CN102483173B

CN102483173B - 流体控制器

Info

Publication number: CN102483173B
Application number: CN201080038633.1A
Authority: CN
Inventors: 赤本久敏; 小艾睦典
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2009-08-31
Filing date: 2010-08-24
Publication date: 2014-08-13
Anticipated expiration: 2030-08-24
Also published as: KR20120031519A; JPWO2011024771A1; KR101337086B1; TWI470159B; TW201115052A; JP5560276B2; CN102483173A; WO2011024771A1

Abstract

本发明提供一种提高了部件更换以及分解清洗等的维护性的流体控制器。具有：阀体组件(2)，是包括多个部件的组装体，包括两个阀芯以及保持阀芯的阀体(11)；执行器组件(3)，是包括多个部件的组装体，包括两个活塞以及通过与活塞一体地上下移动而开闭各阀芯的两个阀杆(33、34)，分别预先组装的阀体组件(2)和执行器组件(3)通过组件彼此结合用螺纹机构(4)以能够分解的方式结合。

Description

流体控制器

技术领域

本发明涉及如三通两头(两气缸)型的三通阀那样、由多个阀芯、多个阀杆以及多个活塞组装而成并作为一个部件进行操作的流体控制器。

背景技术

以往，作为流体控制器，已知作为多个部件的组装体的三通阀，该三通阀包含多个阀芯、保持阀芯的阀体、通过上下移动而开闭各阀芯的多个阀杆、以及使各阀杆上下移动的活塞(专利文献1)。

在该专利文献1的三通阀中，例如在更换阀芯的情况下，将构成流体控制器的部件依次拆下，更换阀芯，然后再将拆下的部件依次组装。另外，在对其进行清洗时，可以采用使用专用的清洗机而在一体的状态下进行清洗、或将全部部件分解再进行清洗的任何一种方法。

专利文献1：日本特开2000-320700号公报

在上述专利文献1中，存在在更换阀芯的情况下耗费工时的问题，还存在因为分解清洗而导致耗费成本及工时的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够提高部件更换和分解清洗等的维护性的流体控制器。

本发明的流体控制器，其特征在于，具有：阀体组件，是包括多个部件的组装体，包括多个阀芯以及保持阀芯的阀体；执行器组件，是包括多个部件的组装体，包括多个活塞以及通过与活塞一体地上下移动而开闭各阀芯的多个阀杆，分别预先组装的阀体组件和执行器组件以能够分解的方式结合。

“多个”是指例如两个，但也可能为三个以上。在具有两个阀芯以及活塞的情况下，流体控制器，例如，使二通阀和三通阀一体化，作为整体，成为作为三通阀(三端口的流体控制器)被使用的形态，但并不限于此。流体控制器，既可以为例如隔膜阀的方式，但并不限于此，还可以为例如波纹管阀的方式。在阀体上，设有成制成所需形状的多个通路及其开口(在侧面或底面上开口的端口)。

执行器构造既可以是通过压缩空气进行活塞向上方的移动及向下方的移动的双方的结构(双动式)，也可以是通过弹压部件将活塞向通路始终开的方向弹压、且通过压缩空气使活塞向闭锁通路的方向移动的常开式，还可以是通过弹压部件将活塞向通路始终闭的方向弹压、且通过压缩空气使活塞向开放通路的方向移动的常闭式。另外，除了通过压缩空气使活塞上下移动外，还可以通过电磁驱动使活塞上下移动。

内置有多个阀芯以及多个活塞等的流体控制器，通常由多个部件构成且作为能够分解的一个组装体(完成品)进行操作，在组装以及分解过程中，不存在作为中间品的“组装体”。对此，根据本发明，作为完成品的组装体即流体控制器由作为中间品的组装体即阀体组件和执行器组件构成。即，组装时，分别先组装阀体组件以及执行器组件，这些阀体组件和执行器组件以能够分解的方式结合，由此，得到本发明的流体控制器。因此，在需要更换阀芯时，分解成阀体组件和执行器组件后，进一步仅对阀体组件进行分解，并更换阀芯即可。另外，阀体组件的分解清洗也同样能够容易地进行，提高了部件更换以及分解清洗等的维护性。

