CN102383175B - 背压式电解刻蚀加工装置 - Google Patents

背压式电解刻蚀加工装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102383175B
CN102383175B CN201110329535.XA CN201110329535A CN102383175B CN 102383175 B CN102383175 B CN 102383175B CN 201110329535 A CN201110329535 A CN 201110329535A CN 102383175 B CN102383175 B CN 102383175B
Authority
CN
China
Prior art keywords
type electrolytic
electrolytic bath
backpressure
electrolytic etching
back pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201110329535.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN102383175A (zh
Inventor
丁宇
范会玉
苏会丽
张芹梅
郝文龙
温明
王世龙
张丽
陶现宾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
China Academy of Launch Vehicle Technology CALT
Capital Aerospace Machinery Co Ltd
Original Assignee
China Academy of Launch Vehicle Technology CALT
Capital Aerospace Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China Academy of Launch Vehicle Technology CALT, Capital Aerospace Machinery Co Ltd filed Critical China Academy of Launch Vehicle Technology CALT
Priority to CN201110329535.XA priority Critical patent/CN102383175B/zh
Publication of CN102383175A publication Critical patent/CN102383175A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102383175B publication Critical patent/CN102383175B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Weting (AREA)

Abstract

本发明提供一种背压式电解刻蚀加工装置。其包括一个背压式电解液槽，在背压式电解液槽上方固定上盖；背压式电解液槽的一侧槽壁上部开有电解液出口，另一侧槽壁下部开有电解液进口，所述的电解液出口的口径小于电解液进口的口径；阴极板设置在背压式电解液槽内、固定在背压式电解液槽底部；在背压式电解液槽内、阴极板对应的上方位置处，设置固定在上盖下方的底座，底座下端面开设凹槽，待电解刻蚀的零件固定放置在该凹槽内；导电螺柱二依次穿过上盖、底座连接至放置在凹槽内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二通过螺母二固定在上盖上。本发明装置可实现电解刻蚀深度均匀一致，满足产品的高精度加工要求，装置简单，可靠，原材料成本低廉，易实现。

