CN102693847B - 用于生产层压主体的设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于生产层压主体的设备。具体地，本发明提供一种可稳定地生产包括在膜状基材上具有预定成分和厚度的蒸汽沉积聚合膜的层压主体的设备。该设备包括：膜状基材供应装置(46)，其将膜状基材(15)供应到真空室(24)中的转动鼓(35)的外周表面上；多个吹出构件(64)，其围绕转动鼓(35)定位，多个吹出构件的每个包括在真空室(24)内侧开放至转动鼓(35)的所述外周表面的蒸汽出口(66)和构成沉积室的内部空间；以及至少一个单体蒸汽供应装置(48)，其布置成将多种单体蒸汽供应到沉积室中并将多种单体蒸汽从多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。

Description

用于生产层压主体的设备
本申请基于2011年3月23日提交的日本专利申请No.2011-063462，该日本申请的内容通过引用结合在此。
技术领域
本发明涉及用于生产层压主体的设备，更具体地涉及用于生产层压主体的设备的改进，所述层压主体包括膜状基材和通过真空沉积聚合沉积在膜状基材上的至少一个蒸汽沉积聚合膜。
背景技术
传统上，出于多种目的使用包括诸如树脂膜的膜状基材和通过真空沉积聚合形成在膜状基材上的蒸汽沉积聚合膜的层压主体。例如，层压主体用作气体屏障膜，以便防止氧气或者水蒸汽的渗透，或者用作有机电致发光单元。此外，近来考虑到使用包括金属化膜和金属化膜上的蒸汽沉积聚合膜的堆叠膜作为薄膜电容器元件。
具有多种类型的设备作为用于生产这种层压主体的设备，其中一个例子例如显示在JP-A-2001-261867中。JP-A-2001-261867中公开的设备在其真空室中包括转动鼓(其中称为冷却和涂覆辊)、将膜状基材(其中称为基材膜)供应到转动鼓的外周表面上的供给辊、以及一对各自加热和蒸发不同种类材料单体的蒸发源。该设备被布置成通过以下方式在膜状基材上形成蒸汽沉积聚合膜，即，使用两个蒸发源蒸发材料单体并使两种蒸汽单体聚合在膜状基材上，同时从供给辊展开并被发送到转动鼓外周表面的膜状基材随同转动鼓的转动而在转动鼓的周向方向行进。这种用于生产层压主体的设备能够以连续工艺批量生产想要的层压主体。
但是，在上面描述的传统设备中，整个真空室构成沉积室。此外，只有一对均包含不同种类材料单体的蒸发源设置在真空室中，两种单体蒸汽只通过该对蒸发源供应到膜状基材上。因此，真空室中压力的改变(真空度的改变)以及由相应蒸发源中剩余的材料单体量和加热温度的改变造成的材料单体的蒸发速度(单体蒸汽的蒸汽压力)的改变直接影响蒸汽沉积聚合膜的成分和沉积速度(蒸汽沉积聚合膜的形成速度)。结果，生产的层压主体的蒸汽沉积聚合膜具有变化的成分和变化的厚度。
在通过使用传统设备在膜状基材上形成厚的蒸汽沉积聚合膜时，每个蒸发源中的材料单体的蒸发速度必须增加。然而，在这种情况下，很难控制蒸发源中的材料单体的加热温度。此外，随着单体蒸汽的蒸汽压力变高，蒸发源的部件的耐压性必须增加，从而导致成本增加的问题。
此外，在通过上面描述的传统设备在膜状基材上形成多种蒸汽沉积聚合膜时，必须使蒸汽沉积聚合操作重复与蒸汽沉积聚合膜的种类数相同的次数，非常麻烦。
JP-A-2008-287996公开了一种用于生产层压主体的设备，其包括两组蒸发源，每组都包含不同种类的材料单体。但是，由于两组蒸发源之间的相互干扰，该设备在保持两组蒸发源生成的每种单体蒸汽的希望蒸汽压力方面具有困难。
发明内容
考虑到上面的情况做出本发明，本发明的目的在于提供一种设备，其能够稳定地生产包括在膜状基材上具有预定成分和厚度的蒸汽沉积聚合膜的层压主体，并且能够进一步容易有效地生产包括厚蒸汽沉积聚合膜或多种蒸汽沉积聚合膜的层压主体。
为了实现上述目的，或者为了解决通过本说明书和附图的描述理解的问题，本发明可优选根据下文描述的多个方面实施。下面描述的每个方面可以任何组合采用。应当理解，本发明的方面和技术特征不局限于下面描述的那些，而是可根据整个说明书和附图公开的发明构思认识。
(1)一种用于生产层压主体的设备，所述层压主体包括膜状基材和通过真空沉积聚合沉积在所述膜状基材上的至少一个蒸汽沉积聚合膜，所述设备包括：(a)真空室；(b)排放装置，其将空气从所述真空室排放以使真空室形成真空状态；(c)转动鼓，其可转动地设置在所述真空室中，所述转动鼓具有外周表面，该外周表面上设置与其接触的所述膜状基材，由此允许所述膜状基材随着所述转动鼓的转动而在周向方向上行进；(d)膜状基材供应装置，其将所述膜状基材供应到所述转动鼓的所述外周表面上；(e)多个吹出构件，其围绕所述转动鼓定位以在所述周向方向上彼此排列，所述多个吹出构件的每个包括在所述真空室内侧开放至所述转动鼓的所述外周表面的蒸汽出口和通过覆盖壁限定的内部空间；(f)多个沉积室，所述多个沉积室均由所述多个吹出构件的每个的内部空间的部分构成并定位在所述真空室内侧；和(g)至少一个单体蒸汽供应装置，其包括：通过加热和蒸发多种材料单体生成多种单体蒸汽的多个蒸发源；和与所述多个沉积室的每个连通的多个连通通道，所述至少一个单体蒸汽供应装置布置成通过所述多个连通通道向所述多个沉积室的每个中供应在所述多个蒸发源中生成的所述多种单体蒸汽，由此所述多种单体蒸汽从所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。
(2)根据上面的方面(1)所述的设备，其中，通过使用所述多个吹出构件的至少两个形成一个蒸汽沉积聚合膜。
(3)根据上面的方面(1)或(2)所述的设备，其中，所述多个吹出构件的每个包括用于部分屏蔽所述膜状基材的屏蔽构件，所述屏蔽构件设置在所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口处以在所述转动鼓的周向上跨过所述蒸汽出口延伸，由此防止从所述蒸汽出口吹出的所述多种单体蒸汽附着到膜状基材的通过所述屏蔽构件屏蔽的部分。
(4)根据上面的方面(1)至(3)的任一项所述的设备，还包括对所述膜状基材充电的充电装置，所述充电装置设置在所述多个吹出构件的定位在所述转动鼓上的膜状基材的驱动方向上的最上游侧处的一个吹出构件的上游侧。
(5)根据上面的方面(4)所述的设备，还包括对由所述充电装置充电的膜状基材进行中和的中和装置，所述中和装置设置在所述多个吹出构件的定位在所述转动鼓上的膜状基材的驱动方向上的最下游侧处的一个吹出构件的下游侧。
(6)根据上面的方面(1)至(5)的任一项所述的设备，还包括对形成在所述膜状基材上的蒸汽沉积聚合膜进行硬化的硬化装置，所述硬化装置设置在所述多个吹出构件的定位在所述转动鼓上的膜状基材的驱动方向上的最下游侧处的一个吹出构件的下游侧。
(7)根据上面的方面(1)至(6)的任一项所述的设备，其中，所述膜状基材的厚度为5μm或更小。
(8)根据上面的方面(1)至(7)的任一项所述的设备，其中，所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口和所述转动鼓的外周表面之间的距离为5mm或更小。
(9)根据上面的方面(1)至(8)的任一项所述的设备，其中，所述至少一个蒸汽沉积聚合膜的厚度为10μm或更小。
