CN102636913B - 密封方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及密封方法及其装置。在贴合上下一对基板时，可将上基板固定在恒定位置进行正确的定位及对准，并且，在载置有下基板的载置台具有倾角时，也可使上下基板的单元间隙恒定，得到上述单元结构体并可提高质量及生产率。通过如下工序贴合上基板和下基板，得到单元结构体：将下基板搬入密封装置内的载置台上；将上基板到所述密封装置内的所述下基板上；对在所述上基板的上方配设的紫外线透过片材上所形成的透明电极通电，产生静电，从而将所述基板静电夹紧；在利用所述紫外线透过片材将所述上基板向下基板按压的状态下照射紫外线，使预先涂敷的密封材料硬化。

Description

密封方法及其装置

技术领域

本发明涉及一种密封方法及其装置，将上基板以及下基板搬入到密封装置内，使所搬入的上下基板彼此的对准以及利用紫外线（UV）的照射使预先涂敷在上基板或下基板上的密封材料硬化，由此，使显示功能层介于之间地将上下基板贴合。

背景技术

作为面板显示器的代表例的液晶面板、有机EL面板、电子纸面板等采用使能够进行图像显示用的显示功能层介于一对上下基板间来进行密封的单元结构体。液晶面板中的单元结构体以夹持液晶材料的方式配置有取向膜、透明电极、偏振滤光片等，并且，将上下基板间密封。另一方面，在有机EL面板中，配置由透明电极和有机半导体等构成的显示功能层，将上下基板间密封，利用透明电极使有机半导体直接发光。另外，作为电子纸面板的具有代表性的结构，配置由封入了颜料粒子以及油性材料的微胶囊和透明电极构成的显示功能层，将上下基板间密封。进而，在裸眼式的三维显示器中，在以上述方式构成的液晶面板或者有机EL面板的单元结构体的表面贴附两面凸出的片材（lenticular sheet），得到三维的图像。

图10表示液晶面板的制造装置的现有技术的一例，如该图所示，在形成有透明电极的一对上下基板的一个（下基板50）上呈闭环状地涂敷密封材料51，在由该密封材料51包围的区域散布透明球状的隔离物，并且，滴下液晶材料52。然后，将该下基板50经由弹性片材55载置固定在定位工作台54上，该定位工作台54位于真空腔室53内，并且能够与下基板50面平行地在水平方向上移动地进行支撑。另一方面，在真空腔室53内能够在垂直方向上移动地进行支撑的吸附盘57上吸附固定有上基板56。

接着，对真空腔室53内的空气进行排气（真空抽吸），达到预定的真空度，之后，使吸附盘57下降，在下基板50上的密封材料51以及液晶材料52与上基板56接触的跟前的位置停止，使定位工作台54移动来调整对置的上基板56和下基板50的对准标记的位置关系位，进行上下基板50、56的粗对准处理。

然后，对真空腔室53内的空气进一步进行排气，提高到预定的真空度后，使吸附盘57进一步下降，对上基板56向下基板50侧加压，维持为上基板56和下基板50之间的单元间隙由透明球状的隔离物保持的状态。此时，在上下基板50、56间，下基板50上的密封材料51被压变形，同样地，被压变形的液晶材料52向由密封材料51和上下基板50、56包围的区域扩散，该区域整体被液晶材料52充满。

接着，进行吸气使真空腔室53内恢复到大气压，使定位工作台54移动，从而在大气压中调整对置的上基板56和下基板50的对准标记的位置关系，进行上下基板50、56的精密的对准处理。并且，最后将实施了对准处理的上下基板50、56取出到真空腔室的外部，照射紫外线，使密封材料51硬化，单元结构体的制造工序完成（参照专利文献1）。

