CN102483340A

CN102483340A - 流量传感器

Info

Publication number: CN102483340A
Application number: CN201080039133XA
Authority: CN
Inventors: 高仓洋; 山野翔平; 衣斐宽之
Original assignee: Horiba Stec Co Ltd
Current assignee: Horiba Stec Co Ltd
Priority date: 2009-09-30
Filing date: 2010-09-24
Publication date: 2012-05-30
Anticipated expiration: 2030-09-24
Also published as: KR20120093164A; CN102483340B; JP5629212B2; US20120191381A1; TWI470188B; KR101741284B1; TW201129783A; US9026383B2; JPWO2011040327A1; WO2011040327A1

Abstract

为了防止质量流量的变化对流量传感器的输出造成影响并且进行以往未考虑过的零点输出的温度修正从而提高线性，本发明的流量传感器包括流量计算部(41)，该流量计算部(41)在将与位于上游侧的电阻体(2u)对应的恒温控制电路(3u)的输出设为V_u、将与位于下游侧的电阻体(2d)对应的恒温控制电路(3d)的输出设为V_d、且将流体的流量设为Q时，基于使用了至少在某流量Q的范围内满足式数学式9的X_d/X_u的数学式10，算出流量Q，所述流量计算部41通过定义为V_u+V_dX_d/X_u的函数的零偏函数OFS，对作为流量Q为零时的输出的零点输出进行修正。

Description

流量传感器

技术领域

本发明涉及一种对在导管中流动的液体的流量进行测量的流量传感器。

背景技术

作为流量传感器的以往的技术，可以例举如专利文献1所公开的流量传感器。该流量传感器的构成如下：在流体流动的导管中，在上游侧、下游侧彼此独立地设置有电阻值根据流体的温度而发生变化的两个电阻体，并且彼此独立地设置有分别包含所述电阻体的两个恒温控制电路，通过所述恒温控制电路来进行控制，以使所述两个电阻体的温度总是相等且成为固定的温度，对于该流量传感器而言，将与位于上游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为V_u，将与位于下游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为V_d，基于(V_u-V_d)/(V_u+V_d)的式子来计算流量Q。

此外，认为使用如上所述的式子的原因在于：V_u+V_d是仅受周围温度的影响的量，通过预先除以V_u+V_d，可使相对于实际流量Q的变化的流量传感器的输出的增加率(斜率)相同而与周围的温度无关，从而可使流量传感器的输出的线性提高，并可进一步减小误差。

然而，实际上如图5所示，各恒温控制电路的输出V_u与输出V_d分别相对于流量Q具有各自不同的斜率的绝对值，V_u+V_d相对于流量Q无法取得固定值，并且会根据流量Q而发生变化。

因此，如上所述的计算虽然可以使周围温度对流量传感器的输出的影响减小，但由于除以V_u+V_d，由此会因流量Q的变化的影响而导致附加上另外的非线性(nonlinearity)，因此，流量传感器的输出的线性不佳，无法减小误差。

对于如上所述的问题，在专利文献2中提出有如下的技术：将前面的式子变更为(V_u-V_d)/(αV_u+βV_d)(其中，0≤α，β≤1，α≤β)，由此来使流量Q的变化所产生的影响减小，使流量传感器的输出的线性提高。

然而，即使是专利文献2所述的流量传感器，虽然可使相对于实际流量Q的变化的流量传感器的输出的增加率(斜率)，相对于周围温度而言不易发生变化，但由于受到流量Q的变化的影响，因此，依然存在误差。

此外，对于所述专利文献1以及专利文献2而言，也没有特别地考虑流量传感器如何对流量Q为零的状态下的零点输出进行修正。因此，每当周围的温度发生变化时，传感器输出的偏移(shift)量会大幅度地发生变化，因此，认为这成为使流量传感器的输出发生误差的一个原因。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开公报特公平5-23605号

专利文献2：日本专利公开公报特开平5-281007号

发明内容

本发明所要解决的技术问题

本发明是鉴于如上所述的问题而作出的发明，可以防止流量的变化对流量传感器的输出造成的影响，并且进行以往未考虑过的零点输出的温度修正，由此来提供线性进一步提高且误差小的流量传感器。