(10)根据上面的方面(1)至(9)的任一项所述的设备，还包括金属蒸汽供应装置，该金属蒸汽供应装置包括通过加热和蒸发金属沉积材料生成金属蒸汽的蒸发源和与所述沉积室连通的连通通道，所述金属蒸汽供应装置布置成通过所述连通通道向所述沉积室供应蒸发源中生成的金属蒸汽，由此所述金属蒸汽从所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。
(11)根据上面的方面(1)至(10)的任一项所述的设备，其中，所述膜状基材包括金属化膜，该金属化膜包括聚丙烯基双轴向拉伸膜和形成在所述聚丙烯基双轴向拉伸膜的至少一个表面上的金属沉积膜。
(12)根据上面的方面(1)至(10)的任一项所述的设备，其中，所述膜状基材包括金属化膜，该金属化膜包括聚对苯二甲酸乙二醇酯基双轴向拉伸膜和形成在所述聚对苯二甲酸乙二醇酯基双轴向拉伸膜的至少一个表面上的金属沉积膜。
(13)根据上面的方面(1)至(11)的任一项所述的设备，其中，所述膜状基材供应装置包括供给装置，该供给装置布置成通过将膜状基材从所述膜状基材的卷筒展开而将膜状基材供应到转动鼓的外周表面上。
(14)根据上面的方面(12)所述的设备，其中，至少一个分隔壁设置在所述真空室中，使得所述真空室被分成其中设置所述供给装置的第一部分和其中设置所述多个吹出构件的第二部分，由此允许独立地改变每个所述部分的内部压力。
(15)根据上面的方面(1)至(10)的任一项所述的设备，其中，至少一个单体蒸汽供应装置包括多个单体蒸汽供应装置且所述膜状基材供应装置包括所述多个单体蒸汽供应装置的至少一个，从所述多个单体蒸汽供应装置的至少一个供应到所述多个沉积室的至少一个中并从所述蒸汽出口吹出的所述多种单体蒸汽聚合在所述转动鼓的所述外周表面上，由此在所述转动鼓的外周表面上形成包括蒸汽沉积聚合膜基材的膜状基材。
根据本发明的用于生产层压主体的设备可稳定地生产包括在膜状基材上具有均匀成分和厚度的蒸汽沉积聚合膜的层压主体。此外，可以简单有效地以最低可能成本生产包括厚蒸汽沉积聚合膜或者多种蒸汽沉积聚合膜的层压主体。
附图说明
通过结合附图阅读对本发明的优选实施方式的以下详细描述，将更好地理解本发明的上述和其他目的、特征、优点以及技术和工业意义，其中：
图1是说明通过根据本发明的用于生产层压主体的设备生产的层压主体的一种实施方式的轴向截面图；
图2是示意性显示本发明的用于生产层压主体的设备的一种实施方式的视图；
图3是说明图2所示的吹出构件的内部空间的轴向截面图；
图4是从图3的箭头IV方向看的说明图；以及
图5是与图2对应且显示本发明的用于生产层压主体的设备的另一实施方式的视图。
具体实施方式
为了进一步阐述本发明，将参照附图描述本发明的详细实施方式。
首先，图1以轴向截面图显示了用作构成薄膜电容器的薄膜电容器元件的层压主体，作为通过本发明的用于生产层压主体的设备生产的层压主体的一个例子。从图1很清楚，层压主体10包括作为膜状基材的金属化膜15。金属化膜15包括树脂膜12、形成在树脂膜12的一个表面上的金属沉积膜14a、以及形成在树脂膜12的另一个表面上的金属沉积膜14b。此外，蒸汽沉积聚合膜16在与树脂膜12一侧相对的一侧处形成在形成于树脂膜12的一个表面上的金属沉积膜14a的表面上。
具体地，这里，树脂膜12由通过聚丙烯制成的双轴向拉伸膜形成并具有大约1至10μm的厚度。树脂膜12构成使用层压主体10生产的薄膜电容器的电介质。树脂膜12可以是能够构成传统薄膜电容器的电介质的任何树脂膜。例如，树脂膜12可以是由聚对苯二甲酸乙二醇酯制成的双轴向拉伸膜、诸如聚乙烯硫化基双轴向拉伸树脂膜和聚乙烯萘基双轴向拉伸树脂膜的聚乙烯基双轴向拉伸膜、以及聚偏二氟乙烯树脂膜。此外，可以理解，根据层压主体10的应用，树脂膜12可以是单轴向拉伸树脂膜或者非拉伸树脂膜。
这里，金属沉积膜14a、14b由铝制成。均构成使用层压主体10生产的薄膜电容器的内部电极的金属沉积膜14a、14b形成在树脂膜12的各自表面上。具体地，金属沉积膜14a、14b通过传统上已知的与PVD和CVD相同类别的真空沉积工艺使用形成薄膜电容器的内部电极的传统上已知的金属材料(例如铝和锌)作为沉积材料形成在树脂膜12的相应表面上。金属沉积膜14a、14b的膜电阻被调节为大约1至50□/cm2且根据例如膜电阻适当地确定其厚度。可以理解，根据层压主体10的应用，可以使用除了铝和锌之外的金属材料作为金属沉积膜14a、14b的形成材料。
这里，树脂膜12的每个表面包括一区域，在该区域，金属沉积膜14a、14b不在树脂膜12的宽度方向(图1中的右和左方向)上的每个端部处形成在树脂膜12的整个长度上。此外，树脂膜12的上面形成有金属沉积膜14b的表面被形成为包括一区域，在该区域，金属沉积膜14b不在树脂膜12的宽度方向上的中间区域形成在树脂膜的整个长度上。树脂膜12的没有形成金属沉积膜的所述区域均被称为第一留白部18。
蒸汽沉积聚合膜16构成薄膜电容器的电介质，其通过使用具有树脂膜12的层压主体10生产并通过已知的真空沉积聚合形成在金属沉积膜14a上。通过已知的真空沉积聚合形成的蒸汽沉积聚合膜16具有比树脂膜12充分小的厚度和更高的介电常数。结果，层压主体10的整个厚度可以有利地被制得更小，并且通过使用层压主体10生产的薄膜电容器可具有较小的尺寸和增加的容量。
尽管蒸汽沉积聚合膜16的厚度没有特别限制，但优选的是其厚度为大约0.001至10μm。形成厚度小于0.001μm的蒸汽沉积聚合膜16非常困难。因此，实际上蒸汽沉积聚合膜16的厚度为0.001μm或以上。此外，如果蒸汽沉积聚合膜16的厚度大于10μm，难以使包括蒸汽沉积聚合膜16作为电介质的薄膜电容器具有较小的尺寸和增加的容量。
蒸汽沉积聚合膜16的种类没有特别限制，只要它是可以通过真空沉积工艺形成的树脂膜即可。构成蒸汽沉积聚合膜16的树脂膜的例子包括聚脲树脂膜、聚酰胺树脂膜、聚酰亚胺树脂膜、聚酰胺酰亚胺树脂膜、聚酯树脂膜、聚甲亚胺树脂薄膜以及聚氨酯树脂膜。在上面列出的树脂膜中，有利地采用介电常数比树脂膜12高的树脂膜。薄膜电容器的电容可通过使用这种树脂膜形成蒸汽沉积聚合膜16有效地增加。
在上面列出的树脂膜中，聚脲树脂膜有利地用来形成蒸汽沉积聚合膜16。这是因为聚脲树脂具有比树脂膜12高的介电常数并且在单体(二异氰酸酯和二胺)的聚合中不需要加热处理。此外，聚脲树脂在不需要消除水、酒精等的加聚反应中形成。因此，不需要用于单体聚合的加热处理的设备(设施)，可以降低成本。此外，可以有效地避免由于加热处理过程中生成的热造成树脂膜12变形。而且，不需要从进行聚合反应的真空室去除在聚合反应过程中消除的水、酒精等。因此，不需要用于去除消除的水或酒精的设备，这也导致成本降低。另外，聚脲树脂具有良好的耐热性。结果，可以稳定地获得高耐压蒸汽沉积聚合膜16。
在树脂膜12的宽度方向上的中间区域处，蒸汽沉积聚合膜16不形成在树脂膜12的整个长度上。树脂膜12的没有形成蒸汽沉积聚合膜16的区域被称为第二留白部20，在该处暴露金属沉积膜14a的宽度方向上的中间区域。此外，蒸汽沉积聚合膜16的宽度大于金属沉积膜14a的宽度。结果，金属沉积膜14a的宽度方向上的每个侧表面通过蒸汽沉积聚合膜16的宽度方向上的每个端部部分覆盖。
在使用具有上述结构的层压主体10生产薄膜电容器元件时，最初，沿着均在纵向方向上延伸的切割平面K1、K2切割层压主体10的宽度方向上的每个端部部分。结果，树脂膜12的宽度方向上的端部部分和金属沉积膜14b的宽度方向上的端部部分被切除。此外，在宽度方向(图1中左右方向)上的中间处沿着在纵向方向(垂直于图1的纸面的方向)上延伸的切割平面K3切割层压主体10，使其分成两半。
接着，堆叠通过将层压主体10分成两半并且切除层压主体10的宽度方向上的端部部分获得的两个层压主体10、10，使得金属沉积膜14b和蒸汽沉积聚合膜16在两个层压主体10、10中的一个(例如定位在图1中的切割平面K3的左侧的一个)水平反转后彼此重叠。相应地，获得堆叠式薄膜电容器元件。随后，通过已知工艺在薄膜电容器元件的宽度方向的每个端表面上形成外部电极(尽管在图中没有显示)。薄膜电容器元件的宽度方向上的一个端表面(定位在图1中的切割平面K3一侧的端表面)上的外部电极附着到金属沉积膜14a在第二留白部20一侧(在图1中的切割平面K3一侧)处的端表面。此外，薄膜电容器元件的宽度方向上的另一个端表面(定位在图1中的切割平面K1一侧的端表面)上的外部电极附着到金属沉积膜14b在与第一留白部18相对的一侧(在图1中的切割平面K1侧)的端表面。接着，根据需要，将外部终端连接到每个外部电极，并将由此获得的薄膜电容器元件密封在预定的壳体中以获得堆叠式薄膜电容器。在生产这种堆叠式薄膜电容器元件或者薄膜电容器时，可以堆叠被分成两半的三个或更多上述的层压主体10。
此外，还可以获得通过卷绕单个分开的层压主体10或者彼此堆叠的多个分开的层压主体10获得卷绕薄膜电容器元件。通过传统工艺在卷绕薄膜电容器元件的宽度方向上的每个表面上形成外部电极，接着在根据需要将外部终端连接到每个外部电极后将卷绕薄膜电容器元件容纳在预定的壳体内，由此获得卷绕薄膜电容器。
上述的层压主体10通过例如图2所示的本发明的生产设备22生产。以下将详细描述根据本发明的第一实施方式的层压主体的生产设备22。
从图2可清楚，根据本发明的生产设备22包括具有预定尺寸的真空室24。真空室24包括主要室26和辅助室28。主要室26通过第一周壁30包围。辅助室28通过第一周壁30的部分和第二周壁32包围。主要室26和辅助室28通过窗口34彼此连通，窗口34形成在第一周壁30的与第二周壁32一起包围辅助室28的部分处。
在主要室26的中心处，可转动地设置罐子辊(canroller)35作为转动鼓。此外，在主要室26中，两个分隔壁36、36设置成从第一周壁30的内表面延伸到罐子辊35。因此，环绕罐子辊35的主要室26的内部空间通过两个分隔壁36、36分成两个。结果，第一真空部分38和第二真空部分40围绕罐子辊35限定在主要室26中。
此外，排放管42、42、42各自连接到主要室26的第一真空部分38和第二真空部分40以及辅助室28。每个真空泵44、44、44连接到每个排放管42、42、42。通过操作真空泵44、44、44，第一真空部分38、第二真空部分40和辅助室28的每个的内部被形成真空状态。这里，真空泵44、44、44被构造成单独控制。因此，第一真空部分38的真空度可被控制成低于第二真空部分40和辅助室28的真空度。由此可清楚，在本实施方式中，排放管42、42、42和真空泵44、44、44构成排放装置。
在辅助室28中，作为供给装置的供给辊46和作为采集(takeup)装置的采集辊48之间设置有预定距离，以围绕其平行于罐子辊35的转动轴线的转动轴线转动。在供给辊46上装配包括树脂膜12和形成在树脂膜12的每个表面上的金属沉积膜14a、14b的上述金属化膜15的膜卷筒50，并且膜卷筒50通过供给辊46的转动展开。在采集辊48上以可移除方式卷绕通过供给辊46从膜卷筒50展开的金属化膜15的末端部分。采集辊48例如通过电动马达(未显示)转动地驱动。通过这种布置，在蒸汽沉积聚合膜16形成在金属化膜15上以获得层压主体10后，从膜卷筒50展开的金属化膜15利用采集辊48的转动驱动由采集辊48采集，如稍后描述的。
主要室26中的罐子辊35由通过例如铁的金属制成的筒体形成并定位在第一真空部分38和第二真空部分40中。具体地，罐子辊35设置在主要室26中，使得罐子辊35的外周表面的很大部分暴露于第二真空部分40且其其他部分暴露于第一真空部分38。
罐子辊35例如通过电动马达(未显示)在一个方向(由图2中的箭头A指示的方向)上转动地驱动。这里，罐子辊35的外周表面的表面粗糙度(Rz)被布置成优选在大约0.6至2.0μm的范围。结果，最大程度地防止卷绕在罐子辊35上的金属化膜15在随罐子辊35的转动而驱动的过程中具有褶皱。
罐子辊35通过传统结构处于电绝缘状态。在罐子辊35的内部，设置冷却机构54。冷却机构54具有例如用于通过循环冷却介质冷却罐子辊35的外周表面的已知结构。
接着，通过窗口34将从装配在供给辊46上的膜卷筒50展开的金属化膜15从辅助室28送往主要室26(第一真空部分38)，并且卷绕到罐子辊35上。然后，通过窗口34将卷绕在罐子辊35上的金属化膜15的末端部分从主要室26(第一真空部分38)送回辅助室28并且卷绕在采集辊48上。
因此，从膜卷筒50展开的金属化膜15随着罐子辊35和采集辊48的转动驱动在罐子辊35的转动方向(由图2中的箭头A指示的方向)上进行，同时与罐子辊35的外周表面接触。此外，卷绕在罐子辊35上的金属化膜15通过与由冷却机构54冷却的罐子辊35的外周表面接触冷却。这里，通过罐子辊35的转动驱动引起的金属化膜15的行进速度和通过采集辊48的转动驱动引起的金属化膜15的采集速度可被控制为相同。由此清楚的是，在本实施方式中，供给辊46和采集辊48构成膜状基材供应装置。
在构成主要室26的第一真空部分38的第一周壁30的部分处，单独设置用于充电的电子束枪58和用于硬化的电子束枪60。
用于充电的电子束枪58设置成使得其电子辐射部分面向罐子辊35的外周表面的暴露于第一真空部分38且定位在金属化膜15的行进方向的上游侧处的部分。通过这种布置，从用于充电的电子束枪58发射的电子束辐射到从膜卷筒50展开并卷绕到罐子辊35的金属化膜15上。因此，金属化膜15在进入第二真空部分40之前被负充电。结果，卷绕到罐子辊35上的金属化膜15由于金属化膜15和罐子辊35之间的电势差而与罐子辊35的外周表面紧密接触。
另一方面，用于硬化的电子束枪60被定位成使其电子辐射部分面向罐子辊35的外周表面的暴露于第一真空部分38且定位在金属化膜15的行进方向上的下游侧处的部分。通过这种布置，在金属化膜15由采集辊48采集之前，从用于硬化的电子束枪60发射的电子束被辐射到在罐子辊35的一个方向上行进的金属化膜15(层压主体10)上。接着，通过蒸汽沉积聚合操作形成在金属化膜15上的蒸汽沉积聚合膜16通过辐射电子束快速硬化，稍后将对此进行描述。
在连通主要室26和辅助室28的窗口34处，设置作为中和装置的离子轰击处理装置62。离子轰击处理装置62被布置成使金属化膜15(层压主体10)能够在被采集辊48采集之前从其经过。通过已知结构，使得等离子化氩气与经过其的金属化膜15碰撞。因此，通过用于充电的电子束枪58充电的金属化膜15得以中和。
