CN102452574B - 膜分离装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种膜分离装置。本膜分离装置通过使用由加热块和加热刀片构成的加热单元来分离留在衬底上的聚酯膜，并包括：衬底支撑部件，用于支撑衬底；固定轴，设置在衬底支撑部件的上部上；移动轴，设置成可在固定轴中竖直地移动；以及加热单元，与移动轴相结合；其中，所述加热单元包括：加热块，与移动轴的下部相结合；以及加热刀片，通过使用由加热块产生的热对支撑在衬底支撑部件上的衬底的堆叠件加压。

Description

膜分离装置

相关申请的交叉引用

根据美国法典第35篇第120节第119条第(e)项，本申请要求于2010年10月25日提交的题为“膜分离装置(Film Detaching Device)”的韩国专利申请No.10-2010-0104068的权益，其内容整体通过引证结合到本申请中。

技术领域

本发明涉及一种膜分离装置，且更具体地，涉及一种通过由加热块和加热刀片(blade)构成的加热单元来分离留在衬底上的聚酯膜的膜分离装置。

背景技术

用于在制造印刷电路板(PCB)的过程中改善曝光性能并防止由于外来物质所造成的污染的聚酯膜应在完成曝光之后通过剥离而进行分离。但是，由于生产率和剥离成功率低，对目前所使用的自动化系统的利用较低。因此，工人手工地剥离聚酯膜，并转而供给至显影工艺。

存在的问题在于，由于上述手工作业所导致的劳动力需求及工人疲劳和肌肉骨骼患病的风险已增加。

目前所使用的剥离系统具有这样一种结构，即，在进行剥离之前，对聚酯膜和光致抗蚀层施加主要的外力，这成为产生对产品的质量具有影响的外来物质的一个因素。因此，迫切地需要一种能够解决相关技术的问题的剥离技术。

已知的是，日本专利特许公开No.2002-211836公开了根据相关技术的一种膜分离技术。相关技术具有这样一种结构，即，在通过载体辊承载衬底的同时，通过提起通过滚花辊而形成有凹凸不平之处的表面的膜端而部分地形成剥离部件并通过粘附辊执行剥离。但是，由于布线衬底的厚度减小，粘附辊的粘附不均匀，从而使得衬底的端部可能在剥离膜的工艺过程中弯曲，并可能卷入到膜分离装置中。

发明内容

本发明的一个目的在于，提供一种能够通过使用加热刀片来容易地分离留在衬底上的膜的膜分离装置。

根据本发明的一个示例性实施例，提供了一种膜分离装置，包括：衬底支撑部件，支撑衬底；固定轴，设置在衬底支撑部件的上部上；移动轴，设置成可在固定轴中竖直地移动；以及加热单元，与移动轴相结合，其中，加热单元包括：加热块，与移动轴的下部相结合；以及加热刀片，通过使用由加热块产生的热对支撑在衬底支撑部件上的衬底的堆叠件加压。

可通过使用设置在移动轴的一侧处的压力控制装置来使移动轴在固定轴中上下移动。

压力控制装置可通过使用气压来使移动轴移动。

膜分离装置可进一步包括设置在移动轴的外侧处的弹性件，所述弹性件由卷簧构成。

加热块可包括不断地(constantly)控制温度的热控制器。

被传递有由加热块产生的热的加热刀片可以对堆叠件加压的倒三角形横截面形成。

对衬底上的堆叠件加压的加热刀片可仅使衬底上的堆叠件中的聚酯膜熔化。

对衬底上的堆叠件加压的加热刀片可切割衬底上的堆叠件。

在通过传递导向部件的导向部件使加热刀片水平地移动的同时，加热刀片对衬底上的堆叠件水平地加压。

加热刀片可在衬底上的没有形成电路的部分处对干膜和聚酯膜加压。

堆叠件上的聚酯膜可通过加热刀片加压，且然后通过使用胶带分离。

堆叠件可为顺序地堆叠在衬底上的干膜和聚酯膜。

面向加热刀片的衬底支撑部件可定位在衬底的下部上，并且衬底支撑部件上可安装有辊。

附图说明

图1和图2是根据本发明一示例性实施例的膜分离装置的横截面图；以及

图3至图6是示出了根据本发明的该示例性实施例的分离膜的工艺的示意图。

具体实施方式

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例进行描述的描述，将清楚地理解关于根据本发明的膜分离装置的目的的作用效果和技术构造。

但是，本发明可以许多不同的形式进行修改，且不应理解为限于本文中所阐述的实施例。反而，可提供这些实施例，以使本公开将是详尽且完整的，并将本发明的范围完全传达给本领域技术人员。