解决技术问题的技术方案

即，本发明的流量传感器，在流体流动的导管中，在上游侧与下游侧设置有电阻值根据流体的温度而发生变化的两个电阻体，并且设置有分别包含所述电阻体的两个恒温控制电路，通过所述恒温控制电路来对所述两个电阻体的温度进行控制，以使所述两个电阻体的温度成为固定的温度，该流量传感器的特征在于：包括流量计算部，该流量计算部在将与位于上游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为V_u、将与位于下游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为V_d、且将流体的流量设为Q时，基于使用了X_d/X_u的数学式2，算出流量Q，所述X_d/X_u至少在某流量Q的范围内满足数学式1，所述流量计算部通过定义为V_u+V_dX_d/X_u的函数的零偏函数(ゼロオフセツト関数)OFS，对作为所述流量Q为零时的输出的零点输出进行修正。

[数学式1]

| \frac{d V_{u}}{dQ} | &cong; | \frac{d (V_{d} X_{d} / X_{u})}{dQ} |

[数学式2]

Q = (\frac{V_{u} - V_{d}}{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}} + OFS) SENSx

在此，OFS为零偏函数，SENSx为将各恒温控制电路的输出的计算值转换为流量的转换函数。

按照如上所述的流量传感器，如图5所示，V_u与V_d相对于流量Q的斜率的正负通常不同，并且根据数学式1，V_u、V_dX_d/X_u分别具有相等大小的斜率，因此，在V_u+V_dX_d/X_u中将与流量Q相关的项消去。即，可以使V_u+V_dX_d/X_u是相对于流量Q无任何变化而仅根据周围温度的变化而大幅度地发生变化的值。因此，数学式2中的(V_u-V_d)/(V_u+V_dX_d/X_u)可以仅对相对于周围的温度变化的影响进行修正，从而可以通过该计算来防止因流量Q的变化的影响而导致附加上另外的非线性。换言之，针对每个流量，可以防止相对于流量Q的变化量的流量传感器的输出的增加率(斜率)发生变化。

而且，由于通过定义为仅受到周围温度的影响的V_u+V_dX_d/X_u的函数的零偏函数OFS，对(V_u-V_d)/(V_u+V_dX_d/X_u)的零点输出进行修正，因此，可对按周围的温度发生变化的传感器输出的偏移量进行修正。

如上所述，由于可以防止流量传感器的输出、尤其是输出的增加率相对于流量Q的变化而发生变化，并且可以对偏移量进行修正，因此，可以进一步使传感器输出的线性提高，从而可实现误差小的流量传感器。

此外，所述数学式2不仅包含V_u+V_dX_d/X_u的形式，而且例如包含如V_uX_u/X_d+V_d所示的形式。具体而言，显然可进行如数学式3所示的等式变形。

[数学式3]

Q = (\frac{V_{u} - V_{d}}{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}} + OFS) SENSx

= (\frac{\frac{X_{u}}{X_{d}} (V_{u} - V_{d})}{\frac{X_{u}}{X_{d}} V_{u} + \frac{X_{u}}{X_{d}} \frac{X_{d}}{X_{u}} V_{d}} + OFS) SENSx

= (\frac{V_{u} - V_{d}}{V_{u} X_{u} / X_{d} + V_{d}} + \frac{X_{d}}{X_{u}} OFS) \frac{X_{u}}{X_{d}} SENSx

= (\frac{V_{u} - V_{d}}{V_{u} X_{u} / X_{d} + V_{d}} + {OFS}^{'}) {SENSx}^{'}

在此，(X_d/X_u)OFS＝OFS′，(X_u/X_d)SENSx＝SENSx′。此外，同样地，零偏函数的变量不仅包含V_u+V_dX_d/X_u的形式，也包含如V_uX_u/X_d+V_d所示的形式。

为了可以更正确地算出流量Q，只要所述流量计算部通过定义为V_u+V_dX_d/X_u的函数的转换函数SENSx，算出流量Q即可。

为了可以对残留于(V_u-V_d)/(V_u+V_dX_d/X_u)的对周围温度的温度依赖性进行修正，以便更正确地算出流量Q，只要所述流量计算部基于将温度修正项进一步追加至所述数学式2而得到的数学式4，算出流量Q即可。

[数学式4]

Q = {\frac{V_{u} - V_{d}}{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}} [1 + a (\frac{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}}{V_{ut} + V_{dt} X_{dt} / X_{ut}})] + OFS} SENSx

在此，V_ut为与位于上游侧的电阻体对应的恒温控制电路的预先测量到的规定温度时的输出，V_dt为与位于下游侧的电阻体对应的恒温控制电路的预先测量到的规定温度时的输出，X_dt/X_ut满足与V_ut、V_dt相关的所述数学式1。

