CN102709265B - 半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法 - Google Patents

半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102709265B
CN102709265B CN201210154315.2A CN201210154315A CN102709265B CN 102709265 B CN102709265 B CN 102709265B CN 201210154315 A CN201210154315 A CN 201210154315A CN 102709265 B CN102709265 B CN 102709265B
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical semiconductor
substrate
wire
surface mount
lead
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210154315.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102709265A (zh
Inventor
李伟龙
孙雨舟
王攀
黄鹏
施高鸿
刘圣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xuchuang Technology Co.,Ltd.
Original Assignee
Innolight Technology Suzhou Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Innolight Technology Suzhou Ltd filed Critical Innolight Technology Suzhou Ltd
Priority to CN201210154315.2A priority Critical patent/CN102709265B/zh
Publication of CN102709265A publication Critical patent/CN102709265A/zh
Priority to US13/837,001 priority patent/US20130307005A1/en
Application granted granted Critical
Publication of CN102709265B publication Critical patent/CN102709265B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0232Optical elements or arrangements associated with the device
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/189Printed circuits structurally associated with non-printed electric components characterised by the use of a flexible or folded printed circuit
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/58Optical field-shaping elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/483Containers
    • H01L33/486Containers adapted for surface mounting
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/06Thermal details
    • H05K2201/066Heatsink mounted on the surface of the PCB
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10007Types of components
    • H05K2201/10121Optical component, e.g. opto-electronic component
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/20Details of printed circuits not provided for in H05K2201/01 - H05K2201/10
    • H05K2201/2009Reinforced areas, e.g. for a specific part of a flexible printed circuit

Abstract

本发明涉及半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法,该封装结构在基板上至少连接一个半导体光器件,基板、引线软板和底板依次从上至下粘合固定;引线软板的内引脚与基板电性连接;该封装结构通过玻璃挡板、围板以及基板组合成凹槽结构,其中玻璃挡板和围板形成该凹槽结构的两个侧壁,半导体光器件、导线及引线软板的内引脚均位于凹槽结构内并包覆有封装材料;玻璃挡板安装在半导体光器件的发光面或者接受面的前方,形成光路通过的窗口,玻璃挡板上粘合聚焦透镜,聚焦透镜耦合在半导体光器件的光路上。利用表面贴装技术和导线键合技术以及灌胶封装式密封,实现集成度高、贴装成本低等优点,利于扩展、集成以及大规模生产。

