CN102732835A - 一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统及其充气方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及镀膜工艺技术领域，主要是一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统及其充气方法，包括进/出口室，进/出口室侧壁上装有真空检测元件，它由 5个气动蝶阀BV1～BV5， 2个过滤消声器，1个干燥压缩气罐及气体缓冲板组成。各组成元件之间通过不锈钢管道连接， BV1与BV2并联后与BV5和干燥压缩气罐串联，组成“Y”型充气结构，干燥压缩气罐位于“Y”型充气结构的下部，两过滤消声器分别与BV3、BV4串联后作为支路连接在“Y”型充气结构的两侧、BV1和BV2与BV5之间。气体缓冲板置于进/出口室内顶部。本发明能够减少水蒸汽进入真空腔室，加快腔室抽真空的速率；提高镀膜设备的环境适应性，提高镀膜质量，且结构简单，易于安装、拆卸。

Description

一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统及其充气方法

[技术领域]

本发明涉及镀膜工艺技术领域，主要是一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统及其充气方法。

[背景技术]

真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中。真空镀膜的工艺流程一般为：将工件装入真空镀膜装置后，关闭真空镀膜装置的仓体并排气至高真空，然后充入工作气体，进行真空镀膜，完成镀膜工序后，向仓内充入一个大气压，使真空状态回复到大气状态后打开仓体取出工件，如此循环操作。但是，在工艺过程中，真空镀膜设备进口室和出口室需不断的在真空状态和大气状态下切换，以保证玻璃基板能够平稳快速的进入和离开镀膜设备，消除因开门时大气对真空腔室的冲击。然而现有技术中传统的充气装置为一过滤消声器连接进/出口室，利用外界大气通过过滤消声器直接对进/出口室进行充气，该种充气装置具有一定的使用局限性，它仅适用于干燥的大气环境，对于某些地方或时段潮湿的大气环境，进/出口室则会因为充入潮湿的空气，影响高真空度的获得，延长抽真空的时间，并影响镀膜质量，不够安全可靠，镀膜设备的环境适应性不佳。

[发明内容]

本发明就是为了解决现有技术中的不足，提供一种结构新颖、安全可靠的用于真空镀膜设备的双气源充气系统及其充气方法。

为实现上述目的，提供一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统，包括进/出口室，进/出口室侧壁上装有真空检测元件，其特征在于：该系统由 5个气动蝶阀BV1、BV2、BV3、BV4、BV5，过滤消声器9、过滤消声器10，1个干燥压缩气罐11及气体缓冲板1组成，进/出口室的壳体上设有两个充气口，通过两根不锈钢管道12连接气动蝶阀BV1一端与气动蝶阀BV2一端，气动蝶阀BV1另一端与气动蝶阀BV2一端通过管道并联后与气动蝶阀BV5和干燥压缩气罐11串联，组成“Y”型充气结构，干燥压缩气罐11位于“Y”型充气结构的下端。过滤消声器9、过滤消声器10分别与气动蝶阀BV3、BV4串联后作为支路连接在“Y”型充气结构的两侧、气动蝶阀BV1和BV2与气动蝶阀BV5之间；气体缓冲板1置于进/出口室内顶部。

气体缓冲板1上设有若干数量的通气孔，所述通气孔规则分布在气体缓冲板1上，但不得与进/出口室顶部的充气口13相对。

气动蝶阀BV1和BV2下部可设有两个手动蝶阀BV6和BV7。

气动蝶阀BV5与干燥压缩气罐11之间的管道可采用一段波纹管。

一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统及其充气方法，其特征在于该方法为：当外界大气较为干燥，且可直接采用外界大气对进/出口室进行充气时，关闭气动蝶阀BV5,打开气动蝶阀BV3、BV4，打开气动蝶阀BV1、BV2，直到腔室内部达到大气压，则充气结束；当外界大气较为潮湿，不可直接用外界大气对进/出口室进行充气时，则需用干燥压缩空气对进/出口室进行充气。此时，关闭气动蝶阀BV3、BV4，打开气动蝶阀BV1、BV2，打开气动蝶阀BV5进行充气；当真空检测元件检测出进/出口室内部气压接近大气压时，此时，打开气动蝶阀BV3、BV4，以防止腔室内部压力过高，延迟一定时间后关闭气动蝶阀BV5待进/出口室内部压力与外界大气压平衡时，则关闭气动蝶阀BV1、BV2，充气结束；所述的手动蝶阀BV6、BV7可通过调节阀板的开度来控制进入腔室的气体流量。

