CN102645775A - 一种获取基板的方法及设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种获取基板的方法及设备,该方法包括:抓取装置从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;从下基台位置移动到装入位置;其中,所述上基台位置高于下基台位置,所述初始位置高于所述上基台位置,所述装入位置低于所述上基台位置、高于所述下基台位置。本发明实施例中的获取基板的方法及设备,先获取上基台上的基板,再获取下基台上的基板,通过改变抓取装置的运动轨迹,从而缩短了运动路程,减少了获取基板的时间损耗、提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及液晶显示技术领域,特别涉及一种获取基板的方法及设备。
背景技术
液晶显示作为一种重要的平板显示方式,近十多年有了飞速的发展。液晶显示有轻、薄、低能耗等优点,被广泛应用于电视、计算机、手机、数码相机等现代化信息设备。
液晶面板一般由阵列基板、彩膜基板和两基板中间的液晶层构成。在液晶面板的制作过程中,首先,需要由上游设备通过一定的工艺流程制作阵列基板和彩膜基板,这两块基板制作好后,分别放在上游设备的指定位置上,例如,可以将阵列基板放置在上游设备的上基台上,将彩膜基板放置在上游设备的下基台上,当然,也可以根据需要将彩膜基板放置在上游设备的上基台上,将阵列基板放置在上游设备的下基台上。其中,上基台位于下基台的上方。然后,由下游设备上的抓取装置分别获取阵列基板和彩膜基板,并将获取到的两块基板送入指定设备进行后续的工艺流程。具体的,如图1所示,在抓取装置获取两块基板前,该抓取装置是停留在初始位置上的,该初始位置位于上基台所在平面的上方,在抓取装置获取基板时,首先,由初始位置向下移动到下基台的位置,从而获取到位于下基台上的基板,然后,再由下基台位置向上移动到上基台的位置,从而获取到位于上基台上的基板,最后,该抓取装置携带获取到的两块基板移动到装入位置,该装入位置正对着将对这两块基板进行后续工艺流程的指定设备,且该装入位置低于上基台所在平面、高于下基台所在平面。上述过程中抓取装置的运动轨迹如图1所示,图1中主要示意了初始位置、上基台位置、装入位置和下基台位置这四个位置在竖直方向上的位置关系,至于水平方向上的位置关系可根据需要进行调整。图2示出了该获取基板方式中,从初始位置出发,获取到上基板和下基板后停留到装入位置所花费的时间,在图2中,起点为初始位置,终点为装入位置,测量设备为VAS(Vacuum AssemblySystem,真空贴合系统)TRF Robot设备,测量时间为2010年10月20日,一共对这一过程进行了10次测量,每一次测量的时间和10次中的平均时间都可以由图2看出。
由此可见,现有技术中,下游设备上的抓取装置在获取两块基板时,需要先从高于上基台所在平面的初始位置上向下移动到下基台位置上获取到一块基板,然后,再从下基台位置上向上移动到上基台位置上获取到另一块基板,最后,还要将两块基板送入指定的装入位置,而该装入位置低于上基台所在平面、高于下基台所在平面,因此,抓取装置在获取两块基板时运动轨迹比较复杂,导致运动路程冗长,尤其是在竖直方向上的运动路程较长,进而导致运动时间延长,从而增加了下游设备获取基板的时间损耗,降低了生产效率。
发明内容
本发明提供一种获取基板的方法及设备,用以解决现有技术中下游设备获取基板时运动路程冗长,从而增加了获取基板的时间损耗,降低了生产效率的问题。
一种获取基板的方法,包括:
抓取装置从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
从下基台位置移动到装入位置;其中,所述上基台位置高于下基台位置,所述初始位置高于所述上基台位置,所述装入位置低于所述上基台位置、高于所述下基台位置。
较佳的,抓取装置根据控制装置发送的第一控制指令,从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
控制装置在发送所述第一控制指令之后间隔时间达到预设的第一时间后,向抓取装置发送第二控制指令,则抓取装置根据所述第二控制指令,从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
控制装置在发送所述第二控制指令之后间隔时间达到预设的第二时间后,向抓取装置发送第三控制指令,则抓取装置根据所述第三控制指令,从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置。
较佳的,所述第一时间根据初始位置与上基台位置之间的垂直距离和抓取装置运动的平均速度确定;所述第二时间根据上基台位置与下基台位置之间的垂直距离和抓取装置运动的平均速度确定。
较佳的,抓取装置根据控制装置发送的第一控制指令,从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
