图4的图案转印装置的信息记录机构周边的局部立体图。

如图5所示，构成信息记录机构12的上侧辊21a和下侧辊21b构成为，夹持并按压与模2并行地重叠在被转印材料3上的信息记录用模20和被转印材料3。并且，在上侧辊21a及下侧辊21b中的至少任意一方配置加热器。并且，通过按规定的定时夹持并按压信息记录用模20和被转印材料3，在与被转印材料3的进行了图案转印的区域有关联的位置上，通过刻印来记录文字或记号等信息。

另外，在信息记录用模20上，预先排列配置多个地形成转印到被转印材料3上的记录信息，能够以在转印图案时把信息记录用模20的设有所希望的记录信息的区域由上侧辊21a和下侧辊21b按压在被转印材料3上的方式，由未图示的移动机构使信息记录用模20移动，转印记录信息。

另外，如图5所示，模2和信息记录用模20配置在被转印材料3的同一平面上，但也可以相互地分别配置在被转印材料3的相对的面(表背面)上。另外，模2和信息记录用模20只配置在被转印材料3的同一平面上，但也可以使模2和信息记录用模20中的一方或者两方配置在被转印材料3的两面上。

另外，在图5中表示了信息记录机构12由上侧辊21a和下侧辊21b组成、与图案转印用的按压机构4B独立地进行控制的情况的实例，但如作为信息记录机构变型例的局部立体图的图6所示，通过使按压机构4B的上侧辊5a和下侧辊5b扩张，对信息记录用模20统一加压，也可以记录必要的信息。另外，也可以不使用信息记录用模20，而使在与其相当的位置的上侧辊21a和下侧辊21b中的至少任意一方预先内置所述的印章部件，同时实施依靠模2进行的图案转印和依靠内置的印章部件进行的刻印。

另外，在图5中，大体并列地配置了按压机构4B和信息记录机构12，但进行了图案转印的部位与记录信息的位置也可以配置成沿被转印材料3的输送方向Y使一方位移。在该情况下，在本实施方式中，由于连续地持续输送被转印材料3，所以，在由按压机构4B对被转印材料3进行了图案转印的区域到达信息记录机构12的位置的时刻，需要能够在与图案转印区域有关联的位置上记录信息。即，理想的是，配置模2所具有的凹凸图案和信息记录用模20所具有的凹凸图案的周期是同一周期，或者按相当于一方的凹凸图案的间隔的整数倍的周期进行配置。

在本实施方式中也与第一实施方式同样，若图4的后处理机构14是冲裁机，则可以根据由识读机构13读取的信息来变更被转印材料3的冲裁位置，或是根据所读取的信息来分选通过冲裁而得到的被转印材料3的单片部。此时，若只回收记录了满足产品(装置)要求规格的条件的单片部，就可以自动地选择而仅得到特性一致的产品，可以使在被转印材料3上进行图案转印而得的产品(装置)的性能稳定。

另外，后处理机构14不限于这样的冲裁机，例如也可以是用于对被转印材料3的进行了图案转印的区域进行实施保护涂层的后处理的机构。

(第三实施方式)

接着，适当参照附图对本发明的第三实施方式进行详细地说明。另外，在本实施方式中，对与所述第二实施方式同样的构成要素赋予相同的符号，省略其详细说明。

如作为构成说明图的图7所示，本实施方式的图案转印装置1C，作为图4所示构成的后处理机构，设有用于向被转印材料3照射规定波长的光的光照射机构22、用于吹出可分解附着在被转印材料3上的脱模剂的溶剂的净化机构24、用于对被转印材料3的进行了图案转印的区域进行分选以及冲裁和回收的回收机构26，而且，还分别设有用于读取记录信息而向各机构进行反馈的识读机构13、23、25。

在该图案转印装置1C中，也可以在由按压机构4B进行了图案转印的被转印材料3的表面上利用信息记录机构12记录信息，利用识读机构13读取记录信息，向光照射机构22反馈信息，控制光的照射强度、照射时间等。此时，通过预先选择所照射的光具有可分解脱模剂的波长的光源，根据刚进行了图案转印之后的脱模剂附着量来控制光照射的条件，从而可以使光照射后的被转印材料3的表面的性质相同。这样，因为可以得到满足产品(装置)要求规格的特性一致的产品，所以可以使产品(装置)的性能稳定。

另外，也可以利用识读机构23读取所述的记录信息，向净化机构24反馈信息，控制溶剂的排出量、排出时间等。此时，通过根据刚进行了图案转印之后的脱模剂附着量来控制溶剂的排出条件，可以使光照射后的被转印材料3的表面的性质相同。这样，可以与上述情况同样地使产品(装置)的性能稳定。

进而，可以利用识读机构25读取所述的记录信息，向回收机构26反馈信息，对被转印材料3的必要区域或不必要区域进行分选以及冲裁和回收。这样，与第一实施方式及第二实施方式同样，可以自动地选择获得满足产品(装置)要求规格的特性一致的产品，能使产品(装置)的性能稳定。