为了以能够分解的方式结合阀体组件和执行器组件，例如，可以使用适当的螺纹机构，还可以代替螺纹机构，使用例如卫生夹(sanitary clamp)那样的连接夹或其他的固定夹具。螺纹机构，例如，可以由设在阀体组件以及执行器组件的任一方的规定位置的多个内螺纹和贯穿该另一方并分别螺入各内螺纹中的多个带六边孔螺栓构成，也可以由贯穿阀体组件以及执行器组件的多个螺栓和分别与其螺合的多个螺母构成。

优选地，阀体组件以及执行器组件的任一个或双方由多个(例如两层，也可以为三层以上)层叠体形成，更优选层叠体彼此以能够分解的方式结合。

例如，优选地，将设有流体通路且支承作为阀芯的隔膜的阀体作为第一层叠体，在该第一层叠体上重叠经由隔膜推压件固定隔膜的第二层叠体，第一层叠体和第二层叠体以能够分解的方式结合，由此，形成阀体组件。这样，阀体组件的分解容易，能够进一步提高部件更换以及分解清洗等的维护性。

另外，优选地，形成有活塞进行上下移动的气缸室的第三层叠体、和保持引导阀杆的导向件的第四层叠体被重叠，第三层叠体和第四层叠体以能够分解的方式结合，由此，形成执行器组件。为了以能够分解的方式结合层叠体彼此，可以使用适当的螺纹机构。

这样，流体控制器中，多个层叠体以能够分解的方式结合，在这些层叠体中内置有所需要的部件，部件更换以及分解清洗等的维护性进一步提高。

隔膜以及阀座可以为树脂制，但从分解后的再使用时的开闭再现性的观点出发，优选为金属制。

作为二通阀和三通阀一体化而成的三通两头构造的流体控制器，在二通阀侧以及三通阀侧，分别设有用于使活塞向下方移动的流路闭锁用压缩空气导入室以及用于使活塞向上方移动的流路开放用压缩空气导入室的至少一方，并设有压缩空气配管连接部，该压缩空气配管连接部用于向所述流路闭锁用压缩空气导入室以及所述流路开放用压缩空气导入室导入压缩空气，另外，在二通阀侧以及三通阀侧，分别设有用于使活塞向下方移动的流路闭锁用压缩空气导入室和用于使活塞向上方移动的流路开放用压缩空气导入室，分别设有用于向各流路闭锁用压缩空气导入室导入压缩空气的压缩空气配管连接部，二通阀侧的压缩空气配管连接部和三通阀侧的流路开放用压缩空气导入室连通，三通阀侧的压缩空气配管连接部和二通阀侧的流路开放用压缩空气导入室连通。

上述的前者的结构中的“分别设有至少一方”意味着能够有以下共计九种组合：二通阀侧闭锁用-三通阀侧闭锁用、二通阀侧闭锁用-三通阀侧开放用、二通阀侧开放用-三通阀侧闭锁用、二通阀侧开放用-三通阀侧开放用、二通阀侧闭锁用以及开放用-三通阀侧闭锁用、二通阀侧闭锁用以及开放用-三通阀侧开放用、二通阀侧闭锁用-三通阀侧闭锁用以及开放用、二通阀侧开放用-三通阀侧闭锁用以及开放用、及二通阀侧闭锁用以及开放用-三通阀侧闭锁用以及开放用。

此外，在本说明书中，将活塞的移动方向(阀杆的轴线方向)设置为上下方向。采用该方向是为了方便说明，在实际的安装中，上下方向不仅可以取铅直方向，还可以为水平方向。

发明的效果

根据本发明的流体控制器，具有：阀体组件，是包括多个部件的组装体，包括多个阀芯以及保持阀芯的阀体；执行器组件，是包括多个部件的组装体，包括多个活塞以及通过与活塞一体地上下移动而开闭各阀芯的多个阀杆，分别预先组装的阀体组件和执行器组件以能够分解的方式结合，所以，在需要进行阀芯的更换以及分解清洗等的维护时，在将流体控制器分解成阀体组件和执行器组件后，在更换阀芯的情况下，只要仅对阀体组件进行分解及再组装即可，另外，阀体组件的分解清洗也同样能够容易地进行，部件更换以及分解清洗等的维护性提高。