Description

背压式电解刻蚀加工装置
技术领域
本发明涉及电解刻蚀加工技术，具体涉及一种满足高精度电解刻蚀加工需求的背压式电解刻蚀加工装置。
背景技术
某些材料产品的电解刻蚀加工精度要求较高，常规电解刻蚀加工后的产品电解刻蚀深度不均匀，零件表面存在未被完全阳极溶解的基体，即电解刻蚀部位的零件表面出现金属局部高点。电解刻蚀加工过程中由于加工区流场不均匀、浓差极化等因素造成产品几何形状不规则。
常规电解刻蚀工装结构如图1所示，阴极板9与安装座8连接，它们整体放置在敞开式电解液槽1内。其中，安装座8上开设凹槽，凹槽内放置待电解刻蚀的零件7和导电板6，导电板6通过导电螺柱一2与导线一4连接。导电螺柱一2由密封盖5和螺母一3固定在安装座8上。
发明内容
本发明提供一种背压式电解刻蚀加工装置，其在电解刻蚀加工过程中，能够确保加工区流场均匀一致，有效减少、浓差极化满足高精度电解刻蚀加工的需求。
实现本发明目的的技术方案：一种背压式电解刻蚀加工装置，其包括一个背压式电解液槽，在背压式电解液槽上方固定上盖；背压式电解液槽的一侧槽壁上部开有电解液出口，另一侧槽壁下部开有电解液进口，所述的电解液出口的口径小于电解液进口的口径；阴极板设置在背压式电解液槽内、固定在背压式电解液槽底部；在背压式电解液槽内、阴极板对应的上方位置处，设置固定在上盖下方的底座，底座下端面开设凹槽，待电解刻蚀的零件固定放置在该凹槽内；导电螺柱二依次穿过上盖、底座连接至放置在凹槽内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二通过螺母二固定在上盖上。
如上所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其所述的电解液出口的口径为电解液进口的口径0.3～1.2倍。
如上所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其所述的导电螺柱二上连接一段延伸出的导线二，所述的阴极板底部连接一段延伸出的导线三。
如上所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其所述的阴极板为不锈钢材料。
本发明的效果在于：
本发明所述的背压式电解刻蚀加工装置，可实现电解刻蚀深度均匀一致，满足产品的高精度加工要求，装置简单，可靠，原材料成本低廉，易实现。本发明装置可推广运用于航空、电子、印刷等领域。
本发明装置采用背压式电解液流场，保证加工区电解液充分且分布均匀，增加电解液循环，通过电解液的流动降低加工部位的浓差极化现象，同时及时带走电解液中的电解产物和气泡，保证零件表面不同部位的腐蚀速度均匀一致。消除零件表面存在未被完全阳极溶解的基体金属局部高点等现象。使电解刻蚀深度均匀一致，实现尺寸0.01±0.005，
Figure BDA0000102359350000021
等的高精度加工要求。
附图说明
图1为常规电解刻蚀工装结构图；
图2为本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置结构示意图；
图中：1.敞开式电解液槽；2.导电螺柱一；3.螺母一；4.导线一；5.密封盖；6.导电板；7.零件；8.安装座；9.阴极板；10.背压式电解液槽；11.电解液出口；12.底座；13.螺母二；4.导线二；15.导电螺柱二；16.上盖；18.阴极板；19.电解液进口；20.凹槽；21.导线三。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置作进一步描述。
如图2所示，本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置包括一个背压式电解液槽10，在背压式电解液槽10上方固定上盖16，背压式电解液槽10的一侧槽壁上部开有电解液出口11，另一侧槽壁下部开有电解液进口19。电解液出口11的口径为于电解液进口19的口径0.3～1.2倍(例如0.3倍、0.7倍、或1.2倍)。
不锈钢阴极板18设置在背压式电解液槽10内、固定在背压式电解液槽10底部。阴极板18底部连接一段延伸出的导线三21。
在背压式电解液槽10内、阴极板19对应的上方位置处，设置固定在上盖16下方的底座12，底座12下端面开设环形的凹槽20，该环形的凹槽20用于放置待电解刻蚀零件，然后通过一个盖板将待电解刻蚀零件固定在凹槽20内。
导电螺柱二15依次穿过上盖16、底座12连接至放置在凹槽20内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二15通过螺母二13固定在上盖16上，并且连接一段延伸出的导线二14。
本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，能够保证在加工区整个流程上电解液流场的均匀分布，提高阳极(待电解刻蚀零件)溶解的集中蚀除能力，降低散蚀能力，同时改善间隙内电场、流场、电化学参数的均匀性和稳定性。采用现有电解刻蚀加工工艺参数，分别通过现有电解刻蚀加工工装与本发明所述的背压式电解刻蚀加工装置，对零件产品进行电解刻蚀加工。该零件产品部分加工尺寸的数据对比如表1所示，普通电解刻蚀加工工装尺寸精度不高，有超差现象(斜体数据)。
表1
Figure BDA0000102359350000031

Claims (3)

1.一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于：该装置包括一个背压式电解液槽（10），在背压式电解液槽（10）上方固定上盖（16）；背压式电解液槽（10）的一侧槽壁上部开有电解液出口（11），另一侧槽壁下部开有电解液进口（19），所述的电解液出口（11）的口径小于电解液进口（19）的口径；阴极板（18）设置在背压式电解液槽（10）内、固定在背压式电解液槽（10）底部；在背压式电解液槽（10）内、阴极板（19）对应的上方位置处，设置固定在上盖（16）下方的底座（12），底座（12）下端面开设凹槽（20），待电解刻蚀的零件固定放置在该凹槽（20）内；导电螺柱二（15）依次穿过上盖（16）、底座（12）连接至放置在凹槽（20）内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二（15）通过螺母二（13）固定在上盖（16）上；所述的电解液出口（11）的口径为电解液进口（19）的口径0.3～1.2倍。
2.根据权利要求1所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于：所述的导电螺柱二（15）上连接一段延伸出的导线二（14），所述的阴极板（18）底部连接一段延伸出的导线三（21）。
3.根据权利要求1所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于：所述的阴极板（18）为不锈钢材料。
CN201110329535.XA 2011-10-26 2011-10-26 背压式电解刻蚀加工装置 Active CN102383175B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110329535.XA CN102383175B (zh) 2011-10-26 2011-10-26 背压式电解刻蚀加工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110329535.XA CN102383175B (zh) 2011-10-26 2011-10-26 背压式电解刻蚀加工装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102383175A CN102383175A (zh) 2012-03-21
CN102383175B true CN102383175B (zh) 2014-06-18