将参照图1和图2对根据本发明的一示例性实施例的膜分离装置进行详细描述。

根据本发明的该示例性实施例的膜分离装置构造成包括：固定轴10，设置在衬底支撑部件的顶部上；移动轴20，设置成可在固定轴中竖直地移动；弹性件30，防止衬底100受损；加热单元40，构造成包括加热块42和加热刀片44，所述加热块包括能够控制温度的控制器，所述加热刀片用于不断地传导来自加热块42的温度；以及衬底支撑部件50，在面向加热单元40的加热刀片44的同时支撑衬底100。

固定轴10连接至固定轴支撑部件15，且固定轴支撑部件15连接至支撑件60。

移动轴20设置在固定轴10的下侧处，且等于或小于固定轴10的内径。通过将移动轴20的顶端部插入到固定轴中，可使移动轴20上下移动。另外，根据衬底100的厚度，通过使用单独设置在移动轴20的一侧处的压力控制装置(未未出)，可使移动轴20在固定轴10中自由移动。

所述压力控制装置为控制气压的装置，并与固定轴20相连接。本发明通过使用气压而使移动轴20在固定轴10中竖直地移动；但是，使移动轴20竖直地移动的方法并不限于气压。

另外，移动轴20与固定轴10之间设置有弹性件30，从而防止衬底100受损。弹性件30可以卷簧类型设置在移动轴20的外侧处。但是，除了移动轴20的外侧以外，弹性件30可设置在施加有弹力的所有位置。另外，当加热刀片44如下所述地将要接触衬底100时，通过使用与移动轴20相连接的压力控制装置，弹性件30可防止衬底100由于加热刀片44而受损。

加热单元40可构造成包括加热块42和加热刀片。

加热块42设置在移动轴20的底端处，并且加热块42单独包括能够不断地控制温度的热控制器(未示出)，并可将热传递至加热刀片44。传递至加热刀片44的热的温度可为200℃至400℃，这能使存在于衬底100上的干膜120和聚酯膜103熔化。

加热块42的远端可安装有加热刀片44，并且加热刀片44被传递有来自加热块42的热。加热刀片44可以倒三角形横截面形状设置在加热块的底端处，从而按照预定的部分来切割和刮去(scratch)顺序地堆叠在衬底100上的干膜102和聚酯膜103。但是，如果加热刀片具有使其能线性地接触存在于衬底100上的干膜102和聚酯膜103的形状，则可允许加热刀片44的这种形状。此外，接触干膜102和聚酯膜103的加热刀片44的数量并不限于此。

衬底支撑部件50定位在衬底100的底端上，并通过衬底支撑部件50固定至支撑件60。

衬底支撑部件50定位在衬底100的底面处，以支撑衬底100。此外，衬底支撑部件50的顶面设置有辊(roller)，从而易于移动衬底100。

支撑件60可固定衬底支撑部件50和固定该固定轴10的固定轴支撑部件15。

此外，可经由形成在传递导向部件70中的导向部件75使支撑件60左右移动，从而使得衬底支撑部件50和固定至支撑件60的固定轴支撑部件15左右移动。

可通过气压使支撑件60沿着传递导向部件70移动，但并不限于此。因此，可通过电、油压等使支撑件60左右移动。

传递导向部件70附接至固定部件80。

可通过传送带(未示出)使衬底100在加热部件40与衬底支撑部件50之间移动，并可通过加热单元40的加热刀片44切割和刮去衬底100上的干膜102和聚酯膜103。

将参照图3至图6对使用根据本发明的该示例性实施例的膜分离装置的膜分离方法和固定顺序进行详细描述。

按照根据本发明的该示例性实施例的膜分离的固定顺序，通过图3中的传送带(未示出)使衬底100在附接至移动轴20的底端的加热单元40的加热刀片与衬底支撑部件50之间移动。在加热刀片44与衬底支撑部件50之间移动的衬底100可以是衬底100的没有形成电路的端部。但是，即使衬底100不是衬底100的上述端部，其也可以是没有形成电路的部分，而并不限于此。

在这种情况下，加热部件40与衬底支撑部件50可分开得宽于衬底100的厚度，从而使得衬底100可插入其中。在这种构造中，固定衬底支撑部件50，并且移动轴20移动到固定轴10中。

另外，可通过传送带(未示出)使衬底100在加热单元40与衬底支撑部件50之间前进(progress)，但并不限于此。根据使用者之便，使衬底100在支撑件60的前进方向或之相反的方向上移动，从而使得可前进至没有形成电路的衬底100。支撑件60可沿着形成在传递导向部件70中的导向部件75移动。

在图4中，通过移动轴20加热刀片44可接触衬底100。在这种情况下，移动轴20可朝着衬底100移动，直至加热刀片44线性地接触干膜102和聚酯膜103。在一些情况下，加热刀片44可接近衬底100的顶面。电路可没有形成在加热刀片44所接近的衬底100上。

