CN102683046B

CN102683046B - 固体电解电容器的制造方法

Info

Publication number: CN102683046B
Application number: CN201210071068.XA
Authority: CN
Inventors: 宫地祐治
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2011-03-18
Filing date: 2012-03-16
Publication date: 2016-06-08
Anticipated expiration: 2032-03-16
Also published as: CN102683046A; JP5906406B2; US20120233827A1; JP2012199298A; US8513123B2

Abstract

本发明提供一种固体电解电容器的制造方法。该固体电解电容器的制造方法包括：烧结阀作用金属的粉末而形成阳极体的工序；用第一清洗液清洗阳极体的工序；在清洗工序之后在阳极体上形成电介质被膜的工序；在电介质被膜上形成固体电解质层的工序。第一清洗液为包含氨和过氧化氢的水溶液。

Description

固体电解电容器的制造方法

技术领域

本发明涉及固体电解电容器的制造方法，尤其涉及具有由烧结体形成的阳极体的固体电解电容器的制造方法。

背景技术

以往，为了实现电容器的小型化和大电容化开发出了各种电容器。其中，作为适合小型化的电容器，固体电解电容器得到广泛应用。固体电解电容器具有阳极体、设于阳极体上的电介质被膜、设于电介质被膜上的固体电解质层，且具有小型且大电容的优良性能。

作为上述固体电解电容器中的一个，具有作为阳极体具备通过烧结阀作用金属粉末而得到的烧结体的固体电解电容器。由于这种固体电解电容器具有多孔质性的阳极体，因此具有特别小型且大电容的优良特性。

当前，为了进一步提高具有由上述烧结体构成的阳极体的固体电解电容器的特性，进行了技术开发。例如，在日本特开平10-149955号公报中记载有：为了消除阳极体的表面的网眼堵塞，通过放电加工较浅地削去阳极体的表面。另外，例如，在日本特开2009-177174号公报中记载有：为了除去阳极体表面的自然氧化膜，利用有机酸蚀刻除去阳极体的表面。

另外，开发出了使作为阳极体的原料的阀作用金属粉末的粒径减小的技术。通过使粉末的粒径变小，能够进一步增大阳极体的表面积，因此能够进一步加大电介质被膜的表面积，由此能够实现显著的大容量化。从而，使用这种粒径小的粉末制成的阳极体作为具有100000μFV/g以上的CV值的高CV阳极体而受到关注。

如上述那样，虽然为了提高固体电解电容器的性能而开发出了各种技术，但现在仍在谋求用于进一步提高性能的技术，从而需要提供更高性能的固体电解电容器。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种能够制造出高性能的固体电解电容器的固体电解电容器的制造方法。

本发明人对具有高CV阳极体的固体电解电容器进行了各种研究，但是发现了如下情况，即，虽然其初始电容高，但是具有随着使用时间的加长其电容降低的倾向。进而，本发明人根据该发现对具有现有的阳极体的固体电解电容器进行了研究，从而查明：虽然当前能够满足固体电解电容器所需的性能，但是在使用时间显著长期化(大大超出固体电解电容器的必要耐用时间的情况下)的情况下，其与高CV阳极体同样，也具有电容降低的倾向。

由于至今为止还未得出过上述见解，所以具有现有的阳极体及高CV阳极体的各固体电解电容器的性能的长期稳定性也并未被视作大问题。在此，本发明人根据上述见解，从长期稳定性的观点出发，着眼于进一步提高固体电解电容器性能的可能性，并进行锐意研究，从而完成了本发明。

即，本发明的固体电解电容器的制造方法包括：烧结阀作用金属的粉末而形成阳极体的工序；利用由包含氨和过氧化氢的水溶液构成的第一清洗液清洗所述阳极体的清洗工序；在所述清洗工序之后，在所述阳极体上形成电介质被膜的工序；在所述电介质被膜上形成固体电解质层的工序。