另一方面，有机EL面板的有机半导体具有受氧气或湿气的影响而慢慢恶化导致亮度下降的性质，因而提出了除去密封材料中的气泡或水分的方法（参照专利文献2）。在该专利文献2所公开的技术中，具有对由弹性片材分隔而成的第一空间以及第二空间这两个空间进行排气的排气单元，利用该排气单元控制第一空间，使得相对于第二空间为负压，使在两空间产生的差压经由弹性片材作用于密封基板以及元件基板中的一个，从而能够进行两基板的压接。

另外，在液晶面板或有机EL面板的制造工序中，在利用光压法照射紫外线使光硬化型的密封材料硬化的情况下，特别是，当有机半导体被照射紫外线时恶化变得显著，因而一般地在石英的遮光玻璃上形成遮光掩模图案，仅向密封材料照射紫外线（参照专利文献3）。

在该专利文献3所公开的技术中，在形成有光电层的基板的背面侧配置遮光玻璃，为了气密性地覆盖光电层，在使基板和密封构件经由密封材料压接在一起的状态下，从遮光玻璃侧照射紫外线，使密封材料硬化，从而将基板和密封构件接合在一起，因此，对与遮光玻璃基板的接触面实施疏水处理，防止遮光玻璃和基板发生贴附。

上述专利文献3所公开的结构是采用价格极高的石英玻璃的方法，从耐久性等方面考虑存在问题，因此本申请的申请人采用具有柔软性以及透光性的片材构件，在紫外线透过片材上压接成为单元结构体的上侧基板，在紫外线透过片材的透过率低于允许范围的情况下，能够连续供给未使用的部分。并且，以该紫外线透过片材为边界形成能够减压的第一腔室和第二腔室，能够从单元结构体的两面进行压力控制（参照专利文献4）。

专利文献1：日本特开2002-296601号公报。

专利文献2：日本特开2005-276754号公报。

专利文献3：日本特开2006-004707号公报。

专利文献4：日本特开2009-058783号公报。

但是，液晶面板以及有机EL面板具有大型化的趋势，随着面板的大型化，制造装置也大型化。另外，即使面板大型化也进行贴合的上下基板向密封装置的搬入搬出利用专用的搬送装置来进行，必须不伴随人工作业。假如通过人工作业进行上下基板的搬入搬出的情况下，因从作业者的衣服等飞散灰尘、或者因来自身体的汗的蒸发而无法维持适当的湿度，不能够得到与无尘室相当的环境，显著降低生产的效率。

另外，为了提高生产效率，期望在单元结构体的上下形成的腔室尽可能为所需的最低限度的容量。即，进行上下基板的贴合的腔室内每一个工序每次必须处于高真空度，必须使基板间的单元间隙内的真空度提高。但是，在该腔室的容量大的情况下，其内部的空气的吸引量也变大，所以，真空泵的动作时间成比例地增长，这成为重要的原因，使生产效率下降，使生产成本上升。

特别是，在制造有机EL面板的情况下，要求极高的真空度，因此必须尽可能使腔室小型化，高效地形成真空状态。而且，虽然使腔室为小型，但必须具有能够进行向该腔室内搬入上下基板以及搬出所完成的单元结构体并得到气密状态的开闭门，能够进行自动生产。

另外，由于所搬入的上基板在腔室内必须保持在恒定位置上，所以，如专利文献3那样提出支撑上基板的端部的方法。在利用这种方法的情况下，潜在如下可能性，不能够正确地进行对准：上基板成为暂时置于支撑部上的状态，通过使支撑部下降，从而上基板成为仅载置在下基板上的不稳定状态，也就是，上基板在下基板上的位置未被固定，有可能发生位置偏移。

该对准处理是液晶面板、有机EL面板的制造工序中的重要工艺，但是，在用于能够通过裸视观察立体图像的三维显示器的面板中，要求极高精度的对准。即，在三维显示器中，在面板的表面配置有两面凸出的片材，该两面凸出的片材排列有与该面板的各像素分别对应的双凸透镜，但是，此时，必须使面板的各像素与双凸透镜正确地一致。

