CN102602935B - 一种高钙除磷的硅的清洗方法 - Google Patents

一种高钙除磷的硅的清洗方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102602935B
CN102602935B CN201210054920.2A CN201210054920A CN102602935B CN 102602935 B CN102602935 B CN 102602935B CN 201210054920 A CN201210054920 A CN 201210054920A CN 102602935 B CN102602935 B CN 102602935B
Authority
CN
China
Prior art keywords
powder
silicon
washed
liquid separation
solid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201210054920.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102602935A (zh
Inventor
刘荣隆
叶联蔚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Liu Ronglong
Original Assignee
XIMING TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by XIMING TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical XIMING TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201210054920.2A priority Critical patent/CN102602935B/zh
Publication of CN102602935A publication Critical patent/CN102602935A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102602935B publication Critical patent/CN102602935B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

一种高钙除磷的硅的清洗方法,其先将高钙金属硅先破碎成颗粒后,再研磨筛分出粉料,取样测定其钙含量;其次将该粉料用盐酸溶液浸泡,搅拌,固液分离,用去离子水清洗得到初级混合粉料;再者接着将初级混合粉料用碱溶液进行浸泡,搅拌,固液分离,用去离子水清洗得到二级粉料;接着将二级粉料用硫酸和氢氟酸的混酸溶液进行浸泡,搅拌,加热,固液分离,用去离子水清洗得到三级粉料;之后将三级粉料用盐酸和氢氟酸的混酸溶液进行浸泡,搅拌,加热,固液分离,用去离子水清洗得到四级粉料;最后将四级粉料经过真空干燥后,获得低磷硅粉。使用本方法进行清洗,在保证有效的清洗钙、磷等杂质的前提下,减少硅烷、氢气等易燃易爆气体的产生,而使生产得以安全的进行。

Description

一种高钙除磷的硅的清洗方法
技术领域
本发明涉及多晶硅提纯领域,具体为一种高钙除磷的硅的清洗方法。
背景技术
目前,国际通用的单晶制造或多 晶铸造厂太阳能级硅原料,根据用途对杂质含量的要求为:
用途 硼(ppm) 磷(ppm) TMI(ppm)
直拉单晶/区域熔融单晶 ≤0.06 ≤0.01 ≤0.01
多晶铸锭 ≤0.16 ≤0.01 ≤0.01
备注:TMI为总金属含量
由上表可见,磷、硼元素对太阳能级硅具有重要的意义。在西门子法或改良西门子法制造高纯硅时,磷硼的去除是非常彻底的,因此西门子法或改良西门子法不必特别强调磷硼元素的去除。但在近年越来越被重视的冶金法提纯高纯硅的工艺中,磷硼元素是最令人头痛的,在正常的金属硅原料中,磷含量约20~80ppm,硼含量约5~30ppm,即便耗费大量的精力对金属硅制造原料的精选,磷含量最低约8ppm,硼最低约含量3ppm,远远不能满足太阳能级硅的要求,因此衍生了多种除磷除硼的方法。
在众多除磷的方法中,通过钙剂萃取硅中的磷是一种相对较廉价、有效的方法,这种方法必须在加完钙剂后,去渣冷却凝固,破碎研磨成一定颗粒度的硅粉,再通过一定的清洗工艺剥蚀去除硅晶体表面的杂质。研究表明,加入钙剂越多,凝固后的金属硅的钙含量越高,萃取磷效果越明显,但是高含钙的硅却是很危险的,这种高钙金属硅在清洗中往往会有大量硅烷和氢气产生,而硅烷在常温下遇氧气就会自燃,大量的硅烷和氢气随即发生爆炸,因此,合适的清洗工艺是必须的。
美国专利US4539194公开的一种方法,其硅中的钙含量为10000~100000ppmw,用两个步骤进行清洗,先用FeCl3和HCl的水溶液进行浸提,再用HF和HNO3的水溶液进行清理,该方法未能很好地对硅烷和氢气的产生量进行控制,很容易引起自燃和爆炸。
中国专利CN1409691A,国内知公示的一种方法,其硅中的钙含量为3000~9500ppmw,用两个步骤进行清洗,先用FeCl3水溶液或FeCl3和HCl的水溶液进行浸提,再用HF水溶液或HF和HNO3的水溶液进行清洗,该方法未能很好地对硅烷和氢气的产生量进行控制,很容易引起自燃和爆炸,硅中含钙量较低,对磷的处理能力有限。
综上可知,通过钙剂萃取硅中磷杂质的硅纯化方法,存在着硅中钙含量较低,萃取磷能力较低,钙含量越高,萃取磷能力越高,但清洗时很容易自燃、爆炸,危险性越高的矛盾。因此,为获得高效的除磷方法,安全、有效的清洗方法是必须的,本案便由此产生。
发明内容
本发明提供的是一种在保证有效的清洗钙、磷的前提下,使生产安全进行的高钙除磷的硅的清洗方法。
为了达成上述目的,本发明的解决方案是:
一种高钙除磷的硅的清洗方法,其特征在于依以下步骤进行清洗:
步骤1,将高钙金属硅先破碎成1~10mm颗粒后,再研磨至20目以上,筛分出100~20目的粉料,取样,用ICP-AES(电感耦合等离子发射光谱)测定其钙含量;
步骤2,将步骤1的粉料用盐酸溶液浸泡,搅拌,反应时间2~10小时,固液分离,并用去离子水清洗3~6次,得到初级混合粉料;
步骤3,将步骤2的初级混合粉料用碱溶液进行浸泡,搅拌,反应时间0.5~4小时,固液分离,并用去离子水清洗3~6次,得到二级粉料;
步骤4,将步骤3的二级粉料用硫酸和氢氟酸的混酸溶液进行浸泡,搅拌,加热,反应温度为60~80℃,反应时间8~12小时,固液分离,并用去离子水清洗3~6次,得到三级粉料;
步骤5,将步骤4的三级粉料用盐酸和氢氟酸的混酸溶液进行浸泡,搅拌,加热,反应温度为60~80℃,反应时间2~6小时,固液分离,并用去离子水清洗4~8次,得到四级粉料;
步骤6,将步骤5的四级粉料经过真空干燥后,获得低磷硅粉。
所述步骤1的高钙金属硅的钙含量为10000~280000ppm。
所述步骤2的盐酸溶液的浓度为15~20%,浸泡时用水冷的方法保持反应温度在20~40℃。 
所述步骤3的碱溶液为2~5%氢氧化钾、2~5%氢氧化钠、2~10%的氨水中的一种或一种以上的混合物,浸泡时用水冷的方法保持反应温度在20~40℃。
所述步骤4的混酸溶液中,硫酸2~10%,氢氟酸6~14%。
所述步骤5的混酸溶液中,盐酸2~10%,氢氟酸3~8%。
由于在高钙除磷的硅的制造过程中,由于硅的结晶作用,会形成较高纯度的硅晶粒,并把大部分的磷和钙及其他杂质推向晶粒外面,形成由杂质和部分硅混杂的晶界,晶界与晶粒相比,其结构比较松散,强度较弱,较易被侵蚀,因此在晶块破碎时,几乎都是从晶界破碎,晶界大部分暴露在侵蚀液中。晶界的主要成分是硅钙合金(Ca2Si),它和酸、碱都可以进行反应。与碱的反应比酸还激烈,酸性或碱性越高,反应越激烈。与酸反应会产生硅烷(SiH4),与碱反应会形成氢气,这两种产物都非常危险,特别是硅烷在空气中会自燃,因此在清洗过程中,硅烷和氢气的产生速度的控制是异常重要的。同时氢氟酸加硝酸、强碱配方都会侵蚀硅单质,过量使用将会导致纯硅的回收率降低。则采用本发明分级清洗的方法,并且把金属硅中的磷杂质是通过钙剂进行萃取而制造出来的,因此使用本方法进行清洗,可以在保证有效的清洗钙、磷等杂质的前提下,尽可能的减缓、减少硅烷、氢气等易燃易爆气体的产生,从而使生产得以安全的进行。
具体实施方式
本发明揭示了一种高钙除磷的硅的清洗方法,其依以下步骤进行清洗:
第一步,将高钙金属硅先破碎成1~10mm颗粒后,再研磨至20目以上,筛分出100~20目的粉料,取样,用ICP-AES测定其钙含量;
第二步,将第一步的粉料用浓度为15~20%的盐酸浸泡,搅拌,反应时间2~10小时,固液分离,并用去离子水清洗3~6次,得到初级混合粉料;
第三步,将第二步的初级混合粉料用碱溶液(碱溶液可以是2~5%氢氧化钾、2~5%氢氧化钠、2~10%的氨水中的一种或一种以上的混合物)进行浸泡,搅拌,反应时间0.5~4小时,固液分离,并用去离子水清洗3~6次,得到二级粉料;
第四步,将第三步的二级粉料用2~10%的硫酸溶液和6~14%的氢氟酸溶液混合溶液进行浸泡,搅拌,加热,反应温度为60~80℃,反应时间8~12小时,固液分离,并用去离子水清洗3~6次,得到三级粉料;
第五步,将第四步的三级粉料用2~10%的盐酸溶液和3~8%的氢氟酸溶液的混合溶液进行浸泡,搅拌,加热,反应温度为60~80℃,反应时间2~6小时,固液分离,并用去离子水清洗4~8次,得到四级粉料;
第六步,将第五步的四级粉料经过真空干燥后,获得低磷硅粉。
实施例1
经高钙除磷处理后的硅的主要杂质:Fe含量4230ppmw,Al含量917ppmw, Ca含量61200ppmw。
第一步,将高钙金属硅先破碎成1~10mm颗粒后,再研磨至20目以上,筛分出100~20目的粉料;
第二步,将第一步的粉料用浓度为15wt%的盐酸浸泡,搅拌速度80rpm,常温水冷却,反应时间3小时,固液分离,并用去离子水清洗4次,得到硅粉及黄色反应生成物的初级混合粉料;
第三步,将第二步的初级混合粉料用2wt%的氢氧化钾进行浸泡,搅拌速度80rpm,常温水冷却,反应时间1小时,固液分离,并用去离子水清洗4次,得到二级粉料;
第四步,将第三步的二级硅粉粉料用8wt%的硫酸溶液和12wt%的氢氟酸溶液混合溶液进行浸泡,搅拌速度100rpm,加热,反应温度为80℃,反应时间8小时,固液分离,并用去离子水清洗4次,得到三级粉料;
第五步,将第四步的三级粉料用10wt%的盐酸溶液和3wt%的氢氟酸溶液的混合溶液进行浸泡,搅拌速度100rpm,加热,反应温度为80℃,反应时间3小时,固液分离,并用去离子水清洗6次,得到四级粉料;
第六步,将第五步的四级粉料经过真空干燥后,获得低磷硅粉,其主要杂质含量:
Fe:11.21ppmw,Al:57.11ppmw,Ca:124.2ppmw,P:0.79ppmw。
实施例二
经高钙除磷处理后的硅的主要杂质:Fe含量4860ppmw,Al含量850.3ppmw, Ca含量152700ppmw。
第一步,将高钙金属硅先破碎成1~10mm颗粒后,再研磨至20目以上,筛分出100~20目的粉料;
第二步,将第一步的粉料用浓度为12wt%的盐酸浸泡,搅拌速度80rpm,常温水冷却,反应时间4小时,固液分离,并用去离子水清洗4次,得到硅粉及黄色反应生成物的初级混合粉料;
第三步,将第二步的初级混合粉料用3wt%的氢氧化钾进行浸泡,搅拌速度80rpm,常温水冷却,反应时间2小时,固液分离,并用去离子水清洗4次,得到二级粉料;
第四步,将第三步的二级硅粉粉料用5wt%的硫酸溶液和10wt%的氢氟酸溶液混合溶液进行浸泡,搅拌速度100rpm,加热,反应温度为60℃,反应时间10小时,固液分离,并用去离子水清洗4次,得到三级粉料;
第五步,将第四步的三级粉料用8wt%的盐酸溶液和3wt%的氢氟酸溶液的混合溶液进行浸泡,搅拌速度100rpm,加热,反应温度为60℃,反应时间4小时,固液分离,并用去离子水清洗6次,得到四级粉料;
第六步,将第五步的四级粉料经过真空干燥后,获得低磷硅粉,其主要杂质含量:
Fe:11.14ppmw,Al:40.72ppmw,Ca:175.3ppmw,P:0.41ppmw。
实施例3
经高钙除磷处理后的硅的主要杂质:Fe含量5400ppmw,Al含量620.3ppmw, Ca含量196800ppmw。
第一步,将高钙金属硅先破碎成1~10mm颗粒后,再研磨至20目以上,筛分出100~20目的粉料;
第二步,将第一步的粉料用浓度为10wt%的盐酸浸泡,搅拌速度80rpm,常温水冷却,反应时间7小时,固液分离,并用去离子水清洗6次,得到硅粉及黄色反应生成物的初级混合粉料;
第三步,将第二步的初级混合粉料用5wt%的氢氧化钾进行浸泡,搅拌速度80rpm,常温水冷却,反应时间2小时,固液分离,并用去离子水清洗4次,得到二级粉料;
第四步,将第三步的二级硅粉粉料用3wt%的硫酸溶液和8wt%的氢氟酸溶液混合溶液进行浸泡,搅拌速度100rpm,加热,反应温度为60℃,反应时间10小时,固液分离,并用去离子水清洗4次,得到三级粉料;
第五步,将第四步的三级粉料用6wt%的盐酸溶液和6wt%的氢氟酸溶液的混合溶液进行浸泡,搅拌速度100rpm,加热,反应温度为60℃,反应时间4小时,固液分离,并用去离子水清洗6次,得到四级粉料;
第六步,将第五步的四级粉料经过真空干燥后,获得低磷硅粉,其主要杂质含量:
Fe:11.37ppmw,Al:11.9ppmw,Ca:220.8ppmw,P:0.22ppmw。
实施例4
经高钙除磷处理后的硅的主要杂质:Fe含量6220ppmw,Al含量595ppmw, Ca含量242700ppmw。
第一步,将高钙金属硅先破碎成1~10mm颗粒后,再研磨至20目以上,筛分出100~20目的粉料;
第二步,将第一步的粉料用浓度为10wt%的盐酸浸泡,搅拌速度80rpm,常温水冷却,反应时间8小时,固液分离,并用去离子水清洗6次,得到硅粉及黄色反应生成物的初级混合粉料;
第三步,将第二步的初级混合粉料用5wt%的氢氧化钾进行浸泡,搅拌速度80rpm,常温水冷却,反应时间3小时,固液分离,并用去离子水清洗6次,得到二级粉料;
第四步,将第三步的二级硅粉粉料用3wt%的硫酸溶液和6wt%的氢氟酸溶液混合溶液进行浸泡,搅拌速度100rpm,加热,反应温度为60℃,反应时间12小时,固液分离,并用去离子水清洗6次,得到三级粉料;
第五步,将第四步的三级粉料用4wt%的盐酸溶液和8wt%的氢氟酸溶液的混合溶液进行浸泡,搅拌速度100rpm,加热,反应温度为60℃,反应时间4小时,固液分离,并用去离子水清洗6次,得到四级粉料;
第六步,将第五步的四级粉料经过真空干燥后,获得低磷硅粉,其主要杂质含量:
Fe:11.18ppmw,Al:12.81ppmw,Ca:272.5ppmw,P:0.12ppmw。
综上所述,本发明高钙除磷的硅的清洗方法是采用分级清洗,并且把金属硅中的磷杂质是通过钙剂进行萃取而制造出来的,使用本方法进行清洗,可以在保证有效的清洗钙、磷等杂质的前提下,尽可能的减少硅烷、氢气等易燃易爆气体的产生,从而使生产得以安全的进行。

Claims (6)

1.一种高钙除磷的硅的清洗方法,其特征在于依以下步骤进行清洗:
步骤1,将高钙金属硅先破碎成1~10mm颗粒后,再研磨至20目以上,筛分出100~20目的粉料,取样,用ICP-AES测定其钙含量;
步骤2,将步骤1的粉料用盐酸溶液浸泡,搅拌,反应时间2~10小时,固液分离,并用去离子水清洗3~6次,得到初级混合粉料;
步骤3,将步骤2的初级混合粉料用碱溶液进行浸泡,搅拌,反应时间0.5~4小时,固液分离,并用去离子水清洗3~6次,得到二级粉料;
步骤4,将步骤3的二级粉料用硫酸和氢氟酸的混酸溶液进行浸泡,搅拌,加热,反应温度为60~80℃,反应时间8~12小时,固液分离,并用去离子水清洗3~6次,得到三级粉料;
步骤5,将步骤4的三级粉料用盐酸和氢氟酸的混酸溶液进行浸泡,搅拌,加热,反应温度为60~80℃,反应时间2~6小时,固液分离,并用去离子水清洗4~8次,得到四级粉料;
步骤6,将步骤5的四级粉料经过真空干燥后,获得低磷硅粉。
2.如权利要求1所述一种高钙除磷的硅的清洗方法,其特征在于:所述步骤1的高钙金属硅的钙含量为10000~280000ppm。
3.如权利要求1所述一种高钙除磷的硅的清洗方法,其特征在于:所述步骤2的盐酸溶液的浓度为15~20%,浸泡时用水冷的方法保持反应温度在20~40℃。
4.如权利要求1所述一种高钙除磷的硅的清洗方法,其特征在于:所述步骤3的碱溶液为2~5%氢氧化钾、2~5%氢氧化钠、2~10%的氨水中的一种或一种以上的混合物,浸泡时用水冷的方法保持反应温度在20~40℃。
5.如权利要求1所述一种高钙除磷的硅的清洗方法,其特征在于:所述步骤4的混酸溶液中,硫酸2~10%,氢氟酸6~14%。
6.如权利要求1所述一种高钙除磷的硅的清洗方法,其特征在于:所述步骤5的混酸溶液中,盐酸2~10%,氢氟酸3~8%。
CN201210054920.2A 2012-03-05 2012-03-05 一种高钙除磷的硅的清洗方法 Expired - Fee Related CN102602935B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210054920.2A CN102602935B (zh) 2012-03-05 2012-03-05 一种高钙除磷的硅的清洗方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210054920.2A CN102602935B (zh) 2012-03-05 2012-03-05 一种高钙除磷的硅的清洗方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102602935A CN102602935A (zh) 2012-07-25
CN102602935B true CN102602935B (zh) 2014-03-12

Family

ID=46520807

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210054920.2A Expired - Fee Related CN102602935B (zh) 2012-03-05 2012-03-05 一种高钙除磷的硅的清洗方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102602935B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109313162A (zh) * 2016-03-28 2019-02-05 胜高股份有限公司 清洁度评价方法、清洗条件决定方法、和硅晶圆的制造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001042136A1 (en) * 1999-12-08 2001-06-14 Elkem Asa Refining of metallurgical grade silicon
CN101302013A (zh) * 2008-06-24 2008-11-12 华南师范大学 低磷太阳能级多晶硅的制备方法
CN101311114A (zh) * 2008-04-30 2008-11-26 大连理工大学 一种化学冶金提纯多晶硅的方法
CN102153088A (zh) * 2011-02-18 2011-08-17 厦门大学 一种金属硅的造渣酸洗除硼方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001042136A1 (en) * 1999-12-08 2001-06-14 Elkem Asa Refining of metallurgical grade silicon
CN101311114A (zh) * 2008-04-30 2008-11-26 大连理工大学 一种化学冶金提纯多晶硅的方法
CN101302013A (zh) * 2008-06-24 2008-11-12 华南师范大学 低磷太阳能级多晶硅的制备方法
CN102153088A (zh) * 2011-02-18 2011-08-17 厦门大学 一种金属硅的造渣酸洗除硼方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109313162A (zh) * 2016-03-28 2019-02-05 胜高股份有限公司 清洁度评价方法、清洗条件决定方法、和硅晶圆的制造方法
CN109313162B (zh) * 2016-03-28 2021-10-29 胜高股份有限公司 清洁度评价方法、清洗条件决定方法、和硅晶圆的制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102602935A (zh) 2012-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4856738B2 (ja) 高純度シリコン材料の製造方法
Gribov et al. Preparation of high-purity silicon for solar cells
CN100579902C (zh) 一种制备超冶金级硅的方法
CN102229430B (zh) 一种冶金法制备太阳能多晶硅的技术方法
CN102134077B (zh) 一种湿法提纯多晶硅的方法
CN102134075A (zh) 一种生产太阳能级多晶硅的新方法
CN101319367B (zh) 高温真空预处理制备太阳能级多晶硅的方法
RU2451635C2 (ru) Способ получения высокочистого элементного кремния
CN111892059B (zh) 一种高纯石英砂的制备方法
CN101795964B (zh) 生产多晶硅的方法
CN101695697A (zh) 一种冶金级硅料清洁方法
CN111302345B (zh) 一种以硅废料制备多晶硅颗粒的方法
CN102249250A (zh) 一种二氧化硅的提纯方法
Ebrahimfar et al. Purification of metallurgical-grade silicon by acid leaching
CN102602935B (zh) 一种高钙除磷的硅的清洗方法
CA2824088C (en) Process for deposition of polycrystalline silicon
US20100221171A1 (en) Method for producing polycrystalline silicon
CN104291340B (zh) 一种工业硅中除磷的方法
CN102260909A (zh) 一种硅提纯的方法
JP2010254501A (ja) ニオブ原料又はタンタル原料を得るための処理方法、ニオブ又はタンタルの分離精製方法、酸化ニオブ又は酸化タンタルの製造方法。
CN101181997A (zh) 一种金属硅材料的制备方法
CN112441588A (zh) 一种金刚石线切割硅废料的脱氧方法
CN102145892A (zh) 一种除去金属硅中的磷杂质的方法
CN102774840B (zh) 一种冶金法提纯工业硅的工艺
CN102725228A (zh) 一种用于制造太阳能级硅的生产工艺

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20180726

Address after: Keelung, Taiwan, China Hsinchu City East District East Garden 9 adjacent recovery road two section 962 ten floor 3

Patentee after: Liu Ronglong

Address before: Room 301-2, 3 / F, Hang Seng Wan Chai building, 200 Hennessy Road, Wanchai, Hongkong, China.

Patentee before: Ximing Technology Co., Ltd.

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20140312

Termination date: 20190305