CN102449793A - 压电多层元件 - Google Patents

Abstract

说明一种压电多层元件（1），其具有由烧结的压电层（3）和在所述压电层之间设置的内电极（5a、5b）组成的堆叠（2）。压电层（3）包括至少一个压电层次（34）。所述压电层次（34）的至少一个作为衰减层次（4）来构造，其中所述衰减层次（4）的厚度（40）明显小于至少另一压电层次（34）的厚度（30）。

Description

压电多层元件

技术领域

说明一种压电多层元件，其具有由烧结的压电层和在这些压电层之间所设置的内电极构成的堆叠。这种多层元件例如是压电致动器，该压电致动器可以应用在机动车中以操作喷油阀。

背景技术

在文献DE 10307825 A1中描述了一种多层元件，该多层元件具有陶瓷的应断裂层。

在文献DE 10234787 C1中描述了一种多层致动器，其中在致动器构造中加入了微干扰。

发明内容

要解决的任务是说明一种压电多层元件，其具有提高的可靠性。

说明一种压电多层元件，其具有由烧结的压电层和在这些压电层之间设置的内电极构成的堆叠。

该多层元件优选地具有单片基体，该基体例如由诸如锆钛酸铅（PZT）的压电材料的薄膜来制造。内电极可以以电极层的形式来构造，并借助丝网印刷方法作为金属膏敷设在薄膜上。所述薄膜接着被堆叠、挤压并被共同烧结。在此不必在每个薄膜上都敷设电极层。例如可以相叠地设置一些压电薄膜，在这些压电薄膜之间没有电极层。

“压电层”表示堆叠的一个片段，该堆叠具有压电材料，并在堆叠方向上由两个相邻的内电极来限制。压电层由一个或多个压电层次（Lage）来构造，这些压电层次沿着堆叠方向相叠设置。例如压电层次可以由压电未烧结膜来形成。压电层也可以仅具有一个唯一的压电层次。

优选地在元件的两个相对外表面上敷设外电极。外电极例如包括在堆叠上煅烧的基底金属化部。内电极优选地沿着元件的堆叠方向交替与外电极连接。为此内电极例如交替地引导直至外电极之一，并与第二外电极具有间距。这样，一个极性的内电极通过共同的外电极彼此电气连接。

在烧结和敷设外电极之后，这些压电层被极化。为此例如在相邻的内电极之间施加直流电压并加热所述堆叠。在不同极性的相邻内电极在堆叠方向上不重叠的所谓无效区域中，压电材料完全不伸展或伸展得比在出现重叠的有效区域中小。通过在无效区域和有效区域中压电层的不同伸展，产生了机械应力，该机械应力在极化期间、在热处理或在压电致动器运行中可能导致裂缝。如果这种裂缝平行于堆叠方向，那么就产生以下危险，即不同极性的相邻电极通过裂缝连接并导致元件的短路。

压电层次的至少一个作为衰减层次来构造。该衰减层次比至少另一压电层次具有更小的抗裂强度。

优选地如此降低抗裂强度，即在元件中出现应力时裂缝以高的概率在衰减层次的区域中产生，并仅沿着衰减层次来扩展。这样将防止，裂缝将不同极性的相邻内电极电气连接并导致短路。

优选地该衰减层次与邻接压电层次的粘附强度小于另一压电层次与同其邻接的压电层次的粘附强度。

在这种情况下，裂缝以高的概率在衰减层次和邻接压电层次之间产生，并仅在该区域内扩展。

另外说明一种多层构造的压电致动器，该压电致动器具有由烧结的压电层和在这些压电层之间设置的电极层组成的堆叠。该堆叠包含至少一个压电衰减层次（Schwächungslage），该衰减层次与邻接的压电层之间具有相对于在其他压电层之间的粘附强度减小了的粘附强度。减小的粘附强度由于在烧结过程中较小的压电层活性而产生。

优选地该衰减层次的厚度明显小于至少另一压电层次的厚度。

例如该衰减层次仅是另一压电层次的一半厚。优选地该衰减层次薄于另一压电层次，该另一压电层次位于与衰减层次相同的压电层中。

例如该衰减层次的厚度处于内电极的厚度范围内。在这种情况下该衰减层次例如在丝网印刷方法中被敷设到压电未烧结膜上。

在一个实施方式中，所述衰减层次的厚度大于内电极的厚度。例如衰减层次至少是内电极的两倍厚。优选地衰减层次明显薄于另一压电层次并厚于内电极，例如至少是内电极的两倍厚。比内电极厚的衰减层次例如以未烧结膜的形式来制造。

由于衰减层次的小厚度，裂缝的伸展被限定于在堆叠方向上紧密限定的范围中。这样实现了由裂缝对元件的尽可能小的损害。此外，由于衰减层次在堆叠方向上的小伸展，也将由于存在衰减层次而对元件功能的可能损坏保持为小的。

衰减层次的较小粘附强度例如由衰减层次的材料的较小烧结活性而引起。

优选地，一些压电层次由第一材料制造，并且衰减层次由第二材料来制造，其中第二材料的烧结活性小于第一材料的烧结活性。第二材料尤其可以在烧结过程期间具有相对于第一材料减小的扩散速率。

在该情况下，与压电层次的第一材料与同其邻接的压电层次的第一材料共生相比，衰减层次的第二材料与邻接层次的材料没有那么好地共生。这在烧结的多层元件中导致衰减层次与相邻压电层次的粘附强度减小，并因此导致衰减层次区域中的应断裂处。

对于在堆叠中衰减层次的设置，存在不同的可能性。在一个实施方式中，衰减层次设置在压电层次和内电极之间，并与所述压电层次和内电极邻接。

在另一实施方式中，衰减层次设置在压电层内。优选地在该情况下所述衰减层次设置在压电层的两个压电层次之间，并与这些层次邻接。这种设置所具有的优点是，裂缝不沿着电极层而生成。

优选地，所述元件具有多个衰减层次。这些衰减层次可以在堆叠上分布设置。例如可以在每个通常的、即其粘附强度未降低的压电层次上都邻接一个衰减层次。在另一实施方式中，仅在一些通常的压电层次上邻接衰减层次。优选地所述衰减层次等距离地设置。

在一个实施方式中，所述衰减层次被结构化地构造在与堆叠的堆叠方向垂直的平面中。优选地所述衰减层次具有空缺。

例如在衰减层次中的所述空缺限制到堆叠的有效区域，从而所述衰减层次穿过无效区域而构造。在这种情况下，衰减层次构造在无效区域中以实现尽可能最佳的裂缝形成和裂缝控制。优选地，所述衰减层次的材料至少部分地从无效区域到达有效区域。优选地，与衰减层次邻接的压电层次或内电极的材料到达有效区域中的空缺中，使得在所述空缺内周围的压电层次或邻接的压电层次与内电极固定地烧结在一起。所述空缺优选地如此来设置，即使得所述空缺防止了裂缝从一个外电极完全扩展到另外的外电极。这样能够防止在外电极之间的短路。

在一个实施方式中，所述压电层次包含陶瓷材料。例如为了制造一些压电层次而采用第一陶瓷材料，并为了制造衰减层次而采用第二陶瓷材料。优选地，第一陶瓷材料在其组成方面与第二陶瓷材料仅微小不同，或甚至相同。

例如第二陶瓷材料包含一种陶瓷粉末，该陶瓷粉末具有比第一陶瓷材料中的陶瓷粉末大的颗粒。这导致在第二陶瓷材料中陶瓷颗粒的扩散速率降低，并从而导致衰减层次与邻接层次的粘附强度降低。

在另一实施方式中，第二陶瓷材料包含一种陶瓷粉末，该陶瓷粉末在比第一陶瓷材料中的陶瓷粉末更高的温度下被焙烧。这样可以降低第二材料的烧结活性。

在另一实施方式中，第二陶瓷材料包含一种陶瓷粉末，其中包含比在第一陶瓷材料的陶瓷粉末中更少的铅。例如，所述第二陶瓷材料包含更少份额的氧化铅。这同样导致第二材料的烧结活性的降低。

陶瓷粉末的上述实施方式也可以相组合。例如，所述第二材料可以包含一种陶瓷粉末，在该陶瓷粉末的情况下不仅提高了焙烧温度，而且提高了颗粒大小。

另外还说明一种用于制造压电多层元件的方法。在此提供包含第一压电材料的压电未烧结膜。此外还提供第二压电材料，该第二压电材料在其烧结活性方面与第一压电材料不同。由所述压电未烧结膜和第二压电材料构成堆叠。该堆叠具有包含第二压电材料的至少一个层次。包含第二压电材料的所述层次的厚度在此如此来选择，即使得所述层次在烧结状态下明显比由压电未烧结膜制造的至少另一烧结压电层次要薄。接着对所述堆叠进行烧结。