发明效果

根据本发明，能够提供具有较高的长期稳定性的高性能的固体电解电容器的制造方法。

根据与附图关联而容易理解的关于本发明的如下详细说明，能够明确本发明的上述及其他目的、特征、形态以及优点。

附图说明

图1是表示实施方式的固体电解电容器的制造方法的一例的流程图。

图2是示意地表示实施方式的固体电解电容器的制造工序剖面图。

图3是示意地表示实施方式的固体电解电容器的制造工序的剖面图。

图4是示意地表示实施方式的固体电解电容器的制造工序的剖面图。

图5是示意地表示实施方式的固体电解电容器的制造工序的剖面图。

图6是示意地表示实施方式中制造的固体电解电容器的一例的剖面图。

图7是表示根据实施例1及比较例1制造的各固体电解电容器中的LIFE试验的经过时间和电容的变化率(％)的关系的图表。

图8是表示根据实施例1及比较例1制造的各固体电解电容器中的LIFE试验的经过时间和ESR的变化率(倍)的关系的图表。

图9是表示根据实施例1及比较例1制造的各固体电解电容器中的LIFE试验的经过时间和tanδ的变化率(倍)的关系的图表。

图10是表示根据实施例1及比较例1制造的各固体电解电容器中的LIFE试验的经过时间和LC的变化率(倍)的关系的图表。

具体实施方式

以下，参照图1～图6对本发明涉及的固体电解电容器的制造方法的实施方式进行说明。以下的实施方式仅为一例，在本发明的范围内能够以各种实施方式来实施。需要说明的是，在本发明的附图中，同一参照符号表示同一部分或相当部分。

(形成阳极体的工序)

如图1及图2所示，首先，形成竖立设置有阳极引线12的阳极体11(步骤S1)。图2的阳极体11例如能够以如下方式形成。

即，首先，准备阀作用金属的粉末。其次，以棒状体的阳极引线12的一端侧埋入上述粉末中的状态将粉末成形为所需的形状、例如长方体形状。其次，烧结被成形的成形体而形成由多孔质结构的烧结体构成的阳极体11。

作为阀作用金属可以使用钽、铌及钛等。基于能够使固体电解电容器的泄漏电流更小的观点而言，更优选使用钽。成形体的烧结温度为能够烧结所使用的阀作用金属的粉末的温度即可，例如，可以为1100℃以上1500℃以下。需要说明的是，阀作用金属的粉末的粒径越小越能够以低的烧结温度实现烧结。

在此，本发明人发现在使用具有100000μFV/g以上的CV值的高CV阳极体制造固体电解电容器的情况下，利用后述第一清洗液来进行清洗工序，从而能够进一步抑制电容等的特性降低。

从而，在本工序中，通过形成具有100000μFV/g以上的CV值的阳极体，能够进一步显著提高固体电解电容器的特性，进而能够大幅提高长期稳定性。需要说明的是，CV值是指阳极体的每单位质量的电容(C)与在阳极体的表面形成电介质时的化成电压(V)之积，CV值越大则越成为大电容的阳极体。

另外，对于阳极引线12的材料没有特别限定，在制造工序上优选使用与阳极体11相同的金属。

(利用第一清洗液进行清洗的工序)

其次，如图1所示，利用第一清洗液清洗阳极体11(步骤S2)。第一清洗液为包含氨和过氧化氢且显碱性的水溶液。例如，通过将阳极体11浸渍于第一清洗液，能够对阳极体11进行清洗。另外，通过使第一清洗液流过阳极体11，也能够对阳极体11进行清洗。

通过利用第一清洗液对阳极体11进行清洗，能够制造具有较高的长期稳定性的固体电解电容器。其理由虽然并没有完全得到明确，但考虑为如下理由之一，即，通过第一清洗液除去在阳极体11中残留的未烧结的阀作用金属的粒子或者粘合剂等残留物。即，通过除去残留物，使阳极体11的表面被净化，在后述的步骤S5中，能够进一步均匀地形成电介质被膜13(参照图3)，进而在后述的步骤S6中，能够在均匀地形成的电介质被膜13上更均匀地形成固体电解质层14(参照图4)。因此，可以相对的是，能够抑制固体电解质层14的剥离及固体电解质层14的裂缝的发生等，其结果是能够提高固体电解电容器的可靠性。

