CN102258886A - 去除液体气泡的装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种去除液体气泡的装置，该装置包括储存槽和阀体。储存槽储存混合有很多气泡的液体。阀体的外部具有第一管路、第二管路及第三管路。阀体的内部相对阀体的外部转动，阀体的内部具有第一通孔和第二通孔，第一管路的一端设置在储存槽上，第一通孔与第二通孔连通。当第一通孔及第二通孔分别对应第一管路及第二管路时，浮至液体液面的气泡经由第一管路至第二管路排出。第二管路排出气泡后，通过转动阀体使第一通孔、第二通孔分别对应第三管路、第一管路，可通过第一管路至第三管路将液体排出。

Description

去除液体气泡的装置

技术领域

本发明涉及一种去除液体气泡的装置，具体来讲，涉及转换阀体的通孔以排出液体中气泡的装置。

背景技术

一般芯片是由IC设计公司设计一款芯片电路图后，交由生产光罩的公司以制作成光罩(Reticle/Mask)，再送至晶圆加工厂进行晶圆的代加工，晶圆在封装及测试等过程后，便成为一颗颗的IC芯片。IC芯片在制作过程中，尤以光刻技术(Lithography)为关键，芯片完全依赖此阶段的已决定内部电路质量优劣的制作过程。也就是说，在晶圆上涂布一层极薄的感光材料以进行光罩图案的转印，光阻剂(Photoresist)是目前业内所使用的感光材料。感光材料涂布的好坏对制程结果产生决定性的影响，尤其在当前半导体制作过程中晶圆内部线宽的要求渐趋精微细致的情况下，光阻剂的涂布愈加严谨。如果光阻剂在制作过程的回路中产生气泡，会造成感光材料附着于晶圆上形成一种气泡样式的缺陷，因此破坏光罩图案的转印，大大影响电性讯号在晶圆内联机的质量。

此外，光阻剂的价格极为昂贵，大都以毫升计价，如果晶圆形成的气泡样式的缺陷而导致良品率不高，此时，必须对具有瑕疵的晶圆予以废弃处理，会大幅增加制造成本、浪费整体资源。并且，光阻剂转印过程中会产生污染气体，如果未对污染的废气进行处理则会造成环境污染。

为了能够解决现有技术中的缺陷，本发明的发明人基于多年从事研究开发及诸多实务的经验，提出一种去除液体气泡的装置，以作为改善上述缺点的实现方式与依据。

发明内容

本发明的目的在于提出一种去除液体气泡的装置，通过阀体具有的相连通的第一通孔和第二通孔来控制与通孔对应的输入液体的管路。预先使液体的气泡经由第一通孔和第二通孔而排出至原化学液体储槽内。之后，转换阀体的第一通孔和第二通孔的位置，使输入管路的液体经由第二通孔、第一通孔而传输至操作设备中(例如，将光阻剂涂布于晶圆的装置)，以达到去除液体气泡的目的(例如，将光阻剂均匀涂布于晶圆表面的目的)。

为达到上述目的，根据本发明的一种去除液体气泡的装置包括储存槽及阀体。阀体的外部具有第一管路、第二管路及第三管路，第一管路的一端设置在储存槽上。阀体的内部相对阀体的外部转动，阀体的内部具有第一通孔和第二通孔，第一通孔与第二通孔连通。其中，储存槽储存混合有很多气泡的液体。当第一通孔和第二通孔分别对应第一管路和第二管路时，浮至液体液面的气泡经由第一管路至第二管路排出。第二管路排出气泡后，通过转动阀体使第一通孔和第二通孔分别对应第三管路和第一管路，可通过第一管路至第三管路将该液体排出。

