CN102615077B - 一种太阳能电池硅片清洗机及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种太阳能电池硅片清洗机，包括预漂洗槽(3)和精漂洗槽(2)，还包括：第一回收箱(1)，第一回收箱(1)与精漂洗槽(2)连通；连通第一回收箱(1)与预漂洗槽(3)的第一输水通道(4)；为废水流动提供动力的第一水泵(5)；第二回收箱(6)，第二回收箱(6)与预漂洗槽(3)连通；连通第二回收箱(6)与预清洗脱胶机的喷淋储水槽(7)的第二输水通道(8)；为废水流动提供动力的第二水泵(9)；控制第一水泵(5)、第二水泵(9)启停的控制器。本发明提供的太阳能电池硅片清洗机，最大程度的实现了废水的回收利用，有效的降低了资源的浪费，大大节约了生产成本。基于上述装置本发明还提供了一种控制方法。

Description

一种太阳能电池硅片清洗机及其控制方法

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，更具体地说，涉及一种太阳能电池硅片清洗机及其控制方法。 

背景技术

随着能源危机和环境污染的日益加剧，新能源的开发利用已经成为人们关注的热点，太阳能电池更是其中的重点。随着人们的不断努力，太阳能电池产业已经得到了一个较大的发展，并对人们的生活发挥了一定程度的作用。 

目前，整个太阳能电池生产行业正处于降低成本和革新各个环节生产技术以提升自身竞争力的时期，其中作为太阳能电池硅片生产的最后一个环节，硅片清洗一直是整个行业的一个耗水大户。太阳能电池硅片的生产，基本都是利用线锯切割的方式实现，即高速运行的钢线携带含有碳化硅的砂浆把硅块切割成硅片，这样就使得切割好的硅片上沾满了砂浆，因此，首先需要硅片预清洗脱胶机对其进行喷淋冲洗的操作以去除硅片表面的大颗粒，经过喷淋冲洗后的硅片再经过在脱胶槽内进行药液浸泡后，就可以分开成一片片的硅片了，此后，再由人工分装至载料篮，然后送入硅片清洗机进行进一步的清洗。硅片清洗机一般由漂洗槽、机械臂、人机界面(即触摸屏，机械臂在各漂洗槽之间的转换就是由具有触摸屏的PLC控制器控制)和电控柜等几部分组成，在清洗的过程中，硅片依次通过硅片清洗机的预漂洗槽、药液清洗槽、精漂洗槽和烘干隧道(甩干箱)，最终得到干净的硅片，其中硅片清洗机的预漂洗槽、药液清洗槽、和精漂洗槽各个部分的漂洗槽数量和排列顺序可以进行改变，以满足不同的清洗要求。在上述过程中，不同漂洗槽内的水在对硅片进行清洗后都会直接溢流排放。在预清洗脱胶机对硅片进行喷淋冲洗操作时，大多采用自来水，由于这个操作对水质没有特殊的要求，只要水中不 含有大颗粒杂质即可，所以用自来水是很浪费的；此外，在硅片清洗机中，预漂洗槽主要是通过超声波的作用，洗掉硅片表面残存的颗粒沾污，因此，此处对水质的要求也较低，而药液清洗槽和精漂洗槽则必须使用去离子水(去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水)进行清洗，以去除硅片表面的有机杂质沾污和金属离子，对水质要求较高，而目前硅片清洗机的补水在预漂洗槽和精漂洗槽没有区分处理，都采用去离子水进行补水并直接溢流排废，而且无论漂洗槽内是否有硅片在洗，水更新都是一直在进行，毫无控制，非常浪费。 