另外，液晶面板中的液晶材料、有机EL面板中的有机半导体、电子纸面板中的微胶囊受到的由透明电极形成的电场强度必须在全部显示区域均匀。因此，理想的是，单元间隙在全部显示区域完全恒定，但是，在实际的液晶面板的制造中，严格要求其允许误差为0.1µm以下，维持该精度提高质量以及生产率。

但是，在如专利文献4公开的例子那样具有载置下基板的载置台的结构中，难以始终维持该载置台的完全水平，也难以始终监视其水平度。但是，当在载置台具有倾角的情况下，利用机械单元将上基板向下基板按压时，该按压力不均匀，因该倾角的影响，产生单元间隙宽的部分和窄的部分。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，在对上下一对基板进行密封处理时，能够可靠地固定上基板进行正确的对准，并且，在密封处理中，将上基板向下基板按压时，即使载置有下基板的载置台具有倾角，上基板也成为依照载置台的偏斜的状态，能够避免压力的不均匀。

因此，本发明通过以下叙述的各手段解决上述问题。即，技术方案1记载的发明为一种密封方法，使所涂敷的密封材料硬化，将上下一对基板贴合，通过如下工序贴合上基板和下基板，得到单元结构体：将在表面的主要之处涂敷有密封材料的下基板搬入到密封装置内的载置台上；将上基板搬入到所述密封装置内的所述下基板上；对在配设于所述上基板的上方的紫外线透过片材上所形成的透明电极通电，产生静电，由此，对所述上基板进行静电夹紧；在利用所述紫外线透过片材将所述上基板向下基板按压的状态下照射紫外线，使预先涂敷的密封材料硬化。

关于技术方案2的发明，在上述技术方案1的密封方法中，上下基板中的至少一个的原材料为透明玻璃或者透明合成树脂。

关于技术方案3的发明，在上述技术方案1的密封方法中，在成为图像显示面的基板的表面预先贴设两面凸出的片材。

技术方案4记载的发明是一种密封装置，具有：空室壳体，在上表面形成有开口部并具有吸排气口，并且，在内部能够升降地设置载置台和下基板的支撑杆；紫外线透过片材，覆盖所述空室壳体的开口部并具有柔软性以及透光性，并且，形成有面向所述开口部的透明电极；紫外线透过掩模支撑框，外形是与所述空室壳体大致一致的形状，并具有吸排气口，并且，将紫外线透过掩模容纳在内部并载置在所述紫外线透过片材上；可动密封盘，覆盖所述紫外线透过掩模支撑框的上表面的开口部；光源部，对在所述可动密封盘的下方配置的光硬化型的密封材料照射紫外线，并且，配置在所述可动密封盘的上方，其中，在所述空室壳体上经由紫外线透过片材配置有紫外线透过掩模支撑框以及可动密封盘时，将所述紫外线透过片材作为边界的下部的空室壳体内成为能够减压的第一腔室，另一方面，将所述紫外线透过片材作为边界的上部的紫外线透过掩模支撑框以及可动密封盘所包围的内部成为能够减压的第二腔室，当将上基板搬入到所述空室壳体内时，对所述紫外线透过片材的透明电极通电，产生静电，对所述上基板进行静电夹紧。

关于技术方案5的发明，在上述技术方案4的密封装置中，在所述载置台的侧部设置用于进行上基板和下基板的对准调整的对准照相机。

根据本发明，在贴合上下一对基板时，对形成于紫外线透过片材上的透明电极通电，产生静电，由此，对上基板进行静电夹紧，固定在恒定位置上，所以，能够进行正确的定位以及对准。并且，在上基板按压下基板时，即使载置有下基板的载置台具有倾角，上基板也与紫外线透过片材一起成为依照载置台的倾角的状态，所以，能够避免压力的偏差，因而单元间隙为恒定，能够提高质量以及成品率。