Description

半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法
技术领域
本发明涉及一种以引线软板为载体的半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法。
背景技术
在现今的信息时代,电子产品充斥于社会的各个领域中,人类的生活方式和生产方式有了前所未有的大变革。随着电子科技的不断演进,更人性化、功能更强的电子产品随之应运而生。为了满足电子产品的小型化、低成本、高密度和多功能的要求,就芯片封装而言,出现了在一个封装体内包覆多个芯片,比如多芯片(Mu1ti-chip-module)技术、堆叠芯片(StackDie)技术等。因此,如何实现低成本高密度的封装结构己成为重要研究课题。美国罗门哈斯电子材料有限公司曾提出一种光学组件及其形成方法的专利申请(CN 101303439 A),该光学组件包括基板和位于其上的光电子元件、球透镜,其通过在基板和柔性电路上设置封装盖板以及光电子封装外壳来达到将光电子元件与外界环境充分隔离的目的。这种封装形式通常需要事先按照计划好的尺寸制作一个空心结构来作为密封盖体(一般选用金属材质,且其内部不设任何填充材料),当光电子元件粘结在基板之上后,再将该盖体通过非常精细的连接工艺固定在光电子元件的外部,因此俗称“密封盖严密封装”。这种封装方法存在制作工艺复杂、连接精密度要求严格、适应尺寸相对单一、封装成本难以降低等缺点。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法。
本发明的目的通过以下技术方案来实现:
半导体光器件表面贴装封装结构,特点是:包括底板、基板和至少一个半导体光器件,其中半导体光器件布置于基板之上并通过导线与基板电性连接;其特征在于:基板与底板之间设置引线软板,基板、引线软板和底板三者依次从上至下粘合固定;所述引线软板设有内引脚和外引脚,内引脚通过导线与基板电性连接;该封装结构还包括玻璃挡板和围板,该玻璃挡板、围板以及基板组合成凹槽结构,其中玻璃挡板和围板形成该凹槽结构的两个侧壁,上述半导体光器件、导线及引线软板的内引脚均位于凹槽结构内部的基板上;所述凹槽结构内的半导体光器件、导线以及引线软板的内引脚均包覆有封装材料;所述玻璃挡板与基板相连,其安装在半导体光器件的发光面或者接受面的前方,从而形成光路通过的窗口,该玻璃挡板还粘合有聚焦透镜,且该透镜耦合在半导体光器件的光路上。
进一步地,上述的半导体光器件表面贴装封装结构中,所述的封装材料为硅胶。
进一步地,所述半导体光器件为发光元器件和/或感光元器件。
更进一步地,上述的半导体光器件表面贴装封装结构,所述基板包含上下两层,上层为导线布局层,与基板上的半导体光器件电性连接;并且上层的材质为导电材料,下层的材料为导热系数高、热膨胀率低的材料。
更进一步地,上述的半导体光器件表面贴装封装结构,所述导热系数高、热膨胀率低的材料是氮化铝,导电材料是金。
更进一步地,上述的半导体光器件表面贴装封装结构,所述半导体光器件通过共晶焊接方式和导线键合方式与基板连接。
更进一步地,上述的半导体光器件表面贴装封装结构,所述共晶焊接采用的导电胶为银浆。
更进一步地,上述的半导体光器件表面贴装封装结构,所述引线软板上设置一个基板或者多个排列的基板,引线软板上的内引脚与基板上的导线布局层电性连接。
更进一步地,上述的半导体光器件表面贴装封装结构,所述底板的材质为钨铜,所述导线为金线。
本发明还提供一种封装上述半导体光器件表面贴装封装结构的方法,包括以下工艺:
(1)半导体光器件的表面贴装:将半导体光器件通过共晶焊接方式结合在基板的导线布局层上,并
用导线将半导体光器件与基板进行引线键合,从而完成半导体光器件与基板的电性连接;