控制装置在检测到抓取装置获取到上基板后,向抓取装置发送第二控制指令,则抓取装置根据所述第二控制指令,从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
控制装置在检测到抓取装置获取到下基板后,向抓取装置发送第三控制指令,则抓取装置根据所述第三控制指令,从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置。
较佳的,控制装置检测抓取装置是否获取到上基板时,通过检测抓取装置的位置是否到达上基台位置以及检测抓取装置在上基台位置停留的时间确定;
控制装置检测抓取装置是否获取到下基板时,通过检测抓取装置的位置是否到达下基台位置以及检测抓取装置在下基台位置停留的时间确定。
一种获取基板的设备,包括:
控制装置,用于存储预先设定的控制程序,并根据所述控制程序控制抓取装置;
抓取装置,用于根据控制装置的控制,从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置;其中,所述上基台位置高于下基台位置,所述初始位置高于所述上基台位置,所述装入位置低于所述上基台位置、高于所述下基台位置。
较佳的,所述控制装置包括:
第一控制单元,用于向所述抓取装置发送第一控制指令,所述第一控制指令用于指示抓取装置从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
第二控制单元,用于向所述抓取装置发送第二控制指令,所述第二控制指令用于指示抓取装置从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
第三控制单元,用于向所述抓取装置发送第三控制指令,所述第三控制指令用于指示抓取装置从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置。
较佳的,所述第二控制单元包括:
第一定时器,用于检测所述第一控制指令发送之后间隔时间是否达到预设的第一时间,并在达到预设的第一时间后,向第一定时发送子单元发送第一时间到指示;第一定时发送子单元,在收到所述第一时间到指示后,向所述抓取装置发送第二控制指令;
所述第三控制单元包括:
第二定时器,用于检测所述第二控制指令发送之后间隔时间是否达到预设的第二时间,并在达到预设的第二时间后,向第二定时发送子单元发送第二时间到指示;第二定时发送子单元,在收到所述第二时间到指示后,向所述抓取装置发送第三控制指令。
较佳的,所述第二控制单元包括:
第一检测子单元,用于检测抓取装置是否获取到上基板,并在检测到抓取装置获取到上基板后,向第一检测发送子单元发送第一检测指示;第一检测发送子单元,在收到所述第一检测指示后,向所述抓取装置发送第二控制指令;
所述第三控制单元包括:
第二检测子单元,用于检测抓取装置是否获取到下基板,并在检测到抓取装置获取到下基板后,向第二检测发送子单元发送第二检测指示;第二检测发送子单元,在收到所述第二检测指示后,向所述抓取装置发送第三控制指令。
较佳的,所述第一检测子单元用于通过检测抓取装置的位置是否到达上基台位置以及检测抓取装置在上基台位置停留的时间确定抓取装置是否获取到上基板;
所述第二检测子单元用于通过检测抓取装置的位置是否到达下基台位置以及检测抓取装置在下基台位置停留的时间确定抓取装置是否获取到下基板。
本发明实施例中的获取基板的方法及设备,先获取上基台上的基板,再获取下基台上的基板,通过改变抓取装置的运动轨迹,从而缩短了运动路程,减少了获取基板的时间损耗、提高了生产效率。
附图说明
图1为现有技术中获取基板的运动轨迹示意图;
图2为现有技术中获取基板的运动时间统计图;
图3为本发明实施例中获取基板的方法流程图;
图4为本发明实施例中获取基板的运动轨迹示意图;
图5为本发明一个实施例中获取基板的方法流程图;
图6为本发明另一实施例中获取基板的方法流程图;
图7为本发明实施例中获取基板的设备结构图。
具体实施方式
本发明实施例提供了一种获取基板的方法及设备,可以解决现有技术中下游设备获取基板时运动路程冗长,从而增加了获取基板的时间损耗,降低了生产效率的问题。
本发明实施例提供了一种获取基板的方法,如图3所示,包括以下步骤:
S301:抓取装置从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
S302:从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
S303:从下基台位置移动到装入位置;其中,所述上基台位置高于下基台位置,所述初始位置高于所述上基台位置,所述装入位置低于所述上基台位置、高于所述下基台位置。
上述步骤中,抓取装置对应的运动轨迹如图4所示,图4中主要示意了初始位置、上基台位置、装入位置和下基台位置这四个位置在竖直方向上的位置关系,至于水平方向上的位置关系可根据需要进行调整。由该图可以清楚的看出,抓取装置首先由初始位置移动到上基台位置,然后再由上基台位置移动到下基台位置,最后由下基台位置移动到装入位置。由于本发明中抓取装置是先获取上基台上的上基板,然后再获取下基台上的下基板,因此,与图1中的运动轨迹相比,可以明显看出,本发明中显著缩短了抓取装置的运动轨迹,尤其缩短了竖直方向上的运动轨迹,从而缩短了抓取装置获取基板的时间,提高了生产效率。