包含第二压电材料的层次例如可以作为原本的未烧结膜来提供。在构造所述堆叠时，该未烧结膜可以敷设到包含第一压电材料的未烧结膜上。

在一个替代实施方式中，第二压电材料借助丝网印刷敷设到包含第一压电材料的未烧结膜之一上。

附图说明

下面借助示意的并且不是比例正确的附图来解释所说明的元件及其有利的扩展。其中：

图1A示出了压电多层元件的纵剖面，

图1B示出了图1A的放大片段，

图2A示出了压电多层元件的一部分的纵剖面，其中裂缝垂直于内电极延伸，

图2B示出了压电多层元件的一部分的纵剖面，其中裂缝平行于内电极延伸，

图3示出了具有压电衰减层次的压电多层元件的第一实施方式的一部分的纵剖面，

图4示出了具有压电衰减层次的压电多层元件的第二实施方式的一部分的纵剖面，

图5A示出了压电多层元件中的压电衰减层次的第一实施方式的俯视图，

图5B示出了压电多层元件中的压电衰减层次的第二实施方式的俯视图，

图5C示出了压电多层元件中的压电衰减层次的第三实施方式的俯视图，

图5D示出了压电多层元件中的压电衰减层次的第四实施方式的俯视图。

具体实施方式

图1示出了压电致动器形式的压电多层元件1的纵剖面。该元件1具有堆叠2，该堆叠由相叠设置的压电层3和位于这些压电层之间的内电极5a、5b组成。内电极5a、5b作为电极层来构造。压电层3和内电极5a、5b沿着堆叠方向20相叠设置，其中该堆叠方向对应于堆叠2的纵方向。

压电层3包含有诸如锆钛酸铅（PZT）的陶瓷材料或无铅陶瓷。该陶瓷材料也可以包含掺杂物质。内电极5a、5b例如包含银-钯或铜。内电极5a、5b尤其可以包含由纯铜、铜和钯的混合物或合金、纯银、银和钯的混合物或合金、纯铂或铂和银的混合物的集合所构成的材料，或由这些材料之一构成的材料。为了制造堆叠2，例如通过薄膜拉制法或薄膜浇注法来制造未烧结膜，该未烧结膜包含陶瓷粉末、有机粘结剂和溶剂。在一些未烧结膜上，为了形成内电极5a、5b而借助丝网印刷来敷设电极膏。该未烧结膜沿着纵向20相叠堆叠并挤压。从该薄膜堆叠中以所期望的形式分割出该元件的初级产品。最后对由压电未烧结膜和电极层所构成的堆叠进行烧结。

图1B示出了按照图1A的由压电层3和内电极5a、5b构成的堆叠2的一个片段。

压电层3在此表示堆叠的如下区域：该区域包含压电材料并在纵向上由两个相邻的内电极5a、5b限制。一个压电层3可以具有多个压电层次（Lage）34。例如由未烧结膜来制造压电层次34。

在此所示的实施例中，一个压电层3分别具有两个压电层次34。在其他实施方式中，一个压电层3也可以具有仅一个压电层次34或多于两个压电层次34。在堆叠2中，压电层3也可以在其压电层次34的数量上相互不同。

如在图1A中所示，元件1具有两个外电极6a、6b，这些外电极设置在堆叠2的外侧。在此所示的实施方式中，外电极6a、6b设置在元件1的相对的侧面上，并沿堆叠方向20条状地延伸。外电极6a、6b例如包含银-钯或铜，并可以作为金属膏敷设并煅烧到堆叠2上。

内电极5a、5b沿着堆叠方向20交替引导直至外电极6a、6b之一，并与第二外电极6a、6b相间隔。这样，外电极6a、6b沿着堆叠方向20交替地与内电极5a、5b电气连接。为了制造电接线端子，可以例如通过焊接将接线端子元件（在此未示出）敷设到外电极6a、6b上。