(2)封装基座的连接:用粘合剂依次固定底板、引线软板和基板,然后固化粘合剂并用导线将上述引线软板的内引脚与所述基板的导线布局层进行引线键合,从而完成引线软板与基板的电性连接;
(3)半导体光器件的封装准备:将玻璃挡板、围板分别安装在所述基板的两端,使其与基板组合成一种凹槽结构,其中玻璃挡板和围板形成该凹槽结构的两个侧壁,并且将玻璃挡板安装于上述半导体光器件的发光面或者接受面的前方,与基板连接,由此形成供光输入或者输出的窗口;
(4)半导体光器件的灌胶封装:在玻璃挡板和围板之间灌注封装材料,使该封装材料完整包覆半导体光器件及其所在平面的导线、基板导线布局层和引线软板的内引脚,使该封装材料均匀填满光路的所有空间,然后固化封装材料;
(5)光电子元件对焦:将聚焦透镜粘合在玻璃挡板的窗口上,使其与半导体光器件的光路相耦合,从而实现半导体光器件的光电信号传输通路。
再进一步地,上述的半导体光器件表面贴装封装结构的封装方法中,所述导线为金线,所述粘合剂为银浆,所述封装材料为硅胶。
本发明技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在:
本发明利用表面贴装技术和导线键合技术,以引线软板为载体,直接将导线两端连接半导体光器件与引线软板,有利于高频信号的传输,通过在基板上玻璃挡板与围板组成的凹槽结构中浇灌封装材料,以实现对光电元件的有效封装,工艺简单、易于实现;所有操作都仅仅在各个结构的一个表面进行叠堆操作,可实现多个半导体器件的排列组合操作,减少了封装芯片对空间的的要求,减小了体积,而且对封装机器要求低,贴装成本低,非常利于扩展和集成以及大规模生产。
附图说明
下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明:
图1为本发明封装结构的一侧面光输出的结构示意图;
图2为本发明封装结构的一侧面光输出的俯视结构示意图。
具体实施方式
如图1、图2所示,半导体光器件表面贴装封装结构,包括底板1、引线软板2和基板5,基板5上布置第一半导体光器件7和第二半导体光器件10,第一半导体光器件7通过导线8与基板5电性连接,第二半导体光器件10通过导线与基板5电性连接,导线为金线;基板5的下表面与引线软板2的上表面粘合固定,引线软板2设有内引脚3和外引脚4,内引脚3通过导线与基板5电性连接,导线为金线;引线软板2的下表面与底板1粘合固定,底板1的材质为钨铜,其具有很好的导热系数,能够很好地将光器件产生的热量向外部热扩散,并且热膨胀率接近光器件的热膨胀率;该封装结构还包括玻璃挡板11和围板6,该玻璃挡板11、围板6以及基板5组合成凹槽结构,其中玻璃挡板11和围板6形成该凹槽结构的两个侧壁,上述半导体光器件7、10、导线及引线软板2的内引脚3均位于凹槽结构内部的基板5上;所述玻璃挡板11与基板5相连,其安装在第一半导体光器件7和第二半导体光器件10的发光面或者接受面的前方,玻璃挡板11提供光路的窗口,使光信号能够从光发射面传输出来,或者从外面到达光接受面;玻璃挡板11与围墙6一起围起基板上的半导体光器件、导线以及引线软板内引脚;玻璃挡板11的窗口上粘合聚焦透镜12,聚焦透镜12耦合在半导体光器件的光路上;聚焦透镜对光路的传输起到准直或者聚焦的作用;所述凹槽结构内的基板5及置于其上的第一半导体光器件7和第二半导体光器件10、导线和引线软板的内引脚均包覆封装材料9,封装材料为硅胶,具有高透光率、高可靠性和低应力,匹配玻璃挡板的折射率,以减少光在不同介质面上的反射和减小光束发散角,材料常温状态下为液态并可固化。
第一半导体光器件7感光元器件,第二半导体光器件10为发光元器件。发光半导体光器件为FP或者DFB侧边发光激光器,其谐振腔有前后两个发光面,前发光面镀有增透膜,用于光信号的产生,后发光面镀有反射膜,产生光较弱,用于对激光工作状态的检测,上表面还有一电性连接点,用于与基板的电性连接。
