CN102636498A - 玻璃基板的检测装置及检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种玻璃基板的检测装置及检测方法，用于检测承载于卡匣中的玻璃基板是否存在破损。该检测装置包括至少一传感器组和至少一处理单元。传感器组包括位于玻璃基板一侧的一投光元件和分别位于玻璃基板两侧的两个受光元件，处理单元用于判断两个受光元件检测的亮度之间的亮度差是否处于预定范围，若该亮度差未处于预定范围，则被检测的玻璃基板存在破损。通过上述方式，本发明能够减少或避免破损玻璃基板进入显示面板制程线。

Description

玻璃基板的检测装置及检测方法
技术领域
本发明涉及检测领域，特别是涉及一种玻璃基板的检测装置及检测方法。
背景技术
用于电脑显示器及电视机等显示面板的玻璃基板在进入制程线前装在卡匣中临时存放。该卡匣通常在竖直方向上设置多个支撑面，每一支撑面用以支撑一块玻璃基板，因此，装于同一卡匣中的相邻两块玻璃基板之间间隔一定的距离。在生产显示面板前，通过机械自动装置将装有多块玻璃基板的卡匣移动至显示面板制程线。
因放置于同一卡匣中的相邻支撑面上的两玻璃基板之间距离较小，储存和搬运过程中不易发现玻璃基板是否出现裂纹/破损。现有技术中，当玻璃基板被装入卡匣中临时存放到通过自动仓储系统将存放玻璃基板的卡匣移动至显示面板的制程线的这一过程中尚无法对玻璃基板是否破损进行检测，因此上述过程中产生破损的玻璃基板可能直至制程线时才会被发现。因此，需要在显示面板制程中将破损的玻璃基板搬走，势必会影响显示面板的生产效率。再者，若玻璃基板的破损程度较小，不能被及时发现，则有可能将破损的玻璃基板制成显示面板，导致成品不良。
鉴于此，有必要提供一种玻璃基板的检测装置及检测方法，以解决上述问题。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种玻璃基板的检测装置和检测方法，能够检测承载于卡匣中的玻璃基板是否存在破损。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种玻璃基板的检测装置，用于检测承载于卡匣中的玻璃基板是否存在破损，其中，该检测装置包括至少一传感器组和一处理单元，传感器组包括位于玻璃基板一侧的一投光元件和分别位于玻璃基板两侧的两个受光元件，投光元件用于向玻璃基板投射检测光，两个受光元件中的一个受光元件用于检测直射和/或经玻璃基板反射后的检测光的亮度，两个受光元件中的另一个受光元件用于检测经玻璃基板折射后的检测光的亮度，处理单元用于判断两个受光元件检测的亮度之间的亮度差是否处于预定范围，若亮度差未处于该预定范围，则被检测玻璃基板存在破损。
为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种玻璃基板的检测方法包括：向玻璃基板投射检测光；分别检测直射和/或经玻璃基板反射后的检测光的亮度以及经玻璃基板折射后的检测光的亮度；判断两个亮度之间的亮度差是否处于预定范围，若亮度差未处于预定范围，则被检测玻璃基板存在破损。
本发明的有益效果是：通过本发明的检测装置及检测方法可对玻璃基板是否存在破损进行有效检测，能够减少或避免破损玻璃基板进入显示面板制程线，进而可减少或避免在显示面板制程中搬移破损玻璃基板，从而提高制程线生产效率，以及能够降低将破损玻璃基板制成显示面板而导致成品不良的几率。
附图说明
图1是利用本发明实施例的玻璃基板检测装置检测玻璃基板的原理示意图；
图2是利用本发明实施例的玻璃基板检测装置检测位于卡匣中的玻璃基板的主视图；
图3是利用本发明实施例的玻璃基板检测装置检测位于卡匣中的玻璃基板的俯视图；
图4是本发明实施例的玻璃基板检测方法的流程图。
具体实施方式
参阅图1至图3，本发明实施例的玻璃基板检测装置用于对临时承载于卡匣50中的玻璃基板40是否存在破损进行检测。该检测装置可一次检测位于同一卡匣50中的部分或全部玻璃基板40。
卡匣50用于一次承载多块玻璃基板40。卡匣50包括沿竖直方向互相平行设置的多个支撑面(未图示)，每个支撑面用于承载一块玻璃基板40。当玻璃基板40被装于卡匣50中后，相邻的玻璃基板40之间间隔一定的距离。实际应用中，为了提高卡匣50容纳玻璃基板40的数量，相邻玻璃基板40之间的距离较小，因此，当卡匣50装满玻璃基板40后，除位于顶层的玻璃基板40外，其他玻璃基板40的表面均不便于从正面观察，因此很难检查出其他玻璃基板40是否存在破损。