作为具体的实施方式，只要所述转换函数SENSx为赋值曲线(值付け曲線)即可。

V_u+V_dX_d/X_u为几乎不受流量Q的影响的值，且该值大幅度地依赖于温度，因此，也可以考虑用作温度计。即，只要质量流量传感器还包括温度计算部，该温度计算部基于V_u+V_dX_d/X_u算出周围的温度，则即便不设置附加的温度传感器等，也可以仅根据恒温控制电路的输出来对周围的温度进行测量，从而可以用于各种修正及控制中。

发明的效果

如此，按照本发明的流量传感器，可以通过相对于流量几乎不发生变化而相对于周围的温度变化而大幅度地发生变化的V_u+V_dX_d/X_u，来对导致流量传感器的输出的增加率(斜率)相对于周围的温度变化而发生变化的情况进行修正，并且也可以防止对流量传感器的输出附加上由流量Q的变化所引起的非线性。而且，也通过作为V_u+V_dX_d/X_u的函数的零偏函数OFS对零点输出进行修正，从而可以防止由于温度不同导致偏移量不同的情况。因此，可以实现不易受到流量传感器周围的温度变化及流量变化的任一种的影响且精度高的流量传感器。

附图说明

图1是本发明一个实施方式的质量流量传感器的模式图。

图2是表示与图1为相同实施方式的温度变化与各恒温控制电路的输出之间的关系的模式性图。

图3是表示与图1为相同实施方式的相对于质量流量的变化的温度标志的变化的图。

图4是表示与图1为相同实施方式的质量流量传感器的相对于温度变化及质量流量的变化的测量精度的图。

图5是表示一般的流量传感器的各恒温控制电路的输出特性的图。

附图标记说明

100…流量传感器

1…导管

2u、2d…电阻体(线圈)

3u、3d…恒温控制电路

41…流量计算部

42…温度计算部

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。

如图1所示，作为本实施方式的流量传感器的一种的质量流量传感器100包括：彼此独立的恒温控制电路3u、3d，该恒温控制电路3u、3d包括电阻体2u、2d，在气体等流体流动的导管1的上游侧与下游侧设置有彼此独立的电阻体2u、2d，并且将电压施加至所述电阻体2u、2d从而保持为固定温度；以及计算部4，基于此时施加至各电阻体2u、2d的电压来进行各种计算，所述计算部4至少包括算出质量流量的质量流量计算部41、以及算出质量流量传感器100的周围的温度的温度计算部42。

如图1的(a)所示，所述电阻体2u、2d为分别卷绕于所述导管1的上游与下游的自加热型的感热线圈。在以下的说明中，将设置于上游侧的电阻体2u称为上游侧线圈2u，将设置于下游侧的电阻体2d称为下游侧线圈2d。所述上游侧线圈2u以及所述下游侧线圈2d由铁镍合金等温度系数大的电阻线制成，即使在导管1中流动的流体的质量流量稍微发生变化，所述上游侧线圈2u以及所述下游侧线圈2d也可检测出该变化。

此外，所述上游侧线圈2u、所述下游侧线圈2d构成分别独立的两个恒温控制电路3u、3d的一部分。下面，将包含上游侧线圈2u的电路称为上游侧恒温控制电路3u，将包含下游侧线圈2d的电路称为下游侧恒温控制电路3d。

各恒温控制电路3u、3d形成如图1的(b)所示的桥式电路(bridgecircuit)，各恒温控制电路3u、3d进行温度控制，以使各线圈2u、2d在预定的规定温度分别成为相等且固定的温度。具体而言，通过桥式电路控制施加至各线圈2u、2d的电压，使得保持所述规定温度。即，在如图1的(b)所示的桥式电路中进行恒温控制，以使线圈2u、2d的电阻值与基准电阻R的值相同，对此时所需的电压Vu、Vd进行测量。在气体未流动时，Vu＝Vd，传感器输出为零。在气体流动时，对于上游侧线圈2u而言，由于被流体夺取了热量，因此Vu变大，对于下游侧线圈2d而言，由于通过气体被施加了从上游侧输送来的热，因此Vd变小。因此，可根据所述Vu、Vd的值来测量流量。此外，若各线圈2u、2d以相同的温度保持固定，则流量的计算精度提高，但各线圈也可以以不同的温度保持固定。