较佳的,所述上基台和下基台位于上游设备上,所述抓取装置和控制装置位于下游设备上。并且,所述上游设备用于制作所述上基板和下基板,所述下游设备用于获取所述上基板和下基板,并将获取到的上基板和下基板通过装入位置装入指定设备进行后续处理。较佳的,所述上基板为阵列基板或薄膜晶体管型(Thin Film Transistor,TFT)基板,所述下基板为彩膜基板。或者,所述上基板为彩膜基板,所述下基板为阵列基板或TFT基板。
具体的,上基板和下基板由上游设备制作,上游设备将上基板和下基板制作好后,则分别将上基板和下基板置于上游设备的上基台和下基台上,等待下游设备获取这两块基板。用于获取所述上基板和下基板的下游设备可以是液晶滴下式注入法制程(One Drop Flling,ODF)产线真空贴合系统周边搬送装置,也即Cell-ODF产线中的真空贴合模块传送机械手(Vacuum Assembly SystemTransfer Robot,VAS TRF Robot)设备,该设备包括控制装置和抓取装置,控制装置用于向抓取装置发送控制指令,抓取装置根据该控制指令进行移动,从而将上基板和下基板获取到指定的装入位置上。然后,抓取装置还可以根据控制装置的控制将获取到的上基板和下基板通过装入位置装入指定设备进行后续处理,这里,对获取到的上基板和下基板进行处理的指定设备可以是真空贴合系统(Vacuum Assembly System,VAS)设备,由VAS设备对上基板和下基板进行后续工艺流程处理,例如,将上基板和下基板在真空贴合系统中成盒,形成完整的光学系统,从而制作出液晶面板。
下面以两个优选实施例详细介绍一下本发明的具体实现方式:
实施例一、
该实施例中控制装置根据时间检测来控制抓取装置的具体动作,如图5所示,包括以下步骤:
S501:抓取装置根据控制装置发送的第一控制指令,从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
S502:控制装置在发送所述第一控制指令之后间隔时间达到预设的第一时间后,向抓取装置发送第二控制指令,则抓取装置根据所述第二控制指令,从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
S503:控制装置在发送所述第二控制指令之后间隔时间达到预设的第二时间后,向抓取装置发送第三控制指令,则抓取装置根据所述第三控制指令,从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置。
其中,所述第一时间可以根据初始位置与上基台位置之间的垂直距离和抓取装置运动的平均速度确定;所述第二时间可以根据上基台位置与下基台位置之间的垂直距离和抓取装置运动的平均速度确定。当然,在实际应用中,还可以根据其他方式来设定第一时间和第二时间,例如,可以通过多次测试和观察,来得出第一时间和第二时间的最佳数值,从而既可以准确抓取基板,又不会产生额外的延时。
实施例二、
该实施例中控制装置根据动作检测来控制抓取装置的具体动作,如图6所示,包括以下步骤:
S601:抓取装置根据控制装置发送的第一控制指令,从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
S602:控制装置在检测到抓取装置获取到上基板后,向抓取装置发送第二控制指令,则抓取装置根据所述第二控制指令,从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
S603:控制装置在检测到抓取装置获取到下基板后,向抓取装置发送第三控制指令,则抓取装置根据所述第三控制指令,从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置。
其中,控制装置检测抓取装置是否获取到上基板时,通过检测抓取装置的位置是否到达上基台位置以及检测抓取装置在上基台位置停留的时间确定;控制装置检测抓取装置是否获取到下基板时,通过检测抓取装置的位置是否到达下基台位置以及检测抓取装置在下基台位置停留的时间确定。当然,在实际应用中,还可以根据其他方式来确定抓取装置是否获取到基板,例如,可以通过专门的动作检测装置来检测抓取装置的具体动作。
通过采用本发明实施例中提供的获取基板的方法,先获取上基台上的基板,再获取下基台上的基板,通过改变抓取装置的运动轨迹,从而缩短了运动路程,减少了获取基板的时间损耗、提高了生产效率。
本发明实施例还提供了一种获取基板的设备,如图7所示,包括:
控制装置71,用于存储预先设定的控制程序,并根据所述控制程序控制抓取装置;
抓取装置72,用于根据控制装置71的控制,从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置;其中,所述上基台位置高于下基台位置,所述初始位置高于所述上基台位置,所述装入位置低于所述上基台位置、高于所述下基台位置。