该玻璃基板检测装置包括至少一传感器组，每个传感器组包括分别位于卡匣50相对两侧的一投光元件11和一对受光元件12、13。该玻璃基板检测装置进一步包括处理单元14。该玻璃基板检测装置可以一次检测位于单一卡匣50中的全部玻璃基板40。此时，可沿竖直方向设置的多个传感器组，分别对承载于卡匣50内的每个玻璃基板40同时进行检测，具体如图2所示。此外，为了保证检测结果更为准确，该玻璃基板检测装置还可以对应水平放置的每块玻璃基板40均设置有三个或其他任意数量的沿水平方向设置的传感器组分别对玻璃基板40的不同区域进行检测。
使用时，将投光元件11置于玻璃基板40的一侧，投光元件11优选以斜入射方式向玻璃基板40投射检测光。两个受光元件12、13分别位于该玻璃基板40上、下两侧，受光元件12、13用以接收投光元件11发出的检测光。
在本实施例中，受光元件12接收的检测光的一部分直接来自投光元件11，另一部分为经投光元件11射出至空气-玻璃界面后被反射至受光元件12的检测光。受光元件13接收的检测光则为经投光元件11射出至空气-玻璃界面后经玻璃基板折射最后到达受光元件13的检测光。因此，受光元件12检测的亮度和受光元件13检测的亮度之间的亮度差取决于投光元件11的亮度、玻璃基板40的厚度和长度、两受光元件12、13的位置以及玻璃基板40是否存在破损。
实际应用中，针对完整的玻璃基板40，并根据上述投光元件11发出的检测光的亮度、玻璃基板40的长度和厚度以及两受光元件12、13的位置等因素进行多次测试，并最终确定在玻璃基板40完整的情况下，两受光元件12、13所检测的亮度之间亮度差的正常范围(预定范围)，并记录于处理单元14中。利用该玻璃基板检测装置对位于卡匣50中的玻璃基板40进行检测时，若两受光元件12、13之间的亮度差位于该正常范围内则判定玻璃基板40无破损，若该两受光元件12、13之间的亮度差超出该正常范围则判定玻璃基板40有破损。该判定过程由与受光元件12、13相连的处理单元14进行。在其他实施例中，受光元件12可以仅检测从投光元件11直射的检测光或仅检测经玻璃基板40反射的检测光。
实际应用中，玻璃基板检测装置还可以进一步设有与处理单元14相连接的报警单元15。处理单元14根据判定结果向报警单元60发出控制信号，以使报警单元15在处理单元14判定玻璃基板40存在破损时发出报警信息。承载有破损玻璃基板的卡匣50将被搬运至其他位置，从而有效避免破损玻璃基板流入显示面板制程线。
该玻璃基板检测装置可应用至以下场合：其一，当玻璃基板被装入卡匣临时存放时，运用玻璃基板检测装置对位于卡匣中的玻璃基板进行检测能够发现玻璃基板的包装过程是否存在问题；其二，当装有玻璃基板的卡匣进入自动仓储系统时，在自动仓储系统的入口处安装玻璃基板检测装置对进入其中的卡匣中的玻璃基板进行检测，可以将有破损玻璃基板的卡匣拦截，方便追查出现破损玻璃基板的原因；其三，在玻璃基板投入显示面板制程线时，在自动仓储系统的出口处安装玻璃基板检测装置对即将投入显示面板制程线的卡匣中的玻璃基板进行检测，将有破损玻璃基板的卡匣拦截，避免破损玻璃基板进入显示面板制程线使生产效率降低，避免将破损玻璃基板制成显示面板而导致成品不良。
上述三处场合既可以同时分别安装玻璃基板检测装置，亦可以择一或择二的方式安装玻璃基板检测装置，不论玻璃基板检测装置安装在哪个位置，与现有技术相比，均可以减低或避免破损玻璃进入显示面板的制程线。
优选地，在自动仓储系统的入口处和出口处均安装玻璃基板检测装置，既可以发现玻璃基板临时储存时的问题，又可以明确通过自动仓储系统搬送卡匣的过程会不会导致玻璃基板破损，该两处安装的玻璃基板检测装置都可以对承装有破损玻璃的卡匣进行拦截，从而避免破损玻璃进入显示面板制程线。
在本发明实施例的玻璃基板检测装置中，因玻璃基板40的宽度较宽，故，为了更全面仔细地检测玻璃基板40表面，每一玻璃基板40对应设置三个传感器，三个传感器的投光元件11位于卡匣50的同一侧，因此，它们各自对应的一对受光元件12、13均位于卡匣50的另一侧。
实际应用中，检测同一玻璃基板40的传感器组的数目可根据玻璃基板40的宽度做出调整，当玻璃基板40的宽度较窄时，可以选择较少数量的传感器组检测一块玻璃基板40，如采用1个或2个传感器组检测一块玻璃基板；当玻璃基板40的宽度较宽时，还可以选择大于3个的传感器组对同一玻璃基板进行检测。
同时，当检测同一玻璃基板40的传感器数目大于1时，传感器的投光元件11和一对受光元件12、13摆放也可不同。例如，一个传感器的投光元件11位于卡匣50的一侧，与该传感器对应的受光元件12、13位于卡匣50的另一侧；而其他传感器的投光元件11和受光元件12、13的位置刚好与前述传感器的位置分布相反。
