CN102483435A - 用于微电路测试器的导电开尔文接触件 - Google Patents

Abstract

由一系列的导电接触件将待测器件的端子与相应的接触焊盘或引线连接起来。每一个端子测试与“施力”接触件和“感测”接触件二者连接。在一种实施方式中，感测接触件部分地或完全地沿横向围绕着施力接触件，从而它不必具有自身的弹性。感测接触件具有叉形末端，叉形末端具有延伸到施力接触件的相对两侧的叉股。可替换地，感测接触件围绕着施力接触件并且沿横向滑动，以便与施力接触件纵向挤压期间的施力接触件的横截面的横向平移分量相匹配。可替换地，感测接触件包括杆，这些杆具有处于施力接触件相对两侧的端部并且平行地延伸。

Description

用于微电路测试器的导电开尔文接触件

发明人

Joel N.Erdman，美国公民，居住在Waconia，MinnesotaJeffrey C.Sherry，美国公民，居住在Savage，MinnesotaGary W.Michalko，美国公民，居住在Ham Lake，Minnesota

关于联邦赞助的研究或开发的声明

不适用

发明背景

技术领域

本发明针对的是用于测试微电路的设备。

背景技术

随着微电路持续演进得更小并且更加复杂，测试微电路的测试装备也在演进。现在正努力改进微电路测试装备，所述改进导致提高可靠性、增加吞吐量并且/或者减少开销。

把有缺陷的微电路安放到电路板上的代价相对较高。安装通常涉及将微电路焊接到电路板上。一旦被安放在电路板上之后，移除微电路就成为问题，这是因为第二次熔化焊料的行为就会毁坏电路板。因此，如果微电路存在缺陷，则电路板本身也可能被毁坏，这意味着此时附加到电路板上的所有价值都已丧失。出于所有这些原因，通常在安装到电路板上之前对微电路进行测试。

必须测试每一个微电路，从而识别出所有存在缺陷的器件，但是不能错误地将良好的器件识别为存在缺陷。任何一种错误如果频繁发生的话都会大大增加电路板制造工艺的总体成本，并且可能会增加对于被错误地识别为有缺陷器件的器件的重新测试成本。

微电路测试装备本身非常复杂。首先，测试装备必须与每一个紧密间隔的微电路接触件进行精确并且低电阻的非破坏性临时电接触。由于微电路接触件及其之间的间隔尺寸较小，所以在进行接触时的即使很小的误差也将导致不正确的连接。而连接到失准的或者在其他方面不正确的微电路将会导致测试装备把待测器件(DUT)识别为存在缺陷，尽管导致这一错误的原因是测试装备与DUT之间的存在缺陷的电连接，而不是DUT本身中的缺陷。

微电路测试装备中的另一个问题出现在自动化测试中。测试装备可以每分钟测试100个器件或者甚至更多。测试的数目众多导致在测试期间与微电路端子进行电连接的测试器接触件上的磨损。这种磨损会导致从测试器接触件和DUT端子脱落导电碎片，其会污染测试装备以及DUT本身。

所述碎片最终会导致测试期间的电连接变差并且导致表明DUT存在缺陷的错误指示。除非从微电路中去除所述碎片，否则粘附到微电路上的碎片可能会导致套件故障。去除碎片又会增加成本并且在微电路本身当中引入另一个缺陷来源。

此外还存在其他考虑因素。性能良好又便宜的测试器接触件是有利的。使得更换测试器接触件所需的时间最小化也是合乎期望的，这是因为测试装备较为昂贵。如果测试装备长时间离线以进行延长周期的正常维护，则测试一个单独微电路的成本会增加。

当前使用的测试装备具有一个测试器接触件阵列，其模拟微电路端子阵列的模式。测试器接触件阵列在一个精确保持接触件相对于彼此对准的结构中得到支撑。由一个对准板或板盘将微电路本身与测试接触件对准。很多时候，对准板是与包裹接触件的外壳分离开的，这是因为对准板容易磨损并且需要经常更换。测试外壳和对准板被安放在负载板上，负载板具有电连接到测试接触件的导电焊盘。负载板焊盘连接到在测试装备电子装置与测试接触件之间承载信号和电力的电路路径。

对于电测试，希望在待测器件上的每一个端子与负载板上的相应电焊盘之间形成临时电连接。一般来说，焊接并移除由测试台上的相应电探头接触的微电路上的每一个电端子的做法是不切实际的。取代焊接并移除每一个端子，测试器可以采用设置成一定模式的一系列导电接触件，其中所述模式对应于待测器件上的端子和负载板上的电焊盘。当施力令待测器件与测试器接触时，所述接触件完成各个待测器件接触件与相应的负载板焊盘之间的电路。在测试之后，当释放待测器件时，所述端子与接触件分离，并且电路被断开。

本申请是针对这些接触件的改进的。

存在一种被称作“开尔文(Kelvin)”测试的测试类型，其测量待测器件上的两个端子之间的电阻。基本上来说，开尔文测试涉及到强制一个电流在两个端子之间流动，从而测量两个端子之间的电压差，并且利用欧姆定律导出所述端子之间的电阻，即由电压除以电流给出。待测器件上的每一个端子电连接到负载板上的两个接触件及其相关的焊盘。两个焊盘的其中一个提供已知数量的电流。另一个焊盘(被称作“感测”连接)是充当伏特计的高阻抗连接，其只汲取少量电流。换句话说，经历开尔文测试的待测器件上的每一个端子同时电连接到负载板上的两个焊盘，其中一个焊盘提供已知数量的电流，另一个焊盘测量电压并且与此同时只汲取少量电流。每次对两个端子进行开尔文测试，从而单次电阻测量使用负载板上的两个端子和四个接触焊盘。

在本申请中，可以按照几种方式来使用形成待测器件与负载板之间的临时电连接的接触件。在“标准”测试中，每一个接触件将待测器件上的特定端子连接到负载板上的特定焊盘，其中端子与焊盘成一对一关系。对于这些标准测试，每一个端子精确地对应于一个焊盘，并且每一个焊盘精确地对应于一个端子。在“开尔文”测试中，有两个接触件接触待测器件上的每一个端子，正如前面所描述的那样。对于这些开尔文测试，待测器件上的每一个端子对应于负载板上的两个焊盘，并且负载板上的每一个焊盘精确地对应于待测器件上的一个端子。虽然测试方案可以不同，但是不管测试方案如何，接触件的机械结构和使用实质上是相同的。

所述测试台的许多方面可以从旧有或现有的测试台合并。举例来说，可以使用来自现有测试系统的许多机械基础设施和电路，其可以与这里所公开的导电引脚相兼容。下面将列出并概括这样的现有系统。

在2007年8月30日公开的标题为“Test contact system fortesting integrated circuits with packages having an array ofsignal and power contacts(用于测试其封装具有信号和电力接触件阵列的集成电路的测试接触系统)”的美国专利申请公开号US2007/0202714A1中公开了一种示例性微电路测试器，其发明人为Jeffrey C.Sherry，并且将其全文合并在此以作参考。

对于‘714的测试器，顺序地测试一系列微电路，其中每一个微电路(或者“待测器件”)被附着到测试台，对其进行电测试并且随后将其从测试台移除。这样的测试台的机械和电方面通常是自动化的，从而可以把测试台的吞吐量保持得尽可能高。

在‘714中，用于与微电路端子进行临时电接触的测试接触元件包括至少一个韧性耙指，其从绝缘接触隔膜突出以作为悬梁。所述耙指在其接触侧具有用于接触微电路端子的导电接触焊盘。测试接触元件优选地具有多个耙指，其可以有利地具有馅饼状设置。在这样的设置中，每一个耙指至少部分地由隔膜中的两个径向指向的沟槽所限定，所述沟槽将每一个耙指与形成测试接触元件的多个耙指当中的每一个其他耙指机械地分离。

在‘714中，多个测试接触元件可以形成测试接触元件阵列，其包括以预定模式设置的测试接触元件。实质上按照测试接触元件的预定模式来设置多个连接通路，每一个所述连接通路与其中一个测试接触元件对准。优选地，由界面隔膜以预定模式支撑所述多个连接通路。可以把许多通路远离器件接触区域嵌入在馅饼件中，以便延长使用寿命。可以对分离耙指的沟槽进行电镀以便产生I形梁，从而防止耙指变形并且也延长使用寿命。

‘714的连接通路可以是具有开放末端的杯状，其中杯状通路的开放末端与对准的测试接触元件接触。由于从测试装备加载及卸载DUT而产生的碎片可以穿过测试接触元件落下，其中杯状通路收容碎片。

‘714的接触和界面隔膜可以被用作包括负载板的测试容器的一部分。负载板具有实质上依照测试接触元件的预定模式的多个连接焊盘。负载板支撑界面隔膜，其中负载板上的每一个连接焊盘实质上与其中一个连接通路对准并且与之电接触。

在‘714中，器件使用具有保持属性的非常纤薄的导电镀覆，其粘附到非常纤薄的不导电绝缘体上。器件的金属部分提供接触I/O与负载板之间的多个接触点或路径。这一点可以利用电镀通孔外罩或者利用电镀穿孔通路来实现，或者利用具有与第二表面(即器件I/O)接触的第一表面的凸起表面(其可能与弹簧相组合)来实现。器件I/O可以与负载板物理地靠近，从而改进电性能。

常常在安装之前测试的一种特定类型的微电路具有通常被称作球栅阵列(BGA)端子设置的封装或外罩。典型的BGA封装可以具有平坦矩形块的形式，其典型的尺寸范围是在一侧有5mm到40mm并且有1mm厚。

典型的微电路具有封闭实际电路的外罩。信号和电力(S&P)端子处在外罩的两个较大平坦表面的其中之一上。一般来说，端子占据表面边沿与任何一个或多个间隔物之间的大部分面积。应当提到的是，在某些情况下，间隔物可以是被密封的芯片或接地焊盘。

每一个端子可以包括一个较小的近似球形的焊球，其牢固地粘附到从内部电路穿透表面的引线，因此被称作“球栅阵列”。每一个端子和间隔物从表面突出较小距离，其中端子从表面突出的距离长于间隔物。在组装期间，所有端子都被同时熔化，并且粘附到先前形成在电路板上的被适当定位的导线。

