CN102313927B - 光波导路的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种光波导路的制造方法。该光波导路的制造方法在上敷层的形成中使用兼具仿型性和透光性并且不会产生尺寸偏移的成形模。通过将透光性树脂(20A)和透光性支承板(G)作为形成材料、并使用形状与上敷层的形状相同的模具构件(40)进行模具成形，一体地制作上敷层形成用的成形模(M)。在该成形模(M)的制作中，上述模具构件(40)的脱离痕迹被形成为上敷层形成用的凹部(21)。并且，在形成上敷层时，向上述成形模(M)的凹部(21)内填充上敷层形成用的感光性树脂，在将图案形成在下敷层的表面上的芯浸入该感光性树脂内的状态下，透过上述成形模(M)而使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化。

Description

光波导路的制造方法

技术领域

本发明涉及在光通信、光信息处理、位置传感器、其他的一般光学技术的领域被广泛地使用的光波导路的制造方法。

背景技术

通常，在下敷层的表面上，将光的通路、即芯形成为规定图案，并以覆盖该芯的状态形成上敷层，从而构成光波导路。特别是使上述上敷层的端部形成为透镜部等将上敷层形成为所希望的形状时，使用形成有凹部的成形模来形成上敷层，该凹部具有与该所希望的形状相对应的模面(例如，参照专利文献1)。

另外，本申请人提出有尺寸精度优异的具有透光性的树脂制的成形模来作为上述上敷层形成用的成形模，并已经提出专利申请(日本发明专利申请2010-126714)。该成形模是如下所述那样制作的。即、首先，准备形状与上敷层的形状相同的模具构件，将该模具构件设置在成形模形成用的容器内。接着，向该容器内填充透光性树脂并使透光性树脂硬化。然后，从上述容器中取出该硬化了的透光性树脂，并使上述模具构件脱离，由此，获得将上述模具构件的脱离痕迹作为上敷层形成用的凹部的透光性树脂制的成形模。

使用上述成形模的光波导路的制作如下所述那样进行。即、首先，向上述成形模的凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂。接着，将形成在下敷层的表面上的芯浸入该感光性树脂内，并将上述下敷层按压于上述成形模。然后，透过上述成形模使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化，形成为上敷层。然后，脱模，从而获得由上述下敷层、芯以及上敷层构成的光波导路。

专利文献1：日本特开2008-281654号公报

在制作上述透光性树脂制的成形模的方法中，如果将成形模的壁厚的厚度形成得较薄，则在形成上敷层时，以透过该成形模的方式进行的利用照射线的曝光(透光性)良好，因而优选，但在上述成形模的制作工序中，在使模具构件脱离时，会发现成形模破损(仿型性变差)的倾向。因此，如果将成形模的壁厚的厚度形成得较厚，则这次在使上述模具构件脱离时不易破损(仿型性改善)，但曝光性(透光性)变差，从而会发现上敷层的形成性变差的倾向。上述透光性树脂制的成形模在这点上存在改善的余地。

另外，作为上述成形模的形成材料，喜欢用硅树脂，但因为硅树脂在硬化了的状态下也柔软，所以如果使壁厚的厚度较薄，则在使上述模具构件脱离时，会发现变得更容易破损(仿型性变差)的倾向。另外，即使使壁厚的厚度较厚，也因为硅树脂的硬化体(硅树脂制的成形模)具有自吸附性，所以在形成上敷层时，如果将成形模设置在成形台(成形作业台)上，则由于成形模与成形台之间的接触不均，使成形模被拉伸而变形，从而会发现成形模产生尺寸偏移的倾向。在成形模产生尺寸偏移时，上敷层未形成为设计值，从而芯与上敷层之间的位置关系产生偏移。因此，从芯的顶端射出的光在上敷层的端部的透镜部未被适当地聚光，而在分散的状态下从该透镜部射出。因此，接收该光的一侧的受光强度(光传播特性)下降。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而做成的，其目的在于提供一种光波导路的制造方法，该光波导路的制造方法在上敷层的形成中使用兼具仿型性和透光性并且不会产生尺寸偏移的成形模。