较佳的,所述控制装置71包括:
第一控制单元711,用于向所述抓取装置发送第一控制指令,所述第一控制指令用于指示抓取装置从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
第二控制单元712,用于向所述抓取装置发送第二控制指令,所述第二控制指令用于指示抓取装置从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
第三控制单元713,用于向所述抓取装置发送第三控制指令,所述第三控制指令用于指示抓取装置从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置。
较佳的,所述第二控制单元712包括:第一定时器,用于检测所述第一控制指令发送之后间隔时间是否达到预设的第一时间,并在达到预设的第一时间后,向第一定时发送子单元发送第一时间到指示;第一定时发送子单元,在收到所述第一时间到指示后,向所述抓取装置发送第二控制指令;所述第三控制单元713包括:第二定时器,用于检测所述第二控制指令发送之后间隔时间是否达到预设的第二时间,并在达到预设的第二时间后,向第二定时发送子单元发送第二时间到指示;第二定时发送子单元,在收到所述第二时间到指示后,向所述抓取装置发送第三控制指令。
或者,所述第二控制单元712包括:第一检测子单元,用于检测抓取装置是否获取到上基板,并在检测到抓取装置获取到上基板后,向第一检测发送子单元发送第一检测指示;第一检测发送子单元,在收到所述第一检测指示后,向所述抓取装置发送第二控制指令;所述第三控制单元713包括:第二检测子单元,用于检测抓取装置是否获取到下基板,并在检测到抓取装置获取到下基板后,向第二检测发送子单元发送第二检测指示;第二检测发送子单元,在收到所述第二检测指示后,向所述抓取装置发送第三控制指令。其中,所述第一检测子单元用于通过检测抓取装置的位置是否到达上基台位置以及检测抓取装置在上基台位置停留的时间确定抓取装置是否获取到上基板;所述第二检测子单元用于通过检测抓取装置的位置是否到达下基台位置以及检测抓取装置在下基台位置停留的时间确定抓取装置是否获取到下基板。
较佳的,所述上基台和下基台位于制作所述上基板和下基板的外部设备上。较佳的,所述控制装置还用于向抓取装置发送装入指令,则所述抓取装置还用于根据所述装入指令将获取到的上基板和下基板通过所述装入位置装入指定设备进行后续处理。
较佳的,所述上基板为阵列基板或TFT基板,所述下基板为彩膜基板。或者,所述上基板为彩膜基板,所述下基板为阵列基板或TFT基板。
通过采用本发明实施例中提供的获取基板的设备,先获取上基台上的基板,再获取下基台上的基板,通过改变抓取装置的运动轨迹,从而缩短了运动路程,减少了获取基板的时间损耗、提高了生产效率。
本领域内的技术人员应明白,本发明的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此,本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且,本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器,使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中,使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品,该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上,使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理,从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
尽管已描述了本发明的优选实施例,但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念,则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以,所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种获取基板的方法,其特征在于,包括:
抓取装置从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
从下基台位置移动到装入位置;其中,所述上基台位置高于下基台位置,所述初始位置高于所述上基台位置,所述装入位置低于所述上基台位置、高于所述下基台位置。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,抓取装置根据控制装置发送的第一控制指令,从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
