CN102659021A - 带有感应晶圆花篮功能的起吊装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置,包括机械手吊钩和花篮承载筐,机械手吊钩的两侧均设置有至少两个以上的钩部,花篮承载筐上设置有与钩部相配的凸起部,至少一个钩部内固定有传感器,相应的凸起部内固定有与传感器相配的感应块。本发明结构简单,并且非常实用,通过控制单元便能实现自动化控制,并且可以检测到是否钩住晶圆花篮,做到防止挂空、挂偏等误动作的发生,不需要操作人员随时检查,降低了人工成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置,用于半导体清洗设备中。
背景技术
目前,在半导体清洗设备中,晶圆花篮的起吊装置上没有感应器,不能自动控制,运行中常会出现该钩住时没钩住,该脱钩时没脱钩的情况发生,会使晶圆脱落而造成损失。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足,提供一种结构简单、能实现自动化控制并且自动感应晶圆花篮的起吊装置。
实现本发明目的的技术方案是:一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置,包括机械手吊钩和花篮承载筐,机械手吊钩的两侧均设置有至少两个以上的钩部,花篮承载筐上设置有与钩部相配的凸起部,至少一个钩部内固定有传感器,相应的凸起部内固定有与传感器相配的感应块。
采用了上述技术方案后,当钩部勾起凸起部时,传感器与感应块接触很近,传感器感应到感应块,发信号给控制单元,确认钩住花篮承载筐,然后控制单元发指令给机械手提升起花篮承载筐,即吊起花篮承载筐动作完成;当钩部与凸起部脱离时,传感器感应不到感应块,传感器发信号给控制单元,确认机械手吊钩空载,可以提升,即花篮承载筐脱钩成功,本发明的钩部两侧各设置为两个以上,两个以上的钩部形成一个面,钩取花篮承载筐更加稳定可靠,本发明结构简单,并且具有自动感应晶圆花篮是否钩住的功能,起到一定的防护作用,通过控制单元便能实现自动化控制,不需要人工干预,降低了成本,提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明的带有感应晶圆花篮功能的起吊装置的结构立体图。
具体实施方式
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本发明作进一步详细的说明,
如图1所示,一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置,包括机械手吊钩1和花篮承载筐2,机械手吊钩1的两侧均设置有至少两个以上的钩部1-1,花篮承载筐2上设置有与钩部1-1相配的凸起部2-1,至少一个钩部1-1内固定有传感器3,相应的凸起部2-1内固定有与传感器3相配的感应块4。
本发明的工作原理如下:
采用了上述技术方案后,当钩部1-1勾起凸起部2-1时,传感器3与感应块4接触很近,传感器3感应到感应块4,发信号给控制单元,确认钩住花篮承载筐2,然后控制单元发指令给机械手提升起花篮承载筐2,即吊起花篮承载筐2动作完成;当钩部1-1与凸起部2-1脱离时,传感器3感应不到感应块4,传感器3发信号给控制单元,确认机械手吊钩1空载,可以提升,即花篮承载筐2脱钩成功,本发明的钩部1-1两侧各设置为两个以上,两个以上的钩部1-1形成一个面,钩取花篮承载筐2更加稳定可靠,本发明结构简单,并且具有自动感应晶圆花篮的是否钩住的功能,起到一定的防护作用,通过控制单元便能实现自动化控制,不需要人工干预,降低了成本,提高了生产效率。
以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置,包括机械手吊钩(1)和花篮承载筐(2),机械手吊钩(1)的两侧均设置有至少两个以上的钩部(1-1),花篮承载筐(2)上设置有与钩部(1-1)相配的凸起部(2-1),其特征在于:至少一个钩部(1-1)内固定有传感器(3),相应的凸起部(2-1)内固定有与传感器(3)相配的感应块(4)。
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