综上所述，根据本发明的去除液体气泡的装置，具有以下一个或多个优点：

(1)该去除液体气泡的装置可通过预先去除液体的气泡，减少瑕疵产品的产生，从而可提高产品(例如，IC芯片)的良品率。

(2)该去除液体气泡的装置可通过预先去除液体的气泡，防止瑕疵产品的产生，从而可减少光阻剂的使用，以降低芯片的制造成本。

(3)该去除液体气泡的装置可通过预先去除液体的气泡，减少瑕疵产品的产生，因此将低转印过程中造成的气体污染，从而防止大量废气污染环境。

附图说明

通过结合附图的优选实施例的详细描述，使本发明的技术特征及所达到的效果得到更进一步的了解与认识。

图1是根据本发明第一实施例的去除液体气泡的装置的第一剖视图；

图2是根据本发明第一实施例的去除液体气泡的装置的第二剖视图；

图3是根据本发明第二实施例的去除液体气泡的装置的第一剖视图；

图4是根据本发明第二实施例的去除液体气泡的装置的第二剖视图；

图5是根据本发明第三实施例的去除液体气泡的装置的第一剖视图；

图6是根据本发明第三实施例的去除液体气泡的装置的第二剖视图。

【主要组件符号说明】

1：去除液体气泡的装置；

2：储存槽；

3：液体；

31：气泡；

4：阀体；

411：第一管路；

412：第二管路；

413：第三管路；

414：第四管路；

415：第五管路；

416：第六管路；

421：第一通孔；

422：第二通孔；

423：第三通孔；

424：第四通孔；

425：第五通孔；

426：第六通孔；

5：操作设备；

6：第一连通管路；

7：第二连通管路；

8：第三连通管路。

具体实施方式

以下，通过参照附图来详细描述根据本发明优选实施例的去除液体气泡的装置，为便于理解，相同的标号始终表示相同的元件。

图1和图2分别是根据本发明第一实施例的去除液体气泡的装置的第一剖视图和第二剖视图。附图中，去除液体气泡的装置1包括储存槽2、阀体4及根据需要而增加的操作设备5。在本实施例中，以三通管路的阀体4来说明阀体4。

储存槽2储存液体3(例如，化学液体)。三通管路的阀体4的外部本身具有第一管路411、第二管路412及第三管路413。三通管路的阀体4的内部相对阀体4的外部转动，阀体4的内部具有第一通孔421和第二通孔422。可将第一管路411的一端设置在储存槽2的上端(例如，第一管路411位于储存槽2上方，但并不局限于此)，并浸在储存槽2的液体3中，第二管路412的一端也可浸在储存槽2的液体3中，第三管路413的一端连接操作设备5，第一通孔421与第二通孔422连通。其中，各通孔的连通方式可以是外部的管路或管线加以延伸连接，或者一个通孔及另一通孔本身在阀体4的内部已经连通。

在本实施例中，第一通孔421和第二通孔422本身在阀体4的内部通过第一连通管路6连通，但并不局限于此。当泵(pump)或其它加压设备抽取液体3时，会将管路中的气体一并抽取，使液体3和气体混合一起，或者液体3自身就含有气体。由于重力的影响且气体的密度小于液体3的密度，气体在液体3中会向上浮升，并且液体3本身具有黏性，所以气体在液体3的液面上会形成很多气泡31。

如图1所示，当第一管路411对应第一通孔421且第二管路412对应第二通孔422时，液体3的气泡31从储存槽2经第一管路411、第一通孔421、第一连通管路6、第二通孔422而排出至第二管路412，利用第二管路412的一端连通于储存槽2，从而形成一个回路，使储存槽2回收该混合有气泡31的液体3，可减少液体3的浪费，节省将液体3排出丢弃所耗费的成本。

如图2所示，当第二管路412排除该混合有气泡31的前段液体3后，通过电路(或伺服马达、手动)控制，而将阀体4转动一个角度，使第一管路411对应第二通孔422，且第三管路413对应第一通孔421。此时，液体3由储存槽2经第一管路411、第二通孔422、第一连通管路6、第一通孔421至第三管路413，而传输到操作设备5中加以应用，其中，操作设备5可以是工作机具(例如，将光阻剂涂布于晶圆的装置)、分析仪器或实验器具。

另外，通过电路(或伺服马达、手动)控制，可以使阀体4往复转动一个角度(例如，顺时针旋转120度，再以顺时针旋转240度，或者先以顺时针90度旋转再以逆时针旋转90度)，可使液体3传输到操作设备5中加以应用，或者使储存槽2回收该混合有气泡31的液体3。

图3和图4分别是根据本发明第二实施例的去除液体气泡的装置的第一剖视图和第二剖视图。附图中，去除液体气泡的装置1包括储存槽2、阀体4及根据需要而增加的操作设备5。

在本实施例中，储存槽2可储存化学液体3。以六通管路的阀体4来说明阀体4，但并不局限于此。六通管路的阀体4的外部本身具有第一管路411、第二管路412、第三管路413、第四管路414、第五管路415及第六管路416。六通管路的阀体4的内部相对阀体4的外部转动，阀体4的内部具有第一通孔421、第二通孔422、第三通孔423、第四通孔424、第五通孔425及第六通孔426。第一管路411的一端可设置在储存槽2的上端(例如，第一管路411位于储存槽2上方，但并不局限于此)，并可浸在储存槽2的液体3中，第二管路412与第四管路414相连通，第三管路413的一端连接操作设备5，第五管路415的一端可浸在储存槽2的液体3中，第六管路416可封闭不使用。第一通孔421、第五通孔425及第三通孔423可分别通过第一连通管路6、第二连通管路7及第三连通管路8，而分别与第二通孔422、第四通孔424及第六通孔426连通。

如图3所示，当第一管路411对应第一通孔421、第二管路412对应第二通孔422、第四管路414对应第四通孔424、第五管路415对应第五通孔425时，液体3的气泡31从储存槽2经第一管路411、第一通孔421、第一连通管路6、第二通孔422、第二管路412、第四管路414、第四通孔424、第二连通管路7、第五通孔425而排出至第五管路415。利用第五管路415的一端连通到储存槽2，而形成一个回路，使储存槽2回收该混合有气泡31的液体3。

