CN102500977A - 立式炉体装配辅助装置 - Google Patents

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孙少东
赵燕平
董金卫
钟华
赵星梅
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Abstract

本发明公开了一种立式炉体装配辅助装置，涉及半导体工艺设备中炉体的立式装配技术领域，包括：支撑固定块(1)、间隙调节块(2)，其中，所述支撑固定块(1)的上表面上设有滑槽(3)；所述间隙调节块(2)，设于所述滑槽(3)内，用于调节所述支撑固定块(1)的上表面与炉体底部的间隙。本发明能够在对立式炉体进行装配时，对炉体进行支撑、对炉体外壁进行定位，可使炉体在装配过程中的稳固程度得到加强，同时为炉体外壁的装配带来了便利，大大降低了炉体外壁的装配难度。

Description

立式炉体装配辅助装置
技术领域
本发明涉及半导体工艺设备中炉体的立式装配技术领域，尤其涉及一种立式炉体装配辅助装置。
背景技术
在炉体的立式装配过程中，由于炉体的焊接需要有一定的空间，炉体会有一部分处于悬空状态，需要对悬空部分进行支撑，才能获得比较稳固的状态。同时，炉体外壁的安装难度比较大，尤其是外壁的定位，是一个反复调试的复杂过程，费时费力，装配效果也不够理想。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是：提供一种立式炉体装配辅助装置，其能够在对立式炉体进行装配时，对炉体进行支撑、对炉体外壁进行定位，可使炉体在装配过程中的稳固程度得到加强，大大降低了炉体外壁的装配难度，节约了炉体外壁装配耗费的时间和精力。
(二)技术方案
为解决上述问题，本发明提供了一种立式炉体装配辅助装置，包括：支撑固定块、间隙调节块，其中，
所述支撑固定块的上表面上设有滑槽；
所述间隙调节块，设于所述滑槽内，用于调节所述支撑固定块的上表面与炉体底部的间隙。
优选地，所述间隙调节块的工作面为斜面。
优选地，所述间隙调节块上设有长圆孔，用于调节所述的间隙调节块的位置。
优选地，所述滑槽内设有孔，用于固定所述间隙调节块。
优选地，还包括外壁定位板，呈
Figure BDA0000097174580000021
字形，安装于所述支撑固定块的上表面，用于对外壁进行定位、支撑。
优选地，所述间隙调节块的斜面可调节至所述外壁定位板的侧面之外。
优选地，所述间隙调节块的高度不小于滑槽的深度。
优选地，所述间隙调节块的高度大于滑槽的深度，所述外壁定位板上设有结构缺口，所述结构缺口的高度不小于间隙调节块露出滑槽的高度。
优选地，所述外壁定位板上设有孔，用于连接外壁。
优选地，所述孔为长圆孔，用于吸收外壁定位板与外壁相应安装孔在高度上的误差。
优选地，所述外壁定位板上设有孔，所述支撑固定块的上表面设有孔，用于使所述外壁定位板固定。
优选地，所述孔为长圆孔，用于调节外壁定位板沿炉体的径向位置。
优选地，所述支撑固定块的上表面上设有孔，用于固定所述装置。
优选地，所述孔所在平面低于所述滑槽所在平面。
优选地，所述支撑固定块、间隙调节块的材料包括不锈钢。
优选地，所述外壁定位板的材料包括不锈钢。
(三)有益效果
本发明在对立式炉体进行装配时，能够对炉体进行支撑、对炉体外壁进行定位，可使炉体在装配过程中的稳固程度得到加强，同时为炉体外壁的装配带来了便利，大大降低了炉体外壁的装配难度，节约了炉体外壁装配所需耗费的时间和精力，同时也能够确保所装配的炉体都具有较好的一致性；另外，本发明的间隙调节块可以调整支撑固定块与炉体底部可能出现的间隙，使炉体的稳固程度进一步增强。
附图说明
图1为本发明实施方式中所述立式炉体装配辅助装置的结构示意图；
图2为本发明实施方式中所述支撑固定块的结构示意图；
图3为本发明实施方式中所述外壁定位板的结构示意图；
图4为本发明实施方式中所述间隙调节块的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1-4所示，本发明所述的立式炉体装配辅助装置，包括：支撑固定块1、间隙调节块2，其中，
所述支撑固定块1的上表面上设有滑槽3；
所述间隙调节块2，设于所述滑槽3内，用于调节所述支撑固定块1的上表面与炉体底部的间隙。
优选地，所述间隙调节块2的工作面为斜面。斜面通过与炉体底部相抵触来调节所述支撑固定块1的上表面与炉体底部的间隙。
优选地，所述间隙调节块2上设有长圆孔4，用于调节所述的间隙调节块2的位置。
优选地，所述滑槽3内设有孔5，用于固定所述间隙调节块2。
优选地，还包括外壁定位板6，呈
Figure BDA0000097174580000031
字形，安装于所述支撑固定块1的上表面，用于对外壁进行定位、支撑。
优选地，所述间隙调节块2的斜面可调节至所述外壁定位板6的侧面之外。以保证间隙调节块2的工作斜面能够申到炉体下部。
优选地，所述间隙调节块2的高度不小于所述滑槽3的深度。
优选地，所述间隙调节块2的高度大于所述滑槽3的深度，所述外壁定位板6上设有结构缺口，所述结构缺口的高度不小于间隙调节块2露出滑槽3的高度。
优选地，所述外壁定位板6上设有孔7，用于连接外壁。
优选地，所述孔7为长圆孔，用于吸收外壁定位板6与外壁相应安装孔在高度上的误差。
优选地，所述外壁定位板6上设有孔8，所述支撑固定块1的上表面设有孔9，用于使所述外壁定位板6固定。
优选地，所述孔8为长圆孔，用于调节外壁定位板6沿炉体的径向位置。
优选地，所述支撑固定块1的上表面上设有孔10，用于固定所述装置。
优选地，所述孔10所在平面低于所述滑槽3所在平面。
优选地，所述支撑固定块1、间隙调节块2的材料包括不锈钢。
优选地，所述外壁定位板6的材料包括不锈钢。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (16)