在主要室26的第二真空部分40中，围绕罐子辊35定位多个吹出构件64(这里为5个)以沿着其周向排列。如图3和图4所示，吹出构件64由开口朝下(图3中向下)且在一侧具有底部的筒体形成。朝下的开口被称为蒸汽出口66。吹出构件64包括上筒部分68和下筒部分70。上筒部分68具有横截面朝着下侧逐渐增加的四角金字塔形，下筒部分70具有水平方向长的立方体形状。上筒部分68和下筒部分70构成吹出构件的覆盖壁。
下筒部分70具有在下筒部分70的宽度方向(垂直于图3的纸面的方向和图4中的上下方向)上延伸的两个第一侧壁71、71和在下筒部分70的纵向方向(图3和图4中的右和左方向)延伸的两个第二侧壁72、72。每个第一侧壁71、71具有平的下端表面，每个第二侧壁72、72具有向上突出的弧形下表面73。使第二侧壁72的弧形表面73的直径略大于罐子辊35的外周表面(通过图3中的双点划线表示)的直径。因此，吹出构件64的下筒部分70的下表面和罐子辊35的外周表面之间的距离被形成为在下筒部分70的整个周向长度上基本恒定。具体地，形成在蒸汽出口66和罐子辊35的外周表面之间的间隙75在蒸汽出口66的整个周向长度上具有基本上恒定的尺寸。
这里，蒸汽出口66和罐子辊35的外周表面之间的间隙75的尺寸，即包括下筒部分70的弧形下表面73、73的下表面和罐子辊35的外周表面(由图3中的D表示的直径)之间的距离优选不大于5mm。因此，蒸汽出口66和罐子辊35的外周表面35之间的间隙75制得充分小。
在下筒部分70的上端侧处，设置介入壁74以将吹出构件64的内部空间分成上部空间和下部空间。通过介入壁74，定位在介入壁74以上的内部空间部分被形成为混合室76，定位在介入壁74以下的内部空间部分被形成为沉积室78。此外，在介入壁74的中间部分，连通孔80设置成从其穿过。结果，混合室76和沉积室78通过连通孔80彼此连通。
此外，在吹出构件64的蒸汽出口66处，设置屏蔽条82作为屏蔽构件。屏蔽条82由内部直径基本等于下筒部分70的弧形下表面73的直径且弦基本等于两个第一侧壁71、71的相对表面之间的距离的弯曲板形成。接着，屏蔽条82定位在下筒部分70的宽度方向上的中间处以在纵向方向上延伸并且固定在两个第一侧壁71、71的相对表面的下端部分处。
如稍后描述的，屏蔽条82设置成形成通过蒸汽沉积聚合操作形成在金属化膜15上的蒸汽沉积聚合膜16上的第二留白部20。因此，这里，屏蔽条82的宽度(由图4中的W表示的尺寸)被制成大体大约1至20mm，以对应于第二留白部20的宽度。
接着，如图2和图3所示，具有上述结构的定位在主要室26的第二真空部分40中以沿着罐子辊35的周向方向排列的多个吹出构件64固定在第一周壁30或者类似结构中，同时蒸汽出口66通向罐子辊35的外周表面且下筒部分70的弧形下表面73、73沿着罐子辊35的外周表面延伸。通过这种布置，设置在相应吹出构件64处的屏蔽条82定位成使得屏蔽条82在罐子辊35的周向上跨过蒸汽出口66延伸。
在真空室24的外部，设置与吹出构件64数量相同(这里为5个)的多个单体蒸汽供应器84作为单体蒸汽供应装置。所有的单体蒸汽供应器84具有相同的结构并包括第一蒸发源86a和第二蒸发源86b。第一蒸发源86a包括容纳形成蒸汽沉积聚合膜16的液体形式的两种材料单体中的一种的第一单体壶88a和用于加热和蒸发第一单体壶88a中的材料单体的第一加热器90a。第二蒸发源86b包括容纳液体形式的两种材料单体中的另一种的第二单体壶88b和用于加热和蒸发第二单体壶88b中的材料单体的第二加热器90b。
在本实施方式中，由于蒸汽沉积聚合膜16由聚脲树脂膜形成，第一单体壶88a中容纳预定量的二异氰酸酯，第二单体壶88b中容纳预定量的二胺。此外，第一加热器90a、和第二加热器90b均由电加热器构成。在蒸汽沉积聚合膜16由聚脲树脂膜之外的树脂膜形成的情况下，根据构成蒸汽沉积聚合膜16的树脂膜类型，在各个第一单体壶88a和第二单体壶88b中容纳二异氰酸酯和二胺之外的材料单体。第一加热器90a和第二加热器90b可由电加热器之外的已知加热器构成，例如由红外加热器或电子辐射加热器构成。此外，当构成蒸汽沉积聚合膜16的树脂膜通过三种或更多种材料单体聚合形成或者当蒸汽沉积聚合膜16由通过使用包括一种或多种二异氰酸酯和二胺的材料单体获得的聚脲树脂膜构成时，可使用三种或更多种蒸发源。
第一单体蒸汽供应管92a作为连通通道连接到第一蒸发源86a的第一单体壶88a的一端以彼此连通。此外，第二单体蒸汽供应管92b作为连通通道连接到第二蒸发源86b的第二单体壶88b的一端以彼此连通。从图2至图4可清楚，第一单体蒸汽供应管92a和第二单体蒸汽供应管92b在其另一端连接到吹出构件64以与吹出构件64的混合室76连通。因此，相应的单体蒸汽供应器84和相应的吹出构件64彼此连接，使得第一单体壶88a和第二单体壶88b的内部空间与混合室76彼此连通。
容纳在单体蒸汽供应器84的第一单体壶88a和第二单体壶88b中的二异氰酸酯和二胺的每个通过第一加热器90a和第二加热器90b的每个加热并蒸发成单体蒸汽。接着，单体蒸汽通过第一单体蒸汽供应管92a和第二单体蒸汽供应管92b供应到相应吹出构件64的混合室。在二异氰酸酯和二胺蒸汽在混合室76中均匀混合后，通过介入壁74的通孔80将混合气体引入到沉积室78。接着，二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的混合气体从蒸汽出口66吹送到第二真空部分40中的罐子辊35的外周表面上。
相应单体蒸汽供应器84的第一加热器90a和第二加热器90b的加热温度可独立地控制。因此，可针对每个吹出构件64(每个单体蒸汽供应器84)控制从连接到相应单体蒸汽供应器84的相应吹出构件64的蒸汽出口66吹出的单体蒸汽的蒸汽压力。
在利用具有上述结构的生产设备22生产图1所示的层压主体时，例如进行以下工序。
最初，如图2所示，将膜卷筒50外部地装配到供给辊46上。接着，从膜卷筒50展开金属化膜15并使其卷绕在罐子辊35上，并且将金属化膜15的末端部分卷绕到采集辊48上。发自罐子辊35的金属化膜15被布置成在被采集辊48采集之前经过离子轰击处理装置62。
优选地，构成膜卷筒50的金属化膜15具有5μm或更小的厚度。具体地，优选使树脂膜12和形成在树脂膜12的每个表面上的金属沉积膜14a、14b的总厚度为5μm或更小。由于这样的厚度，获得的层压主体10的厚度可以充分小，具体为大约10μm或更小。
在将金属化膜15卷绕到罐子辊35上的同时或者在该操作之前或之后，启动构建在罐子辊35中的冷却机构54以冷却罐子辊35的外周表面，由此冷却卷绕在罐子辊35上的金属化膜15。只要能在金属化膜15上稳定地进行蒸汽沉积聚合操作(稍后描述)，通过冷却机构54冷却的金属化膜15的温度没有特别限制。通常来说，该温度为大约-15至40℃。
在金属化膜15卷绕到罐子辊35上后，启动三个真空泵44、44、44来降低主要室26的第一真空部分38和第二真空部分40以及辅助室28中的压力，使其处于真空状态。将第二真空部分40和辅助室28中的压力调节为大约10-4至100Pa。此外，将第一真空部分38中的压力调节为比第二真空部分40和辅助室28低的压力，例如大约10-4至10Pa。
接着，转动地驱动电动马达以在图2中的箭头A所示的方向上转动罐子辊35。同时，转动地驱动采集辊48。结果，从罐子辊35发送的金属化膜15可被采集辊48采集，同时金属化膜15从辅助室28中的膜卷筒50发送到主要室26并在箭头A指示的方向上行进。