控制装置在发送所述第一控制指令之后间隔时间达到预设的第一时间后,向抓取装置发送第二控制指令,则抓取装置根据所述第二控制指令,从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
控制装置在发送所述第二控制指令之后间隔时间达到预设的第二时间后,向抓取装置发送第三控制指令,则抓取装置根据所述第三控制指令,从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置。
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一时间根据初始位置与上基台位置之间的垂直距离和抓取装置运动的平均速度确定;所述第二时间根据上基台位置与下基台位置之间的垂直距离和抓取装置运动的平均速度确定。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,抓取装置根据控制装置发送的第一控制指令,从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
控制装置在检测到抓取装置获取到上基板后,向抓取装置发送第二控制指令,则抓取装置根据所述第二控制指令,从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
控制装置在检测到抓取装置获取到下基板后,向抓取装置发送第三控制指令,则抓取装置根据所述第三控制指令,从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置。
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,控制装置检测抓取装置是否获取到上基板时,通过检测抓取装置的位置是否到达上基台位置以及检测抓取装置在上基台位置停留的时间确定;
控制装置检测抓取装置是否获取到下基板时,通过检测抓取装置的位置是否到达下基台位置以及检测抓取装置在下基台位置停留的时间确定。
6.一种获取基板的设备,其特征在于,包括:
控制装置,用于存储预先设定的控制程序,并根据所述控制程序控制抓取装置;
抓取装置,用于根据控制装置的控制,从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置;其中,所述上基台位置高于下基台位置,所述初始位置高于所述上基台位置,所述装入位置低于所述上基台位置、高于所述下基台位置。
7.如权利要求6所述的设备,其特征在于,所述控制装置包括:
第一控制单元,用于向所述抓取装置发送第一控制指令,所述第一控制指令用于指示抓取装置从初始位置移动到上基台位置,获取上基台上的上基板;
第二控制单元,用于向所述抓取装置发送第二控制指令,所述第二控制指令用于指示抓取装置从上基台位置移动到下基台位置,获取下基台上的下基板;
第三控制单元,用于向所述抓取装置发送第三控制指令,所述第三控制指令用于指示抓取装置从下基台位置移动到装入位置,并将所述上基板和下基板置于所述装入位置。
8.如权利要求7所述的设备,其特征在于,所述第二控制单元包括:
第一定时器,用于检测所述第一控制指令发送之后间隔时间是否达到预设的第一时间,并在达到预设的第一时间后,向第一定时发送子单元发送第一时间到指示;第一定时发送子单元,在收到所述第一时间到指示后,向所述抓取装置发送第二控制指令;
所述第三控制单元包括:
第二定时器,用于检测所述第二控制指令发送之后间隔时间是否达到预设的第二时间,并在达到预设的第二时间后,向第二定时发送子单元发送第二时间到指示;第二定时发送子单元,在收到所述第二时间到指示后,向所述抓取装置发送第三控制指令。
9.如权利要求7所述的设备,其特征在于,所述第二控制单元包括:
第一检测子单元,用于检测抓取装置是否获取到上基板,并在检测到抓取装置获取到上基板后,向第一检测发送子单元发送第一检测指示;第一检测发送子单元,在收到所述第一检测指示后,向所述抓取装置发送第二控制指令;
所述第三控制单元包括:
第二检测子单元,用于检测抓取装置是否获取到下基板,并在检测到抓取装置获取到下基板后,向第二检测发送子单元发送第二检测指示;第二检测发送子单元,在收到所述第二检测指示后,向所述抓取装置发送第三控制指令。
10.如权利要求9所述的设备,其特征在于,所述第一检测子单元用于通过检测抓取装置的位置是否到达上基台位置以及检测抓取装置在上基台位置停留的时间确定抓取装置是否获取到上基板;
所述第二检测子单元用于通过检测抓取装置的位置是否到达下基台位置以及检测抓取装置在下基台位置停留的时间确定抓取装置是否获取到下基板。
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- 2011-04-18 CN CN201110096598.5A patent/CN102645775B/zh not_active Expired - Fee Related
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