CN102383175B - 背压式电解刻蚀加工装置 - Google Patents
背压式电解刻蚀加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102383175B CN102383175B CN201110329535.XA CN201110329535A CN102383175B CN 102383175 B CN102383175 B CN 102383175B CN 201110329535 A CN201110329535 A CN 201110329535A CN 102383175 B CN102383175 B CN 102383175B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- type electrolytic
- electrolytic bath
- backpressure
- electrolytic etching
- back pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims description 13
- 230000008676 import Effects 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 210000002421 cell wall Anatomy 0.000 claims description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 6
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
本发明提供一种背压式电解刻蚀加工装置。其包括一个背压式电解液槽，在背压式电解液槽上方固定上盖；背压式电解液槽的一侧槽壁上部开有电解液出口，另一侧槽壁下部开有电解液进口，所述的电解液出口的口径小于电解液进口的口径；阴极板设置在背压式电解液槽内、固定在背压式电解液槽底部；在背压式电解液槽内、阴极板对应的上方位置处，设置固定在上盖下方的底座，底座下端面开设凹槽，待电解刻蚀的零件固定放置在该凹槽内；导电螺柱二依次穿过上盖、底座连接至放置在凹槽内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二通过螺母二固定在上盖上。本发明装置可实现电解刻蚀深度均匀一致，满足产品的高精度加工要求，装置简单，可靠，原材料成本低廉，易实现。
Description
技术领域
本发明涉及电解刻蚀加工技术，具体涉及一种满足高精度电解刻蚀加工需求的背压式电解刻蚀加工装置。
背景技术
某些材料产品的电解刻蚀加工精度要求较高，常规电解刻蚀加工后的产品电解刻蚀深度不均匀，零件表面存在未被完全阳极溶解的基体，即电解刻蚀部位的零件表面出现金属局部高点。电解刻蚀加工过程中由于加工区流场不均匀、浓差极化等因素造成产品几何形状不规则。
常规电解刻蚀工装结构如图1所示，阴极板9与安装座8连接，它们整体放置在敞开式电解液槽1内。其中，安装座8上开设凹槽，凹槽内放置待电解刻蚀的零件7和导电板6，导电板6通过导电螺柱一2与导线一4连接。导电螺柱一2由密封盖5和螺母一3固定在安装座8上。
发明内容
本发明提供一种背压式电解刻蚀加工装置，其在电解刻蚀加工过程中，能够确保加工区流场均匀一致，有效减少、浓差极化满足高精度电解刻蚀加工的需求。
实现本发明目的的技术方案：一种背压式电解刻蚀加工装置，其包括一个背压式电解液槽，在背压式电解液槽上方固定上盖；背压式电解液槽的一侧槽壁上部开有电解液出口，另一侧槽壁下部开有电解液进口，所述的电解液出口的口径小于电解液进口的口径；阴极板设置在背压式电解液槽内、固定在背压式电解液槽底部；在背压式电解液槽内、阴极板对应的上方位置处，设置固定在上盖下方的底座，底座下端面开设凹槽，待电解刻蚀的零件固定放置在该凹槽内；导电螺柱二依次穿过上盖、底座连接至放置在凹槽内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二通过螺母二固定在上盖上。
如上所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其所述的电解液出口的口径为电解液进口的口径0.3～1.2倍。
如上所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其所述的导电螺柱二上连接一段延伸出的导线二，所述的阴极板底部连接一段延伸出的导线三。
如上所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其所述的阴极板为不锈钢材料。
本发明的效果在于：
本发明所述的背压式电解刻蚀加工装置，可实现电解刻蚀深度均匀一致，满足产品的高精度加工要求，装置简单，可靠，原材料成本低廉，易实现。本发明装置可推广运用于航空、电子、印刷等领域。
本发明装置采用背压式电解液流场，保证加工区电解液充分且分布均匀，增加电解液循环，通过电解液的流动降低加工部位的浓差极化现象，同时及时带走电解液中的电解产物和气泡，保证零件表面不同部位的腐蚀速度均匀一致。消除零件表面存在未被完全阳极溶解的基体金属局部高点等现象。使电解刻蚀深度均匀一致，实现尺寸0.01±0.005，
等的高精度加工要求。
附图说明
图1为常规电解刻蚀工装结构图；