端子本身可以彼此相当靠近。一些端子的中心线间隔可以小至0.25mm，甚至间隔相对较宽的端子仍然可以相距大约1.5mm。相邻端子之间的间隔常常被称作“间距”。

除了前面提到的因素之外，BGA微电路测试还涉及到附加的因素。

首先，在与球端子进行临时接触时，测试器不应当损坏与电路板接触的S&P端子表面，这是因为这样的损坏可能会影响对应于该端子的焊接接点的可靠性。

其次，如果承载信号的导线被保持得较短，则测试处理更加精确。理想的测试接触设置具有短的信号路径。

第三，出于环境原因，现今通常用于器件端子的焊料主要是锡。基于锡的焊料合金可能会在外表面上产生导电性很差的氧化物膜。早前的焊料合金包括大量铅，其不会形成氧化物膜。测试接触件必须能够穿透所存在的氧化物膜。

在本领域内当前已知并使用的BGA测试接触件采用由多个零件构成的弹簧接触件，其包括弹簧、主体以及顶部和底部插棒。

2003年10月16日公开的标题为“Method of making anelectronic contact(用于进行电子接触的方法)”的美国专利申请公开号US 2003/0192181A1示出了配备有以规则模式布置的不平整的微电子接触件，比如柔性片状悬臂接触件。每一处不平整在其远离接触件表面的尖部都有尖锐特征。随着配对的微电子元件与接触件接合，扫滑动作(wiping action)使得所述不平整的尖锐特征刮擦配对元件，从而提供有效的电互连，并且可选地在激活粘接材料之后在接触件与配对元件之间提供有效的冶金粘接。

根据2004年10月14日公开的标题为“Test interconnect forbumped semiconductor components and method of fabrication(用于凸起半导体组件的测试互连及制造方法)”的美国专利申请公开号US 2004/0201390A1，用于测试半导体组件的互连包括基板以及用于与所述组件上的凸起接触件进行临时电连接的基板上的接触件。每一个接触件包括凹陷和悬置在所述凹陷上方的引线模式，其被配置成与凸起接触件电接合。所述引线被适配成在凹陷内的z方向上移动，以便容许凸起接触件的高度和平面性的变化。此外，所述引线可以包括用于穿透凸起接触件的突出、用于防止粘接到凸起接触件的非粘接外层以及匹配凸起接触件的拓扑的弯曲形状。可以通过在基板上形成模制金属层、通过把其上具有引线的聚合物基板附着到所述基板上或者通过蚀刻所述基板以形成导电梁而形成所述引线。

根据2001年6月12日授予Fukasawa等人的标题为“Semiconductor inspection apparatus and inspection methodusing the apparatus(半导体检查设备以及利用所述设备的检查方法)”的美国专利申请号US 6,246,249B1，一种半导体检查设备对具有球形连接端子的待检器件执行测试。该设备包括形成在支持膜上的导体层。所述导体层具有连接部分。所述球形连接端子连接到该连接部分。至少所述连接部分的形状是可改变的。所述设备还包括由可弹性形变的绝缘材料制成的振动吸收构件，以便至少支撑连接部分。该发明的用于与微电路端子进行临时电接触的测试接触元件包括从绝缘接触隔膜突出以作为悬梁的至少一个韧性耙指。所述耙指在其接触侧具有用于接触微电路端子的导电接触焊盘。

在1998年9月22日授予Fjelstad等人的标题为“Microelectronic connector for engaging bump leads(用于接合凸起引线的微电子连接器)”的美国专利号5,812,378中，用于微电子装置的连接器包括薄片状主体，其具有合乎期望地设置在规则栅格模式中的多个孔洞。每一个孔洞配备有韧性层状接触件，比如薄片金属环，其具有在所述主体的第一主表面的孔洞上方向内延伸的多个突出。连接器主体的第二表面上的端子电连接到所述接触件。所述连接器可以附着到诸如多层电路板之类的基板上，从而使得连接器的端子电连接到基板内的引线。在其上具有凸起引线的微电子元件可以与所述连接器接合并因而连接到基板，这是通过将凸出引线推进到连接器的孔洞中以便将凸出引线与接触件接合而实现的。可以对套件进行测试，并且如果发现可以接受的话，则可以将凸出引线永久性地粘接到接触件。

根据2001年8月9日公开的标题为“Test interconnect forbumped semiconductor components and method of fabrication(用于凸起半导体组件的测试互连及制造方法)”的美国专利申请公开号US 2001/0011907A1，用于测试半导体组件的互连包括基板以及用于与所述组件上的凸起接触件进行临时电接触的基板上的接触件。每一个接触件包括凹陷和悬置在所述凹陷上方的支撑构件，其被配置成与凸起接触件电接合。所述支撑构件在形成于基板表面上的螺旋引线上悬挂在所述凹陷上方。螺旋引线允许支撑构件在凹陷内的z方向上移动，以便容许凸起接触件的高度和平面性的变化。此外，所述螺旋引线相对于凸起接触件扭转支撑构件，以便于穿透其上的氧化物层。可以通过把其上具有引线的聚合物基板附着到所述基板上或者通过在基板上形成模制金属层而形成螺旋引线。在一个替换实施例的接触件中，支撑构件在升起的弹簧节段引线上被悬挂在基板表面上方。

考虑一个制造出来是为了并入到较大系统的电子芯片。在使用时，该芯片通过一系列的接触件或端子将器件与较大系统电连接。例如，电子芯片上的接触件可以插入到计算机上相应的插口中，从而计算机电路可以以预定的方式与芯片电路电连接。这种芯片的一个例子可以是用于计算机的存储器或处理器，它们每个都可以插入到与该芯片进行一个或多个电连接的特定插槽或插口中。

非常希望在发货之前或者在将它们安装到其他系统中之前测试这些芯片。这种组件级的测试可以帮助诊断制造工艺中的问题，并且对于引入该芯片的系统可以帮助改进系统级的产出。因此，以及开发出了复杂的测试系统来确保芯片中的电路按照设计执行。将芯片附接到测试器上作为“待测器件”加以测试，然后从测试器上取下来。一般情况下，希望尽可能快地进行安装、测试和取下，从而使得测试器的吞吐量尽可能的高。

测试系统通过与芯片的最终应用中将会用于连接该芯片的接触件或端子相同的接触件或端子访问芯片电路。结果，对于执行测试的测试系统会有一些一般性要求。一般来说，测试器应当与各种接触件或端子建立电接触，从而接触件不会遭到损坏，并且从而与每一个接触件进行可靠的电连接。

大多数这种类型的测试器使用芯片I/O接触件与测试器接触件之间的机械接触，而不是焊接和解除焊接或者某些其他的附接方法。在将芯片附接到检测器上时，将会使芯片上的每一个接触件与测试器上的相应的焊盘机械和电气接触。在测试之后，将芯片从测试器上取下，并且断开机械和电气接触。

一般来说，非常希望芯片和测试器在附接、测试和取下过程中都经受尽可能小的损伤。可以将测试器上的焊盘布局设计为能够减小对芯片接触件的磨损或损坏或使其最小化。例如，不希望刮擦器件I/O(引线、接触件、焊盘或焊球)、弯曲或偏转I/O，或者进行任何可能以任何方式永久改变或损坏I/O的操作。典型地，测试器被设计成使芯片处于尽可能类似于初始状态的最终状态。此外，还希望避免或减少对测试器或测试器焊盘造成任何永久性损伤，从而在更换之前，测试器零部件可以持续更长时间。

目前测试器制造商在焊盘布局上花费了大量的精力。例如，焊盘可以包括以指定的抵抗力接收芯片接触件的弹簧加载机构。在某些应用中，焊盘可以具有处于弹簧加载力行程范围的最末端的可选的硬止挡。焊盘布局的目标是与相应的芯片接触件建立可靠地电连接，在附接了芯片时该电连接可以尽可能地接近“闭合”电路，而在取下芯片时可以尽可能地接近“断开”电路。

因为希望尽可能快地测试这些芯片，或者模拟它们在较大系统中的实际应用，所以可能需要以非常高的频率从接触件驱动和/或接收电信号。当前测试器的测试频率可以达到40GHz或更高，并且测试频率很可能还会随着未来新一代测试器的出现而增加。

对于低频测试，比如接近于DC(0Hz)进行的测试，可以相当简单地运动电气性能：在取下芯片时会想要无限高的电阻，而在附接了芯片时想要无限低的电阻。

在较高频率下，其他电气属性开始发挥作用，而不仅仅是电阻。阻抗(或，本质上，作为频率的函数的电阻)在这些较高频率下成为电气性能的更加适当的度量标准。阻抗可以包括相位效应以及振幅效应，并且还可以含有并用算术方法描述电气路径上的电阻、电容和电感的效应。一般来说，希望芯片I/O与负载卡上的相应焊盘之间形成的电气路径上的接触电阻足够低，该接触电阻低到足以维持50欧姆的目标阻抗，从而测试器本身并不会明显改变待测芯片的电气性能。注意，大多数测试装备都被设计为具有50欧姆的输入和输出阻抗。

对于具有很多间距非常小的I/O的当代芯片，模拟器件I/O接口处的电气和机械性能变得很有帮助。二维或三维的有限元件建模已经变成了很多设计者选用的工具。在某些应用中，一旦为测试器焊盘构造选择了基本几何样式，就对焊盘构造的电气性能进行模拟，然后反复调节具体的尺寸和形状，直到达到期望的电气性能。对于这些应用，一旦模拟的电气性能达到了特定的阈值，几乎是以事后补救的方式来确定机械性能。

发明内容

一种实施方式是一种在具有多个端子的待测器件与具有多个接触焊盘的负载板之间形成多个临时机械和电气连接的装置，每一个接触焊盘被横向地排列成与刚好一个端子相对应，该装置包括：纵向上与负载板上的接触焊盘相邻的横向指向的电绝缘外壳；多个导电的施力接触件，这些施力接触件朝向待测器件延伸穿过外壳上的纵向孔并且可以穿过外壳上的孔受挤压/偏转，所述多个施力接触件中的每一个施力接触件被横向排列成与刚好一个端子相对应；以及多个导电的感测接触件，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件被横向排列成与刚好一个施力接触件和刚好一个端子相对应，多个感测接触件中的每一个感测接触件朝着待测器件延伸，接近相应的施力接触件。多个感测接触件中的每一个感测接触件包括固定部分、远离外壳以铰接方式延伸的自由部分扩和连接固定部分和自由部分的铰接部分。铰接部分横向与相应的施力接触件分离。自由部分包括位于其末端的叉形部分，该叉形部分在相应施力接触件的末端的相对两侧延伸。固定部分的意思是表示，它是沿着接触件的弯曲受限以致被阻止的那个点。固定部分或点相对于尖端的位置决定了弯度，所有其他的一切都是一样的。