另外，作为上述理由的另一个，可以想到的是，通过利用第一清洗液对阳极体11进行清洗，使阳极体11的表面成为亲水性。即，由烧结体构成的阳极体11为具有微细空隙的复杂结构，进而，由于其表面为疏水性，因此，存在由水溶液构成的化成处理液难以充分浸透于内部的情况。对此，若用第一清洗液清洗阳极体11，则能够使由第一清洗液清洗的阳极体11的表面成为亲水性，由此，可以想到的是，在后述的步骤S5中，化成处理液能够充分浸透至阳极体11的内部，其结果是能够更加均匀地形成电介质被膜13。

另外，在利用第一清洗液清洗阳极体11和不清洗阳极体11的情况下，没有发现固体电解电容器的初始电容存在大的差异，因此，可以想到如下情况。即，利用第一清洗液对阳极体11进行清洗时，与如以往那样通过放电加工较浅地削去阳极体表面的方法或利用有机酸对阳极体表面进行蚀刻而进行除去的方法等进行比较，阳极体11的表面自身的除去受到抑制。换言之，第一清洗液对阳极体11的残留物的除去能力优异，另外，可以预想到的是，第一清洗液不具有对阳极体11本身进行蚀刻的能力、或者与现有的有机酸等清洗液相比对阳极体11本身进行蚀刻的能力十分低。另外，钽由于对碱性水溶液的耐性高，因此，在作为阳极体11使用钽的烧结体的情况下，能够有效抑制第一清洗液对阳极体11的蚀刻，因此，能够有效抑制因清洗处理造成阳极体11的电容降低。

另外，作为上述理由的另外一个，可以想到的是，利用第一清洗液除去在阳极体11的表面形成的自然氧化膜。即，阀作用金属不容易被第一清洗液蚀刻，但阀作用金属的氧化膜容易被第一清洗液除去，因此，形成阳极体11后，能够利用第一清洗液的清洗来除去到进行化成处理之前的期间内所生成的自然氧化膜。从而，可以想到的是，够对进一步净化的阳极体11进行化成处理，其结果是能够进一步均匀地形成电介质被膜13。

在第一清洗液中，氨的浓度优选为0.1mol/l以上1.0mol/l以下，过氧化氢的浓度优选为0.5mol/l以上1.0mol/l以下。通过将第一清洗液中的氨的浓度及/或过氧化氢的浓度调制为上述的范围，能够充分对阳极体11进行清洗，并且能够有效抑制阳极体11被第一清洗液蚀刻而造成其电容降低的情况。对第一清洗液的调制方法没有特别的限定，例如，能够例如混合氨水、过氧化氢水及水而进行调制。

另外，本发明人发现通过使用80℃以上、85℃以下的温度的第一清洗液对阳极体11进行清洗，从而能够进一步提高所制造的固体电解电容器的长期稳定性。可以想到其原因在于，通过在上述温度范围对第一清洗液进行加热，能够从第一清洗液大量产生细小的气泡，通过该现象，能够迅速地使第一清洗液遍布至阳极体11的内部。需要说明的是，使用被加热的第一清洗液对阳极体11进行清洗时，优选将阳极体11浸渍于第一清洗液而进行清洗。

(利用第二清洗液进行清洗的工序)

其次，如图1所示，可以利用第二清洗液对由清洗第一清洗液清洗的阳极体11进行清洗(步骤S3)。作为第二清洗液可以使用超纯水、离子交换水或纯水等纯度高的水，清洗方法与上述工序同样，可以将阳极体11浸渍于第二清洗液，也可以使第二清洗液流浇到阳极体11上。通过本工序能够除去在阳极体11的表面附着的第一清洗液，由此，由于进一步净化了阳极体11的表面，因此能够更加均匀地进行电介质被膜13的形成。另外，能够抑制在阳极体11上残留的第一清洗液与化成处理液混合而成的化成处理液的浓度变化。