除前述实施例提到的一次检测单一卡匣50中的全部玻璃基板40的玻璃检测装置外，本发明玻璃检测装置还包括一次检测单一卡匣50中的部分玻璃基板40的情形，例如，单一卡匣中装有3n块玻璃基板，玻璃检测装置一次仅检测其中的n块玻璃基板，因此单一卡匣中的玻璃基板需要玻璃检测装置分三次才可检测完成。此时，投光元件11和受光元件12、13可装载在传送机构上，以在竖直方向上进行传送，进而完成多次检测。
本发明实施例的玻璃基板检测装置中的投光元件11的位置位于玻璃基板40一端的上侧，实际应用中并不受此限制，投光元件11的位置亦可以位于玻璃基板40端部的下侧或其他的任意适当位置。
请参阅图4，本发明的实施例进一步提供一种玻璃基板的检测方法，包括：
S10.向玻璃基板投射检测光，其中优选以斜入射的方式向玻璃基板投射检测光；
S20.分别检测直射和/或经玻璃基板反射后的检测光的亮度以及经玻璃基板折射后的检测光的亮度；
S30.判断两个亮度之间的亮度差是否处于预定范围，若亮度差未处于该预定范围，则被检测玻璃基板存在破损；
S40.在玻璃基板存在破损时，发出报警信息。
区别于现有技术，本发明的玻璃基板检测装置及检测方法可对玻璃基板是否存在破损进行有效检测，能够减少或避免破损玻璃基板进入显示面板制程线，进而可减少或避免在显示面板制程中搬移破损玻璃基板，从而提高制程线生产效率，以及能够降低将破损玻璃基板制成显示面板而导致成品不良的几率。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种玻璃基板的检测装置，用于检测承载于卡匣中的玻璃基板是否存在破损，其特征在于，所述检测装置包括至少一传感器组和至少一处理单元，所述传感器组包括位于所述玻璃基板一侧的一投光元件和分别位于所述玻璃基板两侧的两个受光元件，所述投光元件用于向所述玻璃基板投射检测光，所述两个受光元件中的一个受光元件用于检测直射和/或经所述玻璃基板反射后的所述检测光的亮度，所述两个受光元件中的另一个受光元件用于检测经所述玻璃基板折射后的所述检测光的亮度，所述处理单元用于判断所述两个受光元件检测的亮度之间的亮度差是否处于预定范围，若所述亮度差未处于所述预定范围，则所述玻璃基板存在破损。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括沿竖直方向设置的多个所述传感器组，以分别对沿所述竖直方向承载于所述卡匣内的多个玻璃基板同时进行检测。
3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括沿水平方向设置的多个所述传感器组，以对沿所述水平方向放置的所述玻璃基板的多个区域进行检测。
4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述投光元件以斜入射方式向所述玻璃基板投射所述检测光。
5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述投光元件和所述受光元件分别设置于所述卡匣的相对两侧。
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置进一步包括报警单元，所述报警单元在所述处理单元判定所述玻璃基板存在破损时发出报警信息。
7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置设置于用于存放所述卡匣的自动仓储系统的入口或出口。
8.一种玻璃基板的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：
向所述玻璃基板投射检测光；
分别检测直射和/或经所述玻璃基板反射后的所述检测光的亮度以及经所述玻璃基板折射后的所述检测光的亮度；
判断所述两个亮度之间的亮度差是否处于预定范围，若所述亮度差未处于所述预定范围，则所述玻璃基板存在破损。
9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述向所述玻璃基板投射检测光的步骤包括：以斜入射方式向所述玻璃基板投射所述检测光。
10.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法进一步包括：当所述玻璃基板存在破损时，发出报警信息。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103245678A (zh) * 2013-04-26 2013-08-14 深圳市华星光电技术有限公司 一种异物检测装置
CN103353457A (zh) * 2013-04-23 2013-10-16 友达光电股份有限公司 基板检测装置与方法