附图说明

图1是表示本发明的流体控制器的第一实施方式的主视剖视图。

图2是表示本发明的流体控制器的阀体组件的立体图。

图3是表示本发明的流体控制器的执行器组件的立体图。

图4是本发明的流体控制器的分解立体图。

图5是本发明的流体控制器的阀体组件的分解立体图。

图6是表示本发明的流体控制器的第二实施方式的主视剖视图。

图7是俯视图。

附图标记的说明

1 流体控制器

2 阀体组件

3 执行器组件

4 组件彼此结合用螺纹机构

11 阀体(第一层叠体)

12、13 隔膜(阀芯)

14 阀盖(第二层叠体)

15、16 隔膜推压件

17 阀体结合用螺纹机构

23 第一入口通路(流体通路)

24 第一出口通路(流体通路)

25 第二出口通路(流体通路)

31、32 活塞

33、34 阀杆

35 执行器盖罩(第三层叠体)

36、37 气缸室

36a、37a 流路闭锁用压缩空气导入室

36b、37b 流路开放用压缩空气导入室

38、39 圆筒状导向件

40 执行器壳体(第四层叠体)

42、43 流路闭锁用压缩空气配管连接部

61、62 活塞

63、64 阀杆

65 执行器盖罩(第三层叠体)

66、67 气缸室

66a、67a 流路闭锁用压缩空气导入室

66b、67b 流路开放用压缩空气导入室

68、69 压缩空气配管连接部

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中，上下、左右指的是图1的上下、左右。另外，将与这些方向正交的方向称作前后。

图1～图5示出了本发明的流体控制器1的第一实施方式。

该流体控制器1是左侧的二通阀和右侧的三通阀一体化而成的被称为三通两头(气缸)构造的三通阀的流体控制器，其具有：阀体组件2，该阀体组件2是多个部件11、12、13、14、15、16、17的组装体，包含左右两个阀芯12、13以及保持这些阀芯的阀体11；执行器组件3，该执行器组件3是多个部件31、32、33、34、35、38、39、40、41的组装体，包含左右两个活塞31、32以及通过与活塞一体地上下移动而开闭各阀芯12、13的左右两个阀杆33、34，通过组件彼此结合用螺纹机构4，各自预先组装的阀体组件2和执行器组件3以能够分解的方式结合。

阀体11呈长方体块状，在其右侧面上设有第一端口18，在其左侧面上设有第二端口19，在其前表面(参照图2)上设有第三端口20。另外，在阀体11的上表面上，分别设有向上方开口的左右侧的圆形凹处21、22。

第一端口18和第二端口19通过第一入口通路23和第一出口通路24而连接，其中，第一入口通路23从第一端口18经由开口23a而与左侧的圆形凹处21的周缘部连通，第一出口通路24从左侧的圆形凹处21的中央部到达第二端口19，第三端口20经由第二入口通路和第二出口通路25而与第一端口18以及第二端口19连接，其中，第二入口通路(图5中示出了其开口23b)从第三端口20到达右侧的圆形凹处22的周缘部，第二出口通路25从右侧的圆形凹处22的中央部与第一入口通路23的途中部分连通。在第一出口通路24的开口周缘部设有环状阀座26，在右侧的圆形凹处22中的第二出口通路25的开口周缘部上也设有同样的环状阀座27。

除上述阀体11外，阀体组件2还具有：嵌入到各圆形凹处21、22中、相对于环状阀座26、27被推压或分离从而对各出口通路24、25进行开闭的隔膜(阀芯)12、13；将隔膜12、13保持在圆形凹处21、22内的隔膜推压件15、16；具有供隔膜推压件15、16的上部嵌入的向下方开口的凹处的长方体块状的阀盖14。

除左右侧的活塞31、32以及左右侧的阀杆33、34外，执行器组件3还具有：长方体块状的执行器盖罩35，该执行器盖罩35上形成有左右侧的气缸室36、37，气缸室36、37以能够上下移动的方式收纳左右侧的活塞31、32且向下方开口；对各阀杆33、34进行引导的左右侧的圆筒状导向件38、39；以不能移动的方式保持这些导向件38、39的长方体块状的执行器壳体40。

各活塞31、32经由O型环而以能够滑动的方式配置在各气缸室36、37内，各活塞31、32的上表面和执行器盖罩35的顶壁下表面之间成为流路闭锁用压缩空气导入室36a、37a，各活塞31、32的下表面和各导向件38、39的上表面之间成为流路开放用压缩空气导入室36b、37b。在执行器盖罩35的顶壁上，设有与各流路闭锁用压缩空气导入室36a、37a连通的流路闭锁用压缩空气配管连接部42、43，在执行器盖罩35的周壁(参照图3)上，设有与各流路开放用压缩空气导入室36b、37b连通的流路开放用压缩空气配管连接部44、45。这里，在图1所示的剖视图中，对于流路开放用压缩空气配管连接部44、45，为了表示其与流路开放用压缩空气导入室36b、37b连通而由虚线表示。