Family

ID=45822989

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110329535.XA Active CN102383175B (zh) 2011-10-26 2011-10-26 背压式电解刻蚀加工装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102383175B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102634227B1 (ko) * 2019-01-18 2024-02-07 한온시스템 주식회사 대전부 및 이를 포함하는 전기집진장치

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4333935A1 (de) * 1993-10-05 1995-04-06 Axel Dipl Ing Fechner Verfahren und Anordnung zum Ätzen von Edelmetallen
DE4338734A1 (de) * 1993-11-12 1995-05-18 Kurt Schwabe Inst Fuer Mes Und Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Metallen und Legierungen durch elektrolytisches Ätzen
CN1072737C (zh) * 1995-10-17 2001-10-10 佳能株式会社 刻蚀方法
CN1163948C (zh) * 2000-11-27 2004-08-25 矽品精密工业股份有限公司 晶片切割研磨制作方法
US20040035717A1 (en) * 2002-08-21 2004-02-26 Casio Micronics Co. , Ltd. Chemical treatment method and chemical treatment apparatus
DE20309429U1 (de) * 2003-06-17 2003-09-18 Reifenhaeuser Masch Abzugsvorrichtung einer Schlauchfolienextrusionsanlage
DE102004019671A1 (de) * 2004-04-22 2005-11-17 Basf Ag Verfahren zum Erzeugen einer gleichmäßigen Durchströmung eines Elektrolytraumes einer Elektrolysezelle

Also Published As

Publication number Publication date
CN102383175A (zh) 2012-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103600144B (zh) 楔形流道电解加工海量阵列微小凹坑的方法及装置
CN102168298B (zh) 一种实验室用金相样品电解腐蚀装置及电解腐蚀方法
CN104607734A (zh) 辅助阳极掩模微细电解加工阵列微坑的系统及方法
CN104928709A (zh) 二氧化锰的电解系统及其生产方法
CN103769700A (zh) 高电位惰性金属模板表面织构电解加工方法
CN102383175B (zh) 背压式电解刻蚀加工装置
CN101967666A (zh) 一种用于钢丝电解磷化的电解磷化池
CN202705522U (zh) 一种点镀装置
CN205046216U (zh) 晶圆电镀夹具
CN105127528B (zh) 阵列群电极微小孔电加工同轴冲液方法及装置
CN107695467B (zh) 一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备方法及装置
CN102864486A (zh) 电解抛光装置
CN202447774U (zh) 一种新型电化学去毛刺装备
CN204102723U (zh) 一种铝电解电容器化成箔的生产装置及其生产线
CN204097586U (zh) 多功能电解槽装置
CN204608191U (zh) 电泳阳极液控制及电压控制系统
CN203487272U (zh) 电沉积装置及其电沉积阳极
CN202688470U (zh) 一种电铸模具装置
CN101255596A (zh) 低压铝箔腐蚀的半波直流布点方法
CN204676182U (zh) 一种电铸装置
CN214694451U (zh) 一种退镀工艺用的电解设备
CN210117239U (zh) 一种大颗粒金刚石电解装置
CN217377397U (zh) 电极槽反应装置
CN203781881U (zh) 一种电解絮凝反应装置
CN204550781U (zh) 铝电解电容器电极腐蚀导电吊架

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant