CN106370674A - 一种玻璃基板的检测装置及检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种玻璃基板的检测装置,包括:至少一个第一光电传感器,第一光电传感器用于检测玻璃基板待检测表面是否存在破损,第一光电传感器朝向玻璃基板待检测的表面设置,第一光电传感器包括:第一发光单元,用于向玻璃基板待检测的表面发射第一检测光;第一受光单元,用于接收第一检测光经玻璃基板表面反射的第一反射光;第一处理单元,用于判断第一反射光量与第一检测光量的比值是否处于阈值范围,若第一反射光量与第一检测光量的比值未处于阈值范围,则判断玻璃基板存在破损,其中阈值范围定义为确定完整的玻璃基板经多次测试,得到的第一反射光量与第一检测光量的比值的正常范围。本发明还提供一种玻璃基板的检测方法。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种玻璃基板的检测装置及检测方法。
背景技术
玻璃基板是LCD行业所用的主要原材,但是在复杂工艺流程中,往往会由于各种原因导致玻璃基板的边角或表面产生裂纹、破损。若未能及时检测出破损的玻璃基板,破损的玻璃基板可能直至制程线时才发现,如此,需要在显示面板制程中将破损的玻璃基板去除,会严重影响到显示面板的生产效率,因此,及时检测出破损的玻璃基板至关重要。
现有技术中的彩膜线宽量测机使用了反射式光电传感器,然而,只能检测出玻璃基板破损较为严重的部分,当玻璃基板破损程度较小时,不能及时发现,有可能在测量时进一步划伤玻璃基板或镜头,或者直接进入下一制程,造成较大的设备损伤,甚至将破损的玻璃基板制成显示面板,导致成品不良。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种玻璃基板的检测装置及检测方法,能够检测出破损程度较小的玻璃基板。
为解决上述技术问题,本发明提供的一种技术方案是:提供一种玻璃基板的检测装置,所述检测装置包括:
至少一个第一光电传感器,所述第一光电传感器用于检测所述玻璃基板待检测表面是否存在破损,所述第一光电传感器朝向所述玻璃基板待检测的表面设置,所述第一光电传感器包括:
第一发光单元,用于向所述玻璃基板待检测的表面发射第一检测光;
第一受光单元,用于接收所述第一检测光经所述玻璃基板表面反射的第一反射光;
第一处理单元,用于判断所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值是否处于阈值范围,若所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值未处于阈值范围,则判断所述玻璃基板存在破损,其中所述阈值范围定义为确定完整的玻璃基板经多次测试,得到的所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值的正常范围。
其中,所述检测装置包括四个所述第一光电传感器,四个所述第一光电传感器所在的平面与所述玻璃基板待检测表面平行,四个所述第一光电传感器形成第一平行四边形,且围成的所述第一平行四边形的中心位置与所述玻璃基板待检测表面的中心位置重合,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形。
其中,所述检测装置进一步包括:
至少一个第二光电传感器,所述第二光电传感器用于检测所述玻璃基板的表面或/和边角是否存在破损,所述第二光电传感器朝向所述玻璃基板待检测表面设置并靠近所述玻璃基板的内角,所述第二光电传感器包括:
第二发光单元,用于向所述玻璃基板待检测的表面发射第二检测光;
第二受光单元,用于接收所述第二检测光经所述玻璃基板表面反射的第二反射光;
第二处理单元,用于判断是否接收到所述第二反射光,若未接收到所述第二反射光,则判断所述玻璃基板表面或/和边角存在破损。
其中,所述检测装置包括四个所述第二光电传感器,四个所述第二光电传感器所在的平面与所述玻璃基板待检测表面平行,四个所述第二光电传感器形成第二平行四边形,且形成的所述第二平行四边形的中心位置与所述玻璃基板待检测表面的中心位置重合,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形。
其中,所述第二发光元件以竖直入射或斜入射方式向所述玻璃基板待检测表面或/和边角发射所述第二检测光。
其中,所述第一发光元件以竖直入射或斜入射方式向所述玻璃基板待检测表面发射所述第一检测光。
为解决上述技术问题,本发明提供的另一种技术方案是:提供一种玻璃基板的检测方法,包括如下步骤:
向所述玻璃基板待检测的表面发射第一检测光;
接收所述第一检测光经所述玻璃基板表面反射的第一反射光;
判断所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值是否处于阈值范围,若所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值未处于阈值范围,则判断所述玻璃基板存在破损,其中所述阈值范围定义为最终确定完整的玻璃基板经多次测试,得到的所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值的正常范围。
其中,向所述玻璃基板待检测的表面发射第一检测光的发射源位置包括四个,且形成第一平行四边形,且围成的所述第一平行四边形的中心位置与所述玻璃基板待检测表面的中心位置重合,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形。
其中,所述检测方法进一步包括:
向所述玻璃基板待检测的表面发射第二检测光;
接收所述第二检测光经所述玻璃基板表面反射的第二反射光;
判断是否接收到所述第二反射光,若未接收到所述第二反射光,则判断所述玻璃基板表面或/和边角存在破损。
其中,向所述玻璃基板待检测的表面发射第二检测光的发射源位置包括四个,形成第二平行四边形,且形成的所述第二平行四边形的中心位置与所述玻璃基板待检测表面的中心位置重合,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形,原点坐标为所述玻璃基板待检测表面的中心位置。
本发明的有益效果是:区别于现有技术的情况,本发明提供的玻璃基板的检测装置不仅可以检测出破损程度较大的玻璃基板,还可以检测出破损程度较小的玻璃基板,能够减少或避免破损玻璃基板进入显示面板制程线,从而提高制程线生产效率,提高成品的良率。
附图说明
图1是本发明提供玻璃基板的检测装置检测时的俯视图;
图2是图1所示的玻璃基板的检测装置的剖视图;
图3是本发明提供的第一实施方式的玻璃基板的检测方法的流程示意图;
图4是本发明提供的第二实施方式的玻璃基板的检测方法的流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细的说明。
请结合参阅图1及图2,本发明提供一种玻璃基板50的检测装置100,玻璃基板50用于制造显示面板,检测装置100用于检测玻璃基板50的表面或/和边角是否存在破损。检测装置100包括:至少一个第一光电传感器10及至少一个第二光电传感器20,第一光电传感器10与第二光电传感器20设置于玻璃基板50待检测表面的同一侧,其中第一光电传感器10朝向玻璃基板50待检测的表面设置,第二光电传感器20朝向玻璃基板50待检测表面设置并靠近玻璃基板50的内角。
第一光电传感器10用于检测玻璃基板50待检测表面是否存在破损。第一光电传感器10包括:第一发光单元11、第一受光单元13以及第一处理单元15,第一处理单元15与第一发光单元11、第一受光单元13电性连接。
第一发光单元11用于向玻璃基板50待检测的表面发射第一检测光。
可以理解,第一发光单元11以竖直入射或斜入射方式向玻璃基板50待检测表面发射第一检测光。
第一受光单元13用于接收第一检测光经玻璃基板50表面反射的第一反射光。
第一处理单元15用于判断第一反射光量与第一检测光量的比值是否处于阈值范围,若第一反射光量与第一检测光量的比值未处于阈值范围,则判断玻璃基板50存在破损;若第一反射光量与第一检测光量的比值处于阈值范围,则判断玻璃基板50不存在破损,其中阈值范围定义为确定完整的玻璃基板50经多次测试,得到的第一反射光量与第一检测光量的比值的正常范围。
可以理解,第一发光单元11发射的第一检测光发射至玻璃基板50时,当检测的区域出现破损时,第一反射光的反射角度会有变化,使得部分第一反射光无法被第一受光单元13接收,进而第一受光单元13接收的第一反射光量比在完整的玻璃基板50检测时接收的第一反射光量低,如此,就第一反射光量占第一检测光量的比例将不在阈值范围内,从而可以判断该玻璃基板50的待检测表面存在破损;反之,则可以判断该玻璃基板50的待检测表面不存在破损。
可以理解,第一光电传感器10可为但不限于为漫反射光电传感器。
在本实施方式中,检测装置100包括四个第一光电传感器10,四个第一光电传感器10所在的平面与玻璃基板50待检测表面平行,四个第一光电传感器10形成第一平行四边形,且围成的第一平行四边形的中心位置与玻璃基板50待检测表面的中心位置重合,其中玻璃基板50待检测表面为长方形。