在罐子辊35开始转动的同时，启动用于充电的电子束枪58以将电子束辐射到卷绕在罐子辊35上的金属化膜15上。结果，金属化膜15的表面被负充电。因此，随罐子辊35的转动行进的金属化膜15与罐子辊35的外周表面紧密接触。
这里，由于第一真空部分38的压力被调节成低于第二真空部分40中的压力，金属化膜15的表面通过用于充电的电子束枪58的电子束辐射有效地充电。然而，第二真空部分40中的压力可能低于第一真空部分38。在这种情况下，在后文描述的真空蒸汽沉积聚合操作过程中，防止材料单体从第二真空部分40进入第一真空部分38。结果，防止了材料单体或者蒸汽沉积聚合膜16对第一真空部分38的内表面的附着。因此，不需要从第一真空部分38去除材料单体或者蒸汽沉积聚合膜16。
在金属化膜15被如上充电的情况下，金属化膜15上积累的电荷并不通过罐子辊35逃逸，因为罐子辊35处于电绝缘状态。此外，因为第一真空部分38内部的真空度充分地低，金属化膜15的表面可通过电子束辐射有效和稳妥地充电。此外，通过分隔壁36，第一真空部分38与第二真空部分40分开，在该第二真空部分40设置有均包括蒸汽出口66的吹出构件64。因此，可有利地防止在蒸汽沉积聚合操作中第一真空部分38的内部压力由于第二真空部分40的内部压力因为不可避免地从蒸汽出口66和罐子辊35的外周表面之间的间隙泄漏的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的混合气体的增加而增加，如后文描述的。结果，充分地保持第一真空部分38内部的低真空度，使得金属化膜15在第一真空部分38中更加稳妥和稳定地通过电子束辐射充电。
接着，在金属化膜15行进时，利用第一加热器90a加热单体蒸汽供应器84的第一蒸发源86a的第一单体壶88a中的二异氰酸酯，使其蒸发以生成二异氰酸酯蒸汽。此外，同时，利用第二加热器90b加热第二蒸发源86b的第二单体壶88b中的二胺，使其蒸发以生成二胺蒸汽。
控制每个第一加热器90a使得单体蒸汽供应器84的每个第一单体壶88a中的二异氰酸酯被加热到相同温度。此外，控制每个第二加热器90b使得单体蒸汽供应器84的每个第二单体壶88b中的二胺被加热到相同温度。因此，单体蒸汽供应器84的每个第一蒸发源86a中生成的二异氰酸酯蒸汽的蒸汽压力被控制为相等。此外，单体蒸汽供应器84的每个第二蒸发源86b中生成的二胺蒸汽的蒸汽压力被控制为相等。另外，通过上述控制，单体蒸汽供应器84的每个第一蒸发源86a中的二异氰酸酯的蒸发速度被控制为相等。此外，单体蒸汽供应器84的每个第二蒸发源86b中的二胺的蒸发速度被控制为相等。
单体蒸汽供应器84的第一蒸发源86a和第二蒸发源86b中生成的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽均通过第一单体蒸汽供应管92a和第二单体蒸汽供应管92b引导到吹出构件64的相应混合室76。二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽在其中均匀混合并被引导到沉积室78。接着，通过蒸汽出口66将二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的混合气体吹出到在罐子辊35的外周表面上行进同时与其紧密接触的金属化膜15上。
从吹出构件64的每个蒸汽出口66吹出的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽沉积在金属化膜15上并在上面聚合。结果，由聚脲树脂膜形成的蒸汽沉积聚合膜16同时形成在金属化膜15的外周表面的多个部分上。因此，获得层压主体10。层压主体10的蒸汽沉积聚合膜16由通过从吹出构件64的蒸汽出口66吹出的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的聚合获得的聚合产品(聚脲树脂膜)的层压件构成。
在吹出构件64的宽度方向上彼此相对的两个第二侧壁72、72之间的距离(与罐子辊35的外周表面的宽度方向对应的尺寸)比形成在树脂膜12上的金属沉积膜14a的宽度大预定尺寸。因此，使通过蒸汽沉积聚合操作形成的蒸汽沉积聚合膜16的宽度大于金属沉积膜14a的宽度，由此通过蒸汽沉积聚合膜16的宽度方向上的两个端部部分覆盖金属沉积膜14a的宽度方向上的两个端面。
此外，在金属化膜15与罐子辊35的外周表面紧密接触地卷绕到罐子辊35上的状态中，布置成跨过吹出构件64的蒸汽出口66在罐子辊35的周向上延伸的屏蔽条82定位成与金属化膜15的宽度方向的中间区域相对，两者之间具有间隙75。换句话说，屏蔽条82被定位成覆盖金属化膜15的宽度方向的中间区域，并且两者之间具有小的距离。
通过屏蔽条82，防止从相应吹出构件64的蒸汽出口66吹出的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽沉积在金属化膜15的宽度方向的中间区域上。因此，在金属化膜15的宽度方向的中间区域上很难引起二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的聚合反应。结果，在金属化膜15的宽度方向的中间区域上，不形成包括聚脲树脂膜的蒸汽沉积聚合膜16。因此，在金属化膜15的宽度方向的中间区域上形成第二留白部20，此处没有形成蒸汽沉积聚合膜16。
这里，如上所述，每个吹出构件64的蒸汽出口66和罐子辊35的外周表面之间的间隙75的尺寸D在蒸汽出口66的整个周向长度上为5mm或更小。因此，最大可能程度地防止二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的混合气体通过间隙75从相应吹出构件64的沉积室78逃逸到外部(进入第二真空部分)。因此，有效防止二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽沉积在罐子辊35的金属化膜15之外的外周表面的其他部分上，使得在蒸汽沉积聚合操作中有效使用二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽。因此，有利地提高了蒸汽沉积聚合膜16的沉积率。
如上所述，二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的蒸汽沉积聚合同时在多个吹出构件64的每个的蒸汽出口66向着其开放的金属化膜15的外周表面的多个部分上进行。具体地，通过吹出构件64的每个沉积室78中的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的蒸汽沉积聚合同时形成蒸汽沉积聚合膜16。每个沉积室78由下筒部分70和介入壁74包围并且与第二真空部分40分开。
