CN102409339A - 光纤激光器熔覆制备类金刚石涂层的方法和装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种光纤激光熔覆碳纳米管制备类金刚石涂层的方法和装置,采用光纤激光器熔覆碳纳米管,碳纳米管吸收激光能量迅速发生熔融形成液态碳,随后又以极快的冷却速率冷却,金刚石形核、长大,在这极短的时间内发生了相变,一部分碳纳米管相变成了金刚石相,基体材料微熔的表层发生分子、原子级的扩散,形成了强固的冶金结合的类金刚石涂层,且极快的冷却速度导致非平衡凝固,获得的金刚石组织细小,近似纳米结构。使用的光纤激光头与粉末喷头同轴连接,在真空腔内加工,激光束与碳纳米管束完全重合,在六自由度机器人的柔性加工系统的配合下可以进行任意形状类金刚石涂层的制备和三维立体加工。

Description

光纤激光器熔覆制备类金刚石涂层的方法和装置
技术领域
本发明属于表面工程技术领域,特指一种通过一种光纤激光器进行碳纳米管熔覆制备类金刚石薄膜涂层的方法和装置。
背景技术
类金刚石薄膜是一种非晶碳薄膜,当其中的金刚石相比石墨相多时,膜层呈现出近似金刚石的特性,具有超高的硬度、和导电率等性能,而同时又具有独特的摩擦学特性,可广泛用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域,具有良好的应用前景。制备类金刚石薄膜的方法主要有物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD),具体有离子束辅助沉积法、磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法、脉冲激光沉积法和等离子体增强化学气相沉积。专利号为CN 1962958A的中国专利,公开了一种是用液相电沉积制备类金刚石薄膜的方法,使用石墨作为阳极,基底硅片为阴极,电解电压为高频脉冲直流电压,电解液为二甲亚砜,可以在不规则表面较大面积成膜,然而其沉积速率较慢,所获得涂层较薄。专利号为CN 1603464A的中国专利,公开了一种制备金刚石薄膜的辅助栅极热丝化学气相沉积法,在热丝CVD沉积金刚石薄膜的基础上,增加一种辅助栅极,辅助栅极在热丝作用下先行沉积一层金刚石薄膜,然后在栅极和热丝之间施加直流偏压,正离子轰击栅极表面的金刚石膜,被轰击下来的金刚石原子团溅射到衬底上,溅射对衬底上金刚石的高密度形核和二次形核起了关键作用,保证了纳米金刚石薄膜的生长。但其工艺温度较高,引起基材性能改变工件尺寸变形,且无法在某些熔点低的基材上沉积。
发明内容
本发明的目的是解决类金刚石薄膜涂层制备过程中的反应速率慢、涂层与基体结合强度不够和不能进行三维选区制备的问题,提供一种方便、快速、立体制备类金刚石涂层的方法。
本发明所指的制备类金刚石薄膜的方法采用光纤激光熔覆碳纳米管,碳纳米管吸收激光能量迅速发生熔融,变为液态碳,随后又以极快的冷却速率冷却,金刚石形核并长大,在这极短的时间内产生了一个应力,发生了相变,一部分碳纳米管相变成了金刚石相,其与基体材料微熔的表层发生分子、原子级的扩散,形成了强固的冶金结合的类金刚石涂层,且极快的冷却速度导致非平衡凝固,获得的金刚石组织细小,近似纳米结构。采用光纤传输激光,配合机器人系统,加工柔性化程度极高,可进行三维选区立体制备涂层。本方法获得的类金刚石涂层厚度较厚且厚度均匀可控,反应时间快,涂层与基体的结合强度大。
本发明的装置的构成:
光纤激光器包括三个多模激光二极管泵浦源通过耦合器耦合,光纤光栅将泵浦源的尾纤与掺镱离子光纤盘熔接为一体,聚焦准直器与激光头通过光纤连接;双包层掺镱离子光纤,由纤芯、内包层、外包层和保护层组成,镱离子掺杂在纤芯中,内包层形状为六边形;
光纤激光头与碳纳米管喷头通过螺纹连接固定,碳纳米管喷头底端为直径16mm的光束通道,其中间有一块圆形玻璃挡板,用来保护昂贵的激光头;六自由度机械手安装于真空腔的内壁,六自由度机械手夹持碳纳米管喷头以进行平移、旋转运动,适应多方位立体加工;真空腔为长方体,靠近腔体底面部分有一真空抽气泵,用来控制腔内气压;工件固定夹紧于工作台上;碳纳米管喷头上有四个入粉口,分布在粉末喷头横截面两条垂直直径的同一圆周上,其与送粉器通过导管相接;送粉器的顶端有一加粉口,工作时密封固定,送粉器腔内储有碳纳米管颗粒,通过氩气源载入氩气将碳纳米管通过导管送入四个入粉口,并在粉末喷头底端汇聚形成粉末流,与激光束发生作用;计算机系统控制光纤激光器的运作、激光参数的设置和控制六自由度机械手的运动。
本发明实施方法为:
1. 用砂纸磨除工件表面的氧化层并抛光,然后使用乳化剂、无水乙醇除油清洗,最后干燥处理;
2. 打开真空腔,把工件定位夹紧在工作台上,光纤激光头通过螺纹连接在粉末喷头上,六自由度机械手夹持粉末喷嘴,关闭密封真空腔,使用真空抽气泵抽气,使内压达到10-4~10-2Pa;
3. 在送粉器中添加碳纳米管,搅拌使其混合均匀,通入氩气,设置送粉量为10~20g/min,移动机械手,使喷头上四处粉末汇聚的地方位于预加工表面的平面内;
4. 打开光纤激光器,由计算机设置光纤激光的参数,激光功率为600~1200W,激光光斑直径为5~14mm,激光70%~80%能量被粉末流吸收, 20%~30%能量用于基体材料表层的微熔化。由计算机系统控制六自由度机械手,使得激光束与碳纳米管束流同步同轴扫描工件,搭接率为15~50%。
本法明的有益之处:
1. 使用光纤激光器产生激光束,相比YAG激光器,效率高,寿命长,加工更加灵活,激光束可以方便达到工件的任何部位,且结构简单、散热效果好、光束质量高。采用光纤传输,不需要反射镜片,不用调整外光路,节能环保,激光器不消耗工作气体;
2. 送粉喷头采用载气同轴式设计,激光头与送粉喷头螺纹连接在一起,粉末束与激光束完全重合,且由于光纤的激光传播作用,可以走任意形式的曲线和进行三维立体加工;
3. 本方法获得的类金刚石涂层与基体结合强度高,加工时,碳纳米管完全熔化,基体材料表面微熔,二者在短时间内发生分子、原子级的交互扩散,形成强固的冶金结合,且基材只有微表层熔化,不影响基材的性能和不发生尺寸变形。
4. 本发明不仅适用于制备类金刚石涂层,还可以制备镍基、铁基、钴基、陶瓷等涂层,涂层厚度较厚且可控制。
附图说明
图1本发明关于光纤激光熔覆生成类金刚石涂层的装置原理图。
图中1多模激光二极管泵浦源,2耦合器,3光纤光栅,4双包层掺镱离子光纤,5聚焦准直器,6加粉口,7送粉器,8激光头,9玻璃保护板,10碳纳米管喷头,11四个入粉孔 ,12激光束,13六自由度机械手,14熔覆形成层(类金刚石涂层),15真空腔,16工件,17工作台,18真空抽气泵,19碳纳米管颗粒,20氩气源,21计算机控制系统。
具体实施方式
下面结合附图并使用实例详细说明本发明提出的方法和装置的细节及工作情况
实例1
基体材料为TC4,用砂纸磨除基材表面的氧化层并抛光,然后使用乳化剂、无水乙醇除油清洗,再干燥处理;打开真空腔(15),把工件(16)定位夹紧在工作台(17)上,光纤激光头(8)通过螺纹连接在粉末喷头(10)上,六自由度机械手(13)夹持粉末喷嘴,关闭密封真空腔,使用真空抽气泵(18)抽气,使内压达到5×10-3Pa;在送粉器(7)中添加碳纳米管,搅拌使其混合均匀,通入氩气(20),设置送粉量为20g/min,移动机械手,使喷头上四处粉末汇聚的地方位于预加工表面的平面内;打开光纤激光器,由计算机(21)设置光纤激光的参数,激光功率为900W,激光光斑为圆形光斑,直径6mm,由计算机控制六自由度机械手(13),使得激光束(12)与碳纳米管束流同步同轴扫描工件,搭接率为20%。加工完成后清洗得到的材料从下到上为基体TC4层、碳化钛层和类金刚石层。