CN103698277A (zh) * 2013-12-06 2014-04-02 浙江师范大学 一种微细物体的差动检测方法
CN104142352A (zh) * 2013-05-10 2014-11-12 上海和辉光电有限公司 一种玻璃检测装置
CN105738383A (zh) * 2016-03-09 2016-07-06 武汉华星光电技术有限公司 基板破片检测装置和基板加工设备
CN105806847A (zh) * 2016-03-16 2016-07-27 京东方科技集团股份有限公司 一种基板的检测装置
CN106198562A (zh) * 2016-06-29 2016-12-07 昆山国显光电有限公司 一种玻璃基板检测方法、装置及系统
CN106597709A (zh) * 2017-01-06 2017-04-26 武汉华星光电技术有限公司 基板检测装置、显示面板加工系统及显示面板加工方法
CN107153071A (zh) * 2017-04-25 2017-09-12 武汉华星光电技术有限公司 一种玻璃基板的检测装置及检测方法
CN107449778A (zh) * 2016-05-31 2017-12-08 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种自动光学检测装置及方法
CN110378646A (zh) * 2019-06-17 2019-10-25 北海惠科光电技术有限公司 管控异常玻璃基板的方法和玻璃基板生产控制系统

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112945084B (zh) * 2019-12-10 2023-01-24 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 线扫描传感器、线扫描检测系统及线扫描检测方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3792930A (en) * 1973-05-31 1974-02-19 Ppg Industries Inc System for determining the nature of optical distortion in glass
JPS511184A (ja) * 1974-06-22 1976-01-07 Nippon Sheet Glass Co Ltd Ketsukankenshutsusochi
JPS63285449A (ja) * 1987-05-18 1988-11-22 Nikon Corp 異物検査装置
JPH09273997A (ja) * 1996-04-05 1997-10-21 Nikon Corp 透明導電膜検査装置及び方法
CN1573411A (zh) * 2003-05-30 2005-02-02 三星康宁精密琉璃株式会社 倾斜搬运行扫描检查方法
CN1675005A (zh) * 2002-08-09 2005-09-28 佩朗精品工艺股份有限公司 可对被传送物体进行自动分析或检测的系统
JP4575886B2 (ja) * 2006-02-14 2010-11-04 シャープ株式会社 多結晶半導体ウエハの割れ検査装置および割れ検査方法
CN101887030A (zh) * 2009-05-15 2010-11-17 圣戈本玻璃法国公司 用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的方法及系统

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9812091D0 (en) * 1998-06-05 1998-08-05 Glaverbel Defect detecting unit
JP2009014617A (ja) * 2007-07-06 2009-01-22 Olympus Corp 基板外観検査装置
CN202083648U (zh) * 2011-05-27 2011-12-21 北京京东方光电科技有限公司 一种光学检测装置及玻璃基板检测系统

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3792930A (en) * 1973-05-31 1974-02-19 Ppg Industries Inc System for determining the nature of optical distortion in glass