所述计算部4为包括CPU(中央处理器，Central Processing Unit)、存储器(memory)、I/O通道(channel)、以及AD(模拟数字，AnalogDigital)转换器等的所谓的计算机，该计算部4至少作为所述质量流量计算部41以及所述温度计算部42而发挥功能。所述质量流量计算部41相当于权利要求中的流量计算部，基于来自各恒温控制电路3u、3d的输出对在导管1中流动的流体的质量流量进行计算。更具体而言，使用施加至所述上游侧线圈2u的电压V_u、以及施加至所述下游侧线圈2d的电压V_d，并基于数学式5算出质量流量Q。

[数学式5]

Q = {\frac{V_{u} - V_{d}}{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}} [1 + a (\frac{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}}{V_{ut} + V_{dt} X_{dt} / X_{ut}})] + OFS} SENSx

而且，X_d/X_u满足以下的数学式6。

[数学式6]

| \frac{d V_{u}}{dQ} | &cong; | \frac{d (V_{d} X_{d} / X_{u})}{dQ} |

在此，OFS为零偏函数，是由OFS＝f(V_u+V_dX_d/X_u)所表示的V_u+V_dX_d/X_u的函数。该零偏函数表示气体未流入到导管的状态下的传感器输出与V_u+V_dX_d/X_u的图形(graph)，基于该图形，在未流动有气体的状态下，传感器输出为零。此外，SENSx为使氮气流动时的赋值曲线，是由SENSx＝f(V_u+V_dX_d/X_u)所表示的函数。对赋值曲线进行设定，使得至少基于作为由传感器测量的上限值的量程(span)，由传感器输出本身表示质量流量Q。V_ut为在上游侧恒温控制电路3u中预先测量到的规定温度(25℃)时的输出，V_dt为在下游侧恒温控制电路3d中预先测量到的规定温度(25℃)时的输出，X_dt/X_ut满足与V_ut、V_dt相关的所述数学式6。此外，a为对应于气体种类而发生变化的比例常数(固定值)，该a使用与质量流量传感器100的个体差异无关的相同的值。

对数学式5的各项进行定性的说明，(V_u-V_d)/(V_u+V_dX_d/X_u)是以使来自各恒温控制电路3u、3d的输出相对于周围的温度变化几乎不发生变化的方式而经规格化的输出，是与质量流量Q大致成比例的值。此外，对于(1+a(V_u+V_dX_d/X_u)/(V_ut+V_dtX_dt/X_ut))这项而言，(V_u+V_dX_d/X_u)/(V_ut+V_dtX_dt/X_ut)表示周围温度的增减量，(1+a(V_u+V_dX_d/X_u)/(V_ut+V_dtX_dt/X_ut))这项用于根据该增减量，进一步修正相对于周围温度的变化的传感器输出的变化。

接着，对满足数学式6的X_d/X_u的设定方法进行说明。图2中将纵轴设为电压V，将横轴设为在导管1中流动的流体的质量流量Q，图2是表示各恒温控制电路的输出，且表示施加至各线圈2u、2d的电压V_u、V_d与质量流量Q之间的关系的图。对所述电压V_u、V_d的图形进行外插，将电压为0V的点(与横轴的交点)处的质量流量Q的绝对值分别设为X_u、X_d。在本实施方式中，根据预先在某温度测量到的施加电压V_u、V_d，按照所述的方法，预先以实验的方式求出所述X_u、X_d，将该X_u、X_d存储于所述存储器中。此外，如图2所示，通过实验已确定：即使周围的温度不同，例如，如图2中的25℃与45℃时的各图形的关系所示，X_u、X_d获得大致相同的值，因此，若预先在某个温度时求出X_u、X_d，则该X_u、X_d也可应用于其他温度。

所述温度计算部42将V_u+V_dX_d/X_u作为温度标志输出温度。具体而言，V_u+V_dX_d/X_u相对于质量流量Q的变化几乎不发生变化，该V_u+V_dX_d/X_u的值为与图2中的纵轴的交点(截距)处的值的大致两倍。如图2所示，通过实验已确定：该截距的值相对于周围的温度而发生变化，该截距的值与周围的温度之间存在比例关系。因此，在本实施方式中，基于该比例关系预先对V_u+V_dX_d/X_u及周围的温度进行赋值，将赋值曲线存储于所述存储器内。

与基于(V_u-V_d)/(V_u+V_d)的值来对质量流量Q进行计算的以往的质量流量传感器100的测量精度作比较，由此来对如上所述构成的本实施方式的质量流量传感器100的测量精度进行说明。