Claims (5)

1.一种光纤激光熔覆碳纳米管生成类金刚石涂层的方法,其特征在于,具体步骤为:
(1) 用砂纸磨除工件表面的氧化层并抛光,然后使用乳化剂、无水乙醇除油清洗,最后干燥处理;
(2) 打开真空腔,把工件定位夹紧在工作台上,光纤激光头通过螺纹连接在粉末喷头上,六自由度机械手夹持粉末喷嘴,关闭密封真空腔,使用真空抽气泵抽气,使内压达到10-4~10-2Pa;
(3) 在送粉器中添加碳纳米管粉末,搅拌使其混合均匀,通入氩气,设置送粉量为10~20g/min,移动机械手,使喷头上四处粉末汇聚的地方位于预加工表面的平面内;
(4) 打开光纤激光器,由计算机设置光纤激光的参数,激光功率为600~1200W,激光光斑为5~14mm,由计算机控制六自由度机械手,使得激光束与碳纳米管束流同步同轴扫描工件,搭接率为15~50%。
2. 根据权利要求1所示的一种光纤激光熔覆碳纳米管生成类金刚石涂层的方法,其技术特征在于,激光70%~80%能量被粉末流吸收, 20%~30%能量用于基体材料表层的微熔化。
3. 实施权利要求1所述的一种光纤激光熔覆碳纳米管生成类金刚石涂层的方法的装置,其特征在于,光纤激光器包括三个多模激光二极管泵浦源(1)通过耦合器(2)耦合,光纤光栅(3)将泵浦源的尾纤与掺镱离子光纤盘(4)熔接为一体,聚焦准直器(5)与激光头(8)通过光纤连接;碳纳米管输送装置包括六自由度机械手(13)安装于真空腔(15)的内壁,真空腔为长方体,靠近腔体底面部分有一真空抽气泵(18),碳纳米管喷头(10)上有四个入粉口(11),分布在粉末喷头横截面两条垂直直径的同一圆周上,其与送粉器(7)通过导管相接;送粉器的顶端有一加粉口(6),工作时密封固定,送粉器腔内储有碳纳米管颗粒,通过氩气源(20)载入氩气将碳纳米管通过导管送入四个入粉口。
4. 根据权利要求3所述的一种光纤激光熔覆碳纳米管生成类金刚石涂层的方法的装置,其特征在于,激光熔覆碳纳米管所采用的激光器为高功率光纤激光器。
5. 根据权利要求3所述的一种光纤激光熔覆碳纳米管生成类金刚石涂层的装置,其特征在于,光纤激光头(8)与粉末喷头(10)由螺纹连接成一体,由六自由度机械手(13)控制,同轴同步工作。
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