另外，能将来自加热块42的热传递至加热刀片44。

在图5中，可通过加热刀片44来切割顺序地堆叠在衬底100上的干膜102和聚酯膜103。

作为另一个示例性实施例，将来自加热块的210℃至250℃的热传递至加热刀片44，以对顺序地堆叠在衬底100上的干膜102和聚酯膜103加压。在这种情况下，由于干膜102的熔点为约200℃，而聚酯膜103的熔点为260℃或更高，因此通过加热刀片44仅使通过加热刀片44加压的干膜102和聚酯膜103中的干膜102熔化。

在这种构造下，支撑件60沿着传递导向部件70的导向部件75左右移动，从而使得加热刀片44左右移动，由此切割形成在衬底100上的干膜102和聚酯膜103，或仅使聚酯膜103熔化。

作为另一个示例性实施例，在通过传送带使衬底100左右移动的同时，可通过加热刀片44切割干膜102和聚酯膜103，或者可仅使聚酯膜103熔化。

在一些情况下，即使加热刀片44接近衬底100以刮去衬底100，但由于上述衬底为没有形成电路的空(dummy)部分，因此能在任何时候使用上述衬底。

在图6中，通过干膜102使聚酯膜103的底面与衬底100彼此分隔开，并且切割和左右分离聚酯膜103，并使空气进入其间。

将胶带(未示出)附接至进入有空气的聚酯膜103的顶面，从而使得可易于以预定的角度和速度剥离聚酯膜103。

在另一个示例性实施例中，加热刀片44仅使存在于衬底100上的堆叠件中的干膜102熔化，从而使得聚酯膜103和衬底100彼此分隔开，由此使得易于剥离聚酯膜103。

在这种情况下，剥离聚酯膜103的方法可使用粘附辊等，但并不限于此。

根据本发明，包括加热块和加热刀片的膜分离装置能防止在通过现有的滚花工艺的剥离工艺过程中出现外来物质产生现象，并通过使用加热单元的压力控制装置来防止衬底受损。

以上详细描述对本发明进行了举例说明。此外，以上内容仅对本发明的优选实施例进行了例示和描述，而本发明能在各种组合、更改、及环境下使用。也就是说，本领域技术人员应理解的是，在不背离总的发明构思的原理和精神的情况下，可对这些实施例进行替换、修改及更改，总的发明构思的范围在所附权利要求及其等同物中限定。尽管已出于说明的目的公开了本发明的示例性实施例，但本领域技术人员应理解的是，在不背离如所附权利要求中公开的本发明的范围和精神的情况下，可进行各种修改、添加及替换。因此，对本发明的详细描述并非旨在将本发明限制于所公开的实施例。此外，应理解的是，所附权利要求甚至包括其他实施例。

Claims (10)

1.一种膜分离装置，包括：

衬底支撑部件，支撑衬底；

固定轴，设置在所述衬底支撑部件的上部上；

移动轴，设置成可在所述固定轴中竖直地移动；以及

加热单元，与所述移动轴相结合，

其中，所述加热单元包括：

加热块，与所述移动轴的下部相结合，

其特征在于，所述加热单元还包括：

加热刀片，以倒三角形横截面形成，通过使用从所述加热块产生的热对支撑在所述衬底支撑部件上的所述衬底的堆叠件加压，并且

其中，面向所述加热刀片的所述衬底支撑部件定位在所述衬底的下部上，并且所述衬底支撑部件上安装有辊，

其中，在通过传递导向部件的导向部件使所述加热刀片水平地移动的同时，所述加热刀片对所述衬底上的所述堆叠件水平地加压。

2.根据权利要求1所述的膜分离装置，其中，通过使用设置在所述移动轴的一侧处的压力控制装置来使所述移动轴在所述固定轴中上下移动。

3.根据权利要求2所述的膜分离装置，其中，所述压力控制装置通过使用气压来使所述移动轴移动。

4.根据权利要求1所述的膜分离装置，进一步包括以卷簧类型设置在所述移动轴的外侧处的弹性件。

5.根据权利要求1所述的膜分离装置，其中，所述加热块包括不断地控制温度的热控制器。

6.根据权利要求1所述的膜分离装置，其中，对所述衬底上的所述堆叠件加压的所述加热刀片仅使所述衬底上的所述堆叠件中的聚酯膜熔化。

7.根据权利要求1所述的膜分离装置，其中，对所述衬底上的所述堆叠件加压的所述加热刀片切割所述衬底上的所述堆叠件。

8.根据权利要求1所述的膜分离装置，其中，所述加热刀片在所述衬底上的没有形成电路的部分处对干膜和聚酯膜加压。

9.根据权利要求8所述的膜分离装置，其中，所述堆叠件的所述聚酯膜通过所述加热刀片加压，且然后通过使用胶带分离。

10.根据权利要求1所述的膜分离装置，其中，所述堆叠件为顺序地堆叠在所述衬底上的干膜和聚酯膜。