此外，根据本发明，做成在空室壳体上经由紫外线透过片材配置紫外线透过掩模支撑框以及可动密封盘的结构，所以，能够使以所述紫外线透过片材为边界的下部的空室壳体内的第一腔室尽可能小，由此，能够迅速地对该第一腔室进行排气处理,提高生产效率。

另外，在上述结构中，在空室壳体内具有支撑下基板并能够升降的支撑杆、具有静电夹紧功能的紫外线透过片材、载置单元结构体并能够升降的载置台，进而，在空室壳体的任意的侧面，设置能够保持第一腔室的气密状态的开闭门，所以，能够实现上下基板的搬入、之后成形的单元结构体的搬出的自动化，能够实现不介入人工作业的连续自动生产。

附图说明

图1是说明本发明的密封装置的结构的剖视图。

图2是说明本发明的密封装置的结构的剖视图。

图3是说明本发明的密封装置的紫外线透过片材的图。

图4是说明本发明的密封装置的结构的部分立体图。

图5是说明本发明的密封装置的主要部分的动作方式的图。

图6是说明本发明的密封装置的吸排气回路的结构的图。

图7是成为单元结构体的下基板的说明图。

图8是成为单元结构体的上基板的说明图。

图9-1是说明本发明的密封装置的动作方式的图。

图9-2是说明本发明的密封装置的动作方式的图。

图9-3是说明本发明的密封装置的动作方式的图。

图9-4是说明本发明的密封装置的动作方式的图。

图9-5是说明本发明的密封装置的动作方式的图。

图9-6是说明本发明的密封装置的动作方式的图。

图10是表示现有技术的密封装置的例子的图。

其中，附图标记说明如下：

1空室壳体

2载置台

3杆

4传动箱

5马达

6支撑杆

7流体压缸

8a、8b夹紧端子

10对准照相机

11紫外线透过片材

12供给辊

13卷取辊

14紫外线透过掩模支撑框

15紫外线掩模

16、17O型环

18可动密封盘

19灯罩

20紫外线灯

21热射线截止滤光片

22闸门（shutter）

23开闭门

24升降装置

25流体压力管

28真空泵

30单元结构体

W1下基板

W2上基板

CH1第一腔室

CH2第二腔室。

具体实施方式

下面，基于附图详细地对本发明的实施方式进行说明。此外，在各图中，对相同的部分标注相同的附图标记，不重复说明。另外，下面叙述的实施方式是本发明优选的具体例，所以，赋予了技术上优选的各种限定，但是，关于本发明的范围，只要在以下的说明中没有记载特别对本发明进行限定，就不限于这些实施方式。

在图1以及图2中，附图标记1是内部成为第一腔室CH1的中空体即空室壳体，在上表面形成有开口部1a，在任意的侧面形成有基板搬入窗1b。进而，在空室壳体1上配置有与后述的吸排气回路连接的吸排气管P1。

在空室壳体1的内部中央设置有载置台2，该载置台2内置能够在X方向、Y方向、θ方向微动的机构，固定在该载置台2上的杆3从空室壳体1的底部向外部延伸设置，利用提供给传动箱4的马达5的驱动力，杆3上下移动，载置台2在空室壳体1的内部升降。此外，在空室壳体1的底面的所述杆3的支撑部分设置有气密密封件S，保持该部分的气密状态。

进而，在空室壳体1的底面下配置固定有用于使支撑杆6上下移动的流体压缸7，该支撑杆6从下表面对搬入至空室壳体1的内部的下基板W1的对角线上的4个部位的角部进行支撑。此外，在空室壳体1的底面的所述支撑杆6的支撑部分设置有气密密封件S，保持该部分的气密状态。

支撑下基板W1的支撑杆6贯通载置台2内并进行上下移动，这是考虑到下基板W1尽可能在宽的范围内载置在载置台2上并且在成形时不存在压力不均匀的部分而进行的。此外，在载置台2的侧部设置对准照相机10，得到用于进行下基板W1和上基板W2的对准的图像信号。