因此，在处于真空状态的第二真空部分40中，可以通过供应二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽独立于第二真空部分40改变每个沉积室78的内部压力。此外，可有效地消除或抑制相应沉积室78中的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的蒸汽压力由于第二真空部分40的压力的改变而改变。相应地，可以最大可能程度地防止与相应沉积室78连通的第一蒸发源86a和第二蒸发源86b中的二异氰酸酯和二胺的蒸发速度由于第二真空部分40中的压力变化而改变。
也就是说，可有效防止相应沉积室78中的沉积速度和形成在金属化膜15的多个部分上的蒸汽沉积聚合膜16的成分由于第二真空部分40中的压力变化而改变。
此外，吹出构件64的沉积室78彼此不直接连通。沉积室78通过第二真空部分40彼此间接连通，但第二真空部分40通过操作真空泵始终总是处于真空状态。因此，可以互不干扰地独立改变每个沉积室78的内部压力。任何一个沉积室78中的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的蒸汽压力的改变将不影响任何另一个沉积室78中的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的蒸汽压力。
相应地，即使改变任何一个单体蒸汽供应器84的第一蒸发源86a和第二蒸发源86b中的二异氰酸酯和二胺的蒸发速度并且改变其沉积室78中的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的蒸汽压力，也可有效防止即刻改变任何另一个单体蒸汽供应器84的沉积室78中的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的蒸汽压力，并防止改变第一蒸发源86a和第二蒸发源86b的二异氰酸酯和二胺的蒸发速度。另外，针对每个单体蒸汽供应器84控制相应蒸汽供应器84的第一加热器90a和第二加热器90b。因此，整个生产设备22中的二异氰酸酯和二胺的蒸发速度得以密切控制。
在使用根据第一实施方式的生产设备的情况下，不同于仅包括一个单体蒸汽供应器的传统生产设备，即使改变任何一个单体蒸汽供应器84中的二异氰酸酯和二胺的蒸发速度，也不会改变在生产设备22中形成在金属化膜15上的蒸汽沉积聚合膜16的沉积速度或成分。
接着，随罐子辊35的转动将包括通过上述蒸汽沉积聚合操作形成在金属化膜15上的蒸汽沉积聚合膜16的层压主体10从第二真空部分40发送到第一真空部分38。之后，通过用于硬化的电子束枪60将电子束辐射到卷绕在罐子辊35上的层压主体10上。
因此，构成层压主体10的蒸汽沉积聚合膜16的聚脲树脂被稳妥地硬化。如上所述，第一真空部分38的内部处于充分低的真空度。结果，蒸汽沉积聚合膜16通过用于硬化的电子束枪60被稳妥和稳定地硬化。此外，由用于硬化的电子束枪60辐射的电子束使得沉积在金属化膜15上的二异氰酸酯和二胺加速聚合。结果，蒸汽沉积聚合膜16的品质得到提高。
接着，从罐子辊35发送的层压主体10经过离子轰击处理装置62。在经过离子轰击处理装置62的过程中，层压主体10得以中和。之后，层压主体10被发送到辅助室28并被采集辊48采集。结果，获得包括具有图1所示的结构的卷绕层压主体10的膜卷筒94。
相应地，在根据本发明的用于生产层压主体10的生产设备22中，即使第二真空部分40中的压力或者任何一个单体蒸汽供应器84中的二异氰酸酯和二胺的蒸发速度以一定程度变化，也可有利地防止金属化膜15上形成的蒸汽沉积聚合膜16的沉积速度或成分由于这种变化而立即改变。
根据第一实施方式的生产设备22能够稳定生产其中具有均匀成分和厚度的蒸汽沉积聚合膜16形成在金属化膜15上的层压主体10。
此外，由于根据第一实施方式的生产设备22有效消除了蒸汽沉积聚合膜16的成分或厚度的变化，不需要在真空室24中设置成本高昂的装置以在蒸汽沉积聚合操作过程中检查蒸汽沉积聚合膜16的成分或厚度。另外，在生产想要的层压主体10后，不需要随后的操作，例如去除沉积在装置上的蒸汽沉积聚合膜16。
此外，在根据第一实施方式的生产设备22中，金属化膜15通过利用用于充电的电子束枪58进行的电子束辐射与罐子辊35紧密接触。因此，有效防止金属化膜15在随罐子辊35转动而行进过程中起褶皱。
在真空环境下，因为金属化膜15与罐子辊35紧密接触，金属化膜15通过由冷却机构54冷却的罐子辊35稳妥地冷却。因此，金属化膜15不会由于具有高温的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽变形。此外，可有效地减小附着到金属化膜15的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的解吸频率，由此可更有效地进行二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的蒸汽沉积聚合。另外，可通过辐射到金属化膜15上的电子束提供的能量有效辅助二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽的蒸汽沉积聚合。
作为上述的结果，有效地改善了蒸汽沉积聚合膜16的沉积速度。沉积速度的改善进一步通过结合金属化膜15的上述有效冷却效果、通过用于充电的电子束枪58辐射到金属化膜15上的电子束获得的效果、以及通过蒸汽出口66和罐子辊35之间的小间隙75获得的上述效果来增强。具体地，例如，在厚度为3μm的蒸汽沉积聚合膜16形成在宽度650nm的金属化膜15的情况下，以150m/min的速度形成想要的层压主体10。
在根据第一实施方式的生产设备22中，层压主体10通过离子轰击处理装置62中和并被采集以形成膜卷筒94。因此，可在随后的过程中平滑地从膜卷筒94展开层压主体10。
接着，图5显示根据本实施方式的用于生产层压主体的设备的第二实施方式。第二实施方式的生产设备96具有不使用金属化膜15生产层压主体10的结构。参照图1，通过生产设备96生产的层压主体10包括代替树脂膜的第一蒸汽沉积聚合膜16、形成在第一蒸汽沉积聚合膜16的每个表面上的金属化膜14a、14b以及在与第一蒸汽沉积膜16一侧相对的一侧处形成在金属化膜14a上的第二蒸汽沉积聚合膜16。以下解释根据本实施方式的生产设备96的结构。参照图5所示的实施方式，与图2中所用的相同的附图标记用于与图2所示的第一实施方式的具有相同结构的构件和部分，并且省略对其的详细解释。
具体地，如从图5清楚的，在根据第二实施方式的生产设备96中，真空室24只具有主要室26。真空室24可通过与一个排放管42的端部连接的真空泵44处于真空状态。
在真空室24中可转动地设置包括冷却机构54的罐子辊35。围绕罐子辊35，六个吹出构件64a、64b、64c、64d、64e、64f设置成在罐子辊35的周向上排列。尽管在图中没有显示，六个吹出构件64a、64b、64c、64d、64e、64f具有与第一实施方式的生产设备22中设置的吹出构件64相同的结构，即，混合室76和沉积室78设置在各个吹出构件64中。然而，每个吹出构件64b、64c、64d的蒸汽出口66没有设置屏蔽条82。
在真空室24的外侧，设置4个单体蒸汽供应器84、84、84、84和作为金属蒸汽供应装置的第一金属蒸汽供应器98a和第二金属蒸汽供应器98b。4个单体蒸汽供应器84、84、84、84具有与第一实施方式的生产设备22中设置的那些相同的结构。