(除去水的工序)

其次，如图1所示，可以从利用第一清洗液清洗后的阳极体11、或利用第二清洗液清洗后的阳极体11除去水(步骤S4)。本工序可以通过例如将附着有水的阳极体11投入干燥炉并加热的方式来进行。另外，也能够通过向附着水的阳极体11吹送冷风或暖风的方式来进行。

(在阳极体上形成电介质被膜的工序)

其次，如图1及图3所示，在阳极体11的表面上形成电介质被膜13(步骤S5)。本工序例如可以通过将阳极体浸渍于化成处理液并对该阳极体11施加规定时间电压的方式来进行。更具体而言，将阳极体11浸渍于己二酸氨水溶液、磷酸水溶液或硝酸水溶液等化成处理液中，对该阳极体11施加5小时10V以上、20V以下的电压。由此，构成阳极体11的表面部分的阀作用金属向氧化物变化而形成电介质被膜13。

通过由上述的第一清洗液进行清洗的工序(步骤S2)除去附着于阳极体11的表面上的阀作用金属的未烧结的粒子或粘合剂等残留物，使阳极体11的表面得到净化，因此，在本工序中，能够在阳极体11的表面上均匀地形成电介质被膜13。需要说明的是，在构成阳极体11的阀作用金属包含Ta、Nb或Ti的情况下，电介质被膜13包含Ta₂O₅、Nb₂O₅或TiO₂。

(形成固体电解质层的工序)

其次，如图1及图4所示，在电介质被膜13上形成固体电解质层14(步骤S6)。对固体电解质层14的材料没有特别地限定，但可以使用二氧化锰或TCNQ络盐(7，7，8，8-四氰基醌二甲烷)等。另外，可以使用聚噻吩及其衍生物、聚吡咯及其衍生物、聚苯胺及其衍生物以及聚呋喃及其衍生物等导电性高分子。其中，从导电性的高低这方面考虑，优选使用导电性高分子。

导电性高分子为在作为基本结构的聚噻吩等的高分子中加入了掺杂剂的构造，例如，能够通过使用高分子的前体及掺杂剂进行化学聚合及/或电解聚合而形成。作为高分子的前体可以使用例如3，4-乙撑二氧噻吩、3-烷基噻吩、吡咯、N-甲基吡咯、N，N-二甲基苯胺、或N-烷基苯胺等。其中，通过使用吡咯形成聚吡咯，能够形成具有特别高的导电性的固体电解质层14。

另外，掺杂剂没有特别的限定，可以使用利用烷基磺酸、芳香族磺酸、或多环芳香族磺酸等磺酸化合物、硝酸、硫酸等。另外，在进行化学聚合时，由于除前体及掺杂剂之外，优选还使用氧化剂进行化学聚合，作为磺酸化合物的之一的磺酸金属盐能够作为掺杂剂兼氧化剂发挥作用，这一点优选。

以下，作为固体电解质层14的形成方法的一例使用化学聚合及电解聚合，对形成以聚吡咯作为基本结构的固体电解质层14的方法之一进行说明。

首先，将阳极体11浸渍于包含氧化剂、掺杂剂和作为聚吡咯的前体的吡咯的化学聚合液，将化学聚合液浸渗于阳极体11中。其次，从化学聚合液拉起阳极体11，在形成在阳极体11的表面上的电介质被膜13上化学聚合吡咯而形成第一聚吡咯层。其次，将形成有第一聚吡咯层的阳极体11浸渍于包含掺杂剂及吡咯的电解聚合液中。然后，在电解重合液中，使电流在第一聚吡咯层流动，从而将吡咯电解聚合在第一聚吡咯层上，从而在第一聚吡咯层上形成第二聚吡咯层。由此，在电介质被膜13上形成以聚吡咯为基本结构的包含第一聚吡咯层及第二吡咯层的固体电解质层14。

(形成阴极引出层的工序)