接着，在所述空室壳体1的上表面，以覆盖其整个范围的方式配设有使紫外线透过的紫外线透过片材11，该紫外线透过片材11为由供给辊12送出并且卷取在卷取辊13上的结构。该紫外线透过片材11采用具有柔软性的材料，例如采用PET树脂、PFE树脂等，由于紧贴在空室壳体1的凸缘1c的上表面，所以，能够保持该部分的气密性。

进而，对于所述紫外线透过片材11来说，如图3可视性地所示那样，透明电极11a、11b蜿蜒地彼此形成为梳齿状，从与透明电极11a、11b的末端部11c、11d连接的夹紧端子8a、8b施加直流电流，由此，在其表面产生静电，能够进行上基板W2的静电夹紧。此外，透明电极11a、11b的布线图案并不限于图3的形式。

所述紫外线透过片材11上的载置在空室壳体1的凸缘1c上的紫外线透过掩模支撑框14是与空室壳体1的外形大致一致的形状的框体，在其内部利用凸缘14a支撑而容纳紫外线掩模15。该紫外线掩模15形成有多个通孔15a，该多个通孔15a用于将从配置在上方的后述的灯罩19出射的紫外线的所需量导入空室壳体1内。进而，在紫外线透过掩模支撑框14上配置有与后述的吸排气回路连接的吸排气管P2，在框体的上表面以及下表面配置有O型环16、17，保持气密性。

在所述紫外线透过掩模支撑框14的上表面载置有用于覆盖关闭其开口部14b的可动密封盘18。该可动密封盘18被省略图示的搬送机构从前后方向或横向搬入到紫外线透过掩模支撑框14的恒定位置，如图1所示，载置在紫外线透过掩模支撑框14上，利用省略图示的加压装置，向下方施加压力。由此，由紫外线透过片材11、紫外线透过掩模支撑框14的内表面、可动密封盘18的背面包围的空间成为第二腔室CH2。并且，利用所述加压装置的加压，O型环16、17处于被压变形的状态，所以，能够充分确保该部分的气密性。

在所述可动密封盘18的上方配设有灯罩19，在该灯罩19的内部，朝向其开口19a依次容纳有放射紫外线的紫外线灯20、遮断来自该紫外线灯20的辐射热的热射线截止滤光片21以及开闭自由的闸门22。

本发明的机构要素如上构成，但为了实现装置的自动化，需要在空室壳体1的基板搬入窗1b上设置开闭窗。图4表示该结构的一个例子，如该图所示，覆盖基板搬入窗1b的整个面的开闭门23以如下方式配设：利用升降装置24的齿轮机构传递动力而上下移动。

另一方面，如图5所示，在基板搬入窗1b的凸缘部整个外周，配置有流体压力管25，在如图4（A）所示那样使开闭门23下降时，吸引流体压力管25内的流体，避免与开闭门23的接触。这样，在基板搬入窗1b被开放时，如该图所示，能够利用机械手臂RB1、RB2进行下基板W1、上基板W2的搬入。

然后，当下基板W1、上基板W2的搬入完成时，如图5（B）所示，使开闭门23上升，向流体压力管25注入加压流体使其膨胀，得到气密状态。此外，对于如上所述搬入到空室壳体1的上基板W2来说，如后所述那样利用因向紫外线透过片材11的透明电极11a、11b的通电而产生的静电而被静电夹紧，被保持在该紫外线透过片材11上。

此处，基于图6说明本发明的装置的吸排气回路的结构。如该图所示，与空室壳体1连接的供排气管P1经由阀门26a与大气A连接，另一方面，经由阀门26b、26c与真空泵28连接。另一方面，与紫外线透过掩模支撑框14连接的吸排气管P2经由阀门27a与大气A连接，另一方面，经由阀门27b、27c与真空泵28连接。此外，从阀门26c以及阀门27c朝向真空泵28的配管彼此在中途连结，并且，用一根配管连接到真空泵28。另外，阀门26c和阀门27c是真空压力调整用的阀门，是为了控制排气后的到达真空压而设置的。