为了达到节水的目的，在以上工序中，大多采用人工控制补水阀门以调节流进入漂洗槽内的补水量，或者在没有硅片清洗的时候人工关闭补水阀门来避免浪费，以节约用水。但是，简单的通过人工控制补水阀门的方法来降低耗水量，缺乏调节依据和可控性，毕竟人工操作的可靠性较差，同时频繁的人工开启、关闭补水阀门，本身也是对人力的一种浪费，而且由于每个漂洗槽都装有加热装置，人工开闭补水阀门也存在一定安全隐患，容易发生断水干烧的危险；另外一种方式就是在硅片清洗机对硅片进行清洗的过程中，通过增大硅片清洗机漂洗槽的容量，即增大单篮(硅片在清洗时的装载装置)硅片清洗量的方法来降低耗水量，例如现有硅片清洗机大多采用单篮200片硅片的漂洗槽容量来清洗，而有些新设备已增至单篮300片，如此通过增大漂洗槽容量，增加机械臂承重的方法，来提升单台设备产能，降低耗水量。但是，此种通过增大漂洗槽容量，从而增大单篮硅片清洗量的方法，对新设备的制造而言，增大漂洗槽容量势必需要增大单个漂洗槽加热装置和超声波震板的功率输出，从而增加单台设备的耗电量，而且对运料机械臂的承重也提出了更高的要求，势必会增加设备的制造成本，此外，对于老设备的改造来说，此种方法对设备改动过大，根本没有实施的可行性，所以基本不能应用于老一代清洗设备的更新改造。 

综上所述，如何提供一种太阳能电池硅片清洗机及其控制方法，以实现在硅块进行清洗时废水能够循环使用，进而节约用水，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。 

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种太阳能电池硅片清洗机，实现了清洗硅片后的废水能够循环使用，进而节约用水。 

为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案： 

一种太阳能电池硅片清洗机，包括预漂洗槽和精漂洗槽，还包括： 

第一回收箱，所述第一回收箱与所述精漂洗槽连通以回收所述精漂洗槽排出的废水； 

连通所述第一回收箱与所述预漂洗槽的第一输水通道； 

为所述废水在所述第一输水通道内流动提供动力的第一水泵； 

第二回收箱，所述第二回收箱与所述预漂洗槽连通以回收所述预漂洗槽排出的废水； 

连通所述第二回收箱与预清洗脱胶机的喷淋储水槽的第二输水通道； 

为所述废水在所述第二输水通道内流动提供动力的第二水泵； 

控制所述第一水泵和第二水泵启停的控制器。 

优选的，上述太阳能电池硅片清洗机中，还包括设置在所述第一回收箱、第二回收箱和各个漂洗槽上，以感应所述废水液面高度和漂洗槽内液位高度的多个传感器。 

优选的，上述太阳能电池硅片清洗机中，所述控制器为硅片清洗机的PLC控制器。 

优选的，上述太阳能电池硅片清洗机中，还包括控制各个漂洗槽补水流量的多个补水阀门。 

优选的，上述太阳能电池硅片清洗机中，所述预漂洗槽包括两个相互连通的漂洗槽。 

优选的，上述太阳能电池硅片清洗机中，所述精漂洗槽包括三个相互连通的漂洗槽。 

基于上述提供的太阳能电池硅片清洗机，本发明还提供了此太阳能电池硅片清洗机的控制方法，包括以下步骤： 

检测所述第二回收箱中所述废水的液面位置升至高液位时，所述控制器控制所述第二水泵驱动所述第二回收箱中的所述废水通过所述第二输水通道进入所述喷淋储水槽；当检测所述第二回收箱中所述废水的液面位置降至低液位时，所述控制器控制所述第二水泵停止工作； 

检测所述第一回收箱中所述废水的液面位置升至高液位，所述控制器控制所述第一水泵驱动所述第一回收箱中的所述废水通过所述第一输水通道进入所述预漂洗槽；当检测所述第一回收箱中所述废水的液面位置降至低液位时，所述控制器控制所述第一水泵停止工作。 

优选的，上述太阳能电池硅片清洗机的控制方法中，在上述步骤之前还包括以下步骤： 

检测所述预漂洗槽内有太阳能电池硅片在清洗时，开启所述预漂洗槽的补水阀门；检测所述预漂洗槽内没有太阳能电池硅片在清洗，当未达到预先设定的补水延时时，开启所述预漂洗槽的补水阀门，当达到预先设定的补水延时时，关闭所述预漂洗槽的补水阀门。 