为了达成上述目的，本发明的光波导路的制造方法具有如下所述的工序：在将芯图案形成在下敷层的表面上之后，使用形成有凹部的成形模而以覆盖上述芯的状态形成上敷层，该凹部具有与上敷层的形状相对应的模面，该光波导路的制造方法具有如下的特点：使用下述(A)的成形模来作为上述成形模，上敷层的形成是这样进行的：向上述成形模的凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂，在将上述芯浸入该感光性树脂内的状态下，透过上述成形模使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化而形成为上敷层。

(A)是如下这种带有上述透光性支承板并由透光性树脂制成的成型模，即，将形状与上敷层的形状相同的模具构件设置在成形模形成用的容器内，向该容器内填充透光性树脂，使透光性支承板与该透光性树脂的表面相接触，然后在此状态下，使上述透光性树脂硬化而固着在上述透光性支承板上之后，从上述容器中将硬化后上述透光性树脂与上述模具构件、上述透光性支承板一起取出，以使上述模具构件脱离而获得的上述模具构件的脱离痕迹作为上敷层形成用的凹部，。

本发明人以制作兼具仿型性和透光性并且不会产生尺寸偏移的成形模来作为用于上敷层的形成的成形模为目的，对该成形模的形成材料、制作方法等反复进行了研究。在该过程中，想到了对本申请人已经申请的将透光性树脂作为成型材料、并使用形状与上敷层的形状相同的模具构件来进行模具成形的方法施加改良。即、将形状与上敷层的形状相同的模具构件设置在成形模形成用的容器内，向该容器内填充透光性树脂之后，使透光性支承板与该透光性树脂的表面接触。然后，在此状态下，使上述透光性树脂硬化而固着在上述透光性支承板上。然后，将硬化后上述透光性树脂与上述模具构件、上述透光性支承板一起从上述容器中取出，使上述模具构件脱离，从而制作出透光性树脂制的并带有上述透光性支承板的成形模。

结果，本发明人彻底查明：上述成形模成为被透光性支承板加强的状态，即使将透光性树脂部分的壁厚的厚度形成得较薄，在使上述模具构件脱离时，成形模也不会破损(仿型性优异)。另外，本发明人还彻底查明由于上述成形模能够将壁厚的厚度形成得较薄，因此成为透光性(透过成形模的曝光性)优异的成形模。另外，本发明人发现：在形成上敷层时，即使将上述成形模设置在成形台(成形作业台)上，也因为与该成形台相接触的是上述透光性支承板，所以即使上述成形模的形成材料、即透光性树脂是硅树脂，成形模也不会由于成形模与成形台之间的接触不均而产生尺寸偏移，从而达成本发明。

在本发明的光波导路的制造方法中，上敷层形成用的成形模的制作以如下所述的方式进行：将透光性树脂和透光性支承板作为形成材料，并使用形状与上敷层的形状相同的模具构件进行模具成形，由此，使上述透光性树脂硬化而固着在上述透光性支承板上。因此，上述成形模成为被透光性支承板加强的状态，能够使该成形模成为在使上述模具构件脱离时的仿型性优异、并且将壁厚的厚度形成得较薄而透光性优异的成形模。另外，在形成上敷层的工序中，因为能够使上述成形模的透光性支承板与成形台相接触，所以即使上述成形模的形成材料、即透光性树脂是硅树脂，成形模也不会由于成形模与成形台之间的接触不均而产生尺寸偏移。另外，由于上述成形模的优异的透光性，透过成形模的对上敷层形成用的感光性树脂的曝光性变得良好、再加上上述成形模不会产生尺寸偏移，从而上敷层的形成性变得良好。

特别是上述透光性支承板是石英玻璃板时，能够在成形模的制作工序中，使透光性支承板与透光性树脂的表面接触之后，加热透光性树脂。因此，能够加快上述透光性树脂的硬化速度从而改善生产率。另外，在没有上述石英玻璃板的状态下加热透光性树脂时，该透光性树脂的表面产生起伏，或者，上述透光性支承板是石英玻璃以外的材料时，由于加热产生弊病，都不能制作合适的成形模。

另外，上述成形模的凹部的与覆盖上述芯的顶端部的上敷层部分相对应的模面部分被形成为透镜曲面时，能够获得将覆盖芯的顶端部的上敷层部分被形成为透镜部的光波导路。并且，在该光波导路中，对于从芯的顶端部射出的光，能够利用上述上敷层的透镜部的折射作用，以抑制了发散的状态射出。另外，对于从上述上敷层的透镜部的表面入射的光，能够利用上述透镜部的折射作用，以聚光而使光集中的状态使该光入射到芯的顶端部。即、获得的上述光波导路是光传播特性优异的光波导路。

另外，上述成形模的形成材料、即透光性树脂含有硅树脂时，能够将上述成形模形成为尺寸精度更优异的成形模，从而能够获得光传播特性更优异的光波导路。

附图说明

图1是示意性地表示在本发明的光波导路的制造方法的一实施方式中使用的上敷层形成用的成形模的制造方法的说明图。

图2的(a)～(d)是示意性地表示使用上述成形模的光波导路的制造方法的说明图。

图3是示意性地表示利用图2的(a)～(d)所示的制造方法获得的光波导路的剖视图。

具体实施方式

下面，根据附图详细说明本发明的实施方式。

在本发明的光波导路的制造方法的一实施方式中，在形成上敷层3(参照图2的(d))时，使用将透光性树脂的硬化体20固着在透光性支承板G上而成的成形模M。该成形模M通过如下所述的方式进行制作：通过将透光性树脂和透光性支承板G作为形成材料、并使用形状与上敷层的形状相同的模具构件进行模具成形，使上述透光性树脂硬化而固着在上述透光性支承板G上。即、因为该成形模M成为被上述透光性支承板G加强的状态，所以能够将该成形模M形成为在使上述模型构件脱离时的仿型性优异、并且较薄地形成透光性树脂的硬化体20的壁厚而透光性优异的成形模。本发明的主要的特征在于，制作这样的成形模M并使用该成形模M来形成上敷层3。

另外，在该实施方式中，上述成形模M(参照图2的(c))在上述透光性树脂的硬化体20的下表面上固着有上述透光性支承板G、并在上述透光性树脂的硬化体20的上表面上形成有两个具有与上述上敷层3的形状相对应的模面的凹部21，各凹部21的一端部分(在图2的(c)中为左端部分)被形成为透镜曲面21a。

详细说明上述成形模M的制造方法。

首先，如图1的(a)所示，以突出于底座构件41的上表面的状态将形状与上敷层3(参照图3)的形状相同的模具构件40制作在底座构件41的上表面上。例如通过使用刀具切削板状的构件来进行上述模具构件40的制作。另外，作为上述模具构件40的形成材料可列举例如铝、不锈钢、铁等。特别是考虑到加工性而优选铝。

接下来，如图1的(b)所示，将由上述模具构件40以及底座构件41构成的结构体设置在成形模形成用的容器30内。此时，如图所示，优选以上述模具构件40为上侧、底座构件41为下侧的状态将该结构体设置在上述容器30的底面上。另外，优选在上述容器30的内表面、上述模具构件40以及底座构件41的表面上涂覆脱模剂。

接着，如图所示，向上述容器30内填充液状的透光性树脂20A直到上述模具构件40整体浸入该透光性树脂20A中。作为该透光性树脂20A可列举例如硅氧烷树脂、丙烯酸树脂、环氧树脂等，可以单独地或者两种以上共同地使用这些树脂。特别是考虑到能够将成形模M形成为尺寸精度更优异的成形模而优选含有硅树脂。

然后，使透光性支承板G与所填充的上述透光性树脂20A的表面接触，并且，使该透光性树脂20A硬化。上述透光性支承板G的接触既可以在刚将上述透光性树脂20A填充到上述容器30内之后进行、也可以在经过一段时间而上述透光性树脂20A稍微硬化之后进行。对于与上述透光性支承板G的接触来说优选该透光性树脂20A的硬化程度是适当的大约两日后的硬化程度。另外，根据透光性树脂20A以及透光性支承板G的种类，在常温下、加热下或者利用常温下与加热下的组合来进行上述透光性树脂20A的硬化。

在此，作为上述透光性支承板G的形成材料可列举例如石英玻璃、钠钙硅酸盐玻璃、聚碳酸酯、丙烯等，特别是考虑到在使透光性支承板G与上述透光性树脂20A的表面接触之后能够加热该透光性树脂20A，优选石英玻璃。加热透光性树脂20A时，能够加快透光性树脂20A的硬化速度，从而能够改善生产率。另外，考虑到成形模M(参照图1的(c))的加强性、在下一道工序中使模具构件40脱离时的仿型性、形成上敷层3(参照图2的(d))时的曝光性(透光性)，通常，将上述透光性支承板G的厚度设定在0.5～5.0mm的范围内。

然后，在使上述硬化了的透光性树脂固着在上述透光性支承板G上的状态下，将上述模具构件40以及底座构件41一起从上述容器30中取出。然后，使由上述模具构件40以及底座构件41构成的结构体从硬化了的透光性树脂脱离。上述模具构件40的脱离痕迹成为具有与上敷层3(参照图2的(d))的形状相对应的模面的凹部21(参照图1的(c))。另外，将上述硬化了的透光性树脂中的与底座构件41的周侧部分相对应的部分(不需要的部分)切除，并将上述透光性支承板G的与该切除部分相对应的部分(图示的两端部分)也去掉。这样一来，获得如图1的(c)(与图1的(b)上下相反地图示)所示那样的由透光性树脂的硬化体20和透光性支承板G构成的上述成形模M。

在此，由于在由上述模具构件40以及底座构件41构成的结构体的脱离时，上述成形模M处于被透光性支承板G加强的状态，因此在上述凹部21处不产生损伤，仿型性好。另外，由于上述透光性支承板G的加强，能够将透光性树脂的硬化体20的壁厚形成得较薄，例如，考虑到上述仿型性、曝光性(透光性)等，优选将在图1的(c)中观察的上述凹部21的底面与透光性支承板G的上表面之间的部分的厚度(壁厚)T设定在0.5～5.0mm的范围内。

下面，详细说明光波导路的制造方法。

首先，准备在形成下敷层1时使用的平板状的基座10(参照图2的(a))。作为该基座10的形成材料可列举例如金属、树脂、玻璃、石英、硅等。特别优选不锈钢(SUS)制基板。原因在于不锈钢制基板对热的伸缩抗性优异，从而能够在上述光波导路的制造过程中，将各种尺寸大致维持为设计值。另外，将基座10的厚度设定在例如20μm(膜状)～5mm(板状)的范围内。

接着，如图2的(a)所示，将下敷层1形成在上述基座10的表面上。作为该下敷层1的形成材料可列举热固性树脂或者感光性树脂。使用上述热固性树脂时，将在溶剂中溶解有该热固性树脂的清漆涂覆在基座10的表面上，之后加热该清漆，由此形成为下敷层1。另一方面，使用上述感光性树脂时，将在溶剂中溶解有该感光性树脂的清漆涂覆在基座10的表面上，之后用紫外线等照射线使该清漆曝光，由此形成为下敷层1。将下敷层1的厚度设定在例如5～50μm的范围内。

接着，如图2的(b)所示，利用光刻法将规定图案的芯2形成在上述下敷层1的表面上。作为该芯2的形成材料，优选使用图案化性优异的感光性树脂。作为该感光性树脂可列举例如丙烯酸类紫外线硬化树脂、环氧类紫外线硬化树脂、硅氧烷类紫外线硬化树脂、降冰片烷类紫外线硬化树脂、聚酰亚胺类紫外线硬化树脂等，单独地或者两种以上一起地使用上述的树脂。另外，芯2的截面形状例如是图案化性优异的梯形或者长方形。将芯2的宽度设定在例如10～500μm的范围内。将芯2的厚度(高度)设定在例如25～100μm的范围内。

另外，作为上述芯2的形成材料，使用折射率比上述下敷层1以及下述上敷层3(参照图3)的形成材料折射率高、且在传播的光的波长的条件下透光性高的材料。上述折射率通过使向上述下敷层1、芯2、上敷层3的各形成材料、即树脂中导入的有机基的种类以及含有量中的至少一个发生变化来进行调整，能够使该折射率适当增加或者适当减少。例如，通过将环型芳香族性的基(苯基等)导入到树脂分子中、或者使该芳香族性基团在树脂分子中的含有量增加，能够使折射率变大。另一方面，通过将直链或者环型脂肪族性的基(甲基、降冰片烷基等)导入到树脂分子中、或者使该脂肪族性基在树脂分子中的含有量增加，能够使折射率变小。

然后，如图2的(c)所示，使在上述的工序中制作的上述上敷层形成用的成形模M的凹部21朝上地将该成形模M设置在成形台(未图示)上，向该凹部21中填充上敷层3(参照图2的(d))的形成材料即、液状的感光性树脂3A。

接着，如图2的(d)所示，在将图案形成在上述下敷层1的表面上的芯2浸入上述上敷层3的形成材料、即感光性树脂3A内的状态下，将该芯2相对于成形模M的凹部21进行定位，将上述下敷层1按压于上述成形模M。此时的按压载荷被设定在例如49～980N的范围内。在此，由于上述成形模M的凹部21的形成部分是树脂制的，因此具有耐压性。因此，能够如上述那样将下敷层1按压于成形模M而使其与该成形模M紧密贴合，从而能够防止毛刺的形成。

然后，通过将紫外线等照射线透过上述成形模M向上述感光性树脂3A进行照射而使该感光性树脂3A曝光。通过该曝光，上述感光性树脂3A硬化，形成一端部分被形成为透镜部3a的上敷层3。该上敷层3的厚度(自下敷层1的表面起的厚度)被设定在例如25～1500μm的范围内。在此，上述成形模M通过上述透光性支承板G的加强，能够将透光性树脂的硬化体20的壁厚形成得较薄，因此，能够使透过上述成形模M的曝光性良好，从而能够使上敷层3的形成性良好。

然后，将上述上敷层3与上述基座10、下敷层1、芯2一起从上述成形模M脱模，如图3(与图2的(d)上下相反地图示)所示，获得形成在基座10的表面上的由下敷层1、芯2、上敷层3构成的光波导路。在该实施方式中，形成有两个光波导路，在使用光波导路时，一个一个地切割两个光波导路。

另外，在上述上敷层3的脱模之前或者脱模之后，根据需要进行加热处理。另外，根据需要将上述基座10从下敷层1剥离。

上述光波导路例如能够通过形成为L字板状来用作手指等在触摸面板上的接触位置的检测部件(位置传感器)。即、在上述L字板状的光波导路中，将多个芯2形成为从上述L字板状的角部向内侧端缘部以等间隔地排列状态延伸的图案。制作两个这样的L字板状的光波导路。然后，将发光元件光耦合在一个光波导路的角部的外侧，将受光元件光耦合在另一个光波导路的角部的外侧。然后，将上述光波导路沿着触摸面板的四边形的显示器的窗口周缘部进行设置时，能够用作手指等在触摸面板上的接触位置的检测部件。

另外，在上述的实施方式中，将上敷层3的一端部分形成为透镜部3a，但也可以与另一端部分同样地形成为平面状。

下面，与比较例一起对实施例进行说明。但是，本发明并不限定于实施例。

实施例

(下敷层的形成材料)

通过将100重量份的具有脂环骨架的环氧树脂(ADEKACORPORATION制、EP4080E)、2重量份的光产酸剂(photoacid generator)(San-Apro.Ltd，.制、CPI-200K)、5重量份的紫外线吸收剂(チバジャパン社制、TINUVIN479)混合，调制下敷层的形成材料。

(芯的形成材料)

通过将40重量份的含有芴骨架的环氧树脂(Osaka GasChemicals.co.ltd，.制、OGSOLEG)、30重量份的含有芴骨架的环氧树脂(Nagase ChemteX Corporation制、EX-1040)、30重量份的1，3，3-三{4-(2-(3-氧杂环丁烷基))丁氧基苯基}丁烷、1重量份的光产酸剂(San-Apro.Ltd，.制、CPI-200K)溶解在乳酸乙酯中，调制芯的形成材料。

(上敷层的形成材料)

通过将100重量份的具有脂环骨架的环氧树脂(ADEKACORPORATION制、EP4080E)、2重量份的光产酸剂(San-Apro.Ltd，.制、CPI-200K)混合，调制上敷层的形成材料。

(上敷层形成用的成形模的制作)

首先，使刀具旋转从而切削铝板，由此，以突出于底座构件的上表面的状态将形状与上敷层的形状相同的模具构件制作在底座构件的上表面上。

接着，在以上述模具构件为上侧、底座构件为下侧的状态下，将上述结构体设置在成形模形成用的容器的底面上。另外，在设置上述结构体之前，在上述容器的内表面、上述模具构件以及底座构件的表面上涂覆脱模剂。

然后，向上述容器内填充透光性树脂(Shin-EtsuChemical Co，.Ltd制、PolydimethylsiloxaneSIM-260)，使从上述模具构件的上端面到上述透光性树脂的液面的深度为1mm。然后，在常温(25℃)下放置两天，使该透光性树脂稍微硬化之后，使石英玻璃板(厚度为3mm)与上述透光性树脂的整个表面接触，在该状态下，进行150℃×30分钟的加热处理，由此，使上述透光性树脂完全地硬化。

然后，在使上述硬化了的透光性树脂固着在上述石英玻璃板上的状态下，将硬化了的透光性树脂与上述模具构件、底座构件一起从上述容器中取出之后，使上述模具构件以及底座构件脱离，并且，切除不需要的部分。这样一来，获得了由透光性树脂的硬化体和石英玻璃板构成的上敷层形成用的成形模。在该成形模中，上敷层形成用的凹部的一端部分形成为侧截面形状为大致1/4圆弧状的透镜曲面(曲率半径为1.4mm)。另外，上敷层形成用的凹部的底面与石英玻璃板的上表面之间的部分的厚度为1mm。

(光波导路的制造)

首先，利用涂敷器在不锈钢制基座(厚度为50μm)的表面上涂覆上述下敷层的形成材料。接着，进行1500J/cm²的紫外线照射的曝光，之后进行80℃×5分钟的加热处理，由此，形成厚20μm的下敷层(在波长830nm的折射率＝1.510)。

接着，利用涂敷器在上述下敷层的表面上涂覆上述芯的形成材料，之后进行100℃×5分钟的加热处理，从而形成感光性树脂层。随后，隔着形成有与芯的图案相同形状的开口图案的光刻掩模(间隙100μm)进行2500J/cm²的紫外线照射的曝光，之后进行100℃×10分钟的加热处理。然后，通过使用γ-丁内酯水溶液进行显影而溶解除去未曝光部分，之后通过进行120℃×5分钟的加热处理而图案形成宽20μm、高50μm的截面为长方形的芯(在波长830nm的折射率＝1.592)。

然后，使上述上敷层形成用的成形模的凹部朝上地将该成形模设置在成形台上，向该凹部21中填充上述上敷层的形成材料。

接着，在将图案形成在上述下敷层的表面上的芯浸入上述上敷层的形成材料内的状态下，将上述芯相对于成形模的凹部进行定位，将上述下敷层按压于上述成形模(按压载荷196N)。

接着，透过上述成形模进行5000mJ/cm²的紫外线照射的曝光，由此，形成了上敷层(在波长830nm的折射率＝1.510)，该上敷层的上表面到芯的顶面的厚度为950μm，一端部分被形成为透镜部(侧截面形状为大致1/4圆弧状的凸透镜部(曲率半径1.4mm))。

然后，将上述上敷层、上述不锈钢制基座、下敷层、芯一起从上述成形模脱模，从而获得了形成在不锈钢制基座的表面上的由下敷层、芯、上敷层构成的光波导路。

比较例

在上述实施例中，作为上敷层形成用的成形模使用了没有石英玻璃板的成形模。即、该成形模的制作如下所述：在上述实施例的成形模的制作中，与上述实施例同样，向成形模形成用的容器中填充透光性树脂之后，保持该状态，在常温(25℃)下放置五天，使其大体上硬化，然后，通过进行150℃×30分钟的加热处理使上述透光性树脂完全地硬化。然后，将该硬化了的透光性树脂与模具构件、底座构件一起从上述容器中取出，之后使上述模具构件以及底座构件脱离，并且，切除不需要的部分。这样一来，获得了由透光性树脂构成的上敷层形成用的成形模。在该成形模中，上敷层形成用的凹部的底面与成形模的下表面之间的部分的厚度为1mm。另外，在该成形模的制作中，在上述模具构件以及底座构件的脱离时，上敷层形成用的凹部产生了损伤。

然后，使用由上述透光性树脂构成的成形模，与上述实施例同样，得到了光波导路。

(受光强度的测量)

分别制作各两个上述实施例以及比较例的光波导路，将发光元件(オプトウェル社制、VCS EL)光耦合到一个光波导路的另一端部(未形成有透镜部的端部)，将受光元件(TAOS社制、CMOS线性传感器阵列)光耦合到另一个光波导路的另一端部。然后，将上述两个光波导路以夹着坐标输入区域(对角尺寸76.2mm)并透镜部相对的方式配置。在该状态下，从上述发光元件射出5.0mW的光，对上述受光元件处的受光强度进行了测量。结果，受光强度在使用实施例的光波导路时为0.8mW，在使用比较例的光波导路时为0.3mW。

由上述的结果可知实施例的光波导路在光传播特性上比较例的光波导路优异。

产业上的可利用性

本发明的光波导路的制造方法能够利用在光通信、光信息处理、手指等在触摸面板上的接触位置的检测部件(位置传感器)等所采用的光波导路的制造。

Claims (5)

1.一种光波导路的制造方法，其具有如下所述的工序：在将芯图案形成于下敷层的表面之后，使用形成有凹部的成形模而以覆盖上述芯的状态形成上敷层，该凹部具有与上敷层的形状相对应的模面，该光波导路的制造方法的特征在于，

使用下述(A)的成形模来作为上述成形模，上敷层的形成是这样进行的：使上述成形模的凹部朝上，向上述成形模的凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂，之后，将上述芯浸入该感光性树脂内，在如此这样地将上述芯浸入该感光性树脂内的状态下，透过上述成形模使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化而形成为上敷层；

(A)是如下这种带有透光性支承板且由透光性树脂制成的成形模，即，将形状与上敷层的形状相同的模具构件设置在成形模形成用的容器内，向该容器内填充透光性树脂，使上述透光性支承板与该透光性树脂的表面接触，在此状态下，使上述透光性树脂硬化而固着在上述透光性支承板上之后，从上述容器中将硬化后上述透光性树脂与上述模具构件、上述透光性支承板一起取出，以使上述模具构件脱离而获得成形模的上述模具构件的脱离痕迹作为上敷层形成用的凹部。

2.根据权利要求1所述的光波导路的制造方法，其中，

上述透光性支承板是石英玻璃板。

3.根据权利要求1所述的光波导路的制造方法，其中，

上述成形模的凹部的与覆盖上述芯的顶端部的上敷层部分相对应的模面部分被形成为透镜曲面。

4.根据权利要求2所述的光波导路的制造方法，其中，

上述成形模的凹部的与覆盖上述芯的顶端部的上敷层部分相对应的模面部分被形成为透镜曲面。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的光波导路的制造方法，其中，

作为上述成形模的形成材料的透光性树脂含有硅树脂。