一种另外的实施方式是一种在具有多个端子的待测器件与具有多个接触焊盘的负载板之间形成多个临时机械和电气连接的装置，每一个接触焊盘被横向地排列成与刚好一个端子相对应，该装置包括：纵向上与负载板上的接触焊盘相邻的横向指向的电绝缘外壳；多个导电的施力接触件，这些施力接触件朝向待测器件延伸穿过外壳上的纵向孔并且可以穿过外壳上的孔受挤压/偏转，所述挤压包括每一个施力接触件的横截面的横向平移，所述多个施力接触件中的每一个施力接触件被横向排列成与刚好一个端子相对应；以及多个导电的感测接触件，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件被横向排列成与刚好一个施力接触件和刚好一个端子相对应，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件横向围绕着相应的施力接触件，并且可以沿着外壳水平/横向滑动，水平/横向滑动对应于比如图8中所示的相应施力接触件的水平/横向截面的水平横向平移。

又一种实施方式是一种在具有多个端子的待测器件与具有多个接触焊盘的负载板之间形成多个临时机械和电气连接的装置，每一个接触焊盘被横向地排列成与刚好一个端子相对应，该装置包括：纵向上与负载板上的接触焊盘相邻的横向指向的电绝缘外壳；多个导电的施力接触件，这些施力接触件朝向待测器件延伸穿过外壳上的纵向孔并且可以穿过外壳上的孔受挤压/偏转，所述多个施力接触件中的每一个施力接触件被横向排列成与刚好一个端子相对应；以及多个导电的感测接触件，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件被横向排列成与刚好一个施力接触件和刚好一个端子相对应。所述多个感测接触件中的每一个感测接触件包括沿着外壳大体上横向延伸的一对导电杆。该对导电杆装配在电绝缘外壳上的相应沟槽内。该对导电杆中的每一个导电杆具有朝向待测器件弯折出外壳平面之外的末端，以击中待测器件下面的暴露的I/O焊盘。每对感测杆中的两个末端直接与相应的施力接触件相邻并且位于相应施力接触件的相对两侧。

附图说明

图1是用于接纳待测器件(DUT)来进行标准电气测试的测试装备的一部分的侧视图。

图2是与DUT电接合的图1的测试装备的侧视图。

图3是用于接纳待测器件(DUT)来进行开尔文测试的测试装备的一部分的侧视图。

图4是与DUT电接合的图3的测试装备的侧视图。

图5是测试装备上的施力接触件和感测接触件的第一设计的平面图。

图6是测试装备上的施力接触件和感测接触件的第二设计的平面图。

图7是测试装备上的施力接触件和感测接触件的第三设计的平面图。

图8是测试装备上的施力接触件和感测接触件的第四设计的平面图。

图9是测试装备上的施力接触件和感测接触件的第五设计的平面图。

图10是测试装备上的施力接触件和感测接触件的第六设计的平面图。

图11是测试装备上的施力接触件和感测接触件的第七设计的平面图。

图12是与DUT电接合的用于图3和图4的测试装备的两组端子/接触件的侧视图。

图13是感测(电压)接触件在其从待测器件上的端子到负载板上的接触焊盘的路径上的样本几何结构的侧视截面图。

图14是感测(电压)接触件在其从待测器件上的端子到负载板上的接触焊盘的路径上的另一种样本几何结构的侧视截面图。

图15是一对具有从中央的施力(电流)接触件向外倾斜的尖端的感测接触件的侧视示意图。

图16是一对感测接触件的顶视示意图，在它们的末端处，这对感测接触件包括朝向彼此延伸的横向延伸部分。

图17是一对感测接触件的顶视示意图，在它们的末端处，这对感测接触件包括朝向彼此延伸的横向延伸部分。

图18是单独一个感测接触件的顶视示意图，在其末端处，这个感测接触件包括延伸到中途围绕施力接触件的横向延伸部分。

图19是单独一个感测接触件的顶视示意图，在其末端处，这个感测接触件包括围没有延伸到中途绕施力接触件的横向延伸部分。

图20是一对感测接触件的侧视示意图，它们具有朝向彼此倾斜并且在中央施力接触件上方或旁边彼此交叉的尖端。

图21是一对感测接触件的顶视示意图，在它们的末端处，这对感测接触件包括向上延伸出纸面之外的横向延伸部分。

图22是带引线的集成电路封装及其开尔文接触件系统的透视示意图。

图23是为了清楚而移除了一部分的图22的系统的紧凑透视图。

图24是类似于图23的图，但是是从另一侧观察的。

图25是挤压状态下应用于带引线的器件的系统的侧视示意图。

图26是类似于图25的图，只是移除了弹性部分。

图27是类似于图25的图，只是挤压状态和感测接触件被设计成仅仅碰撞从器件凸出的引线的前部。

图28是类似于图27的图，只是是从另一侧观察的，并且该方案具有向上弯折的叉齿(叉指)，以更快地开始与器件接触，从而提供更大的适应性。

图29是同时示出仅仅连接器件引线的前部的概念的未挤压状态和挤压状态的示意图。

图30是类似于图29的示意图，同时示出感测叉齿跨越施力接触件的双股叉概念的未挤压状态和挤压状态。

图31是示出叉形感测引线跨越减小了尖端厚度的施力接触件的透视图。

图32是类似于图31的透视图，示出单侧感测引线和具有偏移的施力接触件。

图33是类似于图29的透视图。

具体实施方式

下面是本公开文本的一般性概括。

由一系列导电接触件将待测器件的端子与负载板上的相应接触焊盘暂时电连接起来。这些端子可以是焊盘、焊球、导线(引线)或其他接触点。要进行开尔文测试的每一个端子与“施力”接触件和“感测”接触件二者相连接，其中每一个接触件与负载板上相应的单独一个接触焊盘电连接。施力接触件向或从端子输送已知量的电流，感测接触件测量端子处的电压并且向或从端子汲取可以忽略不计的电流量。感测接触件部分地或完全地沿横向围绕着施力接触件，从而它自己不必具有弹性，不过就它自身而言，它也可以是有弹性的。这有助于通过防止横向摆动来保证施力接触件的对准。在第一种情况下，感测接触件具有叉形末端，叉形末端具有延伸到施力接触件的相对两侧的叉股。在第二种情况下，感测接触件完全沿横向围绕着施力接触件并且在施力接触件垂直挤压期间水平/横向滑动，以便与施力接触件的水平截面的水平平移分量相匹配。在第三种情况下，感测接触件包括两个杆，这两个杆的末端位于施力接触件的相对两侧，并且这两个杆平行并且沿横向地远离施力接触件延伸。在这些情况下，感测接触件在水平方向上沿着支撑施力接触件的隔板或外壳延伸。可以将这些杆安放在沿着隔板的或者外壳上的相应沟槽内。

前段仅仅是本发明的概述，并且不应将其看作是任何方式的限定。下面将更加详细地描述测试装置。

图1和图2示出了进行传统电气测试的测试器，其中在待测器件上的端子与负载板上的接触焊盘之间存在一一对应的关系。与之相反，图3和4表示执行开尔文测试的测试器，其中在负载板上有两个与待测器件上的每个端子连接的接触焊盘。尽管在传统测试与开尔文测试之间存在着差别，但是测试器元件具有很多共同点。因而，首先关于图1和图2对其进行描述。在描述了传统测试之后，然后再描述开尔文测试所使用的元件，如图3和图4所示。此时在描述中重点突出两种情况之间的差别。

图1是用于接纳待测器件(DUT)来进行传统电气测试的测试装备的一部分的侧视图。DUT 1被放置到测试器5上，执行电气测试，并且然后将DUT 1从测试器5上移除。任何电连接都是通过将组件按压成与其他部件电接触来进行的；在DUT 1的测试中，任何点都没有焊接或解除焊接。

整个电气测试过程可以仅仅持续片刻时间，从而迅速、精确放置待测器件1对于确保高效使用测试装备而言变得非常重要。测试器5要实现高吞吐量通常需要使用机械手抓握待测器件1。在大多数情况下，自动机械系统在测试之前将DUT 1放置到测试器5上，并且一旦测试完成，就会再把DUT 1移除。抓握和放置机构可以使用机械和光学传感器来监控DUT 1的位置，并且使用平移和旋转致动器的组合来在测试台上对准和放置DUT 1。这样的自动机械系统是很成熟的，并且已经应用于很多已知的电气测试器中；这些已知的机器人系统也可以与本文公开的测试器元件中的任何一个或全部一起使用。可替换地，DUT 1可以用手来放置，或者通过手送和自动化设备相结合的方式来放置。

类似地，用于测试DUT 1上的每一个端子的电气算法得到了很好的建立，并且已经应用于很多已知的电子测试器。这些已知的电气算法也可以与本文公开的测试器元件中的任何一个或全部一起使用。

待测器件1通常包括一个或多个器件，并且包括与器件连接的信号和电源端子。器件和端子可以位于待测器件1的一侧，或者也可以位于待测器件1的两侧。为了在测试器5中使用，所有端子2应当可以从待测器件1的一侧接近，不过应当理解，可能会有一个或多个元件位于待测器件1的另一侧，或者可能会有其他元件和/或端子位于不可以通过访问端子2来加以测试的另一侧。

每一个端子2被形成为器件底部一侧上的小焊盘，或者也可以是从器件的主体凸出的引线。在测试之前，将焊盘或引线2与电子引线附接，该电子引线在内部与其他引线相连、与其他电子部件相连和/或与待测器件1中的一个或多个芯片相连。可以相当精确地控制焊盘或引线的体积和大小，并且焊盘对焊盘或者引线对引线大小变化或位置变化一般情况下不会造成很大困难。在测试期间，端子2保持固体状态，不会使任何焊料2熔化或者重新流动。