优选的，上述太阳能电池硅片清洗机的控制方法中，在上述步骤之前还包括以下步骤： 

检测所述预漂洗槽内有太阳能电池硅片在清洗，当第一水泵开启时，关闭预漂洗槽的补水阀门，当第一水泵未开启时，开启预漂洗槽的补水阀门；检测所述预漂洗槽内没有太阳能电池硅片在清洗，当未达到预先设定的补水延时时，检测所述第一水泵开启时，关闭所述预漂洗槽的补水阀门，检测所述第一水泵关闭时，开启所述预漂洗槽的补水阀门，当达到预先设定的补水延时时，关闭预漂洗槽的补水阀门。 

优选的，上述太阳能电池硅片清洗机的控制方法中，在上述步骤之后还包括以下步骤： 

检测所述精漂洗槽内有太阳能电池硅片在清洗，开启所述精漂洗槽的补水阀门；检测所述精漂洗槽内没有太阳能电池硅片在清洗，当未达到预先设定的补水延时时，开启所述精漂洗槽的补水阀门，当达到预先设定的补水延时时，关闭所述精漂洗槽的补水阀门。 

相对于现有技术，本发明的有益效果是： 

本发明提供的太阳能电池硅片清洗机及其控制方法中，在精漂洗槽和预漂洗槽对硅片进行清洗时，溢流出精漂洗槽和预漂洗槽的废水不再直接排放掉，而是分别设置第一回收箱和第二回收箱来回收精漂洗槽和预漂洗槽中溢流出的废水，并利用第一水泵将第一回收箱中的废水通过第一输水通道输送至对水质要求相对较低的预漂洗槽中，利用第二水泵将第二回收箱中的废水通过第二输水通道输送至对水质要求相对更低的预清洗脱胶机的喷淋储水槽中，以实现废水的循环利用，而且废水的循环利用是采用控制器对整个进行控制的。本发明提供的太阳能电池硅片清洗机及其使用方法，在较小改动现有结构的情况下，最大程度的实现了废水的回收利用，有效的降低了资源的浪费，大大节约了生产成本，此外还提高了太阳能电池硅片清洗机的自动化程度，降低了操作人员的劳动量，使得太阳能电池硅片清洗机运行的更加安全可靠。 

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1为本发明实施例提供的太阳能电池硅片清洗机的结构示意图； 

图2为本发明实施例提供的太阳能电池硅片清洗机废水循环利用的控制方法的流程示意图； 

图3为预漂洗槽补水的控制方法的流程示意图； 

图4为预漂洗槽补水的控制方法的流程示意图； 

图5为精漂洗槽补水的控制方法的流程示意图。 

上图1中： 

第一回收箱1、精漂洗槽2、预漂洗槽3、第一输水通道4、第一水泵5、第二回收箱6、喷淋储水槽7、第二输水通道8、第二水泵9、补水阀门10。 

具体实施方式

本发明提供了一种太阳能电池硅片清洗机及其控制方法，实现了自动控制清洗硅片后的废水能够循环使用，进而节约用水。 

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。 

由于太阳能电池硅片清洗机的漂洗槽能够进行不同的排列组合，且漂洗槽的数量也可以改变，所以针对硅片清洗的不同要求会有多种不同的清洗方式，本实施例以具有两个连通的预漂洗槽，三个连通的精漂洗槽的太阳能电池硅片清洗机为例来进行说明，不可以将其理解为对权利范围的绝对限定。 