各阀杆33、34从各活塞31、32的下表面中央部向下方延伸，其下端部从圆筒状导向件38、39的下表面向下方突出，并与隔膜12、13的中央部抵接。

圆筒状导向件38、39包括：大径部38a、39a，其经由O型环配置在气缸室36、37内，并通过设在执行器壳体40的上表面的凹处而被止挡；小径部38b、39b，其从大径部38a、39a的下表面向下方延伸且穿插在设于执行器壳体40上的贯穿孔中，并通过设在阀盖14的上表面的凹处而被止挡。

图1中，在未导入压缩空气的状态下，由于各隔膜12、13的弹力，各阀杆33、34位于将出口通路24、25开放的上方位置，各活塞31、32的上表面与气缸室36、37的上表面抵接。从该状态，对各流路开放用压缩空气导入室36b、37b进行排气，将压缩空气从各流路闭锁用压缩空气配管连接部42、43导入至各流路闭锁用压缩空气导入室36a、37a，由此，各活塞31、32向下方移动，与此相伴，各阀杆33、34向通过各隔膜12、13而将出口通路24、25闭锁的下方位置移动。因此，在右侧的三通阀中，将压缩空气从流路闭锁用压缩空气配管连接部43导入至流路闭锁用压缩空气导入室37a，并且，在左侧的二通阀中，将压缩空气从流路开放用压缩空气配管连接部44导入至流路开放用压缩空气导入室36b，由此，能够使左侧的二通阀打开，并且使右侧的三通阀关闭，另外，在左侧的二通阀中，将压缩空气从流路闭锁用压缩空气配管连接部42导入至流路闭锁用压缩空气导入室36a，并且，在右侧的三通阀中，将压缩空气从流路开放用压缩空气配管连接部45导入至流路开放用压缩空气导入室37b，由此，能够使左侧的二通阀关闭，并且，使右侧的三通阀打开。

阀体11和阀盖14相互重叠并通过阀体结合用螺纹机构17而结合，如图2以及图5所示，该阀体结合用螺纹机构17包括：设在阀体11上的共计六个内螺纹28；贯穿阀盖14的共计六个螺栓穿插孔29；从阀盖14侧向各螺栓穿插孔29穿插并分别螺入各内螺纹28中的共计六根的带六边孔螺栓30。这样，阀体组件2中，作为第一层叠体的阀体11和作为第二层叠体的阀盖14通过阀体结合用螺纹机构17而以能够分离的方式结合，并且，在该阀体组件2的内部内置有两个隔膜12、13和两个隔膜推压件15、16。

同样，执行器盖罩35和执行器壳体40相互重叠并通过执行器结合用螺纹机构41而结合，如图3所示，该执行器结合用螺纹机构41包括：设在执行器盖罩35上的共计四个内螺纹(图示略)；贯穿执行器壳体40的共计四个螺栓穿插孔46；从执行器壳体40侧插穿各螺栓穿插孔46且分别螺入各内螺纹中的共计四根的带六边孔螺栓47。这样，执行器组件3中，作为第三层叠体的执行器盖罩35和作为第四层叠体的执行器壳体40通过执行器结合用螺纹机构41而以能够分离的方式结合，并且，在该执行器组件3的内部内置有：两个活塞31、32；两个阀杆33、34；以及两个圆筒状导向件38、39等。

如图4等所示，将阀体组件2和执行器组件3结合的组件彼此结合用螺纹机构4包括：设在执行器组件3的执行器壳体40上的两个内螺纹51；贯穿阀体组件2的阀体11以及阀盖14的两个螺栓穿插孔52；从阀体组件2侧插穿螺栓穿插孔52中并分别螺入各内螺纹51中的两根的带六边孔螺栓53。