第一半导体光器件7和第二半导体光器件10通过导线采用共晶焊接方式和导线键合方式与基板5连接,导电胶为银浆。与传统的环氧导电胶粘合相比,共晶焊接有着热导率高,电阻小,传热快,可靠性强,粘结后剪切力大等优点。
基板5包含上下两层,下层的材质为导热系数高、热膨胀率低的材料,具体是氮化铝,上层为导线布局层,与基板上的半导体光器件电性连接,导线布局层的材质为导电材料,具体是金。
引线软板2上放置一个基板或者多个排列的基板,引线软板上的内引脚3与基板上的导线布局层电性连接。
上述半导体光器件表面贴装封装结构的封装工艺为:
(1)半导体光器件的表面贴装:
在基板5的导线布局层上通过共晶焊接方式和导线键合方式结合第一半导体光器件7和第二半导体光器件10,用导线进行引线键合将第一半导体光器件7和第二半导体光器件10与基板5电性连接,导线为金线,从而完成半导体光器件与基板的电性连接;
(2)封装基座的连接:将引线软板2的下表面通过粘合剂固定于底板1上,并固化粘合剂,粘合剂为银浆,将基板5的下层通过粘合剂固定在引线软板2的上表面,并固化粘合剂,粘合剂为银浆,然后固化所述粘合剂;并
用导线将上述引线软板的内引脚3与基板5的导线布局层进行引线键合,从而完成引线软板2与基板5的电性连接,其中导线为金线;
(3)半导体光器件的封装准备:将玻璃挡板、围板分别安装在所述基板的两端,使其与基板组合成一种凹槽结构,其中玻璃挡板和围板形成该凹槽结构的两个侧壁,并且将玻璃挡板安装于上述半导体光器件的发光面或者接受面的前方,与基板连接,由此形成供光输入或输出的窗口;
(4)半导体光器件的灌胶封装:在玻璃挡板和围板之间灌注封装材料,使该封装材料完整包覆上述半导体光器件及其所在平面的导线、基板导线布局层以及引线软板的内引脚,使该封装材料均匀填满光路的所有空间,然后固化该封装材料;
(5)光电子元件对焦:将聚焦透镜粘合在玻璃挡板的窗口上,使其与半导体光器件的光路相耦合,从而实现半导体光器件的光电信号传输通路。
综上所述,本发明利用表面贴装技术和导线键合技术,以引线软板为载体,直接将导线两端连接半导体光器件与引线软板,有利于高频信号的传输;通过在基板上玻璃挡板与围板组成的凹槽结构中浇灌封装材料,以实现对光电元件的有效封装,工艺简单、易于实现;所有操作都仅仅在各个结构的一个表面进行叠堆操作,可实现多个半导体器件的排列组合操作,减少了封装芯片对空间的的要求,减小了体积,而且对封装机器要求低,贴装成本低,非常利于扩展和集成以及大规模生产。
需要理解到的是:以上所述仅是本发明的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.半导体光器件表面贴装封装结构,包括底板、基板和至少一个半导体光器件,其中半导体光器件布置于基板之上并通过导线与基板电性连接;其特征在于: 
基板与底板之间设置引线软板,基板、引线软板和底板三者依次从上至下粘合固定; 
所述引线软板设有内引脚和外引脚,内引脚通过导线与基板电性连接; 
该封装结构还包括玻璃挡板和围板,该玻璃挡板、围板以及基板组合成凹槽结构,其中玻璃挡板和围板形成该凹槽结构的两个侧壁,上述半导体光器件、导线及引线软板的内引脚均位于凹槽结构内部的基板上; 
所述凹槽结构内的半导体光器件、导线以及引线软板的内引脚均包覆有封装材料; 
所述玻璃挡板与基板相连,其安装在半导体光器件的发光面或者接受面的前方,从而形成光路通过的窗口,该玻璃挡板还粘合有聚焦透镜,且该透镜耦合在半导体光器件的光路上。 
2.根据权利要求1所述的半导体光器件表面贴装封装结构,其特征在于: 
所述的封装材料为硅胶。 
3.根据权利要求1所述的半导体光器件表面贴装封装结构,其特征在于: 
所述半导体光器件为发光元器件和/或感光元器件。 
4.根据权利要求1所述的半导体光器件表面贴装封装结构,其特征在于: 