请参考附图1，图1为本发明实施例提供的太阳能电池硅片清洗机的结构示意图。 

本发明提供的太阳能电池硅片清洗机，包括预漂洗槽3、药液清洗槽和精漂洗槽2，其特征在于，还包括： 

第一回收箱1，第一回收箱1与精漂洗槽2的最前端的漂洗槽连通以回收精漂洗槽2排出的废水； 

连通第一回收箱1与预漂洗槽3的最末端的漂洗槽的第一输水通道4； 

为废水在第一输水通道4内流动提供动力的第一水泵5； 

第二回收箱6，第二回收箱6与预漂洗槽3连通以回收预漂洗槽3排出的废水； 

连通第二回收箱6与预清洗脱胶机的喷淋储水槽7的第二输水通道8； 

为废水在第二输水通道8内流动提供动力的第二水泵9； 

控制第一水泵5、第二水泵9启停的控制器。 

本发明实施例提供的太阳能电池硅片清洗机的工作过程如下： 

当硅片进入硅片清洗机的预漂洗槽3后，预漂洗槽3开始对硅片进行清洗，在清洗的过程中，从预漂洗槽3内溢流出的废水会进入与预漂洗槽3连通的第二回收箱6中，当第二回收箱6中回收的废水达到一定量后，开启第二水泵9，第二水泵9会将第二回收箱6中的废水通过第二输水通道8输送至与其连通的预清洗脱胶机的喷淋储水槽7中；当硅片进入硅片清洗机的精漂洗槽2后，精漂洗槽2开始对硅片进行清洗，在清洗的过程中，从精漂洗槽2内溢流出的废水会进入与精漂洗槽2连通的第一回收箱1中，当第一回收箱1中回收的废水达到一定量后，开启第一水泵5，第一水泵5会将第一回收箱1中的废水通过第一输水通道4输水至与其连通的预漂洗槽3中。 

通过上述工作过程可以得出，本实施例提供的太阳能电池硅片清洗机，通过设置回收精漂洗槽2和预漂洗槽3溢流废水的第一回收箱1和第二回收箱6，在满足工作要求的前提下，最大程度上实现了水资源的节约，在对现有结构改动较小的前提下，改变了硅片在清洗的过程中废水无节制溢流排放的现象，降低了生产成本。 

为了进一步优化上述技术方案，本实施例提供的太阳能电池硅片清洗机中，还包括设置在所述第一回收箱1、第二回收箱6和各个漂洗槽上，以感应所述废水液面高度和漂洗槽内液位高度的多个传感器。为了提高硅片清洗机的控制可靠性，减轻操作人员的工作负担，在第一回收箱1、第二回收箱6和各个漂洗槽上安装传感器，使其能够自动检测废水液面高度和漂洗槽内的液面高度，以提高太阳能电池硅片清洗机的自动化程度，提高工作效率。 

具体的，控制器为硅片清洗机的PLC控制器。为了降低对现有构造的改动程度，控制第一水泵5和第二水泵9开始工作和停止工作的控制器为硅片清洗机自身的PLC控制器，此外，设置在第一回收箱1、第二回收箱6和各个漂洗槽上的传感器也与PLC控制器电连通，PLC控制器根据各个传感器的感测结果来控制第一水泵5和第二水泵9开始工作和停止工作。另外，硅片清洗机的PLC控制器还具有记忆硅片清洗机的机械臂是否将硅片放入漂洗槽或者从漂洗槽中将硅片取出的功能，以确定漂洗槽中是否有太阳能电池硅片在清洗。 

为了使技术方案更加的完善，本实施例提供的太阳能电池硅片清洗机中，还包括控制各个漂洗槽补水流量的多个补水阀门10。为了更好的实现水资源的节约，除了在废水排放的环节设置第一回收箱1和第二回收箱6外，在补水的过程中同样需要合理的补水方式来进一步实现节约用水的目的，根据对硅片清洁程度、一次清洗的硅片数量以及设备的安全维护的不同要求，在PLC控制器上设定硅片在清洗过程中各个漂洗槽的补水量和硅片清洗完成后的补水延时参数，来控制补水阀门10对各个漂洗槽的补水开始、停止以及补水流量大小。 

优选的，太阳能电池硅片清洗机的预漂洗槽3包括两个相互连通的漂洗槽，精漂洗槽2包括三个相互连通的漂洗槽。 

请参考附图2-5，图2为本发明实施例提供的太阳能电池硅片清洗机废水循环利用的控制方法的流程示意图；图3为预漂洗槽补水的控制方法的流程示意图；图4为预漂洗槽补水的控制方法的流程示意图；图5为精漂洗槽补水的控制方法的流程示意图。 