这样，该流体控制器1包括各个多层(图示为两层)的层叠体11、14、35、40，预先组装的阀体组件2和执行器组件3通过适当的结合机构(图示中为组件彼此结合用螺纹机构)4而以能够分解的方式结合。因此，通过该流体控制器1，在需要进行隔膜(阀芯)12、13的更换时，通过拆下组件彼此结合用螺纹机构4而将其分解为阀体组件2和执行器组件3后，如图5所示，仅对阀体组件2进一步进行分解，再更换隔膜12、13即可，另外，阀体组件3的分解清洗也能够同样容易地进行，提高了部件更换以及分解清洗等的维护性。

隔膜12、13以及环状阀座26、27均为金属制，由此，能够确保将流体控制器1分解后再使用时的开闭再现性。

该流体控制器1不限于上述实施方式，能够对其结构进行各种变更，例如，还可以采用使端口的数量(阀芯等的数量)为三个以上的多联构造。另外，流体控制器1的执行器的构造，既可以全部为双动式(double action type)(如上述实施方式所示，对于活塞31、32的上下移动的双方都通过压缩空气进行的方式)，也可以通过变更活塞的形状、或变更使其上下移动的结构而使其一部分或全部为常闭式(即如下方式：活塞31、32的向上方的移动，通过将压缩空气从流路开放用压缩空气配管连接部44、45导入至流路开放用压缩空气导入室36b、37b而进行；活塞31、32的向下方的移动，代替将压缩空气从流路闭锁用压缩空气配管连接部42、43导入至流路闭锁用压缩空气导入室36a、37a，而是通过压缩盘簧等的弹压部件进行)或常开式(即如下方式：活塞31、32的向下方的移动，通过将压缩空气从流路闭锁用压缩空气配管连接部42、43导入至流路闭锁用压缩空气导入室36a、37a而进行；活塞31、32的向上方的移动，代替将压缩空气从流路开放用压缩空气配管连接部44、45导入至流路开放用压缩空气导入室36b、37b，而是通过压缩盘簧等的弹压部件进行)。

另外，根据上述的第一实施方式，压缩空气配管连接部42、43、43、44全部共四个，使从各压缩空气配管连接部42、43、43、44导入的压缩空气相互关联地进行ON·OFF，由此，对二通阀开而三通阀闭的状态和二通阀闭而三通阀开的状态进行切换，但还可以如图6以及图7所示，通过将压缩空气配管连接部68、69减少为两个并追加所需要的压缩空气通路71、72，从而在从一方的压缩空气配管连接部68导入压缩空气时，成为二通阀开而三通阀闭的状态；在从另一方的压缩空气配管连接部69导入压缩空气时，成为二通阀闭而三通阀开的状态。以下的说明中，对与图1相同的结构标注相同的标记，省略其详细的说明。

图6以及图7中，第二实施方式的流体控制器1是左侧的二通阀和右侧的三通阀一体化而成的被称为三通两头(气缸)构造的三通阀的流体控制器，具有：阀体组件2，该阀体组件2是多个部件11、12、13、14、15、16、17的组装体，包含左右两个阀芯12、13以及保持这些阀芯的阀体11；执行器组件3，该执行器组件3是多个部件61、62、63、64、65、38、39、40、41的组装体，包含左右两个活塞61、62以及通过与活塞一体地上下移动而开闭各阀芯12、13的左右两个阀杆63、64，通过组件彼此结合用螺纹机构4，各自预先组装的阀体组件2和执行器组件3以能够分解的方式结合。

各活塞61、62经由O型环而以能够滑动的方式配置在各气缸室66、67内，各活塞61、62的上表面和执行器盖罩65的顶壁下表面之间成为流路闭锁用压缩空气导入室66a、67a，各活塞61、62的下表面和各导向件38、39的上表面之间成为流路开放用压缩空气导入室66b、67b。在各阀杆63、64的上部设有流路开放用压缩空气通路71、72，该流路开放用压缩空气通路71、72的下端与流路开放用压缩空气导入室66b、67b连通，上端在各阀杆63、64的上端面开口。

在执行器盖罩65上，在其左侧以及右侧分别设有压缩空气配管连接部68、69。这些压缩空气配管连接部68、69兼作为流路闭锁用压缩空气导入室66a、67a以及流路开放用压缩空气导入室66b、67b。即，左侧的压缩空气配管连接部68经由主通路73与二通阀侧的流路开放用压缩空气通路71连通，且经由倒L字状的延长通路75与三通阀侧的流路闭锁用压缩空气导入室67a连通；右侧的压缩空气配管连接部69经由主通路74与三通阀侧的流路开放用压缩空气通路72连通，且经由倒L字状的延长通路76与二通阀侧的流路闭锁用压缩空气导入室66a连通。