本发明与现有技术相比，其采用了双气源充气系统，可根据镀膜设备具体的使用环境，选择采用外界干燥大气或者干燥压缩空气对进/出口室进行充气，减少水蒸汽进入真空腔室，加快腔室抽真空的速率；提高了镀膜设备的环境适应性，提高了镀膜质量，安全可靠。同时，本发明具有结构简单，易安装、拆卸的优点，市场前景好。

[附图说明]

图1为本发明一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统的原理图；

图2为本发明一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统中气体缓冲板缓冲原理图；

如图所示，图中：1.气体缓冲板  2.气动蝶阀BV1  3.气动蝶阀BV2  4.气动蝶阀BV3  5.气动蝶阀BV4  6. 气动蝶阀BV5  7. 气动蝶阀BV6  8. 气动蝶阀BV7  9.过滤消音器  10.过滤消音器  11.干燥压缩气罐  12.不锈钢管道  13.充气口  14.玻璃基板  15.进/出口室；

指定图1为本发明的摘要附图。

[具体实施方式]

下面结合附图对本发明作进一步说明，这种装置的结构和原理对本专业的人来说是非常清楚的。以下所述的实施例仅用于说明本发明，并不用于限定本发明。

如图1所示，本发明一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统，包括进/出口室，进/出口室侧壁上装有真空检测元件，它由 5个气动蝶阀BV1、BV2、BV3、BV4、BV5，过滤消声器9、过滤消声器10，1个干燥压缩气罐11及气体缓冲板1组成。各组成元件之间通过不锈钢管道12连接。气动蝶阀BV1与气动蝶阀BV2并联后与气动蝶阀BV5和干燥压缩气罐11串联，组成“Y”型充气结构，干燥压缩气罐11位于“Y”型充气结构的最前端，两气动蝶阀BV1、BV2位于“Y”型充气结构的最后端，并与进/出口室顶部两个充气口13连接。过滤消声器9、过滤消声器10分别与气动蝶阀BV3、BV4串联后作为支路连接在“Y”型充气结构的两侧、气动蝶阀BV1和BV2与气动蝶阀BV5之间。气体缓冲板1置于进/出口室内顶部，在气体缓冲板1上设有规则分布的若干个通气孔，但这些通气孔不得与进/出口室顶部的充气口13相对。气动蝶阀BV1和BV2之前可布置两个手动蝶阀BV6和BV7，两手动蝶阀BV6和BV7通过调节阀板开度，用以控制进入腔室的气体流量，气动蝶阀BV5与干燥压缩气罐之间可布置一段波纹管用以提高安装精度，方便拆卸。

当外界大气较为干燥，且可直接用外界大气对进/出口室进行充气时，则关闭气动蝶阀BV5,打开气动蝶阀BV3、BV4，打开气动蝶阀BV1、BV2，直到腔室内部达到大气压，则充气结束；当外界大气较为潮湿，且不可直接用外界大气对进/出口室进行充气时，则需用干燥压缩空气对进/出口室进行充气。此时，关闭气动蝶阀BV3、BV4，打开气动蝶阀BV1、BV2，打开气动蝶阀BV5进行充气；当真空检测元件检测出进/出口室内部气压接近大气压时，此时，打开气动蝶阀BV3、BV4，以防止腔室内部压力过高，延迟一定时间后关闭气动蝶阀BV5,待进/出口室内部压力与外界大气压平衡时，则关闭气动蝶阀BV1、BV2，充气结束。手动蝶阀BV6、BV7可通过调节阀板的开度来控制进入腔室的气体流量。