第一金属蒸汽供应器98a和第二金属蒸汽供应器98b具有相同的结构并分别设置有蒸发源100a、100b。第一金属蒸汽供应器98a和第二金属蒸汽供应器98b的蒸发源100a、100b分别包括蒸发材料容器102a、102b和加热器104a、104b，蒸发材料容器102a、102b容纳作为预期层压主体10的金属沉积膜14a、14b的形成材料的包括铝的蒸发材料，加热器104a、104b用于加热和蒸发蒸发材料容器102a、102b中的蒸发材料。蒸发源的材料可根据金属沉积膜14a、14b的材料适当地改变。此外，例如电加热器、红外加热器或者电子辐射加热器可适当地作为加热器104a、104b使用。
分别构成第一金属蒸汽供应器98a和第二金属蒸汽供应器98b的蒸发源100a、100b的蒸发材料容器102a、102b连接到真空室24中的相应吹出构件64a、64d以通过作为连通通道的相应金属蒸汽供应管106a、106b彼此连通。连接到第一金属蒸汽供应器98a的吹出构件64a和连接到第二金属蒸汽供应器98b的吹出构件64d被定位成两者之间在罐子辊35的周向的一侧处具有两个吹出构件64b、64c，而在罐子辊35的周向的另一侧处具有两个吹出构件64e、64f。
容纳在第一金属蒸汽供应器98a和第二金属蒸汽供应器98b的蒸发材料容器102a、102b中的蒸发材料通过加热器104a、104b加热并被蒸发成金属蒸汽，并且金属蒸汽通过金属蒸汽供应管106a、106b供应到吹出构件64a、64b。此外，供应到吹出构件64a、64b的金属蒸汽从蒸汽出口66、66吹出到罐子辊35的外周表面上。
在通过上述设备96生产预期层压主体时，例如进行以下工序。
最初，启动构建在罐子辊35中的冷却机构54以冷却罐子辊35的外周表面。同时，启动真空泵44以降低第一真空部分38中的压力。罐子辊35的外周表面的冷却温度被调节成与通过使用第一实施方式的生产设备22获得层压主体10的情况下相同的温度。另外，第一真空部分38的压力被控制为大约10-4至100Pa。
接着，在图5中的箭头A指示的方向上转动罐子辊35。之后，将二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽从四个单体蒸汽供应器84、84、84、84供应到4个吹出构件64b、64c、64e、64f并通过吹出构件64b、64c、64e、64f的相应蒸汽出口66将其吹送到罐子辊35的外周表面上。同时，将金属蒸汽从第一金属蒸汽供应器98a和第二金属蒸汽供应器98b供应到两个吹出构件64a、64d并通过吹出构件64a、64d的相应蒸汽出口66将其吹送到罐子辊35的外周表面上。结果，随着罐子辊35的转动，金属沉积膜14b、蒸汽沉积聚合膜16、金属沉积膜14a和蒸汽沉积聚合膜16以描述的次序顺序形成在罐子辊35的外周表面上。
具体地，从与第一金属蒸汽供应器98a连接的吹出构件64a的蒸汽出口66吹出的金属蒸汽沉积在罐子辊35的外周表面上。因此，金属沉积膜14b直接形成在罐子辊35的外周表面上。
这时，由于屏蔽条82设置在吹出构件64a的蒸汽出口66处，金属蒸汽并不沉积在罐子辊35的宽度方向上的中间区域上。此外，与罐子辊35的外周表面的宽度方向对应的吹出构件64a的蒸汽出口66的尺寸比罐子辊35的外周表面的宽度小预定尺寸。因此，金属蒸汽也不会沉积在罐子辊35的外周表面的宽度方向上的两个端部部分上。此外，在罐子辊35的宽度方向上的中间区域和两个端部部分处，例如在形成金属沉积膜14b之前，通过油留白部形成设备(没有显示)形成油留白部。结果，可以防止在金属沉积膜14b上形成第一蒸汽沉积聚合膜16时，第一蒸汽沉积聚合膜16直接形成在罐子辊35的宽度方向上的中间区域和两个端部部分上，并且每个第一留白部18填充有第一蒸汽沉积聚合膜16。
接着，从两个吹出构件64b、64c的每个的蒸汽出口66吹出的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽聚合在金属沉积膜14b上。因此，代替树脂膜(12)，第一蒸汽沉积聚合膜16形成在金属沉积膜14b上。换句话说，在第二实施方式中，膜状基材由第一蒸汽沉积聚合膜16构成。此外，两个单体蒸汽供应器84、84和两个吹出构件64b、64c构成膜状基材供应装置。
接着，从与第二金属蒸汽供应器98b连接的吹出构件64d的蒸汽出口66吹出的金属蒸汽沉积在第一蒸汽沉积聚合膜16上。结果，金属沉积膜14a形成在蒸汽沉积聚合膜16上。
接着，从两个吹出构件64e、64f的每个的蒸汽出口66吹出的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽聚合在金属沉积膜14a上。因此，第二蒸汽沉积聚合膜16形成在金属沉积膜14a上。由于屏蔽条82设置在相应吹出构件64e、64f的蒸汽出口66处，二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽并不沉积在金属沉积膜14a的宽度方向上的中间区域上。因此，第二留白部20形成在金属沉积膜14a的宽度方向上的中间区域上。
此外，这里，与罐子辊35的外周表面的宽度方向对应的吹出构件64e、64f以及用于吹出金属蒸汽的吹出构件64d的蒸汽出口66的尺寸比罐子辊35的外周表面的宽度小预定尺寸。因此，第一留白部18形成在蒸汽沉积聚合膜16的宽度方向上的两个侧部上。
因此，获得按顺序包括金属沉积膜14b、第一蒸汽沉积聚合膜16、金属沉积膜14a和第二蒸汽沉积聚合膜16的层压主体10。接着，将获得的层压主体10从定位在在罐子辊35的周向上彼此相邻的两个吹出构件64a、64f之间的罐子辊35的外周表面部分取出，由此连续获得预期的层压主体10。
如上所述，第二实施方式的生产设备96能够简单有效地生产预期的层压主体10，不需要提前准备金属化膜15。
在生产设备96中，要从设置在真空室24中的相应吹出构件64的蒸汽出口66吹出的二异氰酸酯蒸汽和二胺蒸汽在相应吹出构件64的沉积室78中聚合以形成蒸汽沉积聚合膜16。相应地，第二实施方式可具有基本与第一实施方式相同的优点。
需要理解，尽管在该实施方式中金属沉积膜14b形成在罐子辊35的外周表面上，但也可以省略金属沉积膜14b。在这种情况下，第一蒸汽沉积聚合膜16可直接形成在转动鼓35的外周表面上。
此外，在第二实施方式的生产设备96中，用于硬化的电子束枪(60)可设置在吹出构件64c和吹出构件64d之间的位置和/或挨着吹出构件64f与吹出构件64e一侧相对的位置。第一和第二蒸汽沉积聚合膜16、16可通过从用于硬化的电子束枪60幅射的电子束硬化。
尽管已经只出于说明目的详细描述了本发明的实施方式，应当理解本发明并不局限于所说明的实施方式的细节。
例如，在第一和第二实施方式中，相应单体蒸汽供应器84的第一蒸发源86a和第二蒸发源86b中的二异氰酸酯和二胺的加热温度可被控制为相同。然而，相应单体蒸汽供应器84可具有二异氰酸酯和二胺的各自目标加热温度。在这种情况下，相应单体蒸汽供应器84中的二异氰酸酯和二胺的蒸发速度可略微变化。结果，在罐子辊35的一个转动过程中，形成在金属化膜15上的蒸汽沉积聚合膜16的厚度可逐渐和有效地变大。因此，不用增加真空室24的耐压性，可以较低成本简单有效地生产包括厚蒸汽沉积聚合膜16的层压主体10。