元件1在外电极6a、6b之间施加电压时在纵向20上伸展。在所谓的有效区域24中——其中在该有效区域中在堆叠方向20上重叠相邻的内电极5a、5b，在外电极6a、6b上施加电压时产生电场，使得压电层3在纵向20上伸展。在无效区域26a、26b中——其中在该区域中相邻的电极层5a、5b不重叠，该压电致动器仅微小地伸展。

由于在有效区域24和无效区域26a、26b中元件1的不同伸展，在堆叠2中出现机械应力。这种应力可导致堆叠2中的裂缝。

图2A示出了由压电层3和内电极5a、5b组成的堆叠2的一个片段，其中在堆叠2中产生裂缝22。该裂缝22在无效区域26a中平行于内电极5a、5b延伸，在过渡到有效区域24中时弯折，并在该有效区域24中穿过不同极性的相邻内电极5a、5b。这可能导致内电极5a、5b的短路。

图2B示出了由压电层3和内电极5a、5b组成的堆叠2的一个片段，其中同样产生裂缝22。在此裂缝22不仅在无效区域26a、26b中而且也在有效区域24中平行于内电极5a、5b而延伸。在裂缝22如此延伸的情况下，降低了短路的危险。

为了促进裂缝22的这种延伸，在堆叠2中引入压电衰减层次，该压电衰减层次与邻接的压电层次具有降低的粘附强度。通过降低的粘附强度，裂缝22特别容易地在衰减层次与邻接的压电层次之间的界面上产生，并特别容易地沿着该界面扩展。

图3示出了由压电层3和内电极5a、5b组成的堆叠2的纵剖面，其中在该堆叠2的多个位置处设置有压电衰减层次4。堆叠2例如是压电致动器的部分。

压电衰减层次4与压电层3的邻接的压电层次34c具有降低的粘附强度。衰减层次4的粘附强度尤其小于另一压电层次34a与同其邻接的压电层次34b的粘附强度。该压电衰减层次4在此分别设置在压电层次34c与内电极5a、5b之间，并与内电极5a、5b和压电层次34c邻接。该压电衰减层次4沿纵向20看可以设置在邻接的内电极5a、5b的上面或下面。

该压电衰减层次4的厚度40明显小于其他压电层次34a、34b、34c的厚度30。例如该压电衰减层次4的厚度在1与10μm之间。具有这种厚度的衰减层次例如可以借助丝网印刷来制造。在其他实施方式中，压电衰减层次的厚度在1与100μm之间。在10至100μm范围中的衰减层次例如可以通过薄膜拉制来制造。

通过衰减层次4的构造，应该实现了裂缝尽可能在平行于堆叠方向20的平面中延伸。此外，由于微小的厚度40，应该实现了该压电元件1在其功能上尽可能小地受到损害。

为了制造具有衰减层次4的这种堆叠2，例如提供了包含第一压电材料的未烧结膜。在一些未烧结膜上借助丝网印刷来敷设电极膏。接着借助丝网印刷来敷设第二压电材料，该第二压电材料相对于第一压电材料具有降低的烧结活性。该第二压电材料也可以敷设到未烧结膜上，然后再敷设电极膏。之后这些未烧结膜相叠地堆叠、挤压，并分割出该元件的未烧结的初级产品。

替代于此地，可以由包含第二压电材料的压电未烧结膜来制造压电衰减层次4，其中这些未烧结膜然后与其他未烧结膜一起被设置并挤压为一个堆叠。

该堆叠最后例如在800与1500°C之间的范围内的烧结温度下被烧结成单片烧结体。在烧结过程期间，在这些压电层次以及在内电极中微粒的扩散过程导致在这些压电层次与内电极之间的紧密结合。来自电极层的金属微粒尤其与来自陶瓷层的颗粒形成固定的接触。

同样在烧结时由于压电层次中微粒的扩散过程还在一个压电层的各个层次之间形成固定的机械连接。不同层次的陶瓷微粒共生，并在两个层次的界面上形成固定的连接。

第二压电材料在烧结过程期间比第一压电材料具有明显更小的扩散速率。减小的扩散速率导致，来自第二压电材料和第一压电材料的陶瓷微粒仅微弱地共生。在微观上观察，在这些微粒之间的接触优选地仅减弱到形成瓶颈。第二压电材料的扩散速率尤其在高温下、即在烧结过程中存在的800至1500°C范围内的温度下明显小于第一压电材料的扩散速率。

优选地，第二压电材料的组成与第一压电材料的组成仅微小不同，或者相同。

例如在第一压电材料中陶瓷粉末的份额在未烧结状态下处于30与70 体积%之间，优选地在45与60 体积%之间。剩余的体积份额例如由粘结剂和孔隙来占据。

优选地，在第二压电材料中有机粘结剂的体积份额尽可能地接近于第一压电材料中的体积份额。这样就能够避免在除胶过程（Entbinderungsprozess）期间出现问题。

在一个实施方式中，第二压电材料的烧结活性可以通过采用比在第一压电材料中具有更大颗粒的陶瓷粉末而被降低。

例如，第二压电材料包含一种陶瓷粉末，其中颗粒大小的分布中间值d50比第一压电材料中陶瓷粉末颗粒大小的分布中间值大至少0.3μm，优选至少0.6μm。例如，对于其他压电层，陶瓷粉末的颗粒大小的中间值d50在0.3与1.0μm之间，优选在0.4与0.7μm之间。优选地在该衰减层次中陶瓷材料的组成与在其他压电层次中的组成相同。

在另一实施方式中，第二压电材料包含一种陶瓷粉末，该陶瓷粉末在比第一压电材料中的陶瓷粉末更高的温度下被焙烧。焙烧温度中的差别优选至少为20°C，尤其优选地为至少50°C。优选地在衰减层次中陶瓷材料的组成与在其他压电层次中的组成相同。

在另一实施方式中，第二压电材料包含一种陶瓷粉末，其中包含比第一压电材料的陶瓷粉末中更少的例如氧化铅形式的铅。优选地在这种情况下该陶瓷粉末包含锆钛酸铅（PZT）。优选地，差别为至少0.5mol%的铅，尤其优选为至少1.5mol%的铅。

如在图3中所示，在堆叠2中设置多个衰减层次4。在元件1的其他实施方式中，在堆叠2中仅存在一个唯一的衰减层次4。在另一实施方式中，也可以在每个内电极5a、5b上邻接一个衰减层次4。

图4示出了堆叠2的另一实施方式，其中压电衰减层次4设置在压电层3中。这些压电衰减层次4与压电层3的两个层次34c、34d邻接。这种堆叠2的制造与根据图3的堆叠2的制造类似地进行，其中在此第二压电材料与电极层不邻接地被敷设。

在此所示的实施例中，在堆叠2中分布设置有多个压电衰减层次4。在其他实施方式中，在堆叠2中可以存在仅仅一个唯一的压电衰减层次4。替代于此地，也可以在压电层3的所有层次34之间设置压电衰减层次4。

在其他实施方式中，也可以将根据图3和图4的压电衰减层次4的设置组合为，使得在堆叠2中一些压电衰减层次4与内电极5a、5b邻接，并且其他的压电衰减层次4设置在压电层3内。

图5A至5D示出了结构化的压电衰减层次4的不同实施方式。利用压电衰减层次4的俯视图可以分别看到元件1的横截面。

外电极6A、6b设置在堆叠2的相对的侧面上，并作为窄条沿着纵向20在成对角的纵棱区域中延伸。电极层（在此不能看到）交替引导直至外电极6A、6b之一，并与另一外电极6A、6b相间隔。无效区域26a、26b在狭窄区域内在成对角的纵棱区域中延伸。

图5A示出了一个实施方式，其中压电衰减层次4覆盖了堆叠2的整个横截面。

图5B示出了一个实施方式，其中压电衰减层次4具有空缺44，该空缺沿着堆叠2的一个对角线延伸。

在该空缺44中能够看到位于下面的压电层的第一压电材料或者内电极5A、5b的材料。优选地该压电衰减层次4借助丝网印刷敷设到另一压电层次上。

压电衰减层次4的材料敷设在无效区域26a、26b的区域中。这样，在出现机械应力并从而也加剧出现裂缝的该区域中，衰减层次在其裂缝形成和裂缝引导能力方面被优化。而在位于有效区域24中的空缺内存在提高的粘附强度。从而裂缝以降低的概率在空缺44的范围中延伸或穿过该空缺44。所述空缺44被设置为，使得裂缝以微小的概率在压电衰减层次4的平面中从一个外电极6a延伸到成对角的外电极6b。这样避免了在外电极6a、6b之间短路的危险。

图5c示出了压电衰减层次4的另一实施方式，其中存在空缺44。在此在有效区域24中也设置有空缺44，并且该空缺被如此设置在无效区域26a、26b之间，即使得裂缝以微小的概率将外电极6a、6b彼此导电连接。该空缺44具有倒圆的轮廓线。这样可以降低裂缝弯折到空缺44中的概率。

图5D示出了另一实施方式，其中压电衰减层次4具有空缺44，该空缺与元件1的相对外侧平行地延伸，在所述外侧上设置有外电极6a、6b，并且该空缺连接该堆叠的另外两个外侧。

压电衰减层次的可能的实施方式不局限于在此所示的几何形状。所述空缺尤其是可以不仅平行于侧面或沿着堆叠的一个对角线延伸，而且也可以具有任意其他的取向。

本发明并不由于借助实施例的说明而局限于此，而是包括每个新的特征以及每种特征组合。这尤其包含权利要求书中的每种特征组合，即使该特征或该组合本身并未在权利要求书或实施例中明确地说明时也是如此。

附图标记列表

1 元件

2 堆叠

20 纵向

22 裂缝

24 有效区域

26a、26b 无效区域

3 压电层

30 厚度

34、34a、34b、34c、34d 压电层次

4 衰减层次

40 厚度

44 空缺

5a、5b 内电极

6a、6b 外电极

Claims (14)

1.一种压电多层元件，具有由烧结的压电层（3）和在所述压电层之间设置的内电极（5a、5b）组成的堆叠（2），其中压电层（3）具有至少一个压电层次（34），

其中所述压电层次（34）中的至少一个作为衰减层次（4）来构造，所述衰减层次具有比至少另一压电层次（34）更小的抗裂强度，以及

其中所述衰减层次（34）的厚度（40）明显小于至少另一压电层次（34）的厚度（30）。

2.根据权利要求1所述的多层元件，

其中所述衰减层次（4）与邻接的压电层次（34c,34d）具有粘附强度，该粘附强度小于另一压电层次（34a）与同其邻接的压电层次（34b）的粘附强度。

3.根据权利要求2所述的多层元件，

其中所述衰减层次（4）的较低的粘附强度由所述衰减层次（34）的材料的较低烧结活性引起。

4.根据权利要求1至3之一所述的多层元件，

其中所述衰减层次（4）的厚度处于1至10μm的范围中。

5.根据权利要求1至4之一所述的多层元件，

其中所述衰减层次（4）设置在压电层次（34c）与内电极（5a,5b）之间，并与二者（34c,5a,5b）邻接。

6.根据权利要求1至4之一所述的多层元件，

其中所述衰减层次（4）设置在压电层（3）内。

7.根据权利要求1至6之一所述的多层元件，

其中在所述堆叠（2）上分布地设置多个衰减层次（4）。

8.根据权利要求1至7之一所述的多层元件，

其中所述衰减层次（4）在垂直于堆叠（2）的堆叠方向（20）的平面中被结构化。

9.根据权利要求8所述的多层元件，

其中所述衰减层次（4）具有空缺（44）。

10.根据权利要求1至9之一所述的多层元件，

其中所述压电层次（34）包含陶瓷材料。

11.根据权利要求10所述的多层元件，

其中所述衰减层次（4）的陶瓷材料在以下特征的至少一个方面与至少另一压电层次（34）的陶瓷材料不同：颗粒大小、焙烧温度和氧化铅含量。

12.一种用于制造压电多层元件的方法，包括以下步骤：

A)提供包含第一压电材料的压电未烧结膜，

B)提供第二压电材料，所述第二压电材料在其烧结活性方面与第一压电材料不同，

C)由所述压电未烧结膜和包含第二压电材料的至少一个层次构成堆叠（2），其中将所述层次的厚度选择为，使得所述层次在烧结状态下明显比由压电未烧结膜所制造的至少另一烧结层次薄，

D)对所述堆叠（2）进行烧结。

13.根据权利要求12所述的方法，

其中在步骤B)中所述第二压电材料作为未烧结膜来提供，并在步骤C)中，所述未烧结膜被敷设到包含所述第一压电材料的未烧结膜上。

14.根据权利要求12所述的方法，

其中在步骤C)中所述第二压电材料借助丝网印刷被敷设到包含所述第一压电材料的未烧结膜上。

Images