本发明的密封装置如上构成，下面说明将下基板W1以及上基板W2搬入到空室壳体1内，直至单元结构体30完成的处理工序，但是，对于下基板W1以及上基板W2来说，必须准备预备成形的基板，所以，以下首先以液晶面板的情况为例说明该预备成形的下基板W1、上基板W2的加工方式。

如图7所示，在下基板W1的单面，在纵横保持预定间隔的多个液晶显示区域31a内散布透明球状的隔离物31b、或者形成光隔离物（photo spacer），将下基板W1和上基板W2贴合时，能够确保两基板W1、W2间的液晶显示区域31a的间隙。进而，在多个液晶显示区域31a的外侧设置有多处两基板W1、W2的定位用的对准标记31c。

另一方面，如图8所示，在上基板W2的单面，纵横保持预定间隔地涂敷有多个闭环状的密封材料32a。该密封材料32a具有紫外线硬化的性质，并且，在密封材料32a中预先混入圆柱状的硅纤维32b，确保两基板W1、W2间的密封部的间隙。

另外，以包围涂敷有多个密封材料32a的区域整体的方式涂敷有闭环状的密封材料32c。在该密封材料32c中也与密封材料32a同样地预先混入圆柱状的硅纤维32b，在贴合两基板W1、W2时，确保两基板W1、W2间的密封部的间隙。此外，在密封材料32a和密封材料32c中混入的硅纤维32b的材质、形状、大小都相同。

进而，在闭环状的密封材料32c的外侧设置有多处对准标记32d和暂时固定用的紫外线硬化树脂32e。另外，在由各闭环状的密封材料32a包围的内侧的区域，利用分配器等液体定量喷出装置，向多个位置滴下预定量的液晶材料32f。此外，在本发明的装置中，在将有机EL面板的形成作为对象的情况下，使用在两基板W1、W2中的任一个上形成有机EL层的基板，使与其对应的另一个基板为密封基板。

此外，作为制造液晶面板、有机EL面板时的两基板W1、W2的原材料，多采用透明玻璃，但是，在制造电子纸面板时，具有大多采用透明合成树脂薄膜的趋势。另外，在以制造三维显示器用的单元结构体为目的的情况下，在成为图像显示面的基板的表面预先贴附两面凸出的片材。

如上所述，预备成形的多个下基板W1以及上基板W2由未图示的搬入装置贮存并进行成形的准备。该前提下的图1所示的各构成要素处于处理工序开始的初始状态，下基板W1的支撑杆6以及载置台2处于最低的位置。并且，当装置开始运转时，首先，如图9（A）所示，流体压缸7进行动作，支撑杆6如该图所示那样上升。此时，打开阀门27b，对第二腔室CH2进行真空抽吸，紫外线透过片材11紧贴在紫外线掩模15上。

接着，利用机械手臂RB1从如图5（A）所示那样打开的基板搬入窗1b搬入下基板W1，如图9（B）所示那样载置在所述支撑杆6的前端6a上。此外，也可以先利用机械手臂RB1搬入下基板W1，然后，使流体压缸7动作，使支撑杆6上升。

当通过所述工序将下基板W1载置在支撑杆6的前端6a时，如图9（C）所述，支撑杆6下降，下基板W1配置在接近载置台2的位置。当下基板W1处于图9（C）的配置状态时，利用机械手臂RB2如图9（D）所示那样搬入上基板W2。此外，在搬入上基板W2时，对准照相机10检测下基板W1的对准标记31c和上基板W2的对准标记32d，利用基于该图像信号的机械手臂RB2的微调，能够进行两基板W1、W2的水平方向的对准。