本发明提供的太阳能电池硅片清洗机的控制方法，应用于上述太阳能电池硅片清洗机，包括以下步骤： 

步骤S11检测第二回收箱6中废水的液面位置是否升至高液位，如果是则进入步骤S12，如果否则重复步骤S11； 

步骤S12控制器控制第二水泵9开始工作； 

步骤S13第二水泵9驱动第二回收箱6中的废水通过第二输水通道8进入喷淋储水槽7； 

步骤S14检测第二回收箱6中废水的液面位置是否降至低液位，如果是则进入步骤S15，如果否则重复步骤S14； 

步骤S15控制器控制第二水泵9停止工作； 

步骤S16检测第一回收箱1中废水的液面位置是否升至高液位，如果是则进入步骤S17，如果否则重复步骤S16； 

步骤S17控制器控制第一水泵5开始工作； 

步骤S18第一水泵5驱动第一回收箱1中的废水通过第一输水通道4进入预漂洗槽3； 

步骤S19检测第一回收箱1中废水的液面位置是否降至低液位，如果是则进入步骤S20，如果否则重复步骤S19； 

步骤S20控制器控制第一水泵5停止工作。 

上述过程为硅片依次进入预漂洗槽3和精漂洗槽2时，控制器控制太阳能电池硅片清洗机在废水回收环节的操作步骤，其采用自动化控制的方法替代了现有设备中在节水时需要人工控制的方法，进而提高了设备运行的可靠性，使得太阳能硅片清洗机的自动化程度更高，降低了操作人员的劳动量，提高了工作效率。 

在对硅片进行清洗的过程中，首先需要各个补水阀门10向各自对应的漂洗槽中放水，各漂洗槽在清洗硅片的过程中溢流出的废水再利用第一回收箱1和第二回收箱6回收。由于预漂洗槽3在对硅片进行清洗时，不同时利用自来水和第一回收箱1回收的废水，所以当预漂洗槽3未利用第一回收箱1中的废水对硅片进行清洗时，如图3所示，控制器控制预漂洗槽3的补水阀门10的工作过程为： 

步骤S21检测预漂洗槽3内是否有太阳能电池硅片在清洗，如果是则进入步骤S23，如果否，则进入步骤S22； 

步骤S22检测是否达到预先设定的补水延时，如果是，则进入步骤S24，如果否，则进入步骤S23； 

步骤S23预漂洗槽3的补水阀门10开启； 

步骤S24预漂洗槽3的补水阀门10关闭。 

当预漂洗槽3利用第一回收箱1中的废水对硅片进行清洗时，如图4所示，控制器控制预漂洗槽3的补水阀门10的工作过程为： 

步骤S31检测预漂洗槽3内是否有太阳能电池硅片在清洗，如果是则进入步骤S33，如果否，则进入步骤S32； 

步骤S32检测是否达到预先设定的补水延时，如果是，则进入步骤S35，如果否，则进入步骤S33； 

步骤S33检测第一水泵5是否开启，如果是则进入步骤S35，如果否，则进入步骤S34； 

步骤S34预漂洗槽3的补水阀门10开启； 

步骤S35预漂洗槽3的补水阀门10关闭。 

精漂洗槽2在对硅片进行清洗时，如图5所示，控制器控制预漂洗槽3的补水阀门10的工作过程为： 

步骤S41检测精漂洗槽2内是否有太阳能电池硅片在清洗，如果是则进入步骤S43，如果否，则进入步骤S42； 

步骤S42检测是否达到预先设定的补水延时，如果是，则进入步骤S44，如果否，则进入步骤S43； 

步骤S43精漂洗槽2的补水阀门10开启； 

步骤S44精漂洗槽2的补水阀门10关闭。 

通过对废水回收和补水的双向控制，来最大程度的实现节约用水的目的，节约效果更佳，操作工艺更完善。 

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围 的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。 

Claims (10)