图2为本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置结构示意图；
图中：1.敞开式电解液槽；2.导电螺柱一；3.螺母一；4.导线一；5.密封盖；6.导电板；7.零件；8.安装座；9.阴极板；10.背压式电解液槽；11.电解液出口；12.底座；13.螺母二；4.导线二；15.导电螺柱二；16.上盖；18.阴极板；19.电解液进口；20.凹槽；21.导线三。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置作进一步描述。
如图2所示，本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置包括一个背压式电解液槽10，在背压式电解液槽10上方固定上盖16，背压式电解液槽10的一侧槽壁上部开有电解液出口11，另一侧槽壁下部开有电解液进口19。电解液出口11的口径为于电解液进口19的口径0.3～1.2倍(例如0.3倍、0.7倍、或1.2倍)。
不锈钢阴极板18设置在背压式电解液槽10内、固定在背压式电解液槽10底部。阴极板18底部连接一段延伸出的导线三21。
在背压式电解液槽10内、阴极板19对应的上方位置处，设置固定在上盖16下方的底座12，底座12下端面开设环形的凹槽20，该环形的凹槽20用于放置待电解刻蚀零件，然后通过一个盖板将待电解刻蚀零件固定在凹槽20内。
导电螺柱二15依次穿过上盖16、底座12连接至放置在凹槽20内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二15通过螺母二13固定在上盖16上，并且连接一段延伸出的导线二14。
本发明所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，能够保证在加工区整个流程上电解液流场的均匀分布，提高阳极(待电解刻蚀零件)溶解的集中蚀除能力，降低散蚀能力，同时改善间隙内电场、流场、电化学参数的均匀性和稳定性。采用现有电解刻蚀加工工艺参数，分别通过现有电解刻蚀加工工装与本发明所述的背压式电解刻蚀加工装置，对零件产品进行电解刻蚀加工。该零件产品部分加工尺寸的数据对比如表1所示，普通电解刻蚀加工工装尺寸精度不高，有超差现象(斜体数据)。
表1
Claims (3)
1.一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于：该装置包括一个背压式电解液槽（10），在背压式电解液槽（10）上方固定上盖（16）；背压式电解液槽（10）的一侧槽壁上部开有电解液出口（11），另一侧槽壁下部开有电解液进口（19），所述的电解液出口（11）的口径小于电解液进口（19）的口径；阴极板（18）设置在背压式电解液槽（10）内、固定在背压式电解液槽（10）底部；在背压式电解液槽（10）内、阴极板（19）对应的上方位置处，设置固定在上盖（16）下方的底座（12），底座（12）下端面开设凹槽（20），待电解刻蚀的零件固定放置在该凹槽（20）内；导电螺柱二（15）依次穿过上盖（16）、底座（12）连接至放置在凹槽（20）内的待电解刻蚀零件处，导电螺柱二（15）通过螺母二（13）固定在上盖（16）上；所述的电解液出口（11）的口径为电解液进口（19）的口径0.3～1.2倍。
2.根据权利要求1所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于：所述的导电螺柱二（15）上连接一段延伸出的导线二（14），所述的阴极板（18）底部连接一段延伸出的导线三（21）。
3.根据权利要求1所述的一种背压式电解刻蚀加工装置，其特征在于：所述的阴极板（18）为不锈钢材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110329535.XA CN102383175B (zh) | 2011-10-26 | 2011-10-26 | 背压式电解刻蚀加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110329535.XA CN102383175B (zh) | 2011-10-26 | 2011-10-26 | 背压式电解刻蚀加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102383175A CN102383175A (zh) | 2012-03-21 |
| CN102383175B true CN102383175B (zh) | 2014-06-18 |
Family
ID=45822989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110329535.XA Expired - Fee Related CN102383175B (zh) | 2011-10-26 | 2011-10-26 | 背压式电解刻蚀加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102383175B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102634227B1 (ko) * | 2019-01-18 | 2024-02-07 | 한온시스템 주식회사 | 대전부 및 이를 포함하는 전기집진장치 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4333935A1 (de) * | 1993-10-05 | 1995-04-06 | Axel Dipl Ing Fechner | Verfahren und Anordnung zum Ätzen von Edelmetallen |
