CN105806847A - 一种基板的检测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基板的检测装置，由于在光发射器与光反射器之间以及光接收器与光反射器之间分别增设第一偏振片和第二偏振片，两偏振片的透光轴方向互不平行，光反射器具有偏振转换作用，这样，在光发射器发出的光经过第一偏振片后入射到基板上的金属走线时，一部分光线被金属走线反射至第二偏光片，另一部分光线入射到光反射器，被金属走线反射的光由于没有经过光反射器发生偏振转换会被第二偏振片吸收而不会进入光接收器，入射到光反射器的光被反射后偏振方向发生转变可以经过第二偏振片被光接收器接收，这样，可以避免由于被金属走线反射的光进入光接收器而导致误判，从而可以准确检测基板的边缘是否存在破损。

Description

一种基板的检测装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板的检测装置。
背景技术
在现有的镀膜工艺中，在基板进入镀膜设备的腔室之前，一般利用检测装置对基板的边缘进行检测，将边缘存在破损的基板拦截在腔室外侧，以提高产品良率和生产效率。
现有的检测装置，如图1-图3所示，包括：光发射器101、光反射器102、光接收器103、信号转换器104和处理器105。图1-图3分别示出基板106在经过检测装置的过程中的不同状态，如图1所示，光发射器101发出的光照射到基板106的边缘未发生破损的地方，光发射器101发出的光经过基板106再入射到光反射器102，经光反射器102反射后经过基板106再被光接收器103接收；如图2所示，光发射器101发出的光照射到基板106的边缘发生破损的地方，光发射器101发出的光直接入射到光反射器102，经光反射器102反射后直接被光接收器103接收；图2与图1相比，光接收器103接收的光的强度增大，因此，现有的检测装置通过信号转换器104和处理器105判断光接收器103接收的光的强度是否增大来确定基板106的边缘是否存在破损。如图3所示，光发射器101发出的光照射到基板106的周边区域内的金属走线107，光发射器101发出的光被金属走线107反射至光接收器103，图3与图1相比，光接收器103接收的光的强度也增大，检测装置同样会认为基板106的边缘存在破损而导致误判，将基板106拦截在腔室外侧，这不仅会降低生产效率，还会由于误判使基板106停留而产生各种工艺不良。
因此，如何提供一种可以准确检测基板的边缘是否存在破损的检测装置，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例提供了一种基板的检测装置，用以准确检测基板的边缘是否存在破损。
因此，本发明实施例提供了一种基板的检测装置，包括：光发射器、光反射器、光接收器、与所述光接收器连接的信号转换器、以及与所述信号转换器连接的处理器；其中，所述光反射器用于将所述光发射器发出的光反射至所述光接收器；所述信号转换器用于接收所述光接收器发出的光信号后向所述处理器输出电信号；所述处理器用于根据接收的所述电信号确定所述基板的边缘是否存在破损；
还包括：位于所述光发射器与所述光反射器之间的第一偏振片和位于所述光接收器与所述光反射器之间的第二偏振片；其中，所述第一偏振片的透光轴方向与所述第二偏振片的透光轴方向的夹角大于零且小于或等于90°；
所述光反射器具有偏振转换作用，能使反射后光的偏振方向平行于所述第二偏振片的透光轴方向。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述检测装置中，所述第一偏振片位于所述光发射器的出光侧的表面。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述检测装置中，所述第二偏振片位于所述光接收器的入光侧的表面。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述检测装置中，所述光反射器包括至少一组微棱镜；每组所述微棱镜包括反射镜和偏振棱镜；其中，
所述偏振棱镜用于将偏振方向平行于所述第一偏振片的透光轴方向的线偏振光变为偏振方向平行于所述第二偏振片的透光轴方向的线偏振光后照射至所述反射镜；
所述反射镜用于将偏振方向平行于所述第二偏振片的透光轴方向的线偏振光反射至所述第二偏振片。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述检测装置中，所述信号转换器，具体用于在接收所述光接收器发出的光的强度小于阈值时，向所述处理器输出第一电平信号；在接收所述光接收器发出的光的强度大于或等于阈值时，向所述处理器输出第二电平信号；
所述处理器，具体用于在接收到所述第一电平信号时，确定所述基板的边缘未存在破损；在接收到所述第二电平信号时，确定所述基板的边缘存在破损。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述检测装置中，所述第一电平信号为高电平信号，所述第二电平信号为低电平信号；或者，
所述第一电平信号为低电平信号，所述第二电平信号为高电平信号。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述检测装置中，所述阈值为所述光发射器发出的光的强度的93％至95％。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述检测装置中，所述光发射器和所述光接收器分别通过光纤与所述信号转换器连接。
在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述检测装置中，所述光发射器发出的光的光斑形状为圆形，直径为10mm至15mm。
本发明实施例提供的上述基板的检测装置，由于在光发射器与光反射器之间以及光接收器与光反射器之间分别增设第一偏振片和第二偏振片，两偏振片的透光轴方向互不平行，光反射器具有偏振转换作用，这样，在光发射器发出的光经过第一偏振片后入射到基板上的金属走线时，一部分光线被金属走线反射至第二偏光片，另一部分光线入射到光反射器，被金属走线反射的光由于没有经过光反射器发生偏振转换会被第二偏振片吸收而不会进入光接收器，入射到光反射器的光被反射后偏振方向发生转变可以经过第二偏振片被光接收器接收，这样，可以避免由于被金属走线反射的光进入光接收器而导致误判，从而可以准确检测基板的边缘是否存在破损。
附图说明
图1-图3分别为现有的检测装置的结构示意图；
图4-图6分别为本发明实施例提供的基板的检测装置的结构示意图；
图7为本发明实施例提供的基板的检测装置中的光反射器的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明实施例提供的基板的检测装置的具体实施方式进行详细地说明。
本发明实施例提供的一种基板的检测装置，如图4-图6所示，包括：光发射器1、光反射器2、光接收器3、与光接收器3连接的信号转换器4、以及与信号转换器4连接的处理器5；其中，光反射器2用于将光发射器1发出的光反射至光接收器3；信号转换器4用于接收光接收器3发出的光信号后向处理器5输出电信号；处理器5用于根据接收的电信号确定基板的边缘是否存在破损；
还包括：位于光发射器1与光反射器2之间的第一偏振片6和位于光接收器3与光反射器2之间的第二偏振片7；其中，第一偏振片6的透光轴方向与第二偏振片7的透光轴方向的夹角大于零且小于或等于90°；
光反射器2具有偏振转换作用，能使反射后光的偏振方向平行于第二偏振片7的透光轴方向。
本发明实施例提供的上述检测装置，由于在光发射器与光反射器之间以及光接收器与光反射器之间分别增设第一偏振片和第二偏振片，两偏振片的透光轴方向互不平行，光反射器具有偏振转换作用，这样，在光发射器发出的光经过第一偏振片后入射到基板上的金属走线时，一部分光线被金属走线反射至第二偏光片，另一部分光线入射到光反射器，被金属走线反射的光由于没有经过光反射器发生偏振转换会被第二偏振片吸收而不会进入光接收器，入射到光反射器的光被反射后偏振方向发生转变可以经过第二偏振片被光接收器接收，这样，可以避免由于被金属走线反射的光进入光接收器而导致误判，从而可以准确检测基板的边缘是否存在破损。
需要说明的是，一般将本发明实施例提供的上述检测装置设置在镀膜设备的腔室的入口处，且在入口的两侧分别设置一个检测装置，以对即将进入腔室的基板的两个长边的表面形貌进行检测，在基板的两个长边均不存在破损时基板才会进入腔室。待检测的基板可以为形成有某些图形的基板，例如液晶显示面板中的阵列基板，或者，也可以为未形成图形的衬底基板，在此不做限定；并且，待检测的基板可以为玻璃基板，或者，也可以为可透光的其他材质的基板，在此不做限定。
较佳地，在本发明实施例提供的上述检测装置中，可以将第一偏振片设置于光发射器的出光侧的表面，或者，也可以将第一偏振片设置于光发射器与光反射器之间的其他位置，在此不做限定。
较佳地，在本发明实施例提供的上述检测装置中，可以将第二偏振片设置于光接收器的入光侧的表面，或者，也可以将第二偏振片设置于光接收器与光反射器之间的其他位置，在此不做限定。
值得注意的是，在利用本发明实施例提供的上述检测装置对基板进行检测时，如图4-图6所示，待检测的基板8需要从两个偏振片(第一偏振片6和第二偏振片7)与光反射器2之间的空间穿过，这样才能保证被金属走线9反射的光不会经过光反射器2而发生偏振转换进而被第二偏振片7吸收而不会进入光接收器3，从而可以避免由于被金属走线9反射的光进入光接收器3而导致误判，准确检测基板8的边缘是否存在破损。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述检测装置中，光反射器可以为一偏振转换器，如图7所示，具体可以包括至少一组微棱镜20(图7示出3组微棱镜20)；每组微棱镜20包括反射镜21和偏振棱镜22；其中，偏振棱镜22可以将偏振方向平行于第一偏振片的透光轴方向的线偏振光变为偏振方向平行于第二偏振片的透光轴方向的线偏振光后照射至反射镜21，反射镜21可以将偏振方向平行于第二偏振片的透光轴方向的线偏振光反射至第二偏振片，从而使光反射器实现偏振转换作用，即偏振方向平行于第一偏振片的透光轴方向的线偏振光经光反射器的反射后变为偏振方向平行于第二偏振片的透光轴方向的线偏振光。具体地，如图7所示，可以利用一背板23支撑各组微棱镜20。
图4-图6分别示出基板在经过本发明实施例提供的上述检测装置的过程中的不同状态。如图4所示，光发射器1发出的光经过第一偏振片6后照射到基板8的边缘未发生破损的地方，光发射器1发出的光经过第一偏振片6后变为偏振片方向与第一偏振片6的透光轴方向相同的线偏振光，该线偏振光经过基板8后入射到光反射器2，经光反射器2反射后偏振方向发生转换，变为偏振片方向与第二偏振片7的透光轴方向相同的线偏振光，该线偏振光依次经过基板8和第二偏振片7后被光接收器3接收；如图5所示，光发射器1发出的光经过第一偏振片6后照射到基板8的边缘发生破损的地方，光发射器1发出的光经过第一偏振片6后变为偏振片方向与第一偏振片6的透光轴方向相同的线偏振光，该线偏振光直接入射到光反射器2，经光反射器2反射后偏振方向发生转换，变为偏振片方向与第二偏振片7的透光轴方向相同的线偏振光，该线偏振光经过第二偏振片7后被光接收器3接收；如图6所示，光发射器1发出的光经过第一偏振片6后照射到基板8的周边区域内的金属走线9，一部分光线被金属走线9反射至第二偏光片7，另一部分光线入射到光反射器2，被金属走线9反射的光由于没有经过光反射器2发生偏振转换会被第二偏振片7吸收而不会进入光接收器3，入射到光反射器2的光被反射后偏振方向发生转变可以经过第二偏振片7被光接收器3接收。
综合上述分析可知，图5中光接收器3接收的光的强度均大于图4和图6中光接收器3接收的光的强度，因此，在本发明实施例提供的上述检测装置中，信号转换器4，具体可以用于在接收光接收器3发出的光的强度小于阈值时向处理器5输出第一电平信号，在接收光接收器3发出的光的强度大于或等于阈值时，向处理器5输出第二电平信号；处理器5，具体可以用于在接收到第一电平信号时确定基板8的边缘未存在破损，在接收到第二电平信号时确定基板8的边缘存在破损；这样，本发明实施例提供的上述检测装置可以通过信号转换器4和处理器5确定光接收器3接收的光的强度与阈值的关系，进而判断基板8的边缘是否存在损坏。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述检测装置中，第一电平信号可以为高电平信号，则第二电平信号为低电平信号；或者，第一电平信号也可以为低电平信号，则第二电平信号为高电平信号，在此不做限定。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述检测装置中，可以将阈值设置为光发射器发出的光的强度的93％至95％。需要说明的是，阈值并非局限于此范围，具体可以根据基板对光的透过率以及光反射器对光的反射率等因素对阈值进行适当地调整，在此不做限定。
较佳地，在本发明实施例提供的上述检测装置中，可以将阈值设置为光发射器发出的光的强度的94％。例如，光发射器发出的光的强度为2000cd，可以将阈值设置为1880cd，在信号转换器接收光接收器发出的光的强度小于1880cd时向处理器输出高电平信号，处理器确定基板的边缘未存在破损；在信号转换器接收光接收器发出的光的强度大于或等于1880cd时向处理器输出低电平信号，处理器确定基板的边缘存在破损。并且，在确定基板的边缘存在破损时，本发明实施例提供的上述检测装置还可以发出警报，并控制基板停止运动，将基板拦截在镀膜设备的腔室的外侧，避免存在破损的基板进入腔室而降低生产良率。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述检测装置中，如图4-图6所示，光发射器1和光接收器3可以分别通过光纤10与信号转换器4连接，这样，光接收器3接收的光可以通过光纤10传输至信号转换器4，信号转换器4可以将光接收器3接收的光的强度与阈值进行比较，并控制处理器5确定基板8是否存在破损；并且，光发射器1发出的光也可以通过光纤10传输至信号转换器4，在光发射器1发出的光的强度发生变化时，信号转换器4可以实时调整阈值的大小，从而可以提高检测的准确性。
当然，在本发明实施例提供的上述检测装置中，光发射器和光接收器还可以通过其他可以传输光的方式与信号转换器连接，在此不做限定。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述检测装置中，光发射器发出的光的光斑形状可以为圆形，直径的范围可以为10mm至15mm。由于基板上的金属走线的宽度约为几毫米，该光斑的尺寸明显大于基板上的金属走线的尺寸，可以在光发射器发出的光经过第一偏振片后照射到基板上的金属走线时，保证一部分光线能够照射到光反射器。具体地，光发射器发出的光的光斑的形状和尺寸并非局限于此，例如，光发射器发出的光的光斑的形状还可以为矩形或多边形等，在此不做限定。
较佳地，在本发明实施例提供的上述检测装置中，光发射器发出的光的光斑的直径可以为13mm。
本发明实施例提供的一种基板的检测装置，由于在光发射器与光反射器之间以及光接收器与光反射器之间分别增设第一偏振片和第二偏振片，两偏振片的透光轴方向互不平行，光反射器具有偏振转换作用，这样，在光发射器发出的光经过第一偏振片后入射到基板上的金属走线时，一部分光线被金属走线反射至第二偏光片，另一部分光线入射到光反射器，被金属走线反射的光由于没有经过光反射器发生偏振转换会被第二偏振片吸收而不会进入光接收器，入射到光反射器的光被反射后偏振方向发生转变可以经过第二偏振片被光接收器接收，这样，可以避免由于被金属走线反射的光进入光接收器而导致误判，从而可以准确检测基板的边缘是否存在破损。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种基板的检测装置，包括：光发射器、光反射器、光接收器、与所述光接收器连接的信号转换器、以及与所述信号转换器连接的处理器；其中，所述光反射器用于将所述光发射器发出的光反射至所述光接收器；所述信号转换器用于接收所述光接收器发出的光信号后向所述处理器输出电信号；所述处理器用于根据接收的所述电信号确定所述基板的边缘是否存在破损；其特征在于：
还包括：位于所述光发射器与所述光反射器之间的第一偏振片和位于所述光接收器与所述光反射器之间的第二偏振片；其中，所述第一偏振片的透光轴方向与所述第二偏振片的透光轴方向的夹角大于零且小于或等于90°；
所述光反射器具有偏振转换作用，能使反射后光的偏振方向平行于所述第二偏振片的透光轴方向。
2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一偏振片位于所述光发射器的出光侧的表面。
3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第二偏振片位于所述光接收器的入光侧的表面。
4.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光反射器包括至少一组微棱镜；每组所述微棱镜包括反射镜和偏振棱镜；其中，
所述偏振棱镜用于将偏振方向平行于所述第一偏振片的透光轴方向的线偏振光变为偏振方向平行于所述第二偏振片的透光轴方向的线偏振光后照射至所述反射镜；
所述反射镜用于将偏振方向平行于所述第二偏振片的透光轴方向的线偏振光反射至所述第二偏振片。
5.如权利要求1-4任一项所述的检测装置，其特征在于，所述信号转换器，具体用于在接收所述光接收器发出的光的强度小于阈值时，向所述处理器输出第一电平信号；在接收所述光接收器发出的光的强度大于或等于阈值时，向所述处理器输出第二电平信号；
所述处理器，具体用于在接收到所述第一电平信号时，确定所述基板的边缘未存在破损；在接收到所述第二电平信号时，确定所述基板的边缘存在破损。
6.如权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述第一电平信号为高电平信号，所述第二电平信号为低电平信号；或者，
所述第一电平信号为低电平信号，所述第二电平信号为高电平信号。
7.如权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述阈值为所述光发射器发出的光的强度的93％至95％。
8.如权利要求1-4任一项所述的检测装置，其特征在于，所述光发射器和所述光接收器分别通过光纤与所述光量调整器连接。
9.如权利要求1-4任一项所述的检测装置，其特征在于，所述光发射器发出的光的光斑形状为圆形，直径为10mm至15mm。
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