当如上那样搬入上基板W2时，在紫外线透过片材11的透明电极11a、11b中流过电流，产生静电，吸附上基板W2，进行静电夹紧，如图9（E）所示，确保上基板W2在紫外线透过片材11上，与此同时，开闭门23上升，如图5（B）所示那样，向流体压力管注入加压流体进行膨胀，从而该部分成为气密状态，成为第一腔室CH1被密闭的状态。

然后，在该状态下打开阀门26b，开始对第一腔室CH1进行真空抽吸，利用阀门26c的调整，成为约10Pa（帕斯卡）的高真空度。此外，此时以紫外线透过片材11不被拉到第一腔室CH1侧的方式调整阀门27c，第二腔室CH2不成为负压。

这样，使第一腔室CH1成为高真空度，这特别在制造有机EL面板时有意义，伴随着排气，能够除去第一腔室CH1内的氧气或湿气，并除去空气中的杂质，能提高成品率。

当通过上述工序以高真空度完成第一腔室CH1的排气时，如图9（F）所示，使流体压缸7动作，利用支撑杆6使下基板W1上升至与上基板W2的密封材料32c接触并进行暂时固定。与此同时，调整阀门26c，将第一腔室CH1的真空度提高到作为一例的约50Pa，打开阀29a，从气体供给装置29导入氩气或者氮气等充分干燥的惰性气体G。

图9（G）的工序表示使载置台2进一步上升并且使第一腔室CH1的真空度提高到约100Pa的状态。此时，成为载置台2上升并且载置有下基板的状态，进而，在图9（H）的工序中，载置台维持在最高位，并且，调整阀门26c，将第一腔室CH1的真空度提高到约50kPa。此外，当到达图9（G）以及图9（H）的工序时，确保上基板W2处在紫外线透过片材11上，所以，能够使载置台2微动，进行正确的对准。

图9（I）的工序示出如下状态：在将第一腔室CH1内的真空度维持为约50kPa的状态下关闭阀门26b，并且，打开阀门27a将大气A导入第二腔室CH2。由此，当大气A充满第二腔室CH2时，由于大气压为约101kPa，所以，第一腔室CH1内成为负压，第二腔室CH2的正压经由通孔15a按下紫外线透过片材11,紧贴在上基板W2的整个面上，施加加压力。

图9（J）的工序表示利用搬送机构将可动密封盘18从紫外线透过掩模支撑框14的上表面上移动除去的状态，即使除去该可动密封盘18，紫外线透过片材11的上表面依然为大气压，所以，维持第一腔室CH1内的负压状态。因此，在该状态下，紫外线透过片材11对第二基板W2施加的加压力不发生变化。

这样，当对上基板W2施加大气压时，上基板W2向下基板W侧移动，两基板W1、W2的间隙压缩。当这是形成液晶面板的情况时，两基板W1、W2间的单元间隙由硅纤维32b和隔离物31b决定，例如，接近5µm左右。并且，由两基板W1、W2以及密封材料32a包围的区域充满液晶材料32f。

接着，在图9（K）的工序中，闸门22打开预定时间，预先点亮的紫外线灯的经由热射线截止滤光片21的紫外线光UV的由紫外线掩模15决定的所需光量透过紫外线透过片材11，照射在上基板W2上。由此，位于下基板W1和上基板W2间的密封材料32a、32c硬化，具有预定的单元间隙的单元结构体30完成。

这样，当单元结构体30完成时，关闭阀门26b并打开阀门26a，由此，如图9（L）所示，向第一腔室CH1内导入大气A。与此同时，切断针对紫外线透过片材11的透明电极11a、11b的直流电流的施加，由此，静电的产生结束，解除静电夹紧。然后，使载置台2下降到初始位置，利用升降装置24使开闭门23移动，利用机械手臂RB1或RB2从空室壳体1的基板搬入窗1b取出由流体压缸7的支撑杆6的前端6a支撑的单元结构体30。