可以理解,四个第一光电传感器10形成第一平行四边形,即均匀分布于靠近中心位置的四周,可以有效检测到玻璃基板50待检测表面是否存在破损。
可以理解,本实施方式中的第一平行四边形不仅包括普通的平行四边形,还包括正方形、菱形以及长方形等特殊的平行四边形。
在一具体实施方式中,四个第一光电传感器10的位置坐标分别为(0,400)、(0,-400)、(300,0)以及(-300,0),其中原点为玻璃基板50待检测表面的中心位置。
可以理解,四个第一光电传感器10的位置坐标可根据玻璃基板50的面积、规格进行调整。
在其它实施方式中,四个第一光电传感器10还可以形成其它的四边形,如梯形。
第二光电传感器20用于检测玻璃基板50的表面或/和边角是否存在破损。第二光电传感器20包括第二发光单元21、第二受光单元23及第二处理单元25,第二处理单元25分别与第二发光单元21、第二受光单元23电性连接。
第二发光单元21用于向玻璃基板50待检测的表面发射第二检测光。
可以理解,第二发光单元21以竖直入射或斜入射方式向玻璃基板50待检测表面或/和边角发射第二检测光。
第二受光单元23,用于接收第二检测光经玻璃基板50表面反射的第二反射光。
第二处理单元25,用于判断是否接收到第二反射光,若未接收到第二反射光,则判断玻璃基板50表面或/和边角存在破损;若未接收到第二反射光,则判断玻璃基板50表面或/和边角不存在破损。
可以理解,第二发光单元21发射的第二检测光发射至玻璃基板50待检测表面或/和边角时,当检测的区域出现破损时,第二反射光的反射角度会有变化,使得第二反射光无法被第二受光单元23接收,如此,就可以判断该玻璃基板50的待检测表面或/和边角存在破损;反之,则可以判断该玻璃基板50的待检测表面或/和边角不存在破损。
本实施方式中,检测装置100包括四个第二光电传感器20,四个第二光电传感器20所在的平面与玻璃基板50待检测表面平行,四个第二光电传感器20形成第二平行四边形,且形成的第二平行四边形的中心位置与玻璃基板50待检测表面的中心位置重合,其中玻璃基板50待检测表面为长方形。
可以理解,本实施方式中的第二平行四边形不仅包括普通的平行四边形,还包括正方形、菱形以及长方形等特殊的平行四边形。
可以理解,第二光电传感器20可为但不限于为反射式光电传感器。
在一具体实施方式中,四个第二光电传感器20的位置坐标分别为(735,910)、(-735,910)、(735,-910)以及(-735,-910),其中原点为玻璃基板50待检测表面的中心位置。
可以理解,四个第二光电传感器20的位置坐标可根据玻璃基板50的面积、规格进行调整。
在其它实施方式中,四个第二光电传感器20还可以形成其它的四边形,如梯形。
可以理解,第一平行四边形的面积小于第二平行四边形的面积。
可以理解,在一具体实施方式中,检测装置100进一步包括承载板60,承载板60用于放置玻璃基板50,承载板60朝向玻璃基板50待检测表面开设有第一凹槽61及第二凹槽62,其中第一凹槽61用于放置第一光电传感器10,第二凹槽62用于放置第二光电传感器20。
本发明提供的玻璃基板50的检测装置100不仅可以检测出破损程度较大的玻璃基板50,还可以检测出破损程度较小的玻璃基板50;另外,还可以检测出玻璃基板50的边角是否是否存在破损,能够减少或避免破损玻璃基板50进入显示面板制程线,从而提高制程线生产效率,提高成品的良率。
请参阅图3,本发明还提供第一实施方式的玻璃基板的检测方法,包括如下步骤:
步骤S101,向玻璃基板待检测的表面发射第一检测光。
第一检测光用于检测玻璃基板待检测表面是否存在破损,向玻璃基板待检测的表面发射第一检测光的发射源位置包括四个,形成第一平行四边形,且围成的第一平行四边形的中心位置与玻璃基板待检测表面的中心位置重合。
可以理解,四个第一检测光的发射源位置均匀分布于靠近中心位置的四周,可以有效检测到玻璃基板待检测表面是否存在破损。
可以理解,本实施方式中的第一平行四边形不仅包括普通的平行四边形,还包括正方形、菱形以及长方形等特殊的平行四边形。
在一具体实施方式中,发射第一检测光的发射源位置的坐标分别为(0,400)、(0,-400)、(300,0)以及(-300,0),其中原点为玻璃基板待测表面的中心位置。
在其它实施方式中,发射第一检测光的发射源位置还可以形成其它的四边形,如梯形。
可以理解,发射第一检测光的发射源位置的坐标可根据玻璃基板50的面积、规格进行调整。
步骤S102,接收第一检测光经玻璃基板表面反射的第一反射光。