所述基板包括上下两层,上层为导线布局层,与基板上的半导体光器件电性连接;并且上层的材质为导电材料,下层的材料为导热系数高、热 膨胀率低的材料。 
5.根据权利要求4所述的半导体光器件表面贴装封装结构,其特征在于: 
所述导热系数高、热膨胀率低的材料是氧化铝,导电材料是金。 
6.根据权利要求1所述的半导体光器件表面贴装封装结构,其特征在于: 
所述半导体光器件通过共晶焊接方式和导线键合方式与基板连接。 
7.根据权利要求6所述的半导体光器件表面贴装封装结构,其特征在于: 
所述共晶焊接采用银浆作为导电胶。 
8.根据权利要求1所述的半导体光器件表面贴装封装结构,其特征在于: 
所述引线软板上设置一个基板或者多个排列的基板,引线软板上的内引脚与基板上的导线布局层电性连接。 
9.根据权利要求1所述的半导体光器件表面贴装封装结构,其特征在于: 
所述底板的材质为钨铜,所述导线为金线。 
10.权利要求1-9中任意一项半导体光器件表面贴装封装结构的封装方法,该方法包括以下工艺: 
(1)半导体光器件的表面贴装:将半导体光器件通过共晶焊接方式结合在基板的导线布局层上,并用导线将半导体光器件与基板进行引线键合,从而完成半导体光器件与基板的电性连接; 
(2)封装基座的连接:用粘合剂依次固定底板、引线软板和基板,然 后固化粘合剂;并用导线将上述引线软板的内引脚与所述基板的导线布局层进行引线键合,从而完成引线软板与基板的电性连接;
(3)半导体光器件的封装准备:将玻璃挡板、围板分别安装在所述基板的两端,使其与基板组合成一种凹槽结构,其中玻璃挡板和围板形成该凹槽结构的两个侧壁,并且将玻璃挡板安装于上述半导体光器件的发光面或者接受面的前方,与基板连接,由此形成供光输入或输出的窗口; 
(4)半导体光器件的灌胶封装:在玻璃挡板和围板之间灌注封装材料,使该封装材料完整包覆上述半导体光器件及其所在平面的导线、基板导线布局层以及引线软板的内引脚,使该封装材料均匀填满光路的所有空间,然后固化该封装材料; 
(5)光电子元件对焦:将聚焦透镜粘合在玻璃挡板的窗口上,使其与半导体光器件的光路相耦合,从而实现半导体光器件的光电信号传输通路。 
11.根据权利要求10所述的半导体光器件表面贴装封装结构的封装方法,其特征在于: 
所述导线为金线,所述粘合剂为银浆,所述封装材料为硅胶。 
CN201210154315.2A 2012-05-18 2012-05-18 半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法 Active CN102709265B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210154315.2A CN102709265B (zh) 2012-05-18 2012-05-18 半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法
US13/837,001 US20130307005A1 (en) 2012-05-18 2013-03-15 Low Cost Surface Mount Packaging Structure for Semiconductor Optical Device and Packaging Method Therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210154315.2A CN102709265B (zh) 2012-05-18 2012-05-18 半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102709265A CN102709265A (zh) 2012-10-03
CN102709265B true CN102709265B (zh) 2015-01-07