此外，在使得相应单体蒸汽供应器84中的二异氰酸酯和二胺的蒸发速度相等的情况下，在罐子辊35的一个转动过程中，可使得形成在金属化膜15上的蒸汽沉积聚合膜16的厚度可逐渐有效地变大。
从相应单体蒸汽供应器84供应的单体蒸汽的种类可变化。由此，在罐子辊35的一个转动过程中，不同种类的蒸汽沉积聚合膜16可形成在金属化膜15上。因此，可以较低成本简单有效地生产包括不同种类蒸汽沉积聚合膜16的层压主体10。
吹出构件64的数量不限于第一或第二实施方式中举例的数量。为了形成一个蒸汽沉积聚合膜16，只需要具有至少两个吹出构件64。
在第一和第二实施方式中，作为单体蒸汽供应装置的一个单体蒸汽供应器84连接到一个吹出构件64。但是，也可以将一个单体蒸汽供应器84连接到多个吹出构件64。即，只需要具有至少一个单体蒸汽供应器84。
在形成蒸汽沉积聚合膜16之前，作为膜状基材的金属化膜15不必被充电。但是，在金属化膜15被充电的情况下，代替举例的用于充电的电子束枪58，可使用接触并为金属化膜15充电的接触式设备、例如与外部电源连接的导电辊。此外，在使用这种用于充电的设备的情况下，需要中和设备。代替离子轰击处理装置62，可适当地使用具有已知结构的任何传统中和设备。
使得蒸汽沉积聚合膜16硬化的用于硬化的电子束枪60不是必需的，而是可以根据需要使用。代替用于硬化的电子束枪60，例如可以使用红外辐射设备或UV辐射设备作为用于使蒸汽沉积聚合膜16硬化的设备。
作为屏蔽构件的屏蔽条82的位置可根据蒸汽沉积聚合膜16的第二留白部20的位置适当地改变。屏蔽条82可形成在任何位置，只要其在作为转动鼓的罐子辊35的周向上跨过蒸汽出口66延伸。如果可能，屏蔽条82可固定设置在吹出构件64之外的构件处。
另外，尽管在第一和第二实施方式中，显示了本发明适用于用于生产构成薄膜电容器元件的层压主体的设备的具体例子，但应当理解，本发明可有利地适用于用于生产其中至少一个蒸汽沉积聚合膜通过真空蒸汽沉积聚合过程形成在膜状基材上的层压结构的任何设备。
尽管这里没有描述进一步的细节，但可以理解本发明可利用本领域技术人员想到的各种其他改变和变型实施，而不脱离本发明的精神和范围。

Claims (14)

1.一种用于生产层压主体的设备，所述层压主体包括膜状基材和通过真空沉积聚合沉积在所述膜状基材上的至少一个蒸汽沉积聚合膜，所述设备包括：
真空室；
排放装置，其将空气从所述真空室排放以使所述真空室形成真空状态；
转动鼓，其可转动地设置在所述真空室中，所述转动鼓具有外周表面，该外周表面上设置与其接触的所述膜状基材，由此允许所述膜状基材随着所述转动鼓的转动而在周向方向上行进；
膜状基材供应装置，其将所述膜状基材供应到所述转动鼓的所述外周表面上；
多个吹出构件，其围绕所述转动鼓定位以在所述周向方向上彼此排列，所述多个吹出构件的每个包括在所述真空室内侧开放至所述转动鼓的所述外周表面的蒸汽出口和通过覆盖壁限定的内部空间；
多个沉积室，所述多个沉积室均由所述多个吹出构件的每个的内部空间的部分构成并定位在所述真空室内侧；和
至少一个单体蒸汽供应装置，其包括：多个蒸发源，通过加热和蒸发相应多种材料单体各自生成一种单体蒸汽从而生成多种单体蒸汽；多个连通通道，将所述至少一个单体蒸汽供应装置与所述多个沉积室的每个连通，所述至少一个单体蒸汽供应装置布置成通过所述多个连通通道向所述多个沉积室的每个中供应在所述多个蒸发源中生成的所述多种单体蒸汽，由此所述多种单体蒸汽从所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出；
其中，所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口和所述转动鼓的外周表面之间的距离为5mm或更小。
2.根据权利要求1所述的设备，其中，通过使用所述多个吹出构件的至少两个形成一个蒸汽沉积聚合膜。
3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述多个吹出构件的每个包括用于部分屏蔽所述膜状基材的屏蔽构件，所述屏蔽构件设置在所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口处以在所述转动鼓的周向上跨过所述蒸汽出口延伸，由此防止从所述蒸汽出口吹出的所述多种单体蒸汽附着到所述膜状基材的通过所述屏蔽构件屏蔽的部分。
4.根据权利要求1所述的设备，还包括对所述膜状基材充电的充电装置，所述充电装置设置在所述多个吹出构件的定位在所述转动鼓上的膜状基材的驱动方向上的最上游侧处的一个吹出构件的上游侧。
5.根据权利要求4所述的设备，还包括对由所述充电装置充电的膜状基材进行中和的中和装置，所述中和装置设置在所述多个吹出构件的定位在所述转动鼓上的膜状基材的驱动方向上的最下游侧处的一个吹出构件的下游侧。
6.根据权利要求1所述的设备，还包括对形成在所述膜状基材上的蒸汽沉积聚合膜进行硬化的硬化装置，所述硬化装置设置在所述多个吹出构件的定位在所述转动鼓上的膜状基材的驱动方向上的最下游侧处的一个吹出构件的下游侧。
7.根据权利要求1所述的设备，其中，所述膜状基材的厚度为5μm或更小。
8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述至少一个蒸汽沉积聚合膜的厚度为10μm或更小。
9.根据权利要求1所述的设备，还包括金属蒸汽供应装置，该金属蒸汽供应装置包括通过加热和蒸发金属沉积材料生成金属蒸汽的蒸发源和与所述沉积室连通的连通通道，所述金属蒸汽供应装置布置成通过所述连通通道向所述沉积室供应所述蒸发源中生成的金属蒸汽，由此所述金属蒸汽从所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。
10.根据权利要求1所述的设备，其中，所述膜状基材包括金属化膜，该金属化膜包括聚丙烯基双轴向拉伸膜和形成在所述聚丙烯基双轴向拉伸膜的至少一个表面上的金属沉积膜。
11.根据权利要求1所述的设备，其中，所述膜状基材包括金属化膜，该金属化膜包括聚对苯二甲酸乙二醇酯基双轴向拉伸膜和形成在所述聚对苯二甲酸乙二醇酯基双轴向拉伸膜的至少一个表面上的金属沉积膜。
12.根据权利要求1所述的设备，其中，所述膜状基材供应装置包括供给装置，该供给装置布置成通过将所述膜状基材从所述膜状基材的卷筒展开而将所述膜状基材供应到所述转动鼓的外周表面上。
13.根据权利要求12所述的设备，其中，至少一个分隔壁设置在所述真空室中，使得所述真空室被分成其中设置所述供给装置的第一部分和其中设置所述多个吹出构件的第二部分，由此允许独立地改变每个所述部分的内部压力。
14.根据权利要求1所述的设备，其中，至少一个单体蒸汽供应装置包括多个单体蒸汽供应装置且所述膜状基材供应装置包括所述多个单体蒸汽供应装置的至少一个，从所述多个单体蒸汽供应装置的至少一个供应到所述多个沉积室的至少一个中并从所述蒸汽出口吹出的所述多种单体蒸汽聚合在所述转动鼓的所述外周表面上，由此在所述转动鼓的外周表面上形成包括蒸汽沉积聚合膜基材的膜状基材。
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