步骤S103,判断第一反射光量与第一检测光量的比值是否处于阈值范围,若第一反射光量与第一检测光量的比值未处于阈值范围,则判断玻璃基板存在破损,其中阈值范围定义为确定完整的玻璃基板经多次测试,得到的第一反射光量与第一检测光量的比值的正常范围。
可以理解,第一检测光发射至玻璃基板时,当检测的区域出现破损时,第一反射光的反射角度会有变化,使得部分第一反射光无法被接收,进而接收的第一反射光量比在完整的玻璃基板检测时接收的第一反射光量低,如此,就第一反射光量占第一检测光量的比例将不在阈值范围内,从而可以判断该玻璃基板的待检测表面存在破损;反之,则可以判断该玻璃基板的待检测表面不存在破损。
本发明实施方式的玻璃基板的检测方法不仅可以检测出破损程度较大的玻璃基板,还可以检测出破损程度较小的玻璃基板,能够减少或避免破损玻璃基板进入显示面板制程线,从而提高制程线生产效率,提高成品的良率。
请结合参阅图4,本发明提供的第二实施方式的玻璃基板的检测方法,包括如下步骤:
步骤S201,向玻璃基板待检测的表面分别发射第一检测光及第二检测光。
其中,第一检测光用于检测玻璃基板待检测表面是否存在破损;第二检测光用于检测玻璃基板的表面或/和边角是否存在破损。
在本实施方式中,向玻璃基板待检测的表面发射第一检测光的发射源位置包括四个,形成第一平行四边形;向玻璃基板待检测的表面发射第二检测光的发射源位置包括四个,形成第二平行四边形,其中第一平行四边形及第二平行四边形的中心位置均与玻璃基板待检测表面的中心位置重合,且第一平行四边形的面积小于第二平行四边形的面积,其中玻璃基板待检测表面为长方形。
可以理解,本实施方式中的第一平行四边形及第二平行四边形不仅包括普通的平行四边形,还包括正方形、菱形以及长方形等特殊的平行四边形。
在一具体实施方式中,发射第一检测光的发射源位置的坐标分别为(0,400)、(0,-400)、(300,0)以及(-300,0),发射第二检测光的发射源位置的坐标分别为(735,910)、(-735,910)、(735,-910)以及(-735,-910),其中原点为玻璃基板待测表面的中心位置。
在其它实施方式中,发射第一检测光的发射源位置及发射第二检测光的发射源位置还可以形成其它的四边形,如梯形。
可以理解,第一检测光与第二检测光可以同步发射或不同步发射。
步骤S202,分别接收第一检测光经玻璃基板表面反射的第一反射光以及第二检测光经玻璃基板表面反射的第二反射光。
步骤S203,判断玻璃基板待检测表面是否存在破损,即判断第一反射光量与第一检测光量的比值是否处于阈值范围,若第一反射光量与第一检测光量的比值未处于阈值范围,则判断玻璃基板存在破损;判断是否接收到第二反射光,若未接收到第二反射光,则判断玻璃基板表面或/和边角存在破损。
其中,阈值范围定义为确定完整的玻璃基板经多次测试,得到的第一反射光量与第一检测光量的比值的正常范围。
可以理解,第一检测光发射至玻璃基板时,当检测的区域出现破损时,第一反射光的反射角度会有变化,使得部分第一反射光无法被接收,进而接收的第一反射光量比在完整的玻璃基板检测时接收的第一反射光量低,如此,就第一反射光量占第一检测光量的比例将不在阈值范围内,从而可以判断该玻璃基板的待检测表面存在破损;反之,则可以判断该玻璃基板的待检测表面不存在破损。
可以理解,第二检测光发射至玻璃基板待检测表面或/和边角时,当检测的区域出现破损时,第二反射光的反射角度会有变化,使得第二反射光无法被第二受光单元接收,如此,就可以判断该玻璃基板的待检测表面或/和边角存在破损;反之,则可以判断该玻璃基板的待检测表面或/和边角不存在破损。
本实施方式提供的玻璃基板的检测方法不仅可以检测出破损程度较大的玻璃基板,还可以检测出破损程度较小的玻璃基板;另外,还可以检测出玻璃基板的边角是否是否存在破损,能够减少或避免破损玻璃基板进入显示面板制程线,从而提高制程线生产效率,提高成品的良率。
以上所述仅为本发明的实施方式,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种玻璃基板的检测装置,其特征在于,所述检测装置包括:
至少一个第一光电传感器,所述第一光电传感器用于检测所述玻璃基板待检测表面是否存在破损,所述第一光电传感器朝向所述玻璃基板待检测的表面设置,所述第一光电传感器包括:
第一发光单元,用于向所述玻璃基板待检测的表面发射第一检测光;
第一受光单元,用于接收所述第一检测光经所述玻璃基板表面反射的第一反射光;
第一处理单元,用于判断所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值是否处于阈值范围,若所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值未处于阈值范围,则判断所述玻璃基板存在破损,其中所述阈值范围定义为确定完整的玻璃基板经多次测试,得到的所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值的正常范围。
2.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,
所述检测装置包括四个所述第一光电传感器,四个所述第一光电传感器所在的平面与所述玻璃基板待检测表面平行,四个所述第一光电传感器形成第一平行四边形,且围成的所述第一平行四边形的中心位置与所述玻璃基板待检测表面的中心位置重合,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形。
3.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,
所述检测装置进一步包括:
至少一个第二光电传感器,所述第二光电传感器用于检测所述玻璃基板的表面或/和边角是否存在破损,所述第二光电传感器朝向所述玻璃基板待检测表面设置并靠近所述玻璃基板的内角,所述第二光电传感器包括:
第二发光单元,用于向所述玻璃基板待检测的表面发射第二检测光;
第二受光单元,用于接收所述第二检测光经所述玻璃基板表面反射的第二反射光;
第二处理单元,用于判断是否接收到所述第二反射光,若未接收到所述第二反射光,则判断所述玻璃基板表面或/和边角存在破损。
4.根据权利要求3所述的检测装置,其特征在于,
所述检测装置包括四个所述第二光电传感器,四个所述第二光电传感器所在的平面与所述玻璃基板待检测表面平行,四个所述第二光电传感器形成第二平行四边形,且形成的所述第二平行四边形的中心位置与所述玻璃基板待检测表面的中心位置重合,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形。
5.根据权利要求3所述的检测装置,其特征在于,
所述第二发光元件以竖直入射或斜入射方式向所述玻璃基板待检测表面或/和边角发射所述第二检测光。
6.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,
所述第一发光元件以竖直入射或斜入射方式向所述玻璃基板待检测表面发射所述第一检测光。
7.一种玻璃基板的检测方法,其特征在于,包括如下步骤:
向所述玻璃基板待检测的表面发射第一检测光;
接收所述第一检测光经所述玻璃基板表面反射的第一反射光;
判断所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值是否处于阈值范围,若所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值未处于阈值范围,则判断所述玻璃基板存在破损,其中所述阈值范围定义为最终确定完整的玻璃基板经多次测试,得到的所述第一反射光量与所述第一检测光量的比值的正常范围。
8.根据权利要求7所述的检测方法,其特征在于,
向所述玻璃基板待检测的表面发射第一检测光的发射源位置包括四个,且形成第一平行四边形,且围成的所述第一平行四边形的中心位置与所述玻璃基板待检测表面的中心位置重合,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形。
9.根据权利要求7所述的检测方法,其特征在于,
所述检测方法进一步包括:
向所述玻璃基板待检测的表面发射第二检测光;
接收所述第二检测光经所述玻璃基板表面反射的第二反射光;
判断是否接收到所述第二反射光,若未接收到所述第二反射光,则判断所述玻璃基板表面或/和边角存在破损。
10.根据权利要求9所述的检测方法,其特征在于,
向所述玻璃基板待检测的表面发射第二检测光的发射源位置包括四个,形成第二平行四边形,且形成的所述第二平行四边形的中心位置与所述玻璃基板待检测表面的中心位置重合,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形,其中所述玻璃基板待检测表面为长方形,原点坐标为所述玻璃基板待检测表面的中心位置。
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---|---|---|---|
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Country Status (1)
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