此外，各延长通路75、76不与压缩空气配管连接部68、69处于同一截面内，如图7所示，是前后(图7的上下)错开的结构，但在图6中，为了方便而将其表示在同一图中。

图6中，在没有导入压缩空气的状态下，由于各隔膜12、13的弹力，各阀杆63、64位于将出口通路24、25开放的上方位置，各活塞61、62的上表面与气缸室66、67的上表面抵接。在该状态下，若从左侧的压缩空气配管连接部68导入压缩空气，则压缩空气经由主通路73以及二通阀侧的流路开放用压缩空气通路71而被导入二通阀侧的流路开放用压缩空气导入室66b，并且，经由延长通路75而被导入三通阀侧的流路闭锁用压缩空气导入室67a。其结果是，二通阀侧的活塞61向上方移动，三通阀侧的活塞62向下方移动。因此，成为二通阀侧的通路24为开而三通阀侧的通路25为闭的状态。

在图6的状态中，若从右侧的压缩空气配管连接部69导入压缩空气，则压缩空气经由主通路74以及三通阀侧的流路开放用压缩空气通路72而被导入三通阀侧的流路开放用压缩空气导入室67b，并且，经由延长通路76而被导入二通阀侧的流路闭锁用压缩空气导入室66a。其结果是，二通阀侧的活塞61向下方移动，三通阀侧的活塞62向上方移动。因此，成为二通阀侧的通路24为闭而三通阀侧的通路25为开的状态。

在该第二实施方式中，与第一实施方式同样地提高了部件更换以及分解清洗等的维护性，而且，能够通过一个操作同时进行二通阀的开或闭和三通阀的闭或开，所以，能够容易且可靠地进行其开闭控制。

工业实用性

本发明的流体控制器，作为例如三通阀，由于能够进行流体通路的开闭而能够用于各种用途，部件更换以及分解清洗等的维护性提高，由此，操作容易且使用用途广。

Claims

1.一种流体控制器，其特征在于，具有：阀体组件，是多个部件的组装体，包括多个阀芯以及保持阀芯的阀体；执行器组件，是多个部件的组装体，包括多个活塞以及通过与活塞一体地上下移动而开闭各阀芯的多个阀杆，分别预先组装的阀体组件和执行器组件以能够分解的方式结合，阀体组件以及执行器组件的任一个或双方由多个层叠体形成。

2.如权利要求1所述的流体控制器，其特征在于：将设有流体通路且支承作为阀芯的隔膜的阀体作为第一层叠体，在该第一层叠体上重叠经由隔膜推压件而固定隔膜的第二层叠体，第一层叠体和第二层叠体以能够分解的方式结合，由此，形成阀体组件。

3.如权利要求1所述的流体控制器，其特征在于：重叠第三层叠体和第四层叠体，该第三层叠体形成有供活塞进行上下移动的气缸室，该第四层叠体保持引导阀杆的导向件，第三层叠体和第四层叠体以能够分解的方式结合，由此，形成执行器组件。

4.如权利要求1～3的任一项所述的流体控制器，其特征在于：该流体控制器是二通阀和三通阀一体化而成的三通两头构造，在二通阀侧以及三通阀侧，分别设有用于使活塞向下方移动的流路闭锁用压缩空气导入室以及用于使活塞向上方移动的流路开放用压缩空气导入室的至少一个压缩空气导入室，并设有压缩空气配管连接部，该压缩空气配管连接部用于向所述流路闭锁用压缩空气导入室以及所述流路开放用压缩空气导入室导入压缩空气。

5.如权利要求1～3的任一项所述的流体控制器，其特征在于：该流体控制器是二通阀和三通阀一体化而成的三通两头构造，在二通阀侧以及三通阀侧，分别设有用于使活塞向下方移动的流路闭锁用压缩空气导入室和用于使活塞向上方移动的流路开放用压缩空气导入室，分别设有用于向各流路闭锁用压缩空气导入室导入压缩空气的压缩空气配管连接部，二通阀侧的压缩空气配管连接部和三通阀侧的流路开放用压缩空气导入室连通，三通阀侧的压缩空气配管连接部和二通阀侧的流路开放用压缩空气导入室连通。