如以上详细说明那样，在本发明的密封装置中，在紫外线透过片材11上形成透明电极11a、11b，在其中流过电流而产生静电，能够进行上基板W2的静电夹紧，所以，可靠地进行上基板W2向恒定位置的固定。并且，在上基板W2按压下基板W1时，即使载置有下基板W1的载置台2具有倾角，上基板也与紫外线透过片材11一起成为依照载置台2的倾角的状态，所以，能够避免压力的偏差，上下基板W1、W2间的单元间隙恒定，提高质量以及成品率。

此外，在本发明的密封装置中，由紫外线透过片材11覆盖关闭空室壳体1的上表面的开口部，载置容纳有紫外线掩模15的紫外线透过掩模支撑框14，载置覆盖关闭该紫外线透过掩模支撑框14的开口部的可动密封盘18。并且，在空室壳体1上形成基板搬入窗1b，在其整个面配设开闭门，由此，能够使空室壳体1尽可能小型化，所以，能够迅速进行用于形成真空状态的排气处理。

另外，在本发明的密封装置的结构中，在空室壳体1内具有支撑下基板W1并且能够升降的支撑杆、具有静电夹紧功能的紫外线透过片材、载置单元结构体并且能够升降的载置台，此外，在空室壳体1的任意的侧面设置能够保持第一腔室CH1的气密状态的开闭门，所以，能够进行上下基板W1、W2的搬入、之后成形的单元结构体30的搬出的自动化，能够进行不介入人工作业的连续自动生产。

此外，在本发明的以上说明中，作为其实施例，以液晶面板、有机EL面板为例进行了说明，但是，也能够在其他产品领域中制造与这些近似的产品，能够广泛应用。

Claims (5)

1.一种密封方法，使所涂敷的密封材料硬化，将上下一对基板贴合，其特征在于，通过如下工序贴合上基板和下基板，得到单元结构体：

将下基板搬入到密封装置内的载置台上；

将上基板搬入到所述密封装置内的所述下基板上；

对在所述上基板的上方配设的紫外线透过片材上所形成的透明电极通电，产生静电，由此，对所述上基板进行静电夹紧；

在利用所述紫外线透过片材将所述上基板向下基板按压的状态下照射紫外线，使预先涂敷的密封材料硬化。

2.如权利要求1所述的密封方法，其特征在于，

上下基板的至少一个的原材料是透明玻璃或者透明合成树脂。

3.如权利要求1所述的密封方法，其特征在于，

在成为图像显示面的基板的表面预先贴设两面凸出的片材。

4.一种密封装置，其特征在于，具有：

空室壳体，在上表面形成有开口部并且具有吸排气口，并且，在内部能够升降地设置载置台和下基板的支撑杆；

紫外线透过片材，覆盖所述空室壳体的开口部并且具有柔软性以及透光性，并且，形成有面向所述开口部的透明电极；

紫外线透过掩模支撑框，外形为与所述空室壳体大致一致的形状并具有吸排气口，并且，将紫外线透过掩模容纳在内部，并且载置在所述紫外线透过片材上；

可动密封盘，覆盖所述紫外线透过掩模支撑框的上表面的开口部；以及

光源部，对在所述可动密封盘的下方配置的光硬化型的密封材料照射紫外线，并且，配置在所述可动密封盘的上方，

在所述空室壳体上经由紫外线透过片材配置紫外线透过掩模支撑框以及可动密封盘时，将所述紫外线透过片材作为边界的下部的空室壳体内成为能够减压的第一腔室，另一方面，将所述紫外线透过片材作为边界的上部的紫外线透过掩模支撑框以及可动密封盘所包围的内部成为能够减压的第二腔室，当上基板搬入到所述空室壳体内时，对所述紫外线透过片材的透明电极通电，产生静电，对所述上基板进行静电夹紧。

5.如权利要求4所述的密封装置，其特征在于，

在载置台的侧部设置有用于进行上基板和下基板的对准调整的对准照相机。