端子2可以在待测器件1的表面上以任何适当的样式布置。在某些情况下，端子2可以具有一般的正方形网格的形式，这种形式是针对引线部分描述待测器件1、QFN、DFN、MLF或QFP的表述的起点。也可以存在不同于矩形网格的形式，包括不规则间距和几何形状。应当理解，端子的具体位置可以根据需要改变，可以选择负载板上焊盘和隔板或外壳上接触件的相应位置来匹配待测器件端子2的位置。一般来说，相邻端子2之间的间距处于0.25mm到1.5mm的范围之内，该间隔一般称为“间距”。

当从侧面看时，如图1中所示，待测器件1显现为一行端子2，这一行端子2可选择地包括间隙和不规则间隔。按照典型的制造工艺，这些端子2被制作得一般是平面的，或者尽可能是平面的。在很多情况下，如果在待测器件1上有芯片或其他元件，则芯片的凸出高度通常会小于端子2从待测器件1上的凸出高度。

图1的测试器5包括负载板3。

负载板3包括负载板基板6和用于电子测试待测器件1的电路。这种电路可以包括能够产生一个或多个具有一个或多个特定频率的AC电压的驱动电子器件和能够感测到待测器件1对这些驱动电压的响应的检测电子器件。感测可以包括一个或多个频率处的电流和/或电压的检测。这些驱动和感测电子器件在产业上是已知的，并且来自已知测试器中的任何适当的电子器件都可以与本文公开的测试器元件一起使用。

一般来说，非常希望负载板3上的要素在安装时与待测器件1上的相应要素对准。典型地，要将待测器件的1和负载板3机械地与测试器5上的一个或多个定位要素对准。负载板3可以包括一个或多个机械定位要素，比如基准的或精确定位的孔和/或边缘，这些孔和/或边缘确保负载板3可以被精确地安放在测试器5上。这些定位要素典型地确保了负载板的横向对准(x，y)，和/或也确保了纵向对准(z)。这些机械定位要素在产业上是已知的，并且来自已知测试器中的任何适当的电子器件都可以与本文公开的测试器元件一起使用。图1中没有示出机械定位要素。

一般来说，负载板3可能是相对复杂且昂贵的组件。在很多情况下，在测试器5中引入另外的、相对便宜的保护负载板3的接触焊盘4免于磨损和损伤的元件是有利的。这一另外的元件可以是插入器隔板10。插入器隔板10还利用适当的定位要素(未示出)与测试器3机械地对准，并且在负载板3上方、面向着待测器件1存在于测试器5内。

插入器隔板10包括一系列导电接触件20，这些导电接触件在隔板10的两侧上沿纵向向外延伸。每一个接触件20可以包括弹性元件，比如弹簧或弹性体材料，并且能够以足够低得电阻或阻抗将电流从待测器件引导到负载板/从负载板引导到待测器件。每一个接触件可以是单独的导电单元，或者可替换地可以被形成为导电元件的组合。

一般来说，每个接触件20将负载板3上的一个接触焊盘4连接到待测器件1上的一个端子2上，不过也可以有这样的测试方案：多个接触焊盘4与单独一个端子2连接，或者多个端子2与单独一个接触焊盘4连接。为简单起见，在本文和附图中假定，单独一个接触件20将单独一个焊盘与单独一个端子连接，不过应当理解，可以使用本文公开的测试器元件中的任何一个来将多个接触焊盘与单独一个端子连接，或者将多个端子与单独一个接触焊盘连接。典型地，插入器隔板10电连接负载板接触件和测试接触器的底部接触表面。可替换地，可以使用它来将现有的负载板焊盘构造转变到媒介上，该媒介是用于连接和测试待测器件的测试插座。

虽然与移除和替换负载板3相比，可以相对容易地移除和替换插入器隔板10，但是对于本文献而言，将插入器隔板10看成是测试器5的一部分。在操作期间，测试器5包括负载板3、插入器隔板10和将它们安装和保持在正确位置上的机械结构(未示出)。各个待测器件1被抵靠着测试器5放置，进行电气测试，并且被从测试器5上取下来。

在用坏之前，单独一个插入器隔板10可以测试很多个待测器件1，并且一般情况下在需要更换之前，可以持续进行数千个测试或者更多。一般来说，希望插入器隔板10的更换相对快速和简单，从而为了更换隔板测试器5仅仅需要经历很少量的停机时间。在某些情况下，更换插入器隔板10的速度甚至可能比每个隔板10的实际成本更加重要，这是因为在操作期间，测试器运行时间的增长会带来适当的成本节约。

图1示出测试器5与待测器件1之间的关系。当测试每个器件1时，将其放置到具有足够精确放置属性的适当机器人机械手中，从而器件1上的特定端子2可以关于插入器隔板10上的相应接触件20和负载板3上的相应接触焊盘4，被精确且可靠地放置(在x、y和z方向上)。

机器人机械手(未示出)对每个待测器件1施力使其与测试器5相接触。力度的大小取决于测试的确切配置，其包括待测端子2的数量、用于每一个端子的力、典型制造和对准容差等等。一般来说，力由测试器的机械手(未示出)施加，作用于待测器件1。一般来说，该力一般是纵向的，并且一般是与负载板3的表面法线平行的。

图2示出相接触的测试器与待测器件1，此时足够的力量被施加到待测器件1上，以接合接触件20并且在每一个端子2与其在负载板3上相应的接触焊盘4之间形成电连接9。如上所述，可替换地可以有这样的测试方案：多个端子2与单独一个接触焊盘4连接，或者多个接触焊盘4与单独一个端子2连接，但是为了简明起见，在附图中假定单独一个端子2唯一地与单独一个接触焊盘4连接。

上述图1和图2示出了传统的电气测试，其本质上回答了这样一个问题：“端子A完全与端子B电连接吗？”电流被从负载板驱动到待测器件上的特定端子，在待测器件内部流动到另一个端子，然后返回到负载板。

与传统的电气测试不同，开尔文测试本质上回答这样一个问题：“端子A与端子B之间的电阻是什么？”和传统的测试一样，电流被从负载板驱动到端子，在内部流动到另一个端子，然后返回到负载板。不过，在开尔文测试中，每一个端子同时电接触两个接触件。这一对接触件中的一个接触件供应已知量的电流(I)，这和传统测试中所做的一样，而一对接触件中的另一个接触件测量电压(V)而不汲取大量电流。由已知量的电流(I)和电压(V)，可以使用欧姆定律(V＝IR)来确定负载板上两个特定端子之间的电阻R(＝V/I)。

施力或“电流”接触件可以被看作是低电阻或低阻抗接触件，而感测或“电压”接触件可以被看做是高电阻或高阻抗接触件。注意，典型的电压计以类似于高电阻感测或“电压”接触件的方式工作。

图3和图4示出执行开尔文测试的测试器。很多元件与图1和图2中所示的传统测试器的元件相类似，并且相应地进行了编号。

注意，对于每个端子2，都有一对接触焊盘4，其中一对中的一个用于电流，另一个用于电压。对于每个端子2和每一对接触焊盘4，还有一对接触件20，每一个接触件将接触焊盘4与相应的端子2电连接。注意，每一对中的两个接触件彼此之间通常是电绝缘的，并且在端子2与接触焊盘4之间形成电连接9。图12示出用于图3和图4的测试装备的两对端子/接触件的全貌图。

在图3和4的示意图中，将接触件20都画成形状和尺寸类似，并且处于彼此相邻的位置上，从而使得端子同时与两个接触件进行接触。虽然这从电子的角度而言就足够了，但是在机械方面还有很多不足之处。例如，端子可能会关于接触件横向错位，从而端子只能接触到一个接触件而接触不到另一个接触件。此外，具有这种开尔文测试方案的隔板可能在机械方面比可比较的传统测试方法复杂，这是因为接触件的数量实际上加倍了，而供接触件使用的侧面面积却保持不变。一般来说，由于部件的尺寸很小，并且需要弹簧、弹性体或某种其他机械阻力产生装置来为每个接触件产生z轴柔量，所以将如此之多的接触件安置在如此之小的面积内在机械方面是一个挑战。结果，存在着对图3和图4中所示的电气方案的机械布置进行改进的需求。本文的剩余部分解决这一需求，并且给出优于图3和4的肩并肩设计的各种不同的机械布局。

一个简单的特征是，主要或单独依赖于施力(电流)接触件具有回弹性，即，在对待测器件施力使其与测试器接触时在端子上向回推的弹力或抵抗力。这减小了感测(电压)接触件所需的机械复杂度。

此外，在某些情况下，感测接触件可以具有不如施力接触件严格的电气要求，这是因为感测接触件的目的是在不汲取大量电流的前提下测量电压。这样的低电流流量可以允许感测接触件比施力接触件要薄，并且可以允许感测接触件弯曲成多种多样的形状和指向。这些形状中的某一些对于感测接触件而言是可以接受的，但是如果将它们用于电气要求更高的施力接触件，则可能表现出不能接受的高频性能。

从感测接触件上移除回弹力并且放松对电气性能的标准，可以允许感测接触件具有多种多样的指向和形状。

例如，感测接触件的一端可以位于与施力接触件的顶端相邻的位置上。于是感测接触件可以沿着插入器或外壳(有时也称为隔板)的顶表面总体上横向地延伸，可以向下弯曲穿过外壳中的孔，并且可以在穿过外壳之后接触负载板上相应的接触焊盘。

图5的设计50示出示例性外壳51的一部分，横向排列成与待测器件1上的端子2相对应的穿过外壳51的孔53的阵列，向上(朝向待测器件1)穿过孔53凸出的两个示例性施力(电流)接触件，远离施力接触件52的顶部横向延伸的两个示例性感测(电压)接触件54，和待测器件1上分别接触施力接触件52和感测接触件54二者的两个示例性端子2。最左边的示例性端子2相当于待测器件1仅刚刚接触测试器5时的状态，最右边的示例性端子2相当于待测器件1被施力与测试器5接触时的状态。