首先，研究V_u+V_d与V_u+V_dX_d/X_u的值相对于质量流量Q的变化的依赖性。图3为如下的图，即：纵轴表示(V_u+V_d)/2或(V_u+V_dX_d/X_u)/2，横轴表示质量流量Q相对于满刻度(full scale)的比率。如图3的上部所示，对于作为以往的方式的V_u+V_d而言，随着质量流量Q变大，(V_u+V_d)/2变大，产生了约0.1V的变动。相对于此，如图3的下部所示，(V_u+V_dX_d/X_u)/2相对于质量流量Q几乎不变化，仅产生了约0.03V左右的变动。因此，可以认为V_u+V_dX_d/X_u为如下的值：与V_u+V_d相比较，不易受到质量流量Q的影响，仅相对于周围的温度的变化而大幅度地发生变化。即，可以说对于对施加至各线圈2u、2d的电压V_u、V_d相对于周围温度的变化进行修正从而使传感器输出的线性提高而言，V_u+V_dX_d/X_u具有更佳的特性。

接着，通过质量流量控制器来使预定的质量流量Q流过导管1，用图4的图来分别表示此时的以往方式的传感器输出与本实施方式的传感器输出的误差。在图4中，纵轴表示相对于流过导管1的实际的质量流量Q的质量流量传感器100的输出的百分比误差，横轴表示流过导管1的设定的质量流量Q。如图4的上部的图所示，可以确定：对于以往方式的质量流量传感器100而言，周围的温度越高，则温度的误差变得非常大，当周围的温度为45℃时产生了0.8％～1.6％的误差，而且在导管1中流动的流体的质量流量Q的影响也显现出来。另一方面，按照本实施方式，在最差时也仅产生了0.8％左右的误差，与以往的方式相比较，不易受到周围温度的影响，而且不太会受到在导管1中流动的质量流量Q的变化的影响。即，可以确定：与以往相比较，本实施方式的质量流量传感器100对周围的温度变化及质量流量Q的变化的抵抗强，该抵抗的程度大幅度地提高了。

认为其原因在于：如上所述，将V_u+V_dX_d/X_u这样的相对于质量流量Q几乎不变化而相对于周围温度大幅度地发生变动的值作为温度标志，对施加至各线圈2u、2d的电压的输出进行修正，并且利用使用了温度标志V_u+V_dX_d/X_u的函数来对以往不太考虑的零点输出进行修正。

如此，按照本实施方式的质量流量传感器100，由于将V_u+V_dX_d/X_u用于传感器输出的修正，因此，可以几乎不受到质量流量Q的变化的影响地对相对于周围的温度变化的传感器输出的变化率(斜率)进行修正。而且，通过作为V_u+V_dX_d/X_u的函数的零偏函数OFS，对以往根据周围的温度变化而发生变化的零点输出(偏移量)进行修正，此外，通过(1+a(V_u+V_dX_d/X_u)/(V_ut+V_dtX_dt/X_ut))这项来对经过所述修正后仍存在的温度依赖性进行修正，所以可以实现精度更佳的质量流量传感器100。

此外，所述温度计算部42将几乎不受质量流量Q的变化的影响的V_u+V_dX_d/X_u作为温度标志，可以不附加其他温度传感器而仅通过施加至各线圈2u、2d的电压来输出正确的温度。因此，由于无需使用附加的传感器，所以可以不会导致成本上升地进行温度测量，也可以将测量到的温度用于其他修正等。

对其他实施方式进行说明。

在所述实施方式中，对施加至各线圈的电压与质量流量Q之间的图形进行外插，根据电压为零的点的质量流量Q来求出X_d以及X_u，但也可以使用其他方法来进行计算。例如，也可以预先分别求出施加至上游侧线圈的电压V_u、以及施加至下游侧线圈的电压V_d的斜率a_u、a_d，并使用X_d＝a_u、X_u＝a_d。总之，只要使用大致满足所述数学式6的值即可。此外，在以该方式确定X_u/X_d时，对于质量流量Q而言，无需在整个区间中使数学式6成立，只要至少在要使用的区间中使该数学式6成立即可。

在所述实施方式中，所述质量流量计算部使用数学式5算出质量流量Q，但根据所要求的精度，也可使用如下的数学式7这样的式子来算出质量流量Q。

[数学式7]

Q = (\frac{V_{u} - V_{d}}{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}} + OFS) SENSx

此外，在数学式7中，只要零偏函数OFS与赋值曲线SENSx中的至少一方为V_u+V_dX_d/X_u的函数即可。也可以使用不包括所述实施方式所具备的温度计算部的质量流量传感器。