以上对本发明的第一实施方式的到第三实施方式进行了说明，但本发明不限于所述的实施方式，可以按各种方式加以实施。

作为本实施方式的由信息记录机构12记录到被转印材料3上的信息，列举出了对模2进行脱模处理后的图案转印次数，但本发明不限于脱模处理，同样也可以记录当每按一定的图案转印次数就对模2或被转印材料3实施了某种处理时的转印图案的经过次数，反馈给依靠后处理机构14进行的处理。

另外，在本实施方式中，把图案转印的经过次数作为记录信息，但本发明不限于此，也可以记录任意的前处理的处理条件等，反馈给后处理机构14。

另外，所述的图案转印的经过次数、任意的前处理条件等不仅可以单独记录，也可以把多个信息合并进行记录。

另外，若不仅记录如上述那样的用于反馈给后处理机构14的记录信息，还合并记录例如日期或时刻、进行图案转印的场所的温度或湿度、模或被转印材料的批量信息等，则对于调查在产品(装置)产生不良时的来历是有用的。

附图标记说明

1A：图案转印装置，1B：图案转印装置，1C：图案转印装置，2：模，3：被转印材料，4A：按压机构，4B：按压机构，5a：上侧辊，5b：下侧辊，6a：上侧按压部件，6b：下侧按压部件，7：脱模剂供给机构(前处理机构)，8a：辊，8b：辊，8c：辊，8d：辊，9a：输出卷轴，9b：缠绕卷轴，10：模输送机构，11：被转印材料输送机构，12：信息记录机构，13：识读机构，14：后处理机构，15：模输送路径，16：被转印材料输送路径，19a：上侧按压部件，19b：下侧按压部件，20：信息记录用模，21a：上侧辊，21b：下侧辊，22：光照射机构，23：识读机构，24：净化机构，25：识读机构，26：回收机构。

Claims (9)

1.一种图案转印装置，该图案转印装置通过在将具有微小的凹凸图案的模按压在被转印材料上之后从所述被转印材料剥离所述模，向所述被转印材料的表面转印所述凹凸图案，其特征在于，具备：

前处理机构，该前处理机构在进行图案转印之前对所述模或者所述被转印材料实施规定的表面处理，

信息记录机构，该信息记录机构将与由所述前处理机构实施的所述表面处理相关的信息，记录到与所述被转印材料的进行了图案转印的区域有关联的位置上，

识读机构，该识读机构读取被记录的所述信息，和

后处理机构，该后处理机构基于由所述识读机构识读出的所述信息，对所述进行了图案转印的区域的所述被转印材料实施规定的后处理。

2.如权利要求1所述的图案转印装置，其特征在于，所述信息记录机构利用印字、刻印以及粘贴物中的至少任意一种来记录所述信息。

3.如权利要求1或2所述的图案转印装置，其特征在于，所述模形成为带状。

4.如权利要求1到3中的任一项所述的图案转印装置，其特征在于，所述前处理机构是向所述模的表面供给脱模剂的脱模剂供给机构。

5.如权利要求1到4中的任一项所述的图案转印装置，其特征在于，所述后处理机构构成为具备以下机构中的至少一种机构：

回收机构，该回收机构对所述被转印材料的进行了图案转印的区域进行冲裁而进行分离回收，

光照射机构，该光照射机构向所述被转印材料的进行了图案转印的区域照射规定的波长的光，以及

净化机构，该净化机构向所述被转印材料的进行了图案转印的区域供给规定的液体或气体而进行清洗。

6.一种图案转印方法，该图案转印方法通过在将具有微小的凹凸图案的模按压在被转印材料上之后从所述被转印材料剥离所述模，向所述被转印材料的表面转印所述凹凸图案，其特征在于，具有：

前处理工序，在进行图案转印之前对所述模或者所述被转印材料实施规定的表面处理，

信息记录工序，将与由所述前处理工序实施的所述表面处理相关的信息，记录到与所述被转印材料的进行了图案转印的区域有关联的位置上，

识读工序，读取所述信息，和

后处理工序，基于由所述识读工序识读出的所述信息，对所述进行了图案转印的区域的所述被转印材料实施规定的后处理。

7.如权利要求6所述的图案转印方法，其特征在于，所述信息记录工序利用印字、刻印以及粘贴物中的至少任意一种来记录所述信息。

8.如权利要求6或7所述的图案转印方法，其特征在于，所述前处理工序是向所述模的表面供给脱模剂的脱模剂供给工序。

9.如权利要求6到8中的任一项所述的图案转印方法，其特征在于，所述后处理工序具有以下工序中的至少一种工序：

回收工序，对所述被转印材料的进行了图案转印的区域进行冲裁而进行分离回收，

光照射工序，向所述被转印材料的进行了图案转印的区域照射规定的波长的光，以及

净化工序，向所述被转印材料的进行了图案转印的区域供给规定的液体或者气体而进行清洗。

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