在每个施力接触件52上，都有从顶端移除的容纳感测接触件54远端的一部分的凹口。当对待测器件1施力使其与测试器5接触时，每个端子2与各自的施力接触件52和各自的感测接触件54两者机械地并且电气地接触。接触件54具有平面臂54a、凸起54b，凸起54b优选地沿着到达接触点54c的直线从外壳表面上升起。凸起54b也可以是弓形的、凹形的或凸形的。接触点54c优选地在其末端具有锐角交点。锐角有助于在插入期间移除端子2上的氧化物。

对于施加了很小或者没有施加接触力的情况(图5中所示的最左侧的端子2)，施力接触件52在其自身回弹力的作用下向上凸出。感测接触件54远端的一部分也被向上弯折，从而其叉齿54a(图6中)与部分64的平面之间成20至30度的角度(即，20度或者21、...、30度)。叉齿54a还成朝向施力接触件62向内逐渐缩小的锥形，优选地沿直线形成三角形尖端(图6)或矩形(图5)，但是也可以沿着弓形线到达尖端。感测接触件54可以具有附接在外壳51上或者与外壳51整体形成的固定部分、与施力接触件52横向分离的铰接部分和朝向施力接触件52的顶端延伸的超出铰接部分的自由部分。

感测接触件54可以形成为多层，并且可以安装到外壳51的顶表面上，或者安装在依靠在外壳51上的隔板上。例如，最接近外壳51的那一层可以使半刚性膜状层，这一层是不导电的。这一层可以是由聚酰亚胺、kapton、PEEK或者任何其他适当材料制成。可以在膜状绝缘体顶部上沉积一个导电层，并且可以沉积成不相交的条带状，其中每个条带对应于一个特定的端子2。

感测接触件54的这样的层结构可以与施力接触件52任何适当构造一起使用，这是因为没有在任何施力接触件52之间直接在外壳内部增加元件。在1998年5月12日授权给Johnson等人的标题为“Electrical interconnect contact system(电子互连接触件系统)”的美国专利号5,749,738中公开了一种可以使用的示例施力接触件52。也可以使用其他适当的施力接触件52。

注意，对于减小由于氧化层积聚导致的接触电阻，从感测接触件54对端子2的刮擦是有一定益处的。因为铰接部分相对靠近于电流接触件，所以与电流接触件的垂直偏转范围相比，自由部分相对较短。结果，对于感测接触件54的垂直挤压存在着显著的横向分量。实际上，这意味着当待测器件1上的端子2最开始接触感测接触件54时，它在端子2上的特定位置上进行接触。随着端子2进一步偏转/挤压感测接触件54，感测接触件54沿着水平方向滑动，不过不会越过端子2向一旁朝着施力接触件滑动。这一滑动通常被认为是有益的，这是因为它可以穿透端子2上已经积聚起来的任何氧化层。

接触件的具体几何结构决定了滑动的精确量。对于以角度A向上延伸地开始其行程并且与外壳齐平(角度为0)地结束其行程的长度为L的刚性自由部分，刮擦行程的水平范围是L(1-cosA)。注意，该行程的垂直范围是L(sinA)。实际上，如果自由部分过长，那么就不会有足够的横向行程来产生显著的刮擦。类似地，如果自由部分过短，那么就会有在使用期间由于弯折或折断接触件的延伸部分毁坏自由部分的风险。

图6示出感测(电压)接触件64的另一种机械设计60。这里，每一个感测接触件64形成叉形，该叉形具有延伸到相应的施力接触件62的相对两侧的叉股。感测接触件64的叉股有助于在使用期间通过防止或减小横向摆动而保持施力接触件62横向对准。由于在施力接触件62两侧都有可能的连接，任何的器件不对准都会导致与叉形的至少一侧进行接触。

在这种情况下，离开叉形，感测接触件64是实心的导电构件，它位于测试接触器外壳61之上。感测接触件64沿水平方向远离施力接触件62地延伸，向下弯曲穿过外壳61上的孔，从外壳61中露出并且接触负载板3上相应的接触焊盘4，如图13和14所示。

叉形上的每个叉股包括向上弯折的尖端，该尖端部分地或完全地朝向待测器件1倾斜。当对待测器件1施力使其与测试器5接触时，端子2与施力接触件62的顶端和感测接触件64的叉股上向上弯折的尖端相接触。向上弯折的尖端可以是刚性的(具有在使用期间不会显著变化的明确的角度)或者可以是具有弹簧柔性的。向上弯折的尖端还使得感测接触件能够避开器件本身上的任何凸出的毛刺。

对于刚性(不弯折)尖端的情况，会从端子上刮擦下来一些氧化物。尖端的尖锐点穿透端子上的氧化物。对于柔性尖端的情况，会以前面参照图5描述的方式，存在明显的刮擦。随着端子2接触感测接触件尖端，感测接触件发生垂直偏转，使得感测接触件的水平部分沿着外壳的表面发生伸缩。这在感测接触件与端子2之间提供了接触力。

在图6的设计60中，外壳61可以包括围绕着或接近施力接触件62的区域中的沟槽，从而感测接触件64可以略微凹陷到外壳内。接触件64可以包括平面部分64a、上升部分64b和一对叉齿64c。叉齿64c可以具有尖锐的或点状的接触接合表面，这个接合表面将会从端子2上移除氧化物。上升部分64b可以是线性的(直线形的)或者沿着弯曲路径到达尖端64c。叉齿64c可以具有如图所示的三角齿或者其他锥形的或非锥形的结构。优选地，叉齿64b围绕着接触件62的2侧、3侧或者4侧，以帮助引导其对准。

图11示出设计110，其中感测接触件114可以具有由设置在感测接触件114的叉股与外壳111之间的弹性体材料“垫块”119(或图22中的柱状物519)提供的另外的回弹力。除了来自施力接触件112的任何已有回弹力之外，这一“垫块”119可以为接触件提供另外的回弹力。

图7表示另一种叉形设计，其中感测接触件被形成为多层，如前面按照图5所做的那样。

对于图7的设计70，每一个感测(电压)接触件74具有可以固定也可以不固定的沿着隔板或外壳71的部分75和远离外壳71铰接地延伸的自由部分76。有一个将固定部分75与自由部分76连接起来的铰接部分77，该铰接部分77沿横向与相应的施力(电流)接触件72分离开。自由部分76具有位于其末端的叉形部分78，该叉形部分78在相应的施力接触件72的末端的相对两侧延伸。注意，在图6中，接触件64的自由部分要比图7中的自由部分长，从而允许更大的伸缩和偏转。换句话说，通过将固定点移动得距离尖端更远，伸缩度得到了增加，其他一切都是一样的。

当对待测器件1朝向测试器5施力时，待测器件1上的相应端子2同时挤压施力接触件72穿过外壳71上的相应孔73并且朝向外壳71挤压感测接触件74的自由部分76。

就象本文示出的其他设计一样，待测器件1上的每一个端子2与相应的施力接触件72的顶端进行直接电气和机械接触。待测器件1上的端子2还与相应的感测接触件74的叉形部分78进行直接电气和机械接触。施力接触件72并不与感测接触件74进行电气接触，尽管它们二者都会机械和电气地接触待测器件1上的端子2。

就象图5中所示的设计一样，固定部分75可以是电镀到外壳71上的，或者固定部分75也可以是自由悬浮的并且面对着待测器件1。当感测接触件74是通过这样的电镀形成的时，每一个感测接触件74通常是平面的，包括面向待测器件1的导电层79A，并且包括背向待测器件1的电绝缘层79B。

对于图7的叉形设计，每一个感测接触件74一般来说是平面的，每一个叉形部分78包括两个平行的叉股，并且每一个叉股包括延伸出感测接触件74的平面的直接与相应的施力接触件72相邻的抬升边缘。抬升的或向上弯折的边缘(在下面的带引线的构造中是向下弯折)可以通过朝向待测器件1将叉股的矩形部分弯折到它的平面之外来形成，该平面可以是由感测接触件的相邻部分(通常是平面的)限定的。

对于图7的示范性设计70，沿着垂直于叉形部分78并且平行于外壳71的维度，待测器件1上的相应端子2大于相应的施力接触件72。这有助于确保器件I/O或端子2与施力接触件72和感测接触件74二者直接接触，这是因为即使在端子2与接触件之间沿着前面提到的维度存在不对准，除了直接接触施力接触件72之外，端子2也将直接接触感测接触件74的叉形部分78的至少一个叉股。

图7的设计可以允许从端子上有利地刮擦掉氧化物，如前面参照图5所描述的那样。

在图8中，随着施力(电流)接触件82在其整个挤压范围内受到挤压，感测(电压)接触件84总地来说保持与外壳81平行并且可以沿着外壳81进行横向滑动或平移。在这一设计中，感测接触件84完全地在横向上围绕着施力接触件82，从而如果施力接触件82横向平移，则感测接触件84可以随之而动。

更加具体地讲，感测接触件84可以沿着施力接触件82的横向截面进行平移。这里有一些澄清性例子。如果施力接触件82完全是柱状的(即，每个横向平面上的横截面是相同的，其中每个横截面不必是圆形的或椭圆形的)、完全沿纵向指向并且完全沿纵向受到挤压，那么施力接触件82根本没有横向平移，并且感测接触件84不会运动。如果施力接触件82在形状上是柱状的，但是关于纵方向倾斜，并且纯粹在纵向上受到按压，那么施力接触件82的横截面会平移，并且感测接触件84会跟随这一平移并且也会沿横向平移。如果施力接触件82形状上是柱形的并且在其受挤压时具有旋转分量，就好象对于其受挤压有一个离轴枢转点一样，那么其受挤压就会有一个横向分量，其范围由枢转点位置决定。如果施力接触件82在形状上不是真正的柱形，那么感测接触件84可以通过形状、尺寸和/或指向的变化沿着其横截面运动。例如，施力接触件82可以具有在纵向受挤压范围内横向上升或下降的特定边缘，并且对于受挤压范围的全部或一部分，感测接触件84可以随着该特定边缘运动。

感测接触件84的这一横向平移可以实现从端子2上有利地刮擦掉氧化物，如前所述。例如，感测接触件84可以包括延伸出感测接触件84的平面之外的特定要素，比如叉股、支架、凸缘或臂。这一延伸要素85可以在端子2上起到象刀刃一样作用，并且能够帮助刮擦掉存在的任何氧化层。它还作为帮助接触件82保持对准的导轨。在图8的示例性设计80中，感测接触件84包括朝着待测器件1向上弯折的臂，该臂与施力接触件82的相邻面总体上平行。其他适当的指向也是可行的。

在大多数情况下，在纵向受挤压的范围内，施力接触件横截面的横向平移小于待测器件1上端子2的大小，从而施力接触件82在使用期间不会“离开”器件I/O或端子2。

在图8的示范性设计80中，感测接触件84完全沿横向围绕着施力接触件82延伸。可替换地，在感测接触件84上可以有一个或多个间隙，从而它仅仅部分地围绕着施力接触件82延伸。例如，可以有沿着一个或多个侧边的间隙，从而感测接触件84仍然可以“抓住”施力接触件82来进行横向平移。在某些情况下，感测接触件84包括围绕着施力接触件82的部分或完整叉状结构，以及垂直于叉股的、能够在其受挤压范围内接合施力接触件82相对两侧中的一侧或两侧的局部或完整部分。

图9示出类似于图5的接触件设计90，但是使用了相对刚性的杆95作为感测(电压)接触件94。施力(电流)接触件92具有容纳感测接触件杆95末端的凹口，从而待测器件1上的端子2可以独立地直接接触施力接触件92和感测接触件94二者。感测接触件94和/或施力接触件92上可选的电绝缘涂层可以帮助防止两个接触件短路。

杆95沿着外壳91面对待测器件1的侧面沿横向地远离施力接触件92延伸，然后穿过外壳91中的孔，穿出外壳91并且接触负载板3上的相应的接触焊盘4。注意，杆95的任何一段或者全部各段可以是直的，可以具有一定周期或不规则的弯曲度和/或可以是盘旋状的。

对于图9中所示的示例性杆95，杆95并不会显著刮擦端子上的任何氧化层。

图9的单杆的变型是双杆，如图10中所示。

在图10的设计100中，感测(电压)接触件104包括两个杆105，施力(电流)接触件102一边一个，这两个杆沿着外壳101的顶部侧面远离施力接触件102横向延伸。杆105可以在某一点上接在一起而形成叉形部分，类似于前面示出的叉形结构。可替换地，杆105可以随着它们延伸跨越外壳101而保持分离的状态。杆105可以通过外壳101上的单独一个孔合在一起或者通过外壳101上各自的孔分开地穿过外壳101。类似于前面示出的很多设计，在施力接触件102的每一侧具有两个感测接触件104增加了未对准时的冗余度，并且还会起到使施力接触件102处于器件I/O或端子2的中心上的自动对准工具的作用。杆105优选地具有直线(直的)部分，以及然后总体上与直的部分垂直地延伸的弯曲或倾斜部分。

在某些情况下，可以使一个杆或多个杆105下沉到外壳101上的一个相应沟槽或多个沟槽中。这样的沟槽可以保护杆105不致损坏。此外，这些沟槽可以帮助将杆105附接到外壳101上或者有助于将杆定位到接近施力接触件102的位置上。此外，因为杆105可以是导电的，所以外壳101可以由电绝缘体制成并且可以有助于将每个杆105与其他杆105以及与接近杆105的其他元件电绝缘。而且，杆105可以涂有电绝缘材料，以防止与它们的相应施力接触件102短路。可以使用各种各样的材料，包括聚对亚苯基二甲基、Teflon

、Peek

、Kapton等等。

在某些情况下，每个杆105具有朝向待测器件1弯折出外壳101的平面的末端。这种弯折的末端可以改善与待测器件1上端子2的电接触。这种弯折末端还可以将电接触定位到接近折弯的区域上，从而离开折弯，每个杆105通过它所处于其中的环绕沟槽而被电绝缘。

在某些情况下，有与每个施力接触件102相关联的一对杆105，这一对杆105被放置在施力接触件102的相对两侧。杆105具有根据情况朝向待测器件1弯折出外壳101的平面的末端，这些末端跨越施力接触件102。然后杆105沿着外壳101在同一方向上离开施力接触件102延伸，可选地处于外壳101上平行沟槽内。这些平行沟槽可选地形成在安装到外壳101上的分离的定位板上。这些末端还可以指向一个汇聚点。

沿着垂直于杆105并且平行于外壳101的维度，待测器件1上的相应端子2大于相应的施力接触件102。总地来说，当朝向外壳101对待测器件1施力时，待测器件1上的相应端子2同时挤压施力接触件102穿过外壳101上的相应孔103并且接触相应感测接触件104的至少一个导电杆105的末端。

在某些情况下，杆105与施力接触件102直接相邻。这些杆可以有助于在使用期间将施力接触件102保持在正确位置上并且可以有助于防止摆动，这一点是很有利的。

在某些情况下，每个杆105是细长的柱状物，可选地具有圆形的截面。在其他一些情况下，每个杆105可以具有矩形或正方形截面。在某些情况下，每个杆105可以是与外壳101分开形成的，然后再连接到外壳101上或由对准板保持在正确位置上，可以将对准板安装到外壳上。在其他一些情况下，每个杆105可以是与外壳101一体制成的，比如通过电镀到外壳101的表面上或者电镀到外壳101上的沟槽内。

图13是设计130的侧视截面图，示示感测(电压)接触件134在其从待测器件上的端子2到负载板3上的接触焊盘4的路径上的样本几何结构，负载板3上具有多个预定间隙的小孔142。

接触件134沿着外壳131的表面远离端子2横向延伸，弯折大约90度(垂直的)延伸穿过外壳131上的孔(部分134b)，并且弯折(部分134c)总体上等于或者优选地略小于90度，以大致平行于外壳131穿过小孔142之后的相对面。这种总体上等于或优选地小于90度的弯折为负载板焊盘4提供了一定的偏置力，从而确保紧密连接。当接触负载板3上的电接触焊盘4时，接触件134的一部分沿纵向被设置在接触焊盘4和外壳131之间。小孔142的尺寸被设置为大于从中穿过的接触件部分的厚度。在优选的实施方式中，小孔是矩形的或者与从中穿过的接触件的形状相同，并且接触件部分134b与小孔壁之间产生的间隙应当足够大，回转力(杠杆作用)可以被从由焊盘4(或2)施加到接触件134c/d上的力传递到焊盘2(或4)上的接触件134上。这样，间隙宽得足以控制穿过小孔的接触件的位置，但是仍然能够传递这样的力。典型地，宽度是接触件厚度的两或三倍的小孔可以满足需要。

注意，这一横截面图可以适合于前面示出的感测接触件总体上是平面的(图5至图8和图11)或者总体上是杆状的(图9至图10)任何一种设计。在感测接触件是自支撑导电基板(比如导线或金属板)的那些情况下，基板可以按照图13的几何形状弯折。在感测接触件是涂敷或电镀到电绝缘基板上的那些情况下，绝缘基板可以按照图13的几何结构弯折。

在图13的具体设计130中，接触件134的两端都朝向待测器件上的端子2弯折。针对这种几何结构还有多种其他替换。

例如，图14示出类似于设计130的设计140，其中接触件144沿着外壳141的表面远离端子2横向延伸，弯折90度(部分134b)穿过外壳141上的孔142，并且弯折(部分134d)大约等于或优选地略小于90度，以大致平行于外壳141的相反面。这种总体上等于或优选地小于90度的弯折为负载板焊盘4提供了一定的偏置力，从而确保紧密连接。与图13的设计130不同，图14的设计140具有沿着相反两个方向延伸的接触件144的相反两端，而不是两端都朝着端子2延伸。

图14的设计140可能会有比图13的设计130更有利的优势。例如，接触件144本身可以更加易于制造和装配。在某些情况下，这样的接触件144可以比相应的接触件134更加容易弯折。在某些情况下，图14的几何结构可以对推针施力使其进入位置(见前面的回转力)，从而确保装配部件的牢固。在某些情况下，按照图14的几何结构，关于外壳141上的孔，端子2或4产生的扭矩可以对接触件144的端部施力使其与负载板3上的接触焊盘4或2接触，这会是期望的。这提供了朝向待测器件推动感测接触件的偏压并且使得将端子2与感测接触件141更容易对准。

术语“大致平行”，如前面所用的那样，表示与接触焊盘4直接相邻的接触件134和144上的90度弯折可能实际上小于90度。例如，弯折可能处于以下的范围之内：70-90度、75-90度、80-90度、85-90度、70-85度、75-90度、70-80度、75-85度、80-90度、70-75度、75-80度、80-85度和/或85-90度。在某些情况下，弯折角度可以是80度。

注意，接触件134和144上的折弯中的任何一个或者全部都可选地是圆弧状的，而不是图13和14中所画的那样是锐角。这些圆弧可以简化接触件134和144的制造过程。

至此，已经总体上将感测(电压)接触件示出为向上朝着待测器件1上的端子2延伸的杆或一套叉股。感测接触件的端部可选地具有某种结构，这种结构在某些情况下可以帮助实现前面介绍的刮擦功能。在图15-20中示出了一些例子。

图15是一对具有从中央的施力(电流)接触件152向外倾斜成一定角度的尖端155的跨式感测接触件154的侧视示意图。倾斜可以局限于纸面内，或者也可选地延伸出或延伸入纸面。

图16是一对感测接触件164的顶视示意图，在它们的末端处，这一对感测接触件164包括朝向彼此延伸在远点汇合的横向延伸部分166。感测接触件164，包括它们的横向延伸部分166，围绕着中央的施力接触件162。

此外，横向延伸部分166朝向待测器件1上的端子2(未示出)伸出纸面之外。在图16的图中，端子2会处于纸面和观察者之间。横向延伸部分166的尖端167将会比接触件164的其余部分更接近观察者。注意，接触件166、167总体上垂直地远离臂165延伸，从而它们彼此平行并且与穿过接触件162绘制的纵轴169相交。

图17是一对感测接触件174的顶视示意图，在它们的末端175处，这一对感测接触件174包括朝向彼此延伸并且总体上与它们的臂174正交的横向延伸部分176。感测接触件174，包括它们的横向延伸部分176，并不围绕着中央的施力接触件172，而是与穿过172的纵轴169相交。可以把中央的施力接触件172想象为处于由该对感测接触件174和它们的横向延伸部分176形成的多边形的“外部”。

和图16一样，横向延伸部分176伸出纸面之外，端子会处于纸面和观察者之间，并且横向延伸部分176的尖端177会比接触件174的其余部分更加接近观察者。

图21是一对感测接触件214的顶视示意图，在它们的末端215处，这一对感测接触件214包括朝向彼此延伸的横向延伸部分216。感测接触件214，包括它们的总体上正交的横向延伸部分216，围绕着中央施力接触件212，中央施力接触件212穿过接触件214和215之间的间隙。横向延伸部分216的尖端217将会比接触件214的其余部分更接近观察者。这里，横向延伸部分216处于施力接触件212的相对两侧。

图18是单独一个感测接触件184的顶视示意图，在其末端185处，这个感测接触件184包括延伸到中途围绕着施力接触件182的横向延伸部分186。和附图16和17一样，横向延伸部分186延伸出纸面之外，端子会处于纸面和观察者之间，并且横向延伸部分186的尖端187会比接触件184的其余部分更加接近观察者。

图19是单独一个感测接触件194的顶视示意图，在其末端195处，这个感测接触件194包括并不延伸到中途围绕着施力接触件192的横向延伸部分196。横向延伸部分196处于施力接触件192的相对一侧，和图18中所示的横向延伸部分186一样。和附图16至图18一样，横向延伸部分196延伸出纸面之外，端子会处于纸面和观察者之间，并且横向延伸部分196的尖端197会比接触件194的其余部分更加接近观察者。

图20是一对具有朝向彼此倾斜并且在中央施力接触件202上方或旁边彼此交叉的尖端206的感测接触件204的侧视示意图。凸舌或尖端206可以在施力接触件202之后或之前跨越施力接触件202。在与待测器件上的端子2接触期间，端子向下推动尖端206，对它们施力使其彼此远离，造成擦洗动作来穿透端子2上的氧化层。氧化物的清除是本实施方式中的一项重要成果。倾斜可以局限于纸面内，或者也可选地延伸出或延伸入纸面。交叉臂可以至少在它们的背侧上具有不导电涂层，以防止与接触件202短路，或者接触件202可以刚好被形成得不能接触尖端206。

一般来说，感测接触件可以具有可以朝向待测器件上的端子延伸出隔板平面的尖端或凸舌。当接触到端子时，凸舌可以独立于感测接触件的其余部分的运动或指向而弯折或伸缩。这一运动可以是弯折运动，比如利用一般的弹性材料，并且可选地在凸舌的将其与感测接触件的其余部分连接起来的近端末端处包括铰接结构。凸舌可选地朝向、跨越或围绕着施力接触件横向延伸。在某些情况下，有单独一个感测接触件，其具有经过施力接触件横向延伸的尖端，从而施力接触件部分地处于感测接触件的范围“之内”或者部分地处于感测接触件的范围“之外”。在其他一些情况下，有具总体上彼此平行的两个感测接触件，具有朝向彼此延伸的尖端，从而施力接触件部分地处于两个感测接触件的范围“之内”或者部分地处于两个感测接触件的范围“之外”。可替换地，这些尖端可以远离彼此横向延伸，或者可以沿着任何大体横向的方向延伸，除了朝向待测器件上的端子延伸出平面之外。

虽然施力(电流)接触件一般情况下要比感测(电压)接触件厚一些，并且前面的描述也假设了这一点，但是应当注意，两个接触件的功能是可以转换的，从而较薄的接触件输送电流，较厚的接触件测量电压。对此的优选应用应该是使外壳沟槽中的接触件较薄，并且使外壳之上的接触件较厚，以处理更多电流。

除了球栅阵列(BGA)和在器件底侧上带有焊盘的其他无引线封装之外，本发明的结构也可以应用于某些带有引线或导线的特定集成电路中的部件上，称为引线接触件封装。

附图22-32图解说明的是用于带引线的封装的开尔文接触件。从BGA封装或者在器件底层上带有焊盘的封装所用的元件类似这个意义上来说，它们将会具有增加了500的相同的部件编号。因此，BGA中的接触件2在带引线的封装中就以接触件502的形式出现，以此类推。

附图22、22、23和24示出带有多个引线502a的引线器件(DUT)501，每一个引线502a具有接触件502。和焊盘封装中的情况一样，施力接触件552通常在其中央部分与引线502进行接触。接触件552受到元件519的向上偏压，元件519类似于垫块119(图11)，但优选地是柱状的。(注意，柱状外形也可以用在焊盘或BGA构造中。)使用第二偏压块519a来对摆动销600施加向下的力。摆动销600类似于美国专利5069629和7445465中所示的那种摆动销，并且这种摆动销以引用的方式并入本文。

接触件延长部544如图22中所示那样形成，从而它们沿着到达负载板503的路径延伸，在负载板503上它们进行电接触。延长部提供了更加容易的负载板布局并且有助于更加容易地在负载板上寻迹路由。图22中感测接触件尖端具有双股叉形设计。在这种情况下，叉形的尖端在水平方向上是平坦的，没有象图6中那样的向上弯曲。这使得待测器件的端子引线边缘能够沿着叉形的顶面刮擦并且移除氧化物。

图25、26、27、28、29、30、31和32针对施力接触件552和感测接触件554如何对三种不同的概念起作用而提供更多的细节。图27、28和29中的施力接触件具有完整宽度的施力接触件600。图25、26、30、31和32中的施力接触件具有减小了厚度的尖端552，这是为了防止与感测接触件554短路，并且为了提供更象刀刃的边缘(即，尖端比基底更窄)来穿透待测器件引线上的氧化层。在图31中，示出了凸缘620，该凸缘620是尖端552变窄的部分。图27示出图26的替换方案，其中类似于图20和21中所示的概念，感测接触件554的末端被提升出纸面。首先，施力接触件尖端552优选地具有“牙齿状冠部”，具有斜坡或凹陷552a。图25、26、30和31中的感测接触件554具有以两个叉齿554a和554b终结的叉形末端，在它们的远端末端，具有离开接触件554的平面以20-30度(即，20、21、...或30度)的角度向下(焊盘封装叉齿554a的反向)倾斜的叉齿。图32示出对双股叉齿方案的替换方案，其中施力接触件尖端552偏移到一侧并且感测接触件554具有仅仅一个叉齿。施力接触件尖端与感测叉齿之间的间隙处于器件引线中心线的中央，以确保充分接触。接触件554的末端可以在其下表面上形成有倒角或者是圆形的，以提供适当的空隙。施力接触件600的内周602被切掉(即，减小了前到后的厚度)，以确保与感测接触件554之间在其运动时的空隙。

在操作中，接触件600响应于与引线接触件502的接触从图29所示的两个位置“摆动”。类似地，感测接触件554在所示的两个位置之间运动。图30中各种不同组件的运动与图29是一样的，只是图30示出了具有向下倾斜叉齿的感测接触件和减小了尖端宽度的接触件600。注意，叉齿不必向下倾斜以发挥作用。

图32示出图31的双叉齿结构的变型。在这种情况下，感测接触件554仅仅具有单独一个叉齿554a，这个叉齿554a可以具有或不具有向下倾斜的部分(比如图31中所示的)。这使得施力接触件能够在需要的前提下具有较大的接触面面积。在这一设计中，施力接触件尖端发生了偏移并且不集中在接触件600的宽度上。

图33以下列方式提供了澄清。在这一实施方式中，感测接触件554不是叉形的。此外，感测和施力接触件优选地是共线的，但是优选地彼此永不接触。对于这两个接触件，可以在插入时彼此短暂接触，如果这样构造了，图33示出处于两个位置上的引线接触件502。最后的问题是在哪里进行第一次接触。感测接触件554首先碰到引线502，并且随着554因其自己的回弹力或者可替换地抵靠着弹性元件519a而受到压力，将会在两个接触件之间有刮擦动作。如前述接触件中所示，感测接触件554受到向下的挤压，直到它处于摆动的施力接触件552后面并且与之相邻。很明显，它们一直是共线对准的。随着接触件552响应于弹性体519发生摇摆，在接触件502和552之间还会有刮擦动作。

本公开文本还固有地包括构造按照本发明的装置的方法。此外，还有在待测器件与具有测试接触件的测试夹具之间进行临时接触时使接触电阻最小的方法。使电阻最小是前面描述的刮擦动作的目标。测试夹具具有施力和感测夹具接触件，用于接纳测试接触件，并且包括至少以下步骤的一些或全部：

a.共线地对准感测和施力接触件

b.弹性地将感测接触件定位在施力接触件上方的平面内，但是在施力接触件侧面，

c.使得测试接触件与感测接触件进行物理接触

d.通过测试接触件使感测接触件偏转，导致感测接触件在偏转期间刮擦测试接触件

此外，该方法还可以包括下面的步骤或其部件：通过将施力接触件构造成具有响应于碰撞的摆动，使得施力接触件能够在它碰到测试接触件时被偏转。

本文提出的本发明的说明书及其应用都是说明性的，并不是打算用来限定本发明的范围的。本文公开的实施方式的变型或改变都是可行的，并且本领域普通技术人员在研究了本专利文献之后将会理解这些实施方式的各种不同元素的切实可行的替代选择和等价物。可以在不超出本发明的范围和精神的情况下，对本文公开的实施方式进行这些和其他的变型和改变。

Claims (39)

1.一种在具有多个端子(2，502)的待测器件(1)之间形成多个临时机械和电气连接的装置，包括：

朝向待测器件(1，501)延伸并且可偏转的多个导电施力接触件(72，552)，所述多个施力接触件中的每一个施力接触件(72，552)被横向地排列成与一个端子(2，502)相对应；以及

多个导电的感测接触件(74，554)，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件(74，554)被横向地排列成与一个施力接触件(72，552)和一个端子(2，502)相对应，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件(74，554)朝向待测器件(1，501)延伸，接近相应的施力接触件(72，552)；

其中多个感测接触件中的每一个感测接触件(74，554)包括朝向待测器件(1，501)弹性地延伸的可自由移动的部分(76，554)

其中感测接触件在横向上与相应的施力接触件(72，552)分离开；并且

其中自由部分包括位于其末端的叉形部分(78，554a，b，c，d)，该叉形部分在相应的施力接触件(72，552)的末端的相对两侧延伸。

2.一种在具有多个端子(2)的待测器件(1)与具有多个接触焊盘(4)的负载板(3)之间形成多个临时机械和电气连接的装置，每一个接触焊盘(4)被横向地排列成与刚好一个端子(2)相对应，该装置包括：

纵向上与负载板(3)上的接触焊盘(4)相邻的横向指向的电绝缘外壳(71)；

多个导电的施力接触件(72)，这些施力接触件朝向待测器件(1)延伸穿过外壳(71)上的纵向孔(73)并且可以穿过外壳(71)上的孔(73)偏转，所述多个施力接触件中的每一个施力接触件(72)被横向排列成与刚好一个端子(2)相对应；以及

多个导电的感测接触件(74)，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件(74)被横向地排列成与刚好一个施力接触件(72)和刚好一个端子(2)相对应，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件(74)朝向待测器件(1)延伸，接近相应的施力接触件(72)；

其中多个感测接触件中的每一个感测接触件(74)包括沿着外壳(71)的固定部分(75)、远离外壳(71)铰接地延伸的自由部分(76)以及连接固定部分(75)和自由部分(76)的铰接部分(77)；

其中铰接部分(77)在横向上与相应的施力接触件(72)分离开；并且

其中自由部分(76)包括位于其末端的叉形部分(78)，该叉形部分在相应施力接触件(72)的末端的相对两侧延伸。

3.权利要求1的装置，其中当向下对待测器件(1，501)施力时，待测器件(1，501)上的相应端子(2，502)同时对施力接触件(72，552)和感测接触件(74，554)的自由部分施力。

4.权利要求1的装置，

其中多个端子中的每一个端子(2，502)与相应施力接触件(72，552)的末端进行直接电气和机械接触；并且

其中多个端子中的每一个端子(2)与相应感测接触件(74，554)的叉形部分(78，554abcd)进行直接电气和机械接触。

5.权利要求2的装置，其中固定部分(75)被镀到外壳(71)上并且面向待测器件(1)。

6.权利要求1的装置，其中多个感测接触件中的每一个感测接触件(74，554)：

总体上是平面的，

包括面向待测器件(1，501)的导电层(79A)，并且

包括背向待测器件(1)的电绝缘层(79B)。

7.权利要求1所述的装置，

其中多个感测接触件中的每一个感测接触件(74，554)总体上是平面的，并且

其中每一个叉形部分(78，554abcd)包括两个平行的叉齿；并且

其中各个叉齿包括与相应施力接触件(72)直接相邻的延伸出感测接触件(74)的平面之外的唇缘。

8.权利要求6的装置，其中唇缘是通过将叉齿的矩形部分朝向待测器件(1，501)弯折出它的平面而形成的。

9.权利要求1的装置，其中沿着垂直于叉形部分(78，554)的维度，待测器件(1，501)上的相应端子(2)大于相应的施力接触件(72，552)。

10.权利要求1的装置，其中叉形部分(78，554)包括处于其末端的朝向彼此横向延伸至少部分交汇的尖端。

11.权利要求1的装置，其中所述感测接触件(554)和所述施力接触件(552)是共线对准的。

12.权利要求1的装置，其中所述感测(554)接触件被定位成，当所述待测器件被施加到其上时，首先与所述器件的端子(502)进行接触，此后所述施力接触件(552)才与所述端子进行接触。

13.权利要求1的装置，其中所述感测(554)接触件被定位在所述施力接触件(552)上方并且在定位得与施力接触件(552)共线的同时沿横向与所述施力接触件(552)分隔开，从而当所述待测器件被施加到其上时，感测接触件首先与所述器件的端子(502)进行接触，此后所述施力接触件(552)才与所述端子进行接触。

14.权利要求1的装置，其中所述感测接触件(554)相对所述端子(502)而被弹性偏置，并且随着端子按压所述感测接触件借助感测接触件的角运动而在那里横越地滑动。

15.权利要求1的装置，其中所述感测接触件包括远端叉形末端，该远端叉形末端包括一对叉齿(554ab)。

16.权利要求15的装置，其中所述叉齿向下倾斜。

17.权利要求15的装置，其中所述叉齿向上倾斜。

18.权利要求1的装置，其中所述施力接触件(552)包括尖端，并且其中所述尖端包括位于其中的凹槽(552a)。

19.权利要求1的装置，其中所述施力接触件(552)与所述感测接触件(554)共线对准，并且其中施力接触件被形成为这样：当端子使感测接触件向下偏转时，感测接触件上不会受到撞击。

20.权利要求1的装置，其中施力接触件(552)具有比其底部更细的尖端，并且其中该尖端穿过至少在两侧围绕着该尖端的一对叉齿(554a-b)。

21.权利要求1的装置，其中施力接触件(552)具有比其底部更细的尖端，并且其中该尖端相邻地经过感测接触件(554)上的单独一个叉齿(554c)。

22.一种在待测器件与具有测试接触件的测试夹具之间进行临时接触时使接触电阻最小的方法，测试夹具具有施力和感测夹具接触件，用于接纳测试接触件，该方法包括：

a.共线地对准感测和施力接触件

b.弹性地将感测接触件定位在施力接触件上方的平面内，但是在施力接触件侧面，

c.使得测试接触件与感测接触件进行物理接触

d.通过测试接触件使感测接触件偏转，导致感测接触件在偏转期间刮擦测试接触件。

23.权利要求22的方法，还包括步骤：通过将施力接触件构造成具有响应于碰撞的摆动，使得施力接触件能够在它碰到测试接触件时被偏转。

24.权利要求10的装置，其中尖端彼此交叉。

25.一种在具有多个端子(2，502)的待测器件(1，501)与具有多个接触焊盘(4)的负载板(3)之间形成多个临时机械和电气连接的装置，每一个接触焊盘(4)被横向地排列成与刚好一个端子(2)相对应，该装置包括：

纵向上与负载板(3)上的接触焊盘(4)相邻的横向指向的电绝缘外壳(81)；

多个导电的施力接触件(82)，这些施力接触件朝向待测器件(1)延伸穿过外壳(81)上的纵向孔(83)并且可以穿过外壳(81)上的孔(83)偏转，挤压包括每一个施力接触件(82)的横截面的横向平移，所述多个施力接触件中的每一个施力接触件(82)被横向排列成与刚好一个端子(2)相对应；以及

多个导电的感测接触件(84)，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件被横向地排列成与刚好一个施力接触件(82)和刚好一个端子(2)相对应，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件(84)在横向上围绕着相应的施力接触件(82)并且可以沿着外壳(81)横向滑动，该横向滑动与相应施力接触件(82)的横截面的横向平移相对应。

26.权利要求25的装置，其中：

当朝向外壳(81)对待测器件(1)施力时，多个端子中的每一个端子(2)同时挤压相应的施力接触件(82)穿过外壳(81)上的相应孔(83)并且沿着外壳(81)横向滑动相应的感测接触件(84)。

27.权利要求24的装置，其中多个端子中的每一个端子(2)

与相应施力接触件(82)的末端进行直接电气和机械接触；并且

其中多个端子中的每一个端子(2)与朝向待测器件(1)延伸的相应感测接触件(84)的倾斜部分(85)进行直接电气和机械接触。

28.权利要求11的装置，其中多个感测接触件中的每一个感测接触件(84)：

总体上是平面的，

包括面向待测器件(1)的导电层(86A)，并且

包括背向待测器件(1)的电绝缘层(86B)。

29.权利要求24的装置，其中多个感测接触件中的每一个感测接触件(84)包括直接与相应的施力接触件(82)相邻的延伸出感测接触件(84)的平面之外的倾斜部分(85)。

30.权利要求15的装置，其中倾斜部分(85)是固定的。

31.权利要求15的装置，其中倾斜部分(85)是可以朝向外壳(81)偏转的。

32.权利要求15的装置，其中倾斜部分(85)仅仅是由导电层(86A)形成的。

33.权利要求25的装置，其中沿着平行于相应的感测接触件(84)的滑动的维度，待测器件(1)上的相应的端子(2)大于相应的施力接触件(82)。

34.一种在具有多个端子(2)的待测器件(1)与具有多个接触焊盘(4)的负载板(3)之间形成多个临时机械和电气连接的装置，每一个接触焊盘(4)被横向地排列成与刚好一个端子(2)相对应，该装置包括：

纵向上与负载板(3)上的接触焊盘(4)相邻的横向指向的电绝缘外壳(101)；

多个导电的施力接触件(102)，这些施力接触件朝向待测器件(1)延伸穿过外壳(101)上的纵向孔(103)并且可以穿过外壳(101)上的孔(103)偏转，所述多个施力接触件中的每一个施力接触件(102)被横向排列成与刚好一个端子(2)相对应；以及

多个导电的感测接触件(104)，所述多个感测接触件中的每一个感测接触件(104)被横向地排列成与刚好一个施力接触件(102)和刚好一个端子(2)相对应；

其中多个感测接触件中的每一个感测接触件(104)包括沿着外壳(101)大体上横向延伸的一对导电杆(105)；

其中该对导电杆(105)装配在电绝缘外壳(101)上的相应沟槽内；

其中该对导电杆中的每一个导电杆(105)具有朝向待测器件(1)弯折出外壳(101)平面之外的末端；并且

其中每一对杆(105)中的两个末端直接与相应的施力接触件(102)相邻并且位于相应施力接触件(102)的相对两侧。

35.权利要求32的装置，其中当朝向外壳(101)对待测器件(1)施力时，待测器件(1)上的相应的端子(2)同时挤压施力接触件(102)穿过外壳(101)上的相应孔(103)并且接触相应感测接触件(104)的至少一个导电杆(105)的末端。

36.权利要求32的装置，

其中多个施力接触件中的每一个施力接触件(102)传送电流；并且

其中多个感测接触件中的每一个感测接触件(104)测量电压。

37.权利要求32的装置，其中沿着垂直于杆(105)并且平行于外壳(101)的维度，待测器件(1)上的相应的端子(2)大于相应的施力接触件(102)。

38.权利要求32的装置，其中每一对杆中的两个末端沿横向朝向彼此延伸。

39.权利要求36的装置，其中每一对杆中的两个末端彼此交叉。

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