如图4所示，当第二管路412排除该混合有气泡31的前段液体3后，通过电路(或伺服马达、手动控制，从而将阀体4转动一个角度，使第一管路411对应第二通孔422，第三管路413对应第一通孔421。此时，液体3从储存槽2经第一管路411、第二通孔422、第一连通管路6、第一通孔421至第三管路413，而传输到操作设备5中应用。

另外，通过电路(或伺服马达、手动)控制，可以使阀体4往复转动一个角度(例如，顺时针或逆时针旋转60度)，可使液体3传输到操作设备5中应用，或者使储存槽2回收该混合有气泡31的液体3。

图5和图6分别是根据本发明第三实施例的去除液体气泡的装置的第一剖视图和第二剖视图。附图中，去除液体气泡的装置1包括储存槽2、阀体4及根据需要而增加的操作设备5。

在本实施例中，储存槽2可储存化学液体3。以四通管路的阀体4来说明阀体4，但并不局限于此。四通管路的阀体4的外部本身具有第一管路411、第二管路412、第三管路413及第四管路414。四通管路的阀体4的内部相对阀体4的外部转动，阀体4的内部本身具有第一通孔421、第二通孔422、第三通孔423及第四通孔424。第一管路411的一端可浸在储存槽2的液体3中，第二管路412的一端也可浸在储存槽2的液体3中，第三管路413的一端可连接操作设备5，第四管路414可封闭不使用。第一通孔421及第三通孔423分别通过第一连通管路6及第二连通管路7，而与第二通孔422及第四通孔424连通。

如图5所示，当第一管路411对应第一通孔421、第二管路412对应第二通孔422时，液体3的气泡31从储存槽2经第一管路411、第一通孔421、第一连通管路6、第二通孔422而排出至第二管路412。利用第二管路412的一端连通于储存槽2，而形成一个回路，使储存槽2回收该混合有气泡31的液体3。

如图6所示，当第二管路412排除该混合有气泡31的前段液体3后，通过电路(或伺服马达、手动)控制，从而将阀体4转动一个角度，使第一管路411对应第二通孔422，且第三管路413对应第一通孔421。此时，液体3从储存槽2经第一管路411、第二通孔422、第一连通管路6、第一通孔421至第三管路413，而传输到操作设备5中加以应用。

另外，通过电路(或伺服马达、手动)控制，可以使阀体4往复转动一个角度(例如，顺时针或逆时针旋转90度)，可使液体3传输到操作设备5中应用，或者使储存槽2回收该混合有气泡31的液体3。

综上所述，本发明的去除液体气泡的装置，可通过预先去除液体的气泡，减少瑕疵产品的产生，以减少光阻剂的使用并且降低转印过程中造成的气体污染，从而防止大量废气污染环境。

以上内容是对本发明的举例说明并且将不被解释为对本发明的限制。在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以对示例性实施例进行多种修改。因此，所有这样的修改都意图被包括在权利要求限定的本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种去除液体气泡的装置，所述装置包括：

储存槽；

阀体，阀体的外部具有第一管路、第二管路及第三管路，第一管路的一端设置在储存槽上，所述阀体的内部相对阀体的外部转动，阀体的内部具有第一通孔和第二通孔，第一通孔通过第一连通管路与第二通孔连通；

其中，所述储存槽储存混合有很多气泡的液体，当第一通孔和第二通孔分别对应第一管路和第二管路时，浮至所述液体液面的气泡通过第一管路至第二管路排出；第二管路排出气泡后，通过转动所述阀体的内部使第一通孔和第二通孔分别对应第三管路和第一管路，从而使液体通过第一管路至第三管路排出。

2.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置，其中，所述第二管路的一端与所述储存槽连通，使储存槽回收所述液体。

3.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置，所述装置还包含操作设备，其中，所述第三管路连接操作设备。

4.如权利要求3所述的去除液体气泡的装置，其中，所述操作设备为工作机具、分析仪器或实验器具。

5.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置，其中，所述阀体利用人工、电路或伺服马达而转动，使第一通孔对应第一管路，第二通孔对应第二管路。

6.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置，其中，所述阀体利用人工、电路或伺服马达而转动，使第一通孔对应第三管路，第二通孔对应第一管路。

7.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置，其中，所述阀体的外部还具有第四管路、第五管路，第四管路与第二管路连通，第五管路的一端与所述储存槽连通，使储存槽回收所述液体。

8.如权利要求7所述的去除液体气泡的装置，其中，所述阀体的内部还具有第三通孔、第四通孔及第五通孔，第三通孔对应第三管路，第四通孔对应第四管路，第五通孔对应第五管路，并且第四通孔与第五通孔间通过第二连通管路连通。

9.如权利要求7所述的去除液体气泡的装置，其中，所述阀体的内部还具有第三通孔、第四通孔、第五通孔及第六通孔，并且第三通孔与第六通孔间通过第三连通管路连通，所述阀体的外部还具有第六管路，第三通孔对应第六管路，第四通孔对应第五管路，第五通孔对应第二管路，第六通孔对应第四管路。

10.如权利要求1所述的去除液体气泡的装置，其中，所述液体为化学液体。

Images