如图2所示，是气体缓冲板1缓冲原理图。真空镀膜设备进/出口室充气的过程，是进/出口室由真空状态向大气状态快速切换的过程。急速的状态转变，使得充入的气体在进入进/出口室时，具有强烈的冲击性，易使腔室内的玻璃基板位置移动甚至破碎。气体缓冲板1置于进/出口室内顶部、充气口13与玻璃基板14之间。经充气口13充入的高速气体喷射到气体缓冲板1上，缓冲板1吸收充入气体的冲击性，同时改变充入气体在进/出口室内的扩散方式，一部分充入气体，经由气体缓冲板1与进/出口室内侧壁间的间隙向下扩散；另一部分充入气体，经由气体缓冲板1上规则分布的通气孔，均匀分散的充入进/出口室内部。缓冲后的气体平缓均匀的分散进入进/出口室，不会对玻璃基板14或进/出口室内部产生冲击影响；同时也使玻璃基板承受向下的压力，此压力使基板与其下方的输送辊道更好的压住贴合，避免被从四周扩散的气流托起而改变其位置。

Claims (5)

1.一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统，包括进/出口室，进/出口室侧壁上装有真空检测元件，其特征在于：该系统由 5个气动蝶阀BV1(2)、BV2(3)、BV3(4)、BV4(5)、BV5(6)， 2个过滤消声器(9)、(10)，1个干燥压缩气罐(11)及气体缓冲板(1)组成，进/出口室的壳体上设有两个充气口，通过两根不锈钢管道（12）连接气动蝶阀BV1（2）一端与气动蝶阀BV2（3）一端，气动蝶阀BV1(2)另一端与气动蝶阀BV2(3)一端通过管道并联后与气动蝶阀BV5(6)和干燥压缩气罐(11)串联，组成“Y”型充气结构，干燥压缩气罐(11)位于“Y”型充气结构的下端。两个过滤消声器(9)、(10)分别与气动蝶阀BV3(4)、BV4(5)串联后作为支路连接在“Y”型充气结构的两侧、气动蝶阀BV1(2)和BV2(3)与气动蝶阀BV5(6)之间；气体缓冲板(1)置于进/出口室内顶部。

2.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统，其特征在于：气体缓冲板（1）上设有若干数量的通气孔，所述通气孔规则分布在气体缓冲板（1）上，但不得与进/出口室顶部的充气口（13）相对。

3.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统，其特征在于：气动蝶阀BV1(2)和BV2(3)下部可设有两个手动蝶阀BV6(7)和BV7(8)。

4.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统，其特征在于：气动蝶阀BV5（6）与干燥压缩气罐(11)之间的管道可采用一段波纹管。

5.一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统及其充气方法，其特征在于该方法为：当外界大气较为干燥，且可直接采用外界大气对进/出口室进行充气时，关闭气动蝶阀BV5(6),打开气动蝶阀BV3(4)、BV4(5)，打开气动蝶阀BV1(2)、BV2(3)，直到腔室内部达到大气压，则充气结束；当外界大气较为潮湿，不可直接用外界大气对进/出口室进行充气时，则需用干燥压缩空气对进/出口室进行充气。此时，关闭气动蝶阀BV3(4)、BV4(5)，打开气动蝶阀BV1(2)、BV2(3)，打开气动蝶阀BV5(6)进行充气；当真空检测元件检测出进/出口室内部气压接近大气压时，此时，打开气动蝶阀BV3(4)、BV4(5)，以防止腔室内部压力过高，延迟一定时间后关闭气动蝶阀BV5(6),待进/出口室内部压力与外界大气压平衡时，则关闭气动蝶阀BV1(2)、BV2(3)，充气结束；所述的手动蝶阀BV6(7)、BV7(8)可通过调节阀板的开度来控制进入腔室的气体流量。

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