JPS511184A (ja) * 1974-06-22 1976-01-07 Nippon Sheet Glass Co Ltd Ketsukankenshutsusochi
JPS63285449A (ja) * 1987-05-18 1988-11-22 Nikon Corp 異物検査装置
JPH09273997A (ja) * 1996-04-05 1997-10-21 Nikon Corp 透明導電膜検査装置及び方法
CN1675005A (zh) * 2002-08-09 2005-09-28 佩朗精品工艺股份有限公司 可对被传送物体进行自动分析或检测的系统
CN1573411A (zh) * 2003-05-30 2005-02-02 三星康宁精密琉璃株式会社 倾斜搬运行扫描检查方法
JP4575886B2 (ja) * 2006-02-14 2010-11-04 シャープ株式会社 多結晶半導体ウエハの割れ検査装置および割れ検査方法
CN101887030A (zh) * 2009-05-15 2010-11-17 圣戈本玻璃法国公司 用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的方法及系统

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103353457B (zh) * 2013-04-23 2015-11-18 友达光电股份有限公司 基板检测装置与方法
CN103353457A (zh) * 2013-04-23 2013-10-16 友达光电股份有限公司 基板检测装置与方法
US9880104B2 (en) 2013-04-26 2018-01-30 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Particulate matter detection apparatus
CN103245678A (zh) * 2013-04-26 2013-08-14 深圳市华星光电技术有限公司 一种异物检测装置
CN103245678B (zh) * 2013-04-26 2015-12-09 深圳市华星光电技术有限公司 一种异物检测装置
CN104142352A (zh) * 2013-05-10 2014-11-12 上海和辉光电有限公司 一种玻璃检测装置
CN103698277A (zh) * 2013-12-06 2014-04-02 浙江师范大学 一种微细物体的差动检测方法
CN105738383A (zh) * 2016-03-09 2016-07-06 武汉华星光电技术有限公司 基板破片检测装置和基板加工设备
CN105806847A (zh) * 2016-03-16 2016-07-27 京东方科技集团股份有限公司 一种基板的检测装置
CN107449778A (zh) * 2016-05-31 2017-12-08 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种自动光学检测装置及方法
US11549891B2 (en) 2016-05-31 2023-01-10 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. Automatic optical inspection device and method
CN106198562A (zh) * 2016-06-29 2016-12-07 昆山国显光电有限公司 一种玻璃基板检测方法、装置及系统
CN106597709A (zh) * 2017-01-06 2017-04-26 武汉华星光电技术有限公司 基板检测装置、显示面板加工系统及显示面板加工方法
CN107153071A (zh) * 2017-04-25 2017-09-12 武汉华星光电技术有限公司 一种玻璃基板的检测装置及检测方法
CN110378646A (zh) * 2019-06-17 2019-10-25 北海惠科光电技术有限公司 管控异常玻璃基板的方法和玻璃基板生产控制系统
CN110378646B (zh) * 2019-06-17 2023-07-28 北海惠科光电技术有限公司 管控异常玻璃基板的方法和玻璃基板生产控制系统

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