Family

ID=46901924

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210154315.2A Active CN102709265B (zh) 2012-05-18 2012-05-18 半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20130307005A1 (zh)
CN (1) CN102709265B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103633553A (zh) * 2013-10-22 2014-03-12 镇江贝乐四通电子有限公司 激光二极管片式封装
CN107045197B (zh) * 2016-02-05 2021-09-17 苏州旭创科技有限公司 光路控制系统及光模块
JP6777227B2 (ja) * 2017-05-17 2020-10-28 三菱電機株式会社 光モジュールおよびその製造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1719675A (zh) * 2004-07-06 2006-01-11 日本光进株式会社 光学模块
CN201004104Y (zh) * 2006-12-05 2008-01-09 深圳新飞通光电子技术有限公司 小型化致冷型光发射组件
CN101303439A (zh) * 2007-03-27 2008-11-12 罗门哈斯电子材料有限公司 光学组件及其形成方法
CN202633271U (zh) * 2012-05-18 2012-12-26 苏州旭创科技有限公司 低成本半导体光器件表面贴装封装结构

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6932516B2 (en) * 2000-07-19 2005-08-23 Canon Kabushiki Kaisha Surface optical device apparatus, method of fabricating the same, and apparatus using the same
JP3841633B2 (ja) * 2000-10-16 2006-11-01 ヤマハ株式会社 半導体レーザモジュール
WO2002079845A1 (en) * 2001-03-28 2002-10-10 Iljin Corporation Small-formed optical module with optical waveguide
US6480389B1 (en) * 2002-01-04 2002-11-12 Opto Tech Corporation Heat dissipation structure for solid-state light emitting device package
CN101640240A (zh) * 2008-07-28 2010-02-03 富准精密工业(深圳)有限公司 发光二极管制造方法
US20100175756A1 (en) * 2009-01-15 2010-07-15 Weihs Timothy P Method For Bonding Of Concentrating Photovoltaic Receiver Module To Heat Sink Using Foil And Solder
WO2010115296A1 (zh) * 2009-04-10 2010-10-14 佛山市国星光电股份有限公司 功率led散热基板、功率led产品及其制造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1719675A (zh) * 2004-07-06 2006-01-11 日本光进株式会社 光学模块
CN201004104Y (zh) * 2006-12-05 2008-01-09 深圳新飞通光电子技术有限公司 小型化致冷型光发射组件
CN101303439A (zh) * 2007-03-27 2008-11-12 罗门哈斯电子材料有限公司 光学组件及其形成方法
CN202633271U (zh) * 2012-05-18 2012-12-26 苏州旭创科技有限公司 低成本半导体光器件表面贴装封装结构

Also Published As

Publication number Publication date
US20130307005A1 (en) 2013-11-21
CN102709265A (zh) 2012-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101657748B (zh) 光耦合器封装
JPH0824150B2 (ja) パッケージ
CN105403963B (zh) 一种气密性并行传输光器件
CN102570293A (zh) 高热负载大功率半导体激光器
CN102185090A (zh) 一种采用cob封装的发光器件及其制造方法
CN102709265B (zh) 半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法
CN107324274A (zh) 用于sip三维集成的封装载体
CN103236425B (zh) 一种dram双芯片堆叠封装结构和封装工艺
CN102569431B (zh) 光电芯片组件及封装方法
CN113534366A (zh) 高密cpo硅光引擎
CN101183673A (zh) 堆叠式多芯片半导体封装结构及封装方法
WO2023241265A1 (zh) 一种芯片封装体、感光模组、激光发射模组和激光雷达
CN105845807A (zh) 发光二极管覆晶封装结构
CN102709266B (zh) 一种半导体光器件表面贴装封装结构及其封装方法
US6897485B2 (en) Device for optical and/or electrical data transmission and/or processing
CN215266336U (zh) 一种同轴光电二极管探测器
CN100468728C (zh) 多芯片半导体封装结构及封装方法
CN207181755U (zh) 一种并行光收发模块
CN115810589A (zh) 芯片封装结构及其制作方法
CN202633271U (zh) 低成本半导体光器件表面贴装封装结构
CN210866221U (zh) 一种陶瓷光电耦合器
CN210443552U (zh) 用于系统级封装的散热结构
CN113671639A (zh) 一种光模块结构及其制作方法
CN203839371U (zh) 一种dram双芯片堆叠封装结构
CN105098043A (zh) 发光装置复合基板及具有该发光装置复合基板的led模组

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CP02 Change in the address of a patent holder
CP02 Change in the address of a patent holder

Address after: 265705 Zhongyuan Industrial Park, Longkou City, Yantai, Shandong Province, North China Road, Zhongnan Industrial Park, and North Third Road intersection No. 1, Zhongxu Xu Chuang Limited by Share Ltd

Patentee after: InnoLight Technology (Suzhou) Ltd.

Address before: 12-a3, creative industry park, 328 Xinghu street, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province

Patentee before: InnoLight Technology (Suzhou) Ltd.

CP02 Change in the address of a patent holder
CP02 Change in the address of a patent holder

Address after: 215000 No.8 Xiasheng Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province

Patentee after: InnoLight Technology (Suzhou) Ltd.

Address before: 265705 Zhongyuan Industrial Park, Longkou City, Yantai, Shandong Province, North China Road, Zhongnan Industrial Park, and North Third Road intersection No. 1, Zhongxu Xu Chuang Limited by Share Ltd

Patentee before: InnoLight Technology (Suzhou) Ltd.

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20220126

Address after: 03-60b, German Center, 25 Singapore International Business Park

Patentee after: Xuchuang Technology Co.,Ltd.

Address before: 215000 No.8 Xiasheng Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province

Patentee before: InnoLight Technology (Suzhou) Ltd.