其次，如图1及图5所示，在固体电解质层14上形成阴极引出层(步骤S7)。阴极引出层具有导电性即可，在本实施方式中，对形成由碳层15及银层16构成的阴极引出层的情况进行说明。

首先，将形成有固体电解质层14的阳极体11浸渍于使炭粒子分散的分散液中，然后进行干燥处理。由此，在固体电解质层14上形成碳层15。其次，将形成有碳层15的阳极体11浸渍于分散有银粒子的分散液中，然后进行干燥处理。由此，在碳层15上形成银层16。通过本工序形成阴极引出层，通过步骤S1～S7形成电容器元件10。

(密封电容器元件的工序)

其次，如图1及图6所示，对电容器元件10进行密封而制作固体电解电容器。对于密封的方法没有特别限定，例如具有如下方法。

即，首先，使阳极端子17与阳极引线12露出的一端连结，在银层16上形成粘接层18而连接阴极端子19的一端。粘接层18具有导电性和粘接性即可，例如可以使用含有银填充物的粘接剂。另外，阳极端子17及阴极端子19具有导电性即可，例如，可以使用将铜覆盖在钢线的表面的材料。

其次，以使阳极端子17及阴极端子19各自的另一端露出的方式，利用外装树脂20对电容器元件10进行密封。对外装树脂20没有特别的限定，优选为绝缘性树脂，可以使用例如环氧树脂。然后，将露出的阳极端子17及阴极端子19以沿着外装树脂20的方式折弯。之后，通过老化处理而制造图6所示的固体电解电容器。

根据本实施方式的固体电解电容器的制造方法，在阳极体11的表面形成电介质被膜13之前，利用第一清洗液对阳极体11进行清洗。第一清洗液为包含氨和过氧化氢的水溶液，通过利用这种第一清洗液对阳极体11进行清洗，能够使阳极体11的表面得到净化。由此，能够在被净化的阳极体11的表面形成电介质被膜13，因此能够均匀地形成电介质被膜13，进而能够均匀地形成固体电解质层14。由此，能够提高电介质被膜13与固体电解质层14的密接性，因此，与现有相比，能够抑制固体电解质层14的剥离及固体电解质层14的裂缝的发生等，其结构是能够制造具有较高的长期稳定性的固体电解电容器。

本发明人发现，对于具有100000μFV/g以上的CV值的阳极体的固体电解电容器而言，存在伴随着使用时间的长期化其电容等特性的降低有所变大的倾向，通过利用第一清洗液处理该阳极体，能够显著提高长期稳定性。

【实施例】

以下，例举实施例更加详细地说明本发明，但本发明并没有限定于此。具体而言，作为实施例1，使用本发明的制造方法制造固体电解电容器，作为比较例1，使用现有的制造方法制造固体电解电容器，对各个固体电解电容器来评价其长期稳定性。

<固体电解电容器的制造方法>

以下，参照图1～6对实施例1中的固体电解电容器的制造方法进行说明，并且对比较例1中的固体电解电容器的制造方法进行说明。

(实施例1)

首先，准备钽粉末。其次，以包含钽的阳极引线12的一端侧埋入钽粉末的状态成形钽粉末，并通过烧结该成形体而制作埋设有阳极引线12的一端的多孔质构造的阳极体11(步骤S1)。此时的阳极体11尺寸为纵×横×高为2.3mm×1.8mm×1.1mm，阳极体的CV值为150000μFV/g。

其次，作为第一清洗液调制氨及过氧化氢的浓度分别为0.3mol/l及0.8mol/l的水溶液。并且，将该水溶液加热至80℃且同时将阳极体11浸渍至水溶液中15分钟(步骤S2)。

其次，从上述水溶液提起阳极体11后，在作为第二清洗液的常温的纯水中浸渍10分钟(步骤S3)。并且，在将阳极体11从纯水中提起后，投入100℃的干燥炉中进行10分钟的干燥处理，从而除去附着在阳极体11的表面的水(步骤S4)。

其次，将阳极体11浸渍于0.02质量％的磷酸水溶液中，以20V的电压对该阳极体施加5小时，从而对阳极体11进行化成处理(步骤S5)。通过该化成处理形成作为电介质被膜13的Ta₂O₅膜。

其次，通过化学聚合及电解聚合将固体电解质层14形成在电介质被膜13上(步骤S6)。具体而言，首先，将形成有电介质被膜的阳极体在调整为25℃的包含吡咯的乙醇溶液中浸渍5分钟，使吡咯附着在电介质被膜13上。其次，从乙醇溶液中拉起阳极体11，接着，在调整为25℃的含有过硫酸铵及对甲苯磺酸的水溶液中浸渍5分钟。并且，将阳极体11从上述水溶液提起，在室温下放置10分钟，从而使其干燥。通过该操作，在电介质被膜13上形成第一聚吡咯层。其次，以将阳极体11浸渍于包含吡咯及烷基萘磺酸的水溶液的状态下，向第一聚吡咯层以0.5mA的电流通电3小时。通过该操作，在第一聚吡咯层上形成第二导聚吡咯层。通过以上操作，在电介质被膜13上形成作为固体电解质层14的聚吡咯层。

其次，通过在固体电解质层14上涂敷石墨粒子悬浊液使其干燥而形成碳层15，进而，通过在碳层15上涂敷含有银粒子的溶液并使其在大气中干燥，从而形成银层16(步骤S7)。通过以上操作制作电容器元件10。

其次，在电容器元件中，将阳极端子17焊接到阳极引线12上，在银层16上涂敷银粘接剂而形成粘接层18，使阴极端子19的一端与粘接层18粘接。进而，以使阳极端子17及阴极端子19的一部分露出的方式，利用外装树脂20密封电容器元件10。然后，将露出的阳极端子17及阴极端子19以沿着外装树脂20的方式折弯后，进行老化处理。

通过以上的制造工序制作出固体电解电容器。被制成的固体电解电容器的额定电压为6.3V，纵×横×高为3.5mm×2.8mm×1.9mm。需要说明的是，在本实施例中，制造了200个固体电解电容器。

(比较例1)

在比较例1中，除了不进行步骤S2～S4以外，利用与实施例1相同的方法制作出了固体电解电容器。被制成的固体电解电容器的额定电压为6.3V，纵×横×高为3.5mm×2.8mm×1.9mm。需要说明的是，在本比较例中，制造了200个固体电解电容器。

<LIFE试验>

对由实施例1及比较例1制造的各固体电解电容器进行LIFE试验。具体而言，将各固体电解电容器投入125℃的恒温器内，在恒温器内向各固体电解电容器持续施加额定电压。并且，观察施加时间与各施加时间经过时的各固体电解电容器的电气特性的关系。测定出的电气特性为以下四种。

(静电电容)

从各实施例及各比较例的固体电解电容器分别随机选择20个。对选出的各实施例及各比较例的各20个固体电解电容器使用4端子测定用的LCR测量仪进行如下测定，即，每经过各施加时间测定频率120Hz的静电电容(μF)。然后，将施加时间(h)0时间的固体电解电容器的静电电容设为C、将各施加时间经过时的固体电解电容器的静电电容设为C_x，根据下述式(1)算出静电电容变化率ΔC/C(％)。在图8中示出了实施例1及比较例1的固体电解电容器的LIFE试验的经过时间(h)和各经过时间的ΔC/C(％)的关系。

ΔC/C(％)＝(C_x-C)/C×100…式(1)

(ESR)

从各实施例及各比较例的固体电解电容器分别随机选择20个。对选出的各实施例及各比较例的各20个固体电解电容器使用4端子测定用的LCR测量仪进行如下测定，每经过各施加时间测定频率100kHz的ESR(mΩ)。然后，将各施加时间经过时的固体电解电容器的ESR的值(mΩ)除以施加时间(h)0时间的固体电解电容器的ESR的值而得到的值作为ESR的变化率(倍)算出。在图8中示出了实施例1及比较例1的固体电解电容器的LIFE试验的经过时间(h)和各经过时间的ESR的变化率(倍)的关系。

(tanδ)

从各实施例及各比较例的固体电解电容器分别随机选择20个。对选出的各实施例及各比较例的各20个固体电解电容器使用4端子测定用的LCR测量仪进行如下测定，每经过各施加时间测定频率120Hz的损耗角的正切(tanδ)。然后，将各施加时间经过时的固体电解电容器的tanδ的值除以施加时间(h)0时间的固体电解电容器的tanδ的值而得到的值作为tanδ的变化率(倍)算出。在图9中示出了实施例1及比较例1的固体电解电容器的LIFE试验的经过时间(h)和各经过时间的tanδ的变化率(倍)的关系。

(LC)

从各实施例及各比较例的固体电解电容器分别随机选择20个。对选出的各实施例及各比较例中的各20个固体电解电容器进行如下测定，即，每经过各施加时间则从恒温器取出固体电解电容器，施加两分钟额定电压并测定泄漏电流量(μA)。然后，将各施加时间经过时的固体电解电容器的泄漏电流(LC)的值除以施加时间(h)0时间中的固体电解电容器的LC的值得到的值作为LC的变化率(倍)算出。在图10中示出了实施例1及比较例1的固体电解电容器的LIFE试验的经过时间(h)和各经过时间的LC的变化率(倍)的关系。

<评价>

参照图7，在由比较例1制造的固体电解电容器中，随着LIFE试验的经过时间变长，静电电容大幅降低，相对于此，在由实施例1制造的固体电解电容器中，静电电容的降低得到抑制。

另外，参照图8，在由比较例1制造的固体电解电容器中，随着LIFE试验的经过时间变长，ESR大幅上升，相对于此，在由实施例1制造的固体电解电容器中，ESR的上升得到抑制。

另外，参照图9，在由比较例1制造的固体电解电容器中，随着LIFE试验的经过时间变长，tanδ大幅上升，相对于此，在由实施例1制造的固体电解电容器中，tanδ的上升得到抑制。

另外，参照图10，在由比较例1制造的固体电解电容器中，随着LIFE试验的经过时间变长，LC大幅上升，相对于此，在由实施例1制造的固体电解电容器中，LC的上升得到抑制。

如上所述，对于固体电解电容器的四个电气特性而言，均是由实施例1制造的固体电解电容器的LIFE试验的结果优良。另外，由图7～图10的各第0时间的结果可知，在进行利用第一清洗液进行清洗的工序后制造固体电解电容器的情况下，初始的电气特性没有发现大的变化，但能够长期维持高的电气特性。从而，根据实施例1的制造方法，能够制造具有高的长期稳定性的高性能的固体电解电容器。

虽如上述那样对本发明的实施方式及实施例进行了说明，但如最初说明那样可以对实施方式及实施例的特征进行适当组合。

虽对本发明进行了详细说明表示，但这仅是例示，并不构成对本发明的限制，应当明确理解本发明的范围是由所附的权利要求书来解释的。

Claims

1.一种固体电解电容器的制造方法，包括：

烧结阀作用金属的粉末而形成阳极体的工序；

利用由包含氨和过氧化氢的水溶液构成的80℃以上且85℃以下的温度的第一清洗液清洗所述阳极体的清洗工序；

在所述清洗工序之后，在所述阳极体上形成电介质被膜的工序；

在所述电介质被膜上形成固体电解质层的工序。

2.根据权利要求1所述的固体电解电容器的制造方法，其特征在于，

在用所述第一清洗液进行清洗的清洗工序和形成所述电介质被膜的工序之间包括利用由水构成的第二清洗液清洗所述阳极体的工序。

3.根据权利要求1所述的固体电解电容器的制造方法，其特征在于，

所述阳极体的CV值为100000μFV/g以上。

4.根据权利要求1所述的固体电解电容器的制造方法，其特征在于，

所述阀作用金属的粉末包含钽。