CN102328901A - 一种金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法 - Google Patents

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别利剑
尹静
陈伟良
何建群
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Tianjin University of Technology
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Abstract

一种金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法,以制备ZnO纳米溶胶为基础,通过提拉成膜和热处理,在氧化铝陶瓷管或硅衬底上原位形成ZnO纳米颗粒膜,然后以此纳米颗粒膜为籽晶,在溶液中外延生长ZnO纳米棒,再通过真空蒸镀方法获得纳米尺度金颗粒修饰的ZnO纳米阵列。本发明的优点是:1)与通常溅射法相比,该方法工艺简单、成本低廉,无需特定的修饰工艺,成本低;2)该材料用于液化石油气传感单元的制备,对液化石油气的检测范围较宽,并可在低于传统传感器工作温度下表现出良好的灵敏度和选择性,特别有利于基于ZnO纳米材料的气体传感阵列的设计,用于液化石油气浓度监测。

Description

一种金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法
技术领域
本发明属于气体传感材料的制备,特别是一种金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法。
背景技术
氧化锌是一种重要的宽带隙化合物半导体,在化学传感器、压电、光催化、光电转换、蓝绿发光二极管和激光器等领域具有重要的应用价值。一维纳米材料,包括纳米线、纳米棒和纳米管,由于具有比薄膜更大的比表面积,在气体传感器中得到了广泛的应用。但对于液化石油气,目前高性能气体传感器仍未达到满意的灵敏度和选择性,普遍存在工作温度高,响应时间长,灵敏度较低等问题。本专利所使用的金纳米颗粒敏化法高性能的ZnO纳米阵列LPG传感单元,可能实现低温或室温下工作。
发明内容
本发明的目的是针对上述存在问题,提供一种金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法,该方法工艺简单、成本低,传感单元对液化石油气的检测范围较宽,并可在低于传统传感器工作温度下表现出良好的灵敏度和选择性。
本发明的技术方案:
一种金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法,以制备ZnO纳米溶胶为基础,通过提拉成膜和热处理,在氧化铝陶瓷管或硅衬底上原位形成ZnO纳米颗粒膜,然后以此纳米颗粒膜为籽晶,在溶液中外延生长ZnO纳米棒,再通过真空蒸镀方法获得纳米尺度金颗粒修饰的ZnO纳米阵列,步骤如下:
1)将醋酸锌与无水乙醇混合,在70-95℃温度下进行预水解,再与水合氢氧化锂进行水解反应,经磁力搅拌1-2小时后,得到氧化锌溶胶;
2)通过提拉成膜将ZnO溶胶原位生长于氧化铝陶瓷管或硅衬底上,在300-400℃温度下热处理0.5-2小时,获得ZnO纳米晶种膜;
3)将上述ZnO纳米颗粒膜放入生长液中在80-100℃的温度下原位反应2-3小时,生长后的样品用蒸馏水冲洗以除去吸附的多余离子和盐, 烘干后获得ZnO纳米棒阵列;
4)采用真空蒸镀法将金覆盖在上述ZnO纳米棒阵列表面,蒸镀电流为5-20mA,然后在温度为300-600℃条件下进行热处理0.5-3小时以在其表面形成金纳米颗粒,即可制得金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系。
所述醋酸锌与无水乙醇的用量比为0.05-0.15mol/L;水合氢氧化锂与醋酸锌的质量比为1:2.5-4.5。
所述生长液为硝酸锌和六次甲基四胺以等摩尔比混合的水溶液,其中硝酸锌在水溶液中的浓度为0. 01-0. 05mol/L。
本发明的工作原理是:ZnO纳米阵列的高比表面效应、Au纳米颗粒的高催化效应以及二者结合的耦合作用。
本发明的优点是:1)与通常溅射法相比,该方法工艺简单、成本低廉,无需特定的修饰工艺,成本低;2)该材料用于液化石油气传感单元的制备,对液化石油气的检测范围较宽,并可在低于传统传感器工作温度下表现出良好的灵敏度和选择性,特别有利于基于ZnO纳米材料的气体传感阵列的设计,用于液化石油气浓度监测。
 
【附图说明】
图 1 为金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系形貌SEM照片。
图2为不同LPG浓度下氧化锌和金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系LPG传感器的灵敏度曲线。
【具体实施方式】
    实施例:
一种金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法,以制备ZnO纳米溶胶为基础,通过提拉成膜和热处理,在氧化铝陶瓷管或硅衬底上原位形成ZnO纳米颗粒膜,然后以此纳米颗粒膜为籽晶,在溶液中外延生长ZnO纳米棒,再通过真空蒸镀方法获得纳米尺度金颗粒修饰的ZnO纳米阵列,步骤如下:
1)将5.49g醋酸锌Zn(CH3COO)2·2H2O与250 ml无水乙醇混合,在90℃温度下恒温加热回流预水解成Zn10O4(Ac)12,加入1.5g水合氢氧化锂继续进行水解反应,经磁力搅拌2小时后,得到无色澄清的氧化锌溶胶;
2)将氧化铝陶瓷管放入ZnO溶胶中,通过提拉成膜将ZnO溶胶原位生长于氧化铝陶瓷管上,采用提拉法在氧化铝陶瓷管上形成一层均匀ZnO胶体膜,然后将陶瓷管放入马弗炉中320 ℃热处理30 min得到ZnO纳米晶种膜;
3)称取2.23 g硝酸锌Zn(NO3)2·6H2O和1.05 g六次甲基四胺C6H12N4置于烧杯中,然后用容量瓶量取250 mL去离子水加入烧杯,超声使其溶解,配制成浓度为0.03 mol/L生长液,将表面形成了一层均匀ZnO纳米晶种膜的氧化铝陶瓷管浸入混合溶液中,90 ℃恒温水浴生长3 h,使ZnO种子膜自催化外延生长ZnO纳米棒阵列;
4)采用真空蒸镀法用高纯金片在ZnO纳米棒阵列表面均匀地蒸镀上一层均匀膜,蒸镀电流为15mA,然后将得到的样品放入马弗炉中500 ℃温度下热处理1 h以在其表面形成金纳米颗粒,即可制得金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系。
图1为金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系形貌SEM照片。图中显示:ZnO纳米棒大小一致,金纳米颗粒均匀的分布在ZnO纳米棒表面,颗粒大小约为11nm。
图2为不同LPG浓度下氧化锌和金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系LPG传感器的灵敏度曲线。从图中可知,工作温度为340℃时,两种传感器的灵敏度随着气体浓度增大而增大,但值得注意的是Au纳米颗粒修饰ZnO线阵列LPG传感器的灵敏度总是高于纯ZnO纳米阵列,气敏性能得到明显提高。

Claims (3)

1.一种金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法,其特征在于:以制备ZnO纳米溶胶为基础,通过提拉成膜和热处理,在氧化铝陶瓷管或硅衬底上原位形成ZnO纳米颗粒膜,然后以此纳米颗粒膜为籽晶,在溶液中外延生长ZnO纳米棒,再通过真空蒸镀方法获得纳米尺度金颗粒修饰的ZnO纳米阵列,步骤如下:
1)将醋酸锌与无水乙醇混合,在70-95℃温度下进行预水解,再与水合氢氧化锂进行水解反应,经磁力搅拌1-2小时后,得到氧化锌溶胶;
2)通过提拉成膜将ZnO溶胶原位生长于氧化铝陶瓷管或硅衬底上,在300-400℃温度下热处理0.5-2小时,获得ZnO纳米晶种膜;
3)将上述ZnO纳米颗粒膜放入生长液中在80-100℃的温度下原位反应2-3小时,生长后的样品用蒸馏水冲洗以除去吸附的多余离子和盐, 烘干后获得ZnO纳米棒阵列;
4)采用真空蒸镀法将金覆盖在上述ZnO纳米棒阵列表面,蒸镀电流为5-20mA,然后在温度为300-600℃条件下进行热处理0.5-3小时以在其表面形成金纳米颗粒,即可制得金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系。
2.根据权利要求1所述金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法,其特征在于:所述醋酸锌与无水乙醇的用量比为0.05-0.15mol/L;水合氢氧化锂与醋酸锌的质量比为1:2.5-4.5。
3.根据权利要求1所述金颗粒修饰的氧化锌纳米阵列复合体系的制备方法,其特征在于:所述生长液为硝酸锌和六次甲基四胺以等摩尔比混合的水溶液,其中硝酸锌在水溶液中的浓度为0. 01-0. 05mol/L。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102581298A (zh) * 2012-02-20 2012-07-18 山东大学 一种表面电荷密度连续变化的金纳米颗粒阵列
CN103880064A (zh) * 2014-03-24 2014-06-25 济南大学 一种在陶瓷管上原位生长二维片状结构纳米氧化锌的方法
CN104785259A (zh) * 2015-04-21 2015-07-22 福州大学 等离子体金/氧化锌复合纳米片阵列器件的制备及其应用
CN105195144A (zh) * 2015-10-15 2015-12-30 吉林大学 一种合成Au/ZnO棒状异质结光催化剂的方法
CN105548274A (zh) * 2015-12-09 2016-05-04 天津大学 原位合成具有二级孔洞结构的氧化镉纳米气敏元件
CN107884445A (zh) * 2017-11-07 2018-04-06 潘柏霖 一种用于车辆的安全监测系统
CN107884446A (zh) * 2017-11-07 2018-04-06 钟永松 一种基于多元金属氧化物敏感材料的乙醇气体传感器
CN108428858A (zh) * 2018-04-12 2018-08-21 清华大学深圳研究生院 一种稳定的锂金属负极
CN113820364A (zh) * 2021-09-03 2021-12-21 西安理工大学 一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件及制备方法及应用

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0822116A (ja) * 1994-07-08 1996-01-23 Kobe Steel Ltd パターン形成方法
JP3603347B2 (ja) * 1994-10-12 2004-12-22 株式会社デンソー 半導体センサの製造方法
JP2008221398A (ja) * 2007-03-13 2008-09-25 Oki Electric Ind Co Ltd 微小電気機械システムおよび微小電気機械システムの製造方法
WO2008124595A2 (en) * 2007-04-05 2008-10-16 Analog Devices, Inc. Polysilicon deposition and anneal process enabling thick polysilicon films for mems applications
CN101565163A (zh) * 2009-04-10 2009-10-28 黑龙江科技学院 Zn2.33Sb0.67O4原位生长包覆ZnO纤维异质结构材料的制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0822116A (ja) * 1994-07-08 1996-01-23 Kobe Steel Ltd パターン形成方法
JP3603347B2 (ja) * 1994-10-12 2004-12-22 株式会社デンソー 半導体センサの製造方法
JP2008221398A (ja) * 2007-03-13 2008-09-25 Oki Electric Ind Co Ltd 微小電気機械システムおよび微小電気機械システムの製造方法
WO2008124595A2 (en) * 2007-04-05 2008-10-16 Analog Devices, Inc. Polysilicon deposition and anneal process enabling thick polysilicon films for mems applications
CN101565163A (zh) * 2009-04-10 2009-10-28 黑龙江科技学院 Zn2.33Sb0.67O4原位生长包覆ZnO纤维异质结构材料的制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
陈伟良: "金修饰ZnO纳米棒阵列制备及对甲醛气敏性能", 《无机化学学报》, 31 December 2010 (2010-12-31) *

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102581298A (zh) * 2012-02-20 2012-07-18 山东大学 一种表面电荷密度连续变化的金纳米颗粒阵列
CN103880064A (zh) * 2014-03-24 2014-06-25 济南大学 一种在陶瓷管上原位生长二维片状结构纳米氧化锌的方法
CN103880064B (zh) * 2014-03-24 2015-07-08 济南大学 一种在陶瓷管上原位生长二维片状结构纳米氧化锌的方法
CN104785259A (zh) * 2015-04-21 2015-07-22 福州大学 等离子体金/氧化锌复合纳米片阵列器件的制备及其应用
CN105195144A (zh) * 2015-10-15 2015-12-30 吉林大学 一种合成Au/ZnO棒状异质结光催化剂的方法
CN105548274A (zh) * 2015-12-09 2016-05-04 天津大学 原位合成具有二级孔洞结构的氧化镉纳米气敏元件
CN107884445A (zh) * 2017-11-07 2018-04-06 潘柏霖 一种用于车辆的安全监测系统
CN107884446A (zh) * 2017-11-07 2018-04-06 钟永松 一种基于多元金属氧化物敏感材料的乙醇气体传感器
CN107884446B (zh) * 2017-11-07 2021-03-16 钟永松 一种基于多元金属氧化物敏感材料的乙醇气体传感器
CN108428858A (zh) * 2018-04-12 2018-08-21 清华大学深圳研究生院 一种稳定的锂金属负极
CN113820364A (zh) * 2021-09-03 2021-12-21 西安理工大学 一种具有氧化锌纳米棒薄膜的气敏元件及制备方法及应用

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