在所述实施方式中，通过除以V_u+V_dX_d/X_u来产生温度影响少的传感器输出，但该传感器输出与以往的除以V_u+V_d的质量流量传感器的输出相比较，质量流量Q为零时的输出的方式存在差异，因此，有可能会对一直使用以往的质量流量传感器的用户造成混乱。为了防止这种混乱，使无流量时的传感器输出以与以往相同的方式输出，并且为了与所述实施方式同样地消除相对于周围的温度变化的影响，只要代替除以V_u+V_dX_d/X_u而除以下面的数学式8即可。

[数学式8]

2 [V_{u} - \frac{\frac{X_{d}}{X_{u}} (V_{u} - V_{d})}{1 + \frac{X_{d}}{X_{u}}}] = \frac{2}{1 + X_{d} / X_{u}} (V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u})

即，只要除以将系数2/(1+X_d/Xu)乘以所述实施方式的V_u+V_dX_d/X_u所得到的式子即可。

在所述实施方式中，使用了赋值曲线SENSx，但是例如也可使用将各恒温控制电路的输出的计算值转换为质量流量Q的系数或函数。

也可以进一步使用其他的修正式来对从传感器输出的质量流量Q进行修正。例如，对于零流量与可以测量的上限值之间的值而言，当传感器输出与实际的质量流量Q之间不存在线性时，也可以使用五阶的修正式来进行修正。

当要使流量传感器的感度更佳，即使对于小流量也能测量时，例如，也可以将常数乘以V_u来使用，使得输出大的V_u-V_d的值。在该情况下，只要相应地将赋值曲线等的值也进行变更即可。

此外，只要不违反本发明的宗旨，也可以进行各种变形及将实施方式进行组合。

工业实用性

按照本发明的流量传感器，可以通过相对于流量几乎不发生变化而相对于周围的温度变化大幅度地发生变化的V_u+V_dX_d/X_u，来对流量传感器的输出的增加率(斜率)相对于周围的温度变化而发生变化的情况进行修正，并且也可以防止对流量传感器的输出附加上由流量Q的变化所引起的非线性。而且，通过作为V_u+V_dX_d/X_u的函数的零偏函数OFS来对零点输出进行修正，从而可以防止由于温度不同而导致偏移量不同的情况。因此，可以实现不易受到流量传感器周围的温度变化及流量变化的任一种的影响且精度高的流量传感器。

Claims

1.一种流量传感器，在流体流动的导管中，在上游侧与下游侧设置有电阻值根据流体的温度而发生变化的两个电阻体，并且设置有分别包含所述电阻体的两个恒温控制电路，通过所述恒温控制电路来对所述两个电阻体的温度进行控制，以使所述两个电阻体的温度成为固定的温度，该流量传感器的特征在于：

包括流量计算部，该流量计算部在将与位于上游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为V_u、将与位于下游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为V_d、且将流体的流量设为Q时，基于使用了X_d/X_u的数学式10，算出流量Q，所述X_d/X_u至少在某流量Q的范围内满足数学式9，

所述流量计算部通过定义为V_u+V_dX_d/X_u的函数的零偏函数OFS，对作为所述流量Q为零时的输出的零点输出进行修正，

[数学式9]

| \frac{d V_{u}}{dQ} | &cong; | \frac{d (V_{d} X_{d} / X_{u})}{dQ} |

[数学式10]

Q = (\frac{V_{u} - V_{d}}{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}} + OFS) SENSx

2.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述流量计算部通过定义为V_u+V_dX_d/X_u的函数的转换函数SENSx，算出所述流量Q。

3.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述流量计算部基于将温度修正项进一步追加至所述数学式10而得到的数学式11，算出所述流量Q，

[数学式11]

Q = {\frac{V_{u} - V_{d}}{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}} [1 + a (\frac{V_{u} + V_{d} X_{d} / X_{u}}{V_{ut} + V_{dt} X_{dt} / X_{ut}})] + OFS} SENSx

在此，V_ut为与位于上游侧的电阻体对应的恒温控制电路的预先测量到的规定温度时的输出，V_dt为与位于下游侧的电阻体对应的恒温控制电路的预先测量到的规定温度时的输出，X_dt/X_ut满足与V_ut、V_dt相关的所述数学式9。

4.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述转换函数SENSx为赋值曲线。

5.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述流量传感器还包括温度计算部，该温度计算部基于V_u+V_dX_d/X_u算出周围的温度。