1.一种太阳能电池硅片清洗机，包括预漂洗槽（3）和精漂洗槽（2），其特征在于，还包括：

第一回收箱（1），所述第一回收箱（1）与所述精漂洗槽（2）连通以回收所述精漂洗槽（2）排出的废水；

连通所述第一回收箱（1）与所述预漂洗槽（3）的第一输水通道（4）；

为所述废水在所述第一输水通道（4）内流动提供动力的第一水泵（5）；

第二回收箱（6），所述第二回收箱（6）与所述预漂洗槽（3）连通以回收所述预漂洗槽（3）排出的废水；

连通所述第二回收箱（6）与预清洗脱胶机的喷淋储水槽（7）的第二输水通道（8）；

为所述废水在所述第二输水通道（8）内流动提供动力的第二水泵（9）；

控制所述第一水泵（5）和第二水泵（9）启停,并通过记忆所述太阳能电池硅片清洗机的机械臂工作进程的方式判断漂洗槽中是否有太阳能电池硅片在清洗的控制器。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片清洗机，其特征在于，还包括设置在所述第一回收箱（1）、第二回收箱（6）和各个漂洗槽上，以感应所述废水液面高度和漂洗槽内液位高度的多个传感器。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片清洗机，其特征在于，所述控制器为硅片清洗机的PLC控制器。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片清洗机，其特征在于，还包括控制各个漂洗槽补水流量的多个补水阀门（10）。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片清洗机，其特征在于，所述预漂洗槽（3）包括两个相互连通的漂洗槽。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池硅片清洗机，其特征在于，所述精漂洗槽（2）包括三个相互连通的漂洗槽。

7.一种太阳能电池硅片清洗机的控制方法，应用于权利要求1-6中任意一项所述的太阳能电池硅片清洗机，其特征在于，包括以下步骤：

检测所述第二回收箱（6）中所述废水的液面位置升至高液位时，所述控制器控制所述第二水泵（9）驱动所述第二回收箱（6）中的所述废水通过所述第二输水通道（8）进入所述喷淋储水槽（7）；当检测所述第二回收箱（6）中所述废水的液面位置降至低液位时，所述控制器控制所述第二水泵（9）停止工作；

检测所述第一回收箱（1）中所述废水的液面位置升至高液位，所述控制器控制所述第一水泵（5）驱动所述第一回收箱（1）中的所述废水通过所述第一输水通道（4）进入所述预漂洗槽（3）；当检测所述第一回收箱（1）中所述废水的液面位置降至低液位时，所述控制器控制所述第一水泵（5）停止工作。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池硅片清洗机的控制方法，其特征在于，在权利要求7所述步骤之前还包括以下步骤：

检测所述预漂洗槽（3）内有太阳能电池硅片在清洗时，开启所述预漂洗槽（3）的补水阀门（10）；检测所述预漂洗槽（3）内没有太阳能电池硅片在清洗，当未达到预先设定的补水延时时，开启所述预漂洗槽（3）的补水阀门（10），当达到预先设定的补水延时时，关闭所述预漂洗槽（3）的补水阀门（10）。

9.根据权利要求7所述的太阳能电池硅片清洗机的控制方法，其特征在于，在权利要求7所述步骤之前还包括以下步骤：

检测所述预漂洗槽（3）内有太阳能电池硅片在清洗，当第一水泵（5）开启时，关闭预漂洗槽（3）的补水阀门（10），当第一水泵（5）未开启时，开启预漂洗槽（3）的补水阀门（10）；检测所述预漂洗槽（3）内没有太阳能电池硅片在清洗，当未达到预先设定的补水延时时，检测所述第一水泵（5）开启时，关闭所述预漂洗槽（3）的补水阀门（10），检测所述第一水泵（5）关闭时，开启所述预漂洗槽（3）的补水阀门（10），当达到预先设定的补水延时时，关闭预漂洗槽（3）的补水阀门（10）。

10.根据权利要求8或9所述的太阳能电池硅片清洗机的控制方法，其特征在于，在权利要求8或9所述步骤之后还包括以下步骤：

检测所述精漂洗槽（2）内有太阳能电池硅片在清洗，开启所述精漂洗槽（2）的补水阀门（10）；检测所述精漂洗槽（2）内没有太阳能电池硅片在清洗，当未达到预先设定的补水延时时，开启所述精漂洗槽（2）的补水阀门（10），当达到预先设定的补水延时时，关闭所述精漂洗槽（2）的补水阀门（10）。