| DE4338734A1 (de) * | 1993-11-12 | 1995-05-18 | Kurt Schwabe Inst Fuer Mes Und | Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Metallen und Legierungen durch elektrolytisches Ätzen |
| KR100217006B1 (ko) * | 1995-10-17 | 1999-09-01 | 미따라이 하지메 | 에칭 방법, 이 에칭 방법을 사용한 반도체 소자의 제조 방법 및 이 에칭 방법의 실시에 적합한 장치 |
| CN1163948C (zh) * | 2000-11-27 | 2004-08-25 | 矽品精密工业股份有限公司 | 晶片切割研磨制作方法 |
| US20040035717A1 (en) * | 2002-08-21 | 2004-02-26 | Casio Micronics Co. , Ltd. | Chemical treatment method and chemical treatment apparatus |
| DE20309429U1 (de) * | 2003-06-17 | 2003-09-18 | Reifenhäuser GmbH & Co. Maschinenfabrik, 53844 Troisdorf | Abzugsvorrichtung einer Schlauchfolienextrusionsanlage |
| DE102004019671A1 (de) * | 2004-04-22 | 2005-11-17 | Basf Ag | Verfahren zum Erzeugen einer gleichmäßigen Durchströmung eines Elektrolytraumes einer Elektrolysezelle |
-
2011
- 2011-10-26 CN CN201110329535.XA patent/CN102383175B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102383175A (zh) | 2012-03-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103600144B (zh) | 楔形流道电解加工海量阵列微小凹坑的方法及装置 | |
| CN102168298B (zh) | 一种实验室用金相样品电解腐蚀装置及电解腐蚀方法 | |
| CN106881507B (zh) | 一种用于电解加工平面曲折群沟槽的装置及电解加工方法 | |
| CN102059637A (zh) | 一种钢丝的机械去皮方法 | |
| CN104607734A (zh) | 辅助阳极掩模微细电解加工阵列微坑的系统及方法 | |
| CN108588803B (zh) | 一种电沉积装置 | |
| CN104928709A (zh) | 二氧化锰的电解系统及其生产方法 | |
| CN103769700A (zh) | 高电位惰性金属模板表面织构电解加工方法 | |
| CN102383175B (zh) | 背压式电解刻蚀加工装置 | |
| CN105127528B (zh) | 阵列群电极微小孔电加工同轴冲液方法及装置 | |
| CN204516590U (zh) | 一种基于超声强化热质传递提高高压箔容量的装置 | |
| CN202705522U (zh) | 一种点镀装置 | |
| CN205152364U (zh) | 线路板的电镀工艺拖缸板 | |
| CN107695467B (zh) | 一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备方法及装置 | |
| CN102864486A (zh) | 电解抛光装置 | |
| CN202447774U (zh) | 一种新型电化学去毛刺装备 | |
| CN204102723U (zh) | 一种铝电解电容器化成箔的生产装置及其生产线 | |
| CN111058080B (zh) | 一种用于pcb水平电镀的双层钛网阳极 | |
| CN204097586U (zh) | 多功能电解槽装置 | |
| CN204608191U (zh) | 电泳阳极液控制及电压控制系统 | |
| CN202688470U (zh) | 一种电铸模具装置 | |
| CN101255596A (zh) | 低压铝箔腐蚀的半波直流布点方法 | |
| CN210117239U (zh) | 一种大颗粒金刚石电解装置 | |
| CN202401157U (zh) | 镀镍电解槽 | |
| CN217377397U (zh) | 电极槽反应装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140618 |