1.一种立式炉体装配辅助装置，其特征在于，包括：支撑固定块(1)、间隙调节块(2)，其中，
所述支撑固定块(1)的上表面上设有滑槽(3)；
所述间隙调节块(2)，设于所述滑槽(3)内，用于调节所述支撑固定块(1)的上表面与炉体底部的间隙。
2.如权利要求1所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述间隙调节块(2)的工作面为斜面。
3.如权利要求1所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述间隙调节块(2)上设有长圆孔(4)，用于调节所述的间隙调节块(2)的位置。
4.如权利要求1所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述滑槽(3)内设有孔(5)，用于固定所述间隙调节块(2)。
5.如权利要求1所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，还包括外壁定位板(6)，呈 
Figure FDA0000097174570000011
字形，安装于所述支撑固定块(1)的上表面，用于对外壁进行定位、支撑。
6.如权利要求5所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述间隙调节块(2)的斜面可调节至所述外壁定位板(6)的侧面之外。
7.如权利要求5所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述间隙调节块(2)的高度不小于滑槽(3)的深度。
8.如权利要求7所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述间隙调节块(2)的高度大于所述滑槽(3)的深度，所述外壁定位板(6)上设有结构缺口，所述结构缺口的高度不小于间隙调节块(2)露出滑槽(3)的高度。
9.如权利要求5所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述外壁定位板(6)上设有孔(7)，用于连接外壁。 
10.如权利要求9所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述孔(7)为长圆孔，用于吸收外壁定位板与外壁相应安装孔在高度上的误差。
11.如权利要求5所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述外壁定位板(6)上设有孔(8)，所述支撑固定块(1)的上表面设有孔(9)，用于使所述外壁定位板(6)固定。
12.如权利要求11所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述孔(8)为长圆孔，用于调节外壁定位板(6)沿炉体的径向位置。
13.如权利要求1所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述支撑固定块(1)的上表面上设有孔(10)，用于固定所述装置。
14.如权利要求13所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述孔(10)所在平面低于所述滑槽(3)所在平面。
15.如权利要求1-14任一所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述支撑固定块(1)、间隙调节块(2)的材料包括不锈钢。
16.如权利要求5-12任一所述的立式炉体装配辅助装置，其特征在于，所述外壁